JP4461748B2 - 液晶表示装置およびその製造方法 - Google Patents

液晶表示装置およびその製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP4461748B2
JP4461748B2 JP2003320105A JP2003320105A JP4461748B2 JP 4461748 B2 JP4461748 B2 JP 4461748B2 JP 2003320105 A JP2003320105 A JP 2003320105A JP 2003320105 A JP2003320105 A JP 2003320105A JP 4461748 B2 JP4461748 B2 JP 4461748B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
region
substrate
color filter
liquid crystal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2003320105A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2005084644A (ja
Inventor
栄治 坂井
修一 舘森
正章 加邉
英将 山口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to JP2003320105A priority Critical patent/JP4461748B2/ja
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to CNB2004800310163A priority patent/CN100468176C/zh
Priority to KR1020067004906A priority patent/KR101067574B1/ko
Priority to EP04787781A priority patent/EP1666960B1/en
Priority to PCT/JP2004/013117 priority patent/WO2005026831A1/ja
Priority to US10/571,178 priority patent/US7532276B2/en
Priority to TW093127357A priority patent/TWI255557B/zh
Publication of JP2005084644A publication Critical patent/JP2005084644A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4461748B2 publication Critical patent/JP4461748B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G02F1/133553Reflecting elements
    • G02F1/133555Transflectors
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/20Filters
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G02F1/133509Filters, e.g. light shielding masks
    • G02F1/133514Colour filters
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/133371Cells with varying thickness of the liquid crystal layer
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F2201/00Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00
    • G02F2201/48Flattening arrangements

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Optical Filters (AREA)

Description

本発明は、液晶表示装置およびその製造方法に関し、とくに、反射型表示と透過型表示とが併用される併用型の液晶表示装置およびその製造方法に関するものである。
液晶表示装置は、CRT(Cathode Ray Tube)よりも、薄型、軽量、低消費電力といった利点を有しており、パーソナルコンピューター、携帯電話、デジタルカメラなど、さまざまな電子機器の表示装置として使用されている。
液晶表示装置は、透過型と反射型とに大別される。液晶表示装置は、CRTと異なり、自ら発光する自発光型表示装置ではない。このため、透過型液晶表示装置は、光源として、バックライトと呼ばれる平面光源を背面に設け、バックライトからの光を液晶パネルに透過させて表示している。透過型液晶表示装置は、バックライトを用いて表示を行うため、周囲の光が弱い場合であっても影響を受けず、高い輝度、高コントラストで表示できるなどの利点を有する。しかし、バックライトは液晶表示装置の全消費電力の50%以上を占めているため、透過型液晶表示装置は、消費電力を低減化することが困難であるといった問題を有する。また、周囲の光が強い場合には、表示が暗く見え、視認性が悪化するという問題もある。
一方、反射型液晶表示装置は、光源として周囲の光を用い、反射板などを備えた反射部でその周囲の光を反射させ、その反射光を液晶層に透過させて表示している。周囲の光を表示面上で面表示させるため、反射板は、拡散反射できるように凹凸形状の表面となっている。このような反射型液晶表示装置は、透過型液晶表示装置と異なってバックライトを使用しないため、消費電力が少ない利点を有する。しかし、周囲が暗い場合は、反射する光が少なくなるために、輝度、コントラストが不十分となり、視認性が悪化するなどの問題が発生する。特に、カラー表示する場合、反射光がカラーフィルタに吸収されるため、反射光の利用効率が低下してしまい、視認性が著しく悪化する。
透過型および反射型液晶表示装置の問題点を解消するため、透過型と反射型とを併用する併用型の液晶表示装置が知られている。併用型液晶表示装置は、たとえば、周囲が明るい場合には周囲の光の反射を利用して表示し、周囲が暗い場合にはバックライトを利用して表示する。
図13は、従来の併用型の液晶表示装置の構成を示す構成図である。図13においては、図13(a)が第1基板10の表面の平面図を示しており、第2基板80に形成されるカラーフィルタ層を点線で示している。また、図13(b)は、図13(a)のX1−X2線部分における液晶表示装置の画素部の断面図である。
図13に示すように、従来の併用型の液晶表示装置は、第1基板10と、第2基板80と、液晶層19と有する。第1基板10と間隔を隔てて第2基板80が対向しており、第1基板10と第2基板80との間に挟まれて液晶層19が配置されている。
第1基板10の画素部には、光透過部11と、光反射部12とが並列して形成されている。第1基板10の光反射部12は、周囲の光を拡散反射する領域であり、第2基板80側から液晶層19を介して入射する正面光を拡散反射する。光反射部12は、拡散反射するように、第1基板10の上に形成された凹凸表面層50が形成されている。そして、凹凸表面層50を覆うようにして、反射電極61が形成されている。光反射部12の反射電極61は、たとえば、銀を用いて形成されている。
光透過部11は、バックライトの光が透過する領域である。バックライトは、液晶層19が配置されている第1基板10の面に対して他方となる面側に設けられている。光透過部11には、ITO(Indium Tin Oxide)などの透明電極(図示なし)が形成されている。
一方、第2基板80には、正面光と背面光とを透過させて着色するカラーフィルタ層90が形成されている。カラーフィルタ層90として、赤のカラーフィルタ層90Rと、緑のカラーフィルタ層90Bと、青のカラーフィルタ層90Bとの3原色が1組で構成されている。それぞれのカラーフィルタ層90は、第1基板10の光反射部12と光透過部11と対向する全領域に対応してオーバーラップするように、たとえば、ストライプ状に形成されている。
従来の併用型液晶表示装置を用いて表示を行う際、光反射部12においては、表示面となる第2基板80側から入射する正面光L2が、カラーフィルタ層90を介して光反射部12で反射し、さらにカラーフィルタ層90と液晶層19とを介して第2基板側80の表示面を照射するため、カラーフィルタ層90を合計2回通っている。一方、光透過部11においては、第1基板10側から入射する背面光L1が液晶層19に透過した後、カラーフィルタ層90を透過して第2基板側80の表示面を照射するため、カラーフィルタ層90を合計1回通っている。このように、光反射部12と光透過部11とではカラーフィルタ層を透過する回数が異なっている。このため、光反射部12と光透過部11との間では、輝度と色純度とが相違し、色再現性が低下していた。
