JP2005202326A - 表示装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】信号線102と第1基板10との間に断線防止層71を形成して、第1基板10を被覆し表面の傷を覆い、第1基板10の傷に起因して信号線102に断線が発生することを防止する。
【選択図】図2
Description
前記第1領域と前記第2領域とに延在するように、前記半導体素子に接続する配線層を形成する工程と、を備え、前記層間絶縁膜を形成する工程の前に、少なくとも前記第2領域における前記配線層と前記第1基板との間に前記配線層の断線を防止する断線防止層を形成する工程を有する。
Claims (11)
- 画素領域に画素部が形成されている第1基板と、
前記第1基板と所定の間隔を置いて対向する第2基板と、
前記第1基板と前記第2基板との間に配置されている液晶層と
を備え、
前記第1基板は、第1領域と第2領域とを含み、
前記画素部に接続し、前記第1領域に形成されている半導体素子と、
前記半導体素子を被覆するように前記第1領域に形成されている層間絶縁膜と、
前記第1領域と前記第2領域に延在し、前記半導体素子に接続している配線層と、
少なくとも前記第2領域における前記配線層と前記第1基板との間に形成され、前記配線層の断線を防止する断線防止層と
を有する
表示装置。 - 前記断線防止層は、前記半導体素子を構成する層の少なくとも一部と同じ材料により形成されている
請求項1に記載の表示装置。 - 前記半導体素子は、
前記チャネル形成領域を挟むようにソース・ドレイン領域が形成されている半導体層と、
前記チャネル形成領域に対応するように形成されているゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜を介して前記チャネル形成領域に対応するように形成されているゲート電極と
を有するトランジスタを含み、
前記断線防止層は、前記半導体層と前記ゲート絶縁膜と前記ゲート電極との少なくとも1つと同じ材料により形成されている
請求項2に記載の表示装置。 - 前記画素部は、光反射部と光透過部とを有し、
前記光反射部は、前記第1領域に対応するように形成されている
請求項1に記載の表示装置。 - 第1領域と第2領域とを含み、画素領域に画素部が形成されている第1基板と、前記第1基板と所定の間隔を置いて対向する第2基板と、前記第1基板と前記第2基板との間に配置されている液晶層とを備える表示装置の製造方法であって、
前記画素部に接続する半導体素子を前記第1領域に形成する工程と、
前記半導体素子を被覆する層間絶縁膜を前記第1領域に形成する工程と、
前記第1領域と前記第2領域とに延在するように、前記半導体素子に接続する配線層を形成する工程と、
を備え、
前記層間絶縁膜を形成する工程の前に、少なくとも前記第2領域における前記配線層と前記第1基板との間に前記配線層の断線を防止する断線防止層を形成する工程
を有する
表示装置の製造方法。 - 前記断線防止層を形成する工程においては、
前記第1基板とエッチング特性が異なる材料により前記断線防止層を形成する
請求項5に記載の表示装置の製造方法。 - 前記層間絶縁膜を形成する工程においては、
前記第1領域と前記第2領域とを被覆するように前記層間絶縁膜を形成し、
前記第2領域の前記層間絶縁膜をエッチングすることによって前記第1領域に前記層間絶縁膜を形成する
請求項5に記載の表示装置の製造方法。 - 前記断線防止層を形成する工程においては、前記層間絶縁膜とエッチング特性が異なる材料により前記断線防止層を形成する
請求項5に記載の表示装置の製造方法。 - 前記断線防止層を形成する工程においては、前記半導体素子を構成する層を形成する際に、前記半導体素子を構成する層と同じ層を前記断線防止層の形成領域に形成する
請求項5に記載の表示装置の製造方法。 - 前記半導体素子を形成する工程は、前記半導体層としてトランジスタを形成する工程を含み、
前記トランジスタを形成する工程は、
ゲート電極を形成する工程と、
前記ゲート電極に対応するようにゲート絶縁膜を形成する工程と、
チャネル形成領域と、前記チャネル形成領域を挟むソース・ドレイン領域とを有する半導体層を形成する工程と
を有し、
前記断線防止層を形成する工程においては、前記ゲート電極と前記ゲート絶縁膜と前記半導体層との少なくとも1つと同じ層を前記断線防止層の形成領域に形成する
請求項9に記載の表示装置の製造方法。 - 前記第1領域に対応する前記画素部に光反射部を形成する工程と、
前記第2領域に対応する前記画素部に光透過部を形成する工程と
を有する
請求項5に記載の表示装置の製造方法。
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