JP2005214770A - 圧力センサモジュール - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一主面に凹部5が形成されているセンサ基板1上で、凹部5の形成領域内に圧電体,IDTを含む圧力検出用素子2を、凹部5の形成領域外に圧電体,IDTを含む参照用素子3を設けたセンサ素子と、圧力検出用素子2の共振周波数に基づいて所定周波数の電気信号を発振する第1発振回路と、参照用素子3の共振周波数に基づいて所定周波数の電気信号を発振する第2発振回路と、第1発振回路からの電気信号と第2発振回路からの電気信号とを比較して変換信号を生成するとともに変換信号を出力するコンパレータと、コンパレータからの変換信号と第2発振回路からの電気信号とを変調して外部に出力する変調回路とを備え、センサ基板1上の圧力検出用素子2と参照用素子3とを並列に配置する。
【選択図】図1
Description
2・・・圧力検出用弾性表面波素子
2a・・・圧力検出用弾性表面波素子のインターデジタルトランスデューサ
2b・・・圧力検出用弾性表面波素子の反射器
3・・・参照用弾性表面波素子
3a・・・参照用弾性表面波素子のインターデジタルトランスデューサ
3b・・・参照用弾性表面波素子の反射器
4・・・封止材
5・・・凹部
6・・・支持基板
7・・・電極パッド
8,9・・・接合用導体
10・・・圧力センサモジュール
12・・・ICチップ
13・・・アンテナ
14・・・樹脂
15・・・アンプ
Claims (2)
- 一主面に凹部が形成されているセンサ基板上で、前記凹部の形成領域内に、圧電体及びインターデジタルトランスデューサを含む圧力検出用弾性表面波素子を、前記凹部の形成領域外に、圧電体及びインターデジタルトランスデューサを含む参照用弾性表面波素子を設けたセンサ素子と、
前記圧力検出用弾性表面波素子の共振周波数に基づいて所定周波数の電気信号を発振する第1の発振回路と、
前記参照用弾性表面波素子の共振周波数に基づいて所定周波数の電気信号を発振する第2の発振回路と、
前記第1の発振回路からの電気信号と前記第2の発振回路からの電気信号とを比較して変換信号を生成するとともに、該変換信号を出力するコンパレータと、
前記コンパレータからの変換信号と前記第2の発振回路からの電気信号とを変調して外部に出力する変調回路と、を備えてなる圧力センサモジュールであって、
前記センサ基板上の前記圧力検出用弾性表面波素子と前記参照用弾性表面波素子とを、両素子の弾性表面波の伝播方向を平行に、且つ、弾性表面波の伝播方向と直交する方向に並べて配置させたことを特徴とする圧力センサモジュール。 - 前記第1の発振回路、前記第2の発振回路、前記コンパレータ及び前記変調回路が単一のICチップ上に集積されており、該ICチップと前記センサ素子とが共通の支持基板上に搭載されていることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサモジュール。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014115209A (ja) * | 2012-12-11 | 2014-06-26 | Seiko Epson Corp | Mems素子、電子デバイス、高度計、電子機器および移動体 |
JP2014115208A (ja) * | 2012-12-11 | 2014-06-26 | Seiko Epson Corp | Mems素子、電子デバイス、高度計、電子機器および移動体 |
JP2014115210A (ja) * | 2012-12-11 | 2014-06-26 | Seiko Epson Corp | Mems素子、電子デバイス、高度計、電子機器および移動体 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS50120673A (ja) * | 1974-02-25 | 1975-09-22 | ||
JPS55164324A (en) * | 1979-06-04 | 1980-12-22 | Rockwell International Corp | Soundwave sensor |
JPH02216940A (ja) * | 1989-02-17 | 1990-08-29 | Toshiba Corp | 変調器 |
JPH0526751A (ja) * | 1991-07-19 | 1993-02-02 | Yokogawa Electric Corp | 圧力センサ |
JPH08136383A (ja) * | 1994-11-15 | 1996-05-31 | Yuhshin Co Ltd | 圧力検出装置 |
JP2003303388A (ja) * | 2002-04-11 | 2003-10-24 | Pacific Ind Co Ltd | タイヤ状態監視装置の送信機及びタイヤ状態監視装置 |
JP2003315190A (ja) * | 2002-04-24 | 2003-11-06 | Kyocera Corp | 圧力検出装置用パッケージ |
WO2005052533A1 (ja) * | 2003-11-27 | 2005-06-09 | Kyocera Corporation | 圧力センサ装置 |
-
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS50120673A (ja) * | 1974-02-25 | 1975-09-22 | ||
JPS55164324A (en) * | 1979-06-04 | 1980-12-22 | Rockwell International Corp | Soundwave sensor |
JPH02216940A (ja) * | 1989-02-17 | 1990-08-29 | Toshiba Corp | 変調器 |
JPH0526751A (ja) * | 1991-07-19 | 1993-02-02 | Yokogawa Electric Corp | 圧力センサ |
JPH08136383A (ja) * | 1994-11-15 | 1996-05-31 | Yuhshin Co Ltd | 圧力検出装置 |
JP2003303388A (ja) * | 2002-04-11 | 2003-10-24 | Pacific Ind Co Ltd | タイヤ状態監視装置の送信機及びタイヤ状態監視装置 |
JP2003315190A (ja) * | 2002-04-24 | 2003-11-06 | Kyocera Corp | 圧力検出装置用パッケージ |
WO2005052533A1 (ja) * | 2003-11-27 | 2005-06-09 | Kyocera Corporation | 圧力センサ装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014115209A (ja) * | 2012-12-11 | 2014-06-26 | Seiko Epson Corp | Mems素子、電子デバイス、高度計、電子機器および移動体 |
JP2014115208A (ja) * | 2012-12-11 | 2014-06-26 | Seiko Epson Corp | Mems素子、電子デバイス、高度計、電子機器および移動体 |
JP2014115210A (ja) * | 2012-12-11 | 2014-06-26 | Seiko Epson Corp | Mems素子、電子デバイス、高度計、電子機器および移動体 |
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