また、従来の併用型液晶表示装置は、光反射部12と光透過部11とが並列して全面に形成されており、たとえば、反射型の表示を重視して光反射部12の形成領域を広くした場合、光透過部11の形成領域が狭くなることになる。このため、光反射部12と光透過部11との両方において、輝度を向上させて視認性を向上させることが困難であった。
このように、従来においては、光反射部12と光透過部11との両方において、高い輝度で高い色純度のカラー表示を優れた色再現性で表示することが困難であった。特に、光がカラーフィルタ層90を2回透過する光反射部12では、輝度の低下が著しく、視認性が悪化して表示画像の画像品質が十分でない場合があった。
併用型の液晶表示装置を用いて表示を行う際に、光反射部12と光透過部11との両方で画像品質の向上を実現させるために、さまざまな方法が提案されている(たとえば、特許文献1参照)。
特開2000−111902号公報
図14は、従来において、光反射部12と光透過部11との両方で画像品質の向上を実現させるために提案された併用型の液晶表示装置の構成を示す構成図である。図14においては、図14(a)が第1基板10の表面の平面図を示しており、第2基板80に形成されるカラーフィルタ層を点線で示している。また、図14(b)は、図14(a)のX1−X2線部分における液晶表示装置の画素部の断面図である。
図14に示す液晶表示装置は、図13に示す液晶表示装置と異なって、光反射部12の形成領域に対応する第2基板80の領域が、カラーフィルタ層91が所定の層厚で形成されている領域92と、カラーフィルタ層91が形成されていない領域93とを有している。このため、光反射部12において、第2基板80側から入射する正面光L2の一部は、カラーフィルタ層91を1回のみ透過するか、もしくは、透過しないこととなる。そして、カラーフィルタ層91が所定の層厚で形成されている領域92のみ2回透過した正面光L2と、カラーフィルタ層91が形成されていない領域93を少なくとも1回透過した正面光L2とは混色して表示させるため、従来の液晶表示装置は、輝度と色純度が向上し色再現性が向上していた。
しかしながら、図14に示すように、液晶表示装置の光反射部12の形成領域に対応する第2基板80の領域には、カラーフィルタ層91が形成されている領域92と、カラーフィルタ層91が形成されていない領域93とにおいて段差あるため、液晶層19の層厚差が発生する。このため、光反射部12の形成領域に対応する第2基板80の領域において、液晶層19のリタデーションが異なる領域が存在することになるため、均一な表示が困難となりコントラストの低下が発生して、色再現性が劣り画像品質が低下していた。特に、ノーマリブラックモードでの表示においては、液晶層19に電圧を印加しない場合での黒表示の反射率が高くなるため、コントラストが著しく低下していた。
以上のように、従来における併用型液晶表示装置でのカラー表示においては、とくに、反射型表示する場合、十分な輝度とコントラストとを得ることが困難であり、十分な画像品質でないため、画像品質の向上が求められていた。
したがって、本発明の目的は、反射型表示と透過型表示とが併用される併用型の液晶表示装置でのカラー表示において、反射型表示と透過型表示とのそれぞれで高い輝度と高いコントラストとを得て、優れた色再現性を実現し画像品質を向上できる液晶表示装置およびその製造方法を提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明の液晶表示装置は、光反射部と光透過部とが形成されている画素部を有する第1基板と、前記第1基板と間隔を隔てて対向しており、前記光反射部と前記光透過部との形成領域に対応してカラーフィルタ層が形成されている第2基板と、前記第1基板と前記第2基板との間に配置されている液晶層とを具備し、前記光反射部の形成領域に対応する前記第2基板の領域は、前記カラーフィルタ層が所定の層厚で形成されている第1領域と、前記カラーフィルタ層が形成されていない第2領域とを有し、前記第1基板には、前記第1領域と前記第2領域とにおける前記カラーフィルタ層の段差による前記液晶層の層厚差を調整する層厚差調整層が、前記第2領域に対応する前記光反射部の形成領域に形成されている。
以上の本発明の液晶表示装置によれば、光透過部に入射する光は、第2基板に形成されているカラーフィルタ層を透過し、一方、光反射部の光は、第2基板側から入射して、カラーフィルタ層が所定の層厚で形成されている第1領域と、カラーフィルタ層が形成されていない第2領域との少なくとも一方を透過し、第1基板の光反射部で反射されて、第2基板の第1領域と第2領域との少なくとも一方を再度透過する。第2基板の第2領域はカラーフィルタ層が形成されていないため、第2領域を透過した光反射部の光は、第1領域のみを2回透過した光反射部の光よりも輝度が高い。そして、第1領域と、第1領域より高い輝度となる第2領域とを透過した光反射部の光は加法混色されて表示されるため、反射型表示の際でも透過型表示に近い輝度で表示される。そして、第2領域に対応する光反射部の形成領域に形成されている層厚差調整層が、第1領域と第2領域とにおけるカラーフィルタ層の段差による液晶層の層厚差を小さくして、第1領域と第2領域とにおける液晶層のリタデーションの相違を緩和しているため、均一な表示となってコントラストを向上させている。
上記目的を達成するために、本発明の液晶表示装置は、光反射部と光透過部とが形成されている画素部を有する第1基板と、前記第1基板と間隔を隔てて対向しており、前記光反射部と前記光透過部との形成領域に対応してカラーフィルタ層が形成されている第2基板と、前記第1基板と前記第2基板との間に配置されている液晶層とを具備し、前記カラーフィルタ層は、前記光透過部と対応する領域に所定の色濃度で形成されている第1カラーフィルタ層と、前記光反射部と対応する領域に前記第1カラーフィルタ層と略同じ層厚で形成されており、前記第1カラーフィルタ層よりも薄い色濃度で形成されている第2カラーフィルタ層とを有する。
以上の本発明の液晶表示装置によれば、第2基板のカラーフィルタ層は、光透過部と対応する領域に所定の色濃度で形成されている第1カラーフィルタ層と、光反射部と対応する領域に第1カラーフィルタ層と略同じ層厚で形成されており、第1カラーフィルタ層よりも薄い色濃度で形成されている第2カラーフィルタ層とを有している。光透過部に入射する光は、第1カラーフィルタ層を透過し、一方、光反射部の光は、第2カラーフィルタ層を透過した後に光反射部で反射されて、第2カラーフィルタ層を再度透過する。第2カラーフィルタ層は、第1カラーフィルタ層と略同じ層厚であって、第1カラーフィルタ層よりも薄い色濃度で形成されているため、反射型表示と透過型表示とは互いが近い輝度を得る。
上記目的を達成するために、本発明の液晶表示装置は、光反射部と光透過部とが形成されている画素部を有する第1基板と、前記第1基板と間隔を隔てて対向しており、前記光反射部と前記光透過部との形成領域に対応してカラーフィルタ層が形成されている第2基板と、前記第1基板と前記第2基板との間に配置されている液晶層とを具備し、前記光反射部の形成領域に対応する前記第2基板の領域は、前記カラーフィルタ層が所定の層厚で形成されている第1領域と、前記カラーフィルタ層が形成されていない第2領域とを有し、前記第2基板には、光透過性を有し、前記第1領域と前記第2領域との前記カラーフィルタ層の段差が小さくなるように平坦化する平坦化膜が形成されている。
以上の本発明の液晶表示装置によれば、第2基板には、光透過性を有し、第1領域と第2領域とのカラーフィルタ層の段差が小さくなるように平坦化する平坦化膜が形成されている。このため、第1領域と第2領域とにおけるカラーフィルタ層の段差による液晶層の層厚差が小さくなり、第1領域と第2領域とにおける液晶層のリタデーションの相違を緩和するため、均一な表示となってコントラストを向上させることができる。
上記目的を達成するために、本発明の液晶表示装置の製造方法は、光反射部と光透過部とが形成されている画素部を有する第1基板と、前記第1基板と間隔を隔てて対向しており、前記光反射部と前記光透過部との形成領域に対応してカラーフィルタ層が形成されている第2基板と、前記第1基板と前記第2基板との間に配置されている液晶層とを具備し、前記光反射部の形成領域に対応する前記第2基板の領域が、前記カラーフィルタ層が所定の層厚で形成されている第1領域と、前記カラーフィルタ層が形成されていない第2領域とを有する液晶表示装置の製造方法であって、前記第1領域と前記第2領域とにおける前記カラーフィルタ層の段差による前記液晶層の層厚差を調整する層厚差調整層を、前記第2領域に対応する前記第1基板の前記光反射部に形成する工程を有する。
