JP2005209793A - 露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザー光源を有し、所望の内部雰囲気にされたチャンバー23内でレーザー光を用いてレチクルRに描画されたパターンをウエハWに露光する露光装置において、チャンバー23内の温度を調節するために、当該チャンバー内に不活性ガスを循環させる循環装置26を備え、この循環装置とチャンバーとを内部連通する経路に消音装置1,2を設けた。
【選択図】 図1
Description
[第1の実施形態]
図1は、本発明に係る第1の実施形態の露光装置及びその温調システムを例示する図である。また、以下の説明においては、図5で説明した従来の構成と共通する部分には同じ番号を付して説明を省略する。
従って、送風機等の騒音源から発生する音の特異的な周波数が自明な場合、上記式1にて消音ダクトの有効長Lを決定することができる。
また、膨張部3あるいは収縮部5の各喉部の断面積をS1、拡大室4の断面積をS2とすると、面積比m=S2/S1が大きいほど消音効果が大きくなり、減衰量は下記式3で示される。
本実施形態によれば、拡大室4を設けただけの簡単な構造で、送風機等で発生する音の低減を図ることができる。また、図2に示すように伸縮部12を設けて拡大室4の長さLを調節できる構造にすることにより、所望の消音周波数に対する減衰効果をチューニングすることも可能となる。
[第2の実施形態]
図3は、本発明に係る第2の実施形態の露光装置及びその温調システムを例示する図である。また、以下の説明においては、上記図1で説明した第1の実施形態の構成と共通する部分には同じ番号を付して説明を省略する。
従って、送風機等の騒音源から発生する音の特異的な周波数が自明な場合、上記式4にて消音ダクトの第1経路9と第2経路10の有効長L1,L2を決定することができる。
2 リターン側消音ダクト
3 膨張部
4 拡大室
5 収縮部
6 供給側消音ダクト
7 排気側消音ダクト
8 分岐部
9 第1分岐通路
10 第2分岐通路
11 合流部
12 伸縮部
21 ウエハ空間
22 レチクル空間
23 チャンバー
24 温調ガス吹出部
25 回収部
26 循環装置
27 供給ダクト
28 リターンダクト
29 冷却器
30 送風機
31 フィルター
32 加熱器
33 不活性ガス注入弁
34 排出弁
35 絞り弁
36 温度センサー
37 ウエハステージ
38 レチクルステージ
39 投影光学系
L 拡大室長さ
C 音速
n 任意整数
f 周波数
N 回転数
Z 羽根枚数
L1 第1経路長さ
L2 第2経路長さ
W ウエハ
R レチクル
Claims (7)
- 所望の内部雰囲気にされたチャンバー内で対象物に露光処理を施す露光装置において、
前記チャンバー内にガスを循環させる循環装置を備え、
前記循環装置とチャンバーとを内部連通する経路に消音装置を設けたことを特徴とする露光装置。 - レーザー光源を有し、所望の内部雰囲気にされたチャンバー内でレーザー光を用いて原版パターンを基板に露光する露光装置において、
前記チャンバー内の温度を調節するために、当該チャンバー内に不活性ガスを循環させる循環装置を備え、
前記循環装置とチャンバーとを内部連通する経路に消音装置を設けたことを特徴とする露光装置。 - 前記消音装置は、前記チャンバーの直上流及び直下流の少なくともいずれかに設けられることを特徴とする請求項1又は2に記載の露光装置。
- 前記消音装置は、前記ガスの流れ方向に対して最上流側の拡径する膨張部と、当該膨張部と略同径で前記ガスの流れ方向に延びる拡大室と、当該拡大室に対して縮径する収縮部とを備え、音を干渉させて消音する機能を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記消音装置は、前記ガスの流れ方向に対して長さが異なる分岐部と、これら分岐部が合流する合流部とを備え、音を干渉させて消音する機能を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記消音装置は、前記ガスの流れ方向に伸縮して当該方向への長さを可変とする伸縮部を備え、当該長さにより干渉音の周波数を調節可能であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記原版及び基板を相対移動させる熱源としてのステージ装置を更に備えることを特徴とする請求項2乃至6のいずれか1項に記載の露光装置。
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