JP2005216897A - 固体撮像素子とその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 2次元的に配置された光電変換素子16と、該光電変換素子のそれぞれに積層されるカラーフィルター12と略半球状のマイクロレンズ11を具備した固体撮像素子において、該マイクロレンズ間の露出面23がカラーフィルターであり、かつ、マイクロレンズ表面とカラーフィルターが、低反射に有効な反射率を低減させる粗化された表面を有する。
【選択図】 図2
Description
12,52 ・・・カラーフィルター
13,53 ・・・レンズ間ギャップ
14,54 ・・・平坦化層
15,56 ・・・半導体基板
16,56,66 ・・・光電変換素子
17,57 ・・・接線
18,68 ・・・斜め入射光
23,30,40 ・・・マイクロレンズ間の露出面
59 ・・・レンズ母型
Claims (5)
- 2次元的に配置された光電変換素子と、該光電変換素子のそれぞれに積層されるカラーフィルターと略半球状のマイクロレンズを具備した固体撮像素子において、
該マイクロレンズ間の露出面がカラーフィルターであり、かつ、少なくとも該カラーフィルタが低反射に有効な反射率を低減させる粗化された表面を有することを特徴とする固体撮像素子。 - 2次元的に配置された光電変換素子と、該光電変換素子のそれぞれに積層され、かつ、一部曲面をなすカラーフィルターと、該カラーフィルター上に形成された透明樹脂より構成される略半球状のマイクロレンズを具備した固体撮像素子において、
一画素のマイクロレンズレンズ曲面の接線が、隣接する画素の光電変換素子に入射しない構成であるとともに、該画素の接線上のカラーフィルターを除去せしめた構成であることを特徴とする固体撮像素子。 - 少なくとも一部曲面をなすカラーフィルター、が、低反射に有効な反射率を低減させる粗化された表面を有することを特徴とする請求項2に記載の固体撮像素子。
- 2次元的に配置された光電変換素子と、該光電変換素子のそれぞれに積層されるカラーフィルターとドライエッチング加工により完全転写した略半球状のマイクロレンズを具備し、かつ、該マイクロレンズ間にカラーフィルターの表面が露出する固体撮像素子の製造方法であって、
ドライエッチングに用いるガスが、フロン系ガスであることを特徴とする固体撮像素子の製造方法。 - 2次元的に配置された光電変換素子と、該光電変換素子のそれぞれに積層されるカラーフィルターとドライエッチング完全転写による略半球状のマイクロレンズを具備し、かつ、該マイクロレンズ間にカラーフィルターの表面が露出する固体撮像素子の製造方法であって、
カラーフィルター上に直接形成される透明樹脂に、レンズ母型を形成する樹脂のエッチングレートより速いレートをもつ透明樹脂を用いることを特徴とする固体撮像素子の製造方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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