以上の本発明の液晶表示装置の製造方法によれば、第1領域と第2領域とにおけるカラーフィルタ層の段差による液晶層の層厚差を調整する層厚差調整層を、第2領域に対応する第1基板の光反射部に形成する。第2領域に対応する光反射部の形成領域に層厚差調整層を形成することにより、第1領域と第2領域とにおけるカラーフィルタ層の段差による液晶層の層厚差が小さくなり、第1領域と第2領域とにおける液晶層のリタデーションの相違を緩和するため、均一な表示とすることができてコントラストを向上できる。
上記目的を達成するために、本発明の液晶表示装置の製造方法は、光反射部と光透過部とが形成されている画素部を有する第1基板と、前記第1基板と間隔を隔てて対向しており、前記光反射部と前記光透過部との形成領域に対応してカラーフィルタ層が形成されている第2基板と、前記第1基板と前記第2基板との間に配置されている液晶層とを有する液晶表示装置の製造方法であって、前記カラーフィルタ層を形成する工程は、前記光透過部と対応する領域に所定の色濃度の第1カラーフィルタ層を形成する工程と、前記光反射部と対応する領域に前記第1カラーフィルタ層よりも薄い色濃度の第2カラーフィルタ層を前記第1カラーフィルタ層と略同じ層厚となるように形成する工程とを有する。
以上の本発明の液晶表示装置の製造方法によれば、カラーフィルタ層として、光透過部と対応する領域に所定の色濃度の第1カラーフィルタ層を形成し、光反射部と対応する領域に第1カラーフィルタ層よりも薄い色濃度の第2カラーフィルタ層を前記第1カラーフィルタ層と略同じ層厚となるように形成する。このため、光透過部に入射する光は、第1カラーフィルタ層を透過し、一方、光反射部の光は、第2カラーフィルタ層を透過した後に、光反射部で反射されて、第2カラーフィルタ層を再度透過する。第2カラーフィルタ層は、第1カラーフィルタ層と略同じ層厚であって、第1カラーフィルタ層よりも薄い色濃度で形成されているため、反射型表示と透過型表示とは互いが近い輝度を得る。
上記目的を達成するために、本発明の液晶表示装置の製造方法は、光反射部と光透過部とが形成されている画素部を有する第1基板と、前記第1基板と間隔を隔てて対向しており、前記光反射部と前記光透過部との形成領域に対応してカラーフィルタ層が形成されている第2基板と、前記第1基板と前記第2基板との間に配置されている液晶層とを具備し、前記光反射部の形成領域に対応する前記第2基板の領域が、前記カラーフィルタ層が所定の層厚で形成されている第1領域と、前記カラーフィルタ層が形成されていない第2領域とを有する液晶表示装置の製造方法であって、光透過性を有し、前記第1領域と前記第2領域との前記カラーフィルタ層の段差が小さくなるように平坦化する平坦化膜を前記第2基板に形成する工程を有する。
以上の本発明の液晶表示装置の製造方法によれば、光透過性を有し、第1領域と第2領域とのカラーフィルタ層の段差を小さくするように平坦化する平坦化膜を第2基板に形成する。このため、第1領域と第2領域とにおけるカラーフィルタ層の段差による液晶層の層厚差が小さくなり、第1領域と第2領域とにおける液晶層のリタデーションの相違を緩和するため、均一な表示となってコントラストを向上させることができる。
本発明によれば、反射型表示と透過型表示とが併用される併用型の液晶表示装置でのカラー表示において、反射型表示と透過型表示とのそれぞれで高い輝度と高いコントラストとを得て、優れた色再現性を実現し画像品質を向上できる液晶表示装置およびその製造方法を提供することができる。
以下、本発明に係る実施形態の一例について、図面を参照して説明する。
<実施形態1>
図1は、実施形態1の液晶表示装置の構成を示す構成図である。図1においては、図1(a)が第1基板10の表面の平面図を示しており、第2基板80に形成されるカラーフィルタ層91を点線で示している。また、図1(b)は、図1(a)のX1−X2線部分における液晶表示装置の画素部の断面図である。なお、液晶表示装置の画素部は、複数がマトリクス状に配置されている。
図1に示すように、本実施形態の液晶表示装置は、第1基板10と、第2基板80と、液晶層19と有する。第1基板10と間隔を隔てて第2基板80が対向しており、第1基板10と第2基板80との間に挟まれて液晶層19が配置されている。
第1基板10と第2基板80は共に、光透過性を有し、たとえば、ガラスなどの透明材料で形成されている。
液晶層19は、第1基板10と第2基板80との間に、スペーサにより所定の距離を保持して封入されている。また、第1基板10および第2基板80には、ポリイミドなどの配向層(図示なし)が設けられ、液晶層19は、この配向層の間に配向されて配置されている。本実施形態では、ノーマリブラックモードの表示とするため、液晶層19は、たとえば、ツイストネマティック型で正の誘電異方性を示す液晶材料を主体として用いて形成されている。
第2基板80には、正面光と背面光とを透過させて着色するカラーフィルタ層91が形成されている。カラーフィルタ層91は、顔料や染料などの着色剤を含有するポリイミド樹脂を用いて形成されている。カラーフィルタ層91は、赤のカラーフィルタ層91Rと、緑のカラーフィルタ層91Bと、青のカラーフィルタ層91Bとの3原色を1組として構成されている。光透過部11と対向する領域においては、それぞれのカラーフィルタ層91は、全領域に対応してオーバーラップするように1μm厚で形成されている。一方、光反射部12の形成領域に対応する第2基板80の領域においては、カラーフィルタ層91が1μmの層厚で形成されている第1領域92と、カラーフィルタ層91が形成されていない第2領域93とにより構成されており、第1領域92と第2領域93とにより段差がある。本実施形態においては、カラーフィルタ層91が形成されていない第2領域93をスリット状に設け、そのスリット幅を28μmとしている。
そして、第2基板11には、光透過性を有し、第1領域92と第2領域93とのカラーフィルタ層91の段差が小さくなるように平坦化する平坦化膜94が形成されている。本実施形態において、平坦化膜94は、光透過部と光反射部の第1領域とに対応する領域では2.5μm厚で形成されており、光反射部の第2領域とに対応する領域では、2.0μm厚となる。平坦化膜94を形成する前は、第1領域92と第2領域93との段差が1.0μmであったのに対して、平坦化膜94を形成後は、第1領域92と第2領域93との段差が0.5μmとなり、第1領域92と第2領域93との段差は小さくなっている。
また、第2基板11には、平坦化層94の上に、ITOの共通電極(図示なし)が形成されている。
一方、第1基板10の1つの画素部内には光透過部11と光反射部12とが並列して形成されており、反射型表示と透過型表示とを可能な併用型として構成されている。
第1基板10の光透過部11は、バックライト(図示なし)の光が透過する領域である。光透過部11には、ITOなどの透明電極(図示なし)が形成されている。
図2は、図1に示す本実施形態の液晶表示装置において、反射部12の部分断面を示す断面図である。
第1基板10の光反射部12は、周囲の光を反射する領域であり、第2基板80側から液晶層19を介して入射する正面光を画素電極61で反射する。
図2に示すように、第1基板1の反射部12には、光透過部の透明電極と光反射部の反射電極61とにより構成される画素電極と接続するスイッチング素子として、半導体素子20であるTFTが形成されている。本実施形態において、半導体素子20であるTFTは、ボトムゲート構造であり、半導体素子20の素子構成層として、ゲート電極21とゲート絶縁膜22と半導体層23とチャネルストッパー層24とを有する。ここで、ゲート電極21は、たとえば、モリブデンを用いて形成されており、ゲート絶縁膜22は、シリコン窒化膜とシリコン酸化膜との積層体を用いて形成されている。また、半導体層23は、たとえば、ポリシリコンを用いて形成されており、ゲート電極21と対応する領域に形成されているチャネル形成領域と、チャネル領域を挟むようにして形成されており、ソースまたはドレインとして機能する一対の不純物拡散領域とを有する。そして、チャネルストッパー層24は、シリコン酸化膜を用いて形成されている。また、さらに、半導体素子20であるTFTと画素電極とを接続するための電極として、ソース電極25Sとドレイン電極25Dとがアルミニウムを用いて形成されている。そして、図2においては図示を省略しているが、TFTのゲート電極21と接続する走査線(図示なし)と、TFTのソース電極25Sと接続する信号線(図示なし)とが直交して形成されている。なお、ドレイン電極25Dは、画素部の画素電極と接続している。
また、第1基板10の光反射部12には、カラーフィルタ層91が形成されていない第2領域93に対応して、層厚差調整層45aが形成されている。層厚差調整層45aは、第1領域92と第2領域93とにおけるカラーフィルタ層91の段差による液晶層19の層厚差を調整して小さくするために、1μm程度の厚さで形成されている。本実施形態においては、平坦化膜94を設けて、カラーフィルタ層の91の第1領域92と第2領域93との間の段差が小さくなっているが、0.5μm程度の段差が残存する。このため、層厚差調整層45aは、反射部61の表面の一部分を底上げして、第1基板10と第2基板80との間隔を調整して、第1領域92と第2領域93とにおける液晶層19の層厚が略同じになるように調整している。
なお、本実施形態において、層厚差調整層45aは、半導体素子20であるTFTと接続している接続電極であるソース電極25Sおよびドレイン電極25Dと同じ工程を経て形成されている。ソース電極25Sとドレイン電極25Dと構成する接続電極構成層であるアルミニウムをソース電極25Sおよびドレイン電極25Dの形成領域に堆積する際に、同様にして、層厚差調整層45aの形成領域にもその接続電極構成層であるアルミニウムを堆積し、その後、ソース電極25Sおよびドレイン電極25Dの形成領域に堆積された接続電極構成層を所定形状にパターン加工する際に、同様にして、層厚差調整層45aの形成領域に堆積された接続電極構成層を所定形状にパターン加工することにより、本実施形態の層厚差調整層45aは形成されている。
また、光反射部12には、拡散反射するように、第1基板10の上に凹凸表面層50が形成されている。凹凸表面層50は、規則的な凹凸形状とすると、光干渉による色つきが発生する場合があるため、不規則であることが好ましい。凹凸表面層50は、第1基板10に柱状凸部となるように形成されており凹凸形状の下地となる凹凸下地層51と、それぞれの凹凸下地層51の間を埋め込んで凹凸形状の上地となる凹凸上地層52とを有する。
そして、凹凸表面層50を覆うようにして反射電極61が設けられている。反射電極61は、ロジウム、チタン、クロム、銀、アルミニウム、クロメルなどの金属膜を用いて形成されており、本実施形態では、特に、反射率が高い銀を用いて形成されている。光透過部11の透明電極と、光反射部12の反射電極61とにより、画素部の画素電極が構成されている。
また、液晶層31が配置されている第1基板1の面に対して他方となる面側には、順次、位相差板、偏光板が設けられ、位相差板、偏光板を介して、背面光を供給するバックライトが設けられている。そして、第2基板11には、画素電極と対向するITOの対向電極が形成されている。液晶層31が配置されている第2基板11の面に対して他方となる面側には、順次、位相差板、偏光板が設けられている。
つぎに、本実施形態の液晶表示装置の製造方法について説明する。図3と図4は、本実施形態の液晶表示装置の製造方法において、第1基板10の光反射部12における製造工程について示す断面図である。
図3(a)に示すように、まず、第1基板1に導電材料であるモリブデンを堆積後、フォトリソグラフィによって所定形状に加工してゲート電極21を形成する。
そして、図3(b)に示すように、ゲート電極21を覆うようにして、シリコン窒化膜とシリコン酸化膜とを全面に堆積してゲート絶縁膜22を形成する。その後、ゲート絶縁膜の上にアモルファスシリコンの半導体層23を堆積する。そして、半導体層23を覆うようにしてシリコン酸化膜を堆積する。その後、半導体層23のチャネル形成領域にシリコン酸化膜をパターン加工して残して、チャネルストッパー層24を形成する。
そして、図3(c)に示すように、フォトリソグラフィによって半導体層23を所定形状にパターン加工した後に、所定の温度で熱処理して、アモルファスシリコンの半導体層23をポリシリコンとする。そして、ソースおよびドレインとなる領域の半導体層23に、自己整合的に不純物をドーピングして、ボトムゲート構造のTFTを形成する。
そして、図3(d)に示すように、TFTを覆うようにして、シリコン酸化膜を堆積して層間絶縁膜31を形成する。その後、層間絶縁膜31にフォトリソグラフィによって、TFTのソースおよびドレイン領域の表面が露出するように、それぞれにコンタクトホールを形成する。
そして、図3(e)に示すように、TFTのソースと接続する接続電極であるソース電極25Sと、TFTのドレインと接続する接続電極であるドレイン電極25dと、層厚差調整層45aとを形成する。ここでは、ソース電極25Sとドレイン電極25Dとを構成する接続電極構成層であるアルミニウムを、ソース電極25Sおよびドレイン電極25Dの形成領域に堆積する際に、その接続電極構成層であるアルミニウムを層厚差調整層45aの形成領域にも堆積する。そして、ソース電極25Sおよびドレイン電極25Dの形成領域に堆積された接続電極構成層であるアルミニウムを所定形状にパターン加工する際に、同様にして、層厚差調整層45aの形成領域に堆積された接続電極構成層であるアルミニウムを所定形状にパターン加工して、本実施形態の層厚差調整層45aを、第2領域93に対応する第1基板10の光反射部12に形成する。
つぎに、図4(a)に示すように、第1基板10の光反射部12の形成領域に、光感光性材料の凹凸下地層51を、TFTと層厚差調整層45aとを覆うようにして所定の厚みで全面に形成する。
そして、図4(b)に示すように、凹凸下地層51が第1基板1の表面にランダムな散点状となるように、凸形状にパターン加工する。
そして、図4(c)に示すように、加熱処理することにより、凸形状にパターン加工された凹凸下地層51の表面形状を変形させて、表面をなだらかな曲面とする。
そして、図4(d)に示すように、凹凸下地層51が形成された第1基板1の表面を覆うように、感光性樹脂材料の凹凸上地層52を所定の厚みで全面に形成する。このようにして、凹凸下地層51と凹凸上地層52とを形成することにより、凹凸形状層50を形成する。その後、ドレイン電極25Dの表面が露出するように、コンタクトホールを形成する。
そして、図4(e)に示すように、コンタクトホールを埋めるようにして凹凸形状層50の表面に銀を堆積してパターン加工することにより、反射電極61を形成する。
その後、図1に示すように、第1基板10の光透過部11に、ITO膜を堆積してパターン加工することにより、透明電極(図示なし)を形成する。ここで、光透過部11の透明電極と光反射部12の反射電極61とは画素電極として、互いが接続するように形成する。
一方、第2基板80には、図1に示すように、カラーフィルタ層91を形成する。第2基板80に、形成するカラーフィルタ層91の原色に応じて顔料や染料が含有されたポリイミドなどの樹脂を1μm厚となるように形成する。そして、光反射部11の形成領域に対応する第2基板80の領域が、カラーフィルタ層91が1μm厚で形成されている第1領域92と、カラーフィルタ層91が形成されていない第2領域93となるように、パターン加工することで、それぞれの原色のカラーフィルタ層91を形成する。本実施形態では、スリット幅が28μm幅となるようにパターン加工して、第2領域93を形成する。
そして、光透過性を有し、第1領域92と第2領域93とのカラーフィルタ層91の段差が小さくなるように平坦化する平坦化膜94を形成する。その後、第1基板10の画素電極と対向する第2基板80の領域に、ITOを堆積して所定形状にパターン加工することにより対向電極(図示なし)を形成する。
そして、画素電極が形成された第1基板10と、対向電極が形成された第2基板80とに配向膜(図示なし)を設け、配向処理を実施する。第1基板10と第2基板80との間にスペーサを設け、シール材を用いて両者を貼り合わせる。そして、第1基板10と第2基板80との間に液晶層19となる液晶を注入して封止し、液晶パネルを形成する。
そして、位相差板、偏光板、バックライト、駆動回路などを配置して液晶表示装置を製造する。
上記の本実施形態においては、液晶層19が配置されている第1基板10の面に対して他方となる面側から入射する背面光は、第1基板10の光透過部11により透過し、第2基板80に形成されているカラーフィルタ層91を透過する。一方、第2基板80側から液晶層19を介して入射する正面光は、カラーフィルタ層91が所定の層厚で形成されている第1領域92と、カラーフィルタ層91が形成されていない第2領域93との少なくとも一方を透過し、第1基板10の光反射部12で反射されて、第2基板80の第1領域92と第2領域93との少なくとも一方を再度透過する。第2基板80の第2領域93はカラーフィルタ層91が形成されていないため、第2領域93を透過した光反射部12の光は、第1領域92のみを2回透過した光反射部12の光よりも輝度が高い。そして、第1領域92と、第1領域92より高い輝度となる第2領域93とを透過した光反射部12の光は加法混色されて表示されるため、反射型表示の際でも透過型表示に近い輝度で表示される。また、本実施形態においては、第2領域93に対応する光反射部12の形成領域に形成されている層厚差調整層45aが、第1領域92と第2領域93とにおけるカラーフィルタ層91の段差による液晶層19の層厚差を小さくして、第1領域92と第2領域93とにおける液晶層のリタデーションの相違を緩和しているため、均一な表示となってコントラストを向上させている。
図5は、本実施形態の液晶表示装置を、液晶層19の層厚に対して影響が大きいノーマリブラックモードにて印加電圧を変えて反射率を測定した結果を示す図である。なお、図5においては、本実施形態の液晶表示装置に対して層厚差調整層45aが形成されていない液晶表示装置を従来例として示している。図5に示すように、本実施形態の液晶表示装置は、電圧無印加時において、従来例より反射率が低くなっており、従来例のコントラストが8程度に対して、本実施形態のコントラストが12程度となって向上している。
また、本実施形態において、第2基板80には、光透過性を有し、第1領域92と第2領域93とのカラーフィルタ層91の段差が小さくなるように平坦化する平坦化膜94が形成されている。平坦化膜94を形成することにより、第1領域92と第2領域93とのカラーフィルタ層91の段差が小さくなっている。このため、層厚差調整層45aと併用することにより、さらに、第1領域92と第2領域93とにおけるカラーフィルタ層91の段差による液晶層19の層厚差を小さくして、第1領域92と第2領域93とにおける液晶層のリタデーションの相違を緩和するため、均一な表示となってコントラストを向上させることができる。
また、本実施形態において、層厚差調整層45aは、半導体素子20であるTFTと接続している接続電極であるソース電極25Sおよびドレイン電極25Dと同じ工程を経て形成されている。ソース電極25Sとドレイン電極25Dと構成する接続電極構成層であるアルミニウムをソース電極25Sおよびドレイン電極25Dの形成領域に堆積する際に、同様にして、層厚差調整層45aの形成領域にもその接続電極構成層であるアルミニウムを堆積し、ソース電極25Sおよびドレイン電極25Dの形成領域に堆積された接続電極構成層を所定形状にパターン加工する際に、同様にして、層厚差調整層45aの形成領域に堆積された接続電極構成層を所定形状にパターン加工することにより、本実施形態の層厚差調整層45aは形成されている。このため、本実施形態は、高い製造効率で製造することができる。
したがって、本実施形態によれば、反射型表示と透過型表示とが併用される併用型の液晶表示装置でのカラー表示において、反射型表示と透過型表示とのそれぞれで高い輝度と高いコントラストとを得て、優れた色再現性を実現し画像品質を向上できる。また、本実施形態によれば、高い製造効率で製造することができる。
<実施形態2>
図6は、実施形態2の液晶表示装置において反射部12の断面部分を示す断面図である。本実施形態の液晶表示装置は、反射部12に複数の層厚差調整層が形成されていることを除いて、図1に示されている実施形態1の併用型の液晶表示装置と同様である。このため、重複する個所については、説明を省略する。
図6に示すように、本実施形態の液晶表示装置において、第1基板10の光反射部12には、カラーフィルタ層91が形成されていない第2領域93に対応して、第1層厚差調整層41、第2層厚差調整層43、第3層厚差調整層44、第4層厚差調整層45bの複数が層厚差調整層として形成されている。各層厚差調整層41,43,44,45bは、実施形態1と同様に、第1領域92と第2領域93とにおけるカラーフィルタ層91の段差による液晶層19の層厚差を調節して小さくするために、各層厚差調整層41,43,44,45bの全体で1μm程度の厚さとなるように形成されており、反射部61の表面の一部分を底上げして第1基板10と第2基板80との間隔を調整して、第1領域92と第2領域93とにおける液晶層19の層厚が略同じになるように調整している。
また、本実施形態において、各層厚差調整層41,43,44,45bは、画素部に形成されている画素電極に接続する半導体素子20であるTFTと、TFTと接続している接続電極であるソース電極25Sおよびドレイン電極25Dと同じ工程を経て形成されている。たとえば、TFTのゲート電極21を構成する素子構成層であるモリブデンをゲート電極21の形成領域に堆積する際に、同様にして、第1層厚差調整層41の形成領域にもその素子構成層であるモリブデンを堆積し、そして、ゲート電極21の形成領域に堆積された素子構成層を所定形状にパターン加工する際に、同様にして、第1層厚差調整層41の形成領域に堆積された素子構成層を所定形状にパターン加工することにより、本実施形態の第1層厚差調整層41は形成されている。その他に、第2層厚差調整層43は、TFTの半導体層23を形成する工程と同様にして形成されており、第3層厚差調整層44は、TFTのチャネルストッパー層24を形成する工程と同様にして形成されている。また、第4層厚差調整層45bは、実施形態1の層厚差調整層45aのように、ソース電極25Sとドレイン電極25DとをTFTの半導体層23に形成する工程と同様に形成されている。
つぎに、本実施形態に係る液晶表示装置の製造方法について説明する。図7は、本実施形態の液晶表示装置の製造方法において、第1基板10の光反射部12における製造工程について示す断面図である。
図7(a)に示すように、まず、第1基板1のゲート電極21の形成領域と、第1層厚差調整層41の形成領域に、ゲート電極21を構成する導電材料であるモリブデンを堆積後、フォトリソグラフィによって所定形状に加工して、ゲート電極21と第1層厚差調整層41とを形成する。ここでは、カラーフィルタ層91が形成されていない第2基板80の第2領域93に対応するように、第1層厚差調整層41を形成する。なお、後述する第2層厚差調整層43、第3層厚差調整層44、第4層厚差調整層45bについても、第1層厚差調整層41と同様に、カラーフィルタ層91が形成されていない第2基板80の第2領域93に対応するようにして形成する。
そして、図7(b)に示すように、ゲート電極21を覆うようにして、シリコン窒化膜とシリコン酸化膜とを堆積してゲート絶縁膜22を全面に形成する。その後、ゲート絶縁膜22の上にアモルファスシリコンの半導体層23を堆積する。この時、第2層厚差調整層43の形成領域にも、アモルファスシリコンの半導体層23を堆積する。そして、半導体層23を覆うようにしてシリコン酸化膜を堆積する。そして、半導体層23のチャネル形成領域にシリコン酸化膜をパターン加工して残して、チャネルストッパー層24を形成する。ここで、チャネルストッパー層24のパターン加工と同様にして、第2層厚差調整層43の形成領域のシリコン酸化膜をパターン加工して、第2層厚差調整層43を形成する。また、さらに、チャネル形成領域を有する半導体層23のパターン加工と同様にして、第3層厚差調整層44の形成領域の半導体層23をフォトリソグラフィによって所定形状にパターン加工し、第2層厚差調整層43の上に第3層厚差調整層44を形成する。その後、所定の温度で熱処理して、アモルファスシリコンの半導体層23をポリシリコンとする。そして、ソースおよびドレインとなる領域の半導体層23に、自己整合的に不純物をドーピングして、ボトムゲート構造のTFTを形成する。
そして、図7(c)に示すように、TFTと第3層厚差調整層44とを覆うようにして、シリコン酸化膜を堆積して層間絶縁膜31を形成する。その後、層間絶縁膜31にフォトリソグラフィによって、TFTのソースとドレインとが露出するようにコンタクトホールを形成する。
そして、図7(d)に示すように、TFTのソースと接続する接続電極であるソース電極25Sと、TFTのドレインと接続する接続電極であるドレイン電極25Dと、第4層厚差調整層45bとをいずれもアルミニウムを用いて形成する。ここでは、ソース電極25Sとドレイン電極25Dとを構成する接続電極構成層であるアルミニウムをソース電極25Sおよびドレイン電極25Dの形成領域に堆積する際に、同様にして、第4層厚差調整層45bの形成領域にもその接続電極構成層であるアルミニウムを堆積する。そして、ソース電極25Sおよびドレイン電極25Dの形成領域に堆積された接続電極構成層であるアルミニウムを所定形状にパターン加工する際に、同様にして、第4層厚差調整層45bの形成領域に堆積された接続電極構成層であるアルミニウムを所定形状にパターン加工して、第4層厚差調整層45bを第3層厚差調整層の上に形成する。
つぎに、実施形態1と同様にして、第1基板10の光反射部12の形成領域に、凹凸下地層51と凹凸下地層52とを有する凹凸形状層50と、反射電極61とを形成する。そして、実施形態1と同様にして、第1基板10の光透過部11に、ITO膜を堆積してパターン加工することにより、透明電極(図示なし)を形成する。
また、実施形態1と同様にして、第2基板80に、カラーフィルタ層91と平坦化膜94とを形成する。そして、第1基板10と、第2基板80とに配向膜(図示なし)を設けて、配向処理を実施後、貼り合わせる。そして、第1基板10と第2基板80との間に液晶層19となる液晶を注入して封止し、液晶パネルを形成する。
そして、位相差板、偏光板、バックライト、駆動回路などを配置して液晶表示装置を製造する。
上記の本実施形態においては、実施形態1と同様に、光反射部12への入射光は、第2基板80の第1領域92と第2領域93とにより加法混色されて表示されるため、反射型表示の際でも透過型表示に近い輝度で表示される。そして、第2領域93に対応する光反射部12の形成領域に形成されている各層厚差調整層41,43,44,45bが、第1領域92と第2領域93とにおけるカラーフィルタ層91の段差による液晶層19の層厚差を小さくして、第1領域92と第2領域93とにおける液晶層のリタデーションの相違を緩和しているため、均一な表示となってコントラストを向上させている。
また、本実施形態において、各層厚差調整層41,43,44,45bは、画素部に形成されている画素電極に接続する半導体素子20であるTFTと、TFTと接続している接続電極であるソース電極25Sおよびドレイン電極25Dと同じ工程を経て形成されている。このため、本実施形態は、高い製造効率で製造することができる。
したがって、本実施形態によれば、反射型表示と透過型表示とが併用される併用型の液晶表示装置でのカラー表示において、反射型表示と透過型表示とのそれぞれで高い輝度と高いコントラストとを得て、優れた色再現性を実現し画像品質を向上できる。また、本実施形態によれば、高い製造効率で製造することができる。
<実施形態3>
図8は、実施形態3の液晶表示装置において反射部12の断面部分を示す断面図である。本実施形態の液晶表示装置は、反射部12に感光性樹脂を用いた層厚差調整層46が形成されていることを除いて、図1に示されている実施形態1の併用型の液晶表示装置と同様である。このため、重複する個所については、説明を省略する。
図8に示すように、本実施形態の液晶表示装置において、第1基板10の光反射部12には、カラーフィルタ層91が形成されていない第2領域93に対応して、感光性樹脂を用いた層厚差調整層46が形成されている。層厚差調整層46は、実施形態1と同様に、第1領域92と第2領域93とにおけるカラーフィルタ層91の段差による液晶層19の層厚差を調整して小さくするために、1μm程度の厚さとなるように形成されており、反射部61の表面の一部分を底上げして第1基板10と第2基板80との間隔を調整して、第1領域92と第2領域93とにおける液晶層19の層厚が略同じになるように調整している。
つぎに、本実施形態に係る液晶表示装置の製造方法について説明する。図9は、本実施形態の液晶表示装置の製造方法において、第1基板10の光反射部12における製造工程について示す断面図である。
本実施形態では、実施形態1における図3(d)までの工程と同様にして、TFTを形成後、TFTを覆うようにして、シリコン酸化膜を堆積して層間絶縁膜31を形成する。その後、層間絶縁膜31にフォトリソグラフィによって、TFTのソースとドレインとが露出するようにコンタクトホールを形成する。
そして、図9(a)に示すように、TFTのソースと接続する接続電極であるソース電極25Sと、TFTのドレインと接続する接続電極であるドレイン電極25Dとを実施形態1と同様にして、アルミニウムを用いて形成する。
そして、図9(b)に示すように、第1基板10の全面に光感光性樹脂層を所定の厚みで形成後、カラーフィルタ層91が形成されていない第2基板80の第2領域93に対応するように、層厚差調整層46をフォトリソグラフィにより形成する。
つぎに、実施形態1と同様にして、第1基板10の光反射部12の形成領域に、凹凸下地層51と凹凸下地層52とを有する凹凸形状層50と、反射電極61とを形成する。そして、実施形態1と同様にして、第1基板10の光透過部11に、ITO膜を堆積してパターン加工することにより、透明電極(図示なし)を形成する。
また、実施形態1と同様にして、第2基板80に、カラーフィルタ層91と平坦化膜94とを形成する。そして、第1基板10と、第2基板80とに配向膜(図示なし)を設けて、配向処理を実施後、貼り合わせる。そして、第1基板10と第2基板80との間に液晶層19となる液晶を注入して封止し、液晶パネルを形成する。
そして、位相差板、偏光板、バックライト、駆動回路などを配置して液晶表示装置を製造する。
上記の本実施形態においては、実施形態1と同様に、光反射部12への入射光は、第2基板80の第1領域92と第2領域93とにより加法混色されて表示されるため、反射型表示の際でも透過型表示に近い輝度で表示される。そして、第2領域93に対応する光反射部12の形成領域に形成されている層厚差調整層46が、第1領域92と第2領域93とにおけるカラーフィルタ層91の段差による液晶層19の層厚差を小さくして、第1領域92と第2領域93とにおける液晶層のリタデーションの相違を緩和しているため、均一な表示となってコントラストを向上させている。
また、本実施形態において、層厚差調整層46は、感光性樹脂を用いてフォトリソグラフィにより簡便な方法で形成されている。このため、本実施形態は、高い製造効率で製造することができる。
したがって、本実施形態によれば、反射型表示と透過型表示とが併用される併用型の液晶表示装置でのカラー表示において、反射型表示と透過型表示とのそれぞれで高い輝度と高いコントラストとを得て、優れた色再現性を実現し画像品質を向上できる。また、本実施形態によれば、高い製造効率で製造することができる。
<実施形態4>
図10は、実施形態4の液晶表示装置の構成を示す構成図である。図10においては、図10(a)が第1基板10の表面の平面図を示しており、第2基板80に形成されるカラーフィルタ層を点線で示している。また、図10(b)は、図10(a)のX1−X2線部分における液晶表示装置の画素部の断面図である。
本実施形態の液晶表示装置は、実施形態1の液晶表示装置と異なり、光反射部の形成領域に対応する第2基板の領域には、カラーフィルタ層が所定の層厚で形成されている第1領域と、カラーフィルタ層が形成されていない第2領域とが構成されず、平坦化膜も形成されていない。また、第1基板には、層厚差調整層が形成されていない。これらに変わって、本実施形態においては、カラーフィルタ層97が、光透過部11と対応する領域に所定の色濃度で形成されている第1カラーフィルタ層95と、光反射部12と対応する領域に第1カラーフィルタ層95と略同じ層厚で形成されており、第1カラーフィルタ層95よりも薄い色濃度で形成されている第2カラーフィルタ層96とを有している。以上の相違点を除き、本実施形態は、実施形態1と同様である。このため、重複する個所については、説明を省略する。
図10に示すように、本実施形態の液晶表示装置は、第1基板10と、第2基板80と、液晶層19と有する。第1基板10と間隔を隔てて第2基板80が対向しており、第1基板10と第2基板80との間に挟まれて液晶層19が配置されている。
第2基板80には、正面光と背面光とを透過させて着色するカラーフィルタ層97が形成されている。本実施形態のカラーフィルタ層97は、光透過部11と対応する領域に所定の色濃度で形成されている第1カラーフィルタ層95と、光反射部12と対応する領域に第1カラーフィルタ層95と略同じ層厚で形成されており、第1カラーフィルタ層95よりも薄い色濃度で形成されている第2カラーフィルタ層96とを有している。ここで、第1カラーフィルタ層95は、第2カラーフィルタ層96に対して略2倍の色濃度となるように形成されている。
カラーフィルタ層97は、赤、緑、青の3原色を1組として構成されており、赤のカラーフィルタ層97Rの場合は、赤が濃い色濃度の第1カラーフィルタ層95Rと、赤が薄い色濃度の第2カラーフィルタ層96Rとを有している。また、緑のカラーフィルタ層97Gの場合は、緑が濃い色濃度の第1カラーフィルタ層95Gと、緑が薄い色濃度の第2カラーフィルタ層96Gとを有している。そして、青のカラーフィルタ層97Bの場合は、青が濃い色濃度の第1カラーフィルタ層95Bと、青が薄い色濃度の第2カラーフィルタ層96Bとを有している。それぞれのカラーフィルタ層97は、顔料や染料などの着色剤を含有するポリイミドなどの樹脂からなり、全領域に対応してオーバーラップするように1μm厚で形成されている。
そして、第2基板11には、カラーフィルタ層97の上に、ITOの共通電極(図示なし)が形成されている。
一方、第1基板10には、実施形態1と同様に、光透過部11と光反射部12とが並列して1つの画素部として形成されており、反射型表示と透過型表示とを可能な併用型として構成されている。
つぎに、本実施形態に係る液晶表示装置の製造方法について説明する。図11は、本実施形態の液晶表示装置の製造方法において、第2基板80のカラーフィルタ層97の製造工程について示す断面図であり、図10のY1−Y2線部分を示している。
図11(a)に示すように、第2基板80の全面に、酸化クロムを成膜して黒色のメタルブラック層90を形成する。
そして、図11(b)に示すように、メタルブラック層90をカラーフィルタ層97の形成領域を囲うようにしてパターン加工し、第1基板10の光透過部11と対応する領域であって、赤のカラーフィルタ層97Rを形成する領域に、赤の第1カラーフィルタ層95Rをパターン加工して形成する。
そして、図11(b)に示すように、第1基板10の光反射部12と対応する領域であって、赤のカラーフィルタ層97Rを形成する領域に、赤の第1カラーフィルタ層95Rよりも薄い色濃度で、赤の第1カラーフィルタ層95Rと略同じ層厚となるように、赤の第2カラーフィルタ層96Rをパターン加工して形成する。ここで、赤の第2カラーフィルタ層96Rは、赤の第1カラーフィルタ層95Rに対して略半分の色濃度となるように形成する。
そして、図11(c)に示すように、第1基板10の光透過部11と対応する領域であって、緑のカラーフィルタ層97Gを形成する領域に、緑の第1カラーフィルタ層95Gをパターン加工して形成する。
そして、図11(d)に示すように、第1基板10の光反射部12と対応する領域であって、緑のカラーフィルタ層97Gを形成する領域に、緑の第1カラーフィルタ層95Gよりも薄い色濃度で、緑の第1カラーフィルタ層95Gと略同じ層厚となるように、緑の第2カラーフィルタ層96Gをパターン加工して形成する。ここで、緑の第2カラーフィルタ層96Gは、緑の第1カラーフィルタ層95Gに対して略半分の色濃度となるように形成する。
そして、図11(e)に示すように、第1基板10の光透過部11と対応する領域であって、青のカラーフィルタ層97Bを形成する領域に、青の第1カラーフィルタ層95Bをパターン加工して形成する。
そして、図11(f)に示すように、第1基板10の光反射部12と対応する領域であって、青のカラーフィルタ層97Bを形成する領域に、青の第1カラーフィルタ層95Bよりも薄い色濃度で、青の第1カラーフィルタ層95Bと略同じ層厚となるように、青の第2カラーフィルタ層96Bをパターン加工して形成する。ここで、青の第2カラーフィルタ層96Bは、青の第1カラーフィルタ層95Bに対して略半分の色濃度となるように形成する。以上のようにして、カラーフィルタ層97を形成する。
カラーフィルタ層97を形成後、対向電極となるITO膜を形成する。
第1基板10側については、層厚差調整層を形成しないことを除いて、半導体素子と光透過部と光反射部とを、実施形態1と同様にして形成する。
そして、第1基板10と、第2基板80とに配向膜(図示なし)を設けて、配向処理を実施後、貼り合わせる。そして、第1基板10と第2基板80との間に液晶層19となる液晶を注入して封止し、液晶パネルを形成する。
そして、位相差板、偏光板、バックライト、駆動回路などを配置して液晶表示装置を製造する。
以上の本実施形態によれば、第2基板80に形成されているカラーフィルタ層97は、光透過部11と対応する領域に所定の色濃度で形成されている第1カラーフィルタ層95と、光反射部12と対応する領域に第1カラーフィルタ層95と略同じ層厚で形成されており、第1カラーフィルタ層95よりも薄い色濃度で形成されている第2カラーフィルタ層96とを有している。光透過部11に入射する光は、第1カラーフィルタ層95を透過し、一方、光反射部12に入射する光は、第2カラーフィルタ層96を透過した後に、光反射部12で反射されて、第2カラーフィルタ層96を再度透過する。ここで、第2カラーフィルタ層96は、第1カラーフィルタ層と略同じ層厚であって、第1カラーフィルタ層よりも薄い色濃度で形成されているため、反射型表示と透過型表示とは互いが近い輝度を得る。
また、本実施形態では、第1カラーフィルタ層95は、第2カラーフィルタ層96に対して略2倍の色濃度となるように形成されている。上述したように、光透過部11に入射する光は、第1カラーフィルタ層95を1回透過し、一方、光反射部12に入射する光は、第2カラーフィルタ層96を2回透過する。このため、光透過部11に入射する光と、光反射部12に入射する光とは、互いが略同じ色濃度に着色されるため、反射型表示と透過型表示とは均一な表示となってコントラストが向上し、互いが近い色再現性を得る。
したがって、本実施形態によれば、反射型表示と透過型表示とが併用される併用型の液晶表示装置でのカラー表示において、反射型表示と透過型表示とのそれぞれで高い輝度と高いコントラストとを得て、優れた色再現性を実現し画像品質を向上できる。
<実施形態5>
図12は、実施形態5の液晶表示装置の構成を示す構成図である。図12においては、図12(a)が第1基板10の表面の平面図を示しており、第2基板80に形成されるカラーフィルタ層を点線で示している。また、図12(b)は、図12(a)のX1−X2線部分における液晶表示装置の画素部の断面図である。
本実施形態の液晶表示装置は、実施形態1の液晶表示装置と異なり、第1基板には、層厚差調整層が、第2領域に対応する光反射部の形成領域に形成されていない。本実施形態は、層厚差調整層が形成されていないことを除き、実施形態1と同様である。このため、重複する個所については、説明を省略する。
図12に示すように、本実施形態の液晶表示装置において、第2基板80には、実施形態1と同様に、赤のカラーフィルタ層91Rと、緑のカラーフィルタ層91Bと、青のカラーフィルタ層91Bとの3原色を1組として構成されているカラーフィルタ層91が形成されている。ここで、光反射部12の形成領域に対応する第2基板80の領域は、カラーフィルタ層91が所定の層厚で形成されている第1領域92と、カラーフィルタ層91が形成されていない第2領域93とにより構成されており、第1領域92と第2領域93とにより段差がある。そして、第2基板11には、光透過性を有し、第1領域92と第2領域93とのカラーフィルタ層91の段差が小さくなるように平坦化する平坦化膜94が形成されている。
つぎに、本実施形態の液晶表示装置の製造方法について説明する。
本実施形態では、実施形態1と同様にして、TFTを形成後、凹凸形状層50と反射電極61とを形成する。そして、実施形態1と同様にして、第1基板10の光透過部11に、ITO膜を堆積してパターン加工することにより、透明電極(図示なし)を形成する。
また、実施形態1と同様にして、第2基板80に、カラーフィルタ層91と平坦化膜94とを形成する。そして、第1基板10と、第2基板80とに配向膜(図示なし)を設けて、配向処理を実施後、貼り合わせる。そして、第1基板10と第2基板80との間に液晶層19となる液晶を注入して封止し、液晶パネルを形成する。
そして、位相差板、偏光板、バックライト、駆動回路などを配置して液晶表示装置を製造する。
上記の本実施形態においては、実施形態1と同様に、光反射部12への入射光は、第2基板80の第1領域92と第2領域93とにより加法混色されて表示されるため、反射型表示の際でも透過型表示に近い輝度で表示される。また、本実施形態においては、平坦化膜94を形成することによって、第1領域と第2領域とにおけるカラーフィルタ層91の段差による液晶層19の層厚差を調整している。このため、第1領域と第2領域とにおける液晶層のリタデーションの相違を緩和することができるため、均一な表示となってコントラストを向上させることができる。
したがって、本実施形態によれば、反射型表示と透過型表示とが併用される併用型の液晶表示装置でのカラー表示において、反射型表示と透過型表示とのそれぞれので高い輝度と高いコントラストとを得て、優れた色再現性を実現し画像品質を向上できる。
なお、本発明の実施に際しては、上記の実施形態に限定されるものではなく、種々の変形形態を採用することできる。
また、たとえば、上記の実施形態においては、正面光を拡散反射させるために、反射部が凹凸形状の表面となるように形成されているが、平坦な表面として直接反射するように形成されていても、同様の効果を得ることができる。
また、たとえば、上記の実施形態においては、反射部で拡散反射するために、凹凸下地層と凹凸上地層との2層を用いて凹凸形状層を形成しているが、光感光性膜を1層形成して、その光感光性膜に対してハーフトーン露光することにより表面に凹凸形状を設けて凹凸形状層を形成してもよい。
また、たとえば、上記の実施形態においては、液晶表示モードとしてノーマリブラックモードでの場合について示しているが、電解複屈折制御(ECB:electrically controlled birefringence)モードの場合においても、同様に顕著な効果を得ることができる。
また、たとえば、上記の実施形態1,2,3においては、第2基板のカラーフィルタ層に平坦化膜を形成しているが、平坦化膜を形成しない場合であって、同様な効果を得ることができる。
本発明に係る実施形態1の液晶表示装置の構成を示す構成図である。 本発明に係る実施形態1の液晶表示装置において、反射部の部分断面を示す断面図である。 本発明に係る実施形態1の液晶表示装置の製造方法において、第1基板の光反射部における製造工程について示す断面図である。 本発明に係る実施形態1の液晶表示装置の製造方法において、図3に続いて、第1基板の光反射部における製造工程について示す断面図である。 本発明に係る実施形態1の液晶表示装置において、ノーマリブラックモードにて印加電圧を変えて反射率を測定した結果を示す図である。 本発明に係る実施形態2の液晶表示装置において、反射部の部分断面を示す断面図である。 本発明に係る実施形態2の液晶表示装置の製造方法において、第1基板の光反射部における製造工程について示す断面図である。 本発明に係る実施形態2の液晶表示装置において、反射部の部分断面を示す断面図である。 本発明に係る実施形態2の液晶表示装置の製造方法において、第1基板の光反射部における製造工程について示す断面図である。 本発明に係る実施形態4の液晶表示装置の構成を示す構成図である。 本発明に係る実施形態4の液晶表示装置の製造方法において、第2基板のカラーフィルタ層の製造工程について示す断面図である。 本発明に係る実施形態5の液晶表示装置の構成を示す構成図である。 従来の併用型の液晶表示装置の構成を示す構成図である。 従来において、光反射部と光透過部との両方で画像品質の向上を実現させるために提案された併用型の液晶表示装置の構成を示す構成図である。
符号の説明
10…第1基板、11…光透過部、12…光反射部、19…液晶層、20…半導体素子、41,43,44,45a,45b,46…層厚差調整層、80…第2基板、90,91,97…カラーフィルタ層、92…第1領域、93…第2領域、94…平坦化膜、95…第1カラーフィルタ層、96…第2カラーフィルタ層

Claims (2)

  1. 画素部に光透過部と光反射部とが形成されている第1基板と、前記第1基板と間隔を隔てて対向しており、前記光透過部と前記光反射部との形成領域に対応してカラーフィルタ層が形成されている第2基板と、前記第1基板と前記第2基板との間に配置されている液晶層とを具備し、前記光反射部の形成領域に対応する前記第2基板の領域が、前記カラーフィルタ層が所定の層厚で形成されている第1領域と、前記カラーフィルタ層が形成されていない第2領域とを含む液晶表示装置を製造する製造工程を有し、
    当該液晶表示装置を製造する製造工程は、
    前記第1領域と前記第2領域とにおける前記カラーフィルタ層の段差による前記液晶層の層厚差を調整する層厚差調整層を、前記第1基板の前記光反射部にて前記第2領域に対応する部分に形成する層厚差調整層形成工程と
    前記画素部に形成されている画素電極と接続する接続電極を前記第1基板に形成する接続電極形成工程と
    を含み、
    前記接続電極形成工程は、
    前記接続電極を構成する接続電極構成層を前記接続電極の形成領域に堆積する接続電極構成層堆積ステップと、
    前記接続電極の形成領域に堆積された前記接続電極構成層をパターン加工して前記接続電極を形成する接続電極構成層パターン加工ステップと
    を含み、
    前記層厚差調整層形成工程においては、
    前記接続電極構成層堆積ステップの際に、前記層厚差調整層の形成領域にも前記接続電極構成層を堆積した後に、
    接続電極構成層パターン加工ステップの際に、前記層厚差調整層の形成領域に堆積された前記接続電極構成層についてパターン加工することによって、前記層厚差調整層を形成する、
    液晶表示装置の製造方法。
  2. 前記第1領域と前記第2領域とにおける前記カラーフィルタ層の段差が小さくなるように平坦化する光透過性の平坦化膜を、前記第2基板に形成する工程
    を有する、
    請求項1に記載の液晶表示装置の製造方法。
JP2003320105A 2003-09-11 2003-09-11 液晶表示装置およびその製造方法 Expired - Fee Related JP4461748B2 (ja)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003320105A JP4461748B2 (ja) 2003-09-11 2003-09-11 液晶表示装置およびその製造方法
KR1020067004906A KR101067574B1 (ko) 2003-09-11 2004-09-09 액정 표시 장치의 제조 방법
EP04787781A EP1666960B1 (en) 2003-09-11 2004-09-09 Manufacturing method of liquid crystal display device
PCT/JP2004/013117 WO2005026831A1 (ja) 2003-09-11 2004-09-09 液晶表示装置およびその製造方法
CNB2004800310163A CN100468176C (zh) 2003-09-11 2004-09-09 液晶显示装置及其制造方法
US10/571,178 US7532276B2 (en) 2003-09-11 2004-09-09 Liquid crystal display device and method for producing the same
TW093127357A TWI255557B (en) 2003-09-11 2004-09-10 Liquid crystal display device and manufacturing method thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003320105A JP4461748B2 (ja) 2003-09-11 2003-09-11 液晶表示装置およびその製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2005084644A JP2005084644A (ja) 2005-03-31
JP4461748B2 true JP4461748B2 (ja) 2010-05-12

Family

ID=34308595

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003320105A Expired - Fee Related JP4461748B2 (ja) 2003-09-11 2003-09-11 液晶表示装置およびその製造方法

Country Status (7)

Country Link
US (1) US7532276B2 (ja)
EP (1) EP1666960B1 (ja)
JP (1) JP4461748B2 (ja)
KR (1) KR101067574B1 (ja)
CN (1) CN100468176C (ja)
TW (1) TWI255557B (ja)
WO (1) WO2005026831A1 (ja)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100752214B1 (ko) * 2003-10-16 2007-08-28 엘지.필립스 엘시디 주식회사 반투과형 액정표시소자의 제조방법
KR101197223B1 (ko) * 2005-09-09 2012-11-02 엘지디스플레이 주식회사 반사투과형 액정표시장치용 어레이 기판 및 그 제조방법
KR101219042B1 (ko) 2005-12-06 2013-01-07 삼성디스플레이 주식회사 반투과형 액정 표시 장치
BRPI0706769B1 (pt) 2006-06-29 2020-11-10 Lg Electronics Inc. dispositivo para fabricar gelo para uma geladeira
US8587754B2 (en) * 2009-06-30 2013-11-19 Samsung Display Co., Ltd. Liquid crystal display and method of manufacturing the same
KR102534107B1 (ko) * 2016-03-24 2023-05-19 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
CN110738925B (zh) * 2019-10-11 2021-08-13 Oppo广东移动通信有限公司 显示屏模组及具有其的电子装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4398602B2 (ja) * 2001-05-18 2010-01-13 株式会社日立製作所 液晶表示装置
KR100736630B1 (ko) 2001-06-26 2007-07-06 엘지.필립스 엘시디 주식회사 반투과형 액정표시장치용 컬러필터
JP3642325B2 (ja) * 2001-09-27 2005-04-27 セイコーエプソン株式会社 液晶表示パネル用基板、液晶表示パネル、液晶表示パネル用基板の製造方法、液晶表示パネルの製造方法、及び電子機器
JP4244582B2 (ja) * 2001-09-27 2009-03-25 セイコーエプソン株式会社 液晶表示パネル及び電子機器
JP4050119B2 (ja) * 2001-10-02 2008-02-20 シャープ株式会社 液晶表示装置

Also Published As

Publication number Publication date
EP1666960B1 (en) 2012-02-08
TWI255557B (en) 2006-05-21
US7532276B2 (en) 2009-05-12
EP1666960A1 (en) 2006-06-07
EP1666960A4 (en) 2009-02-25
KR20060128834A (ko) 2006-12-14
CN100468176C (zh) 2009-03-11
CN1871544A (zh) 2006-11-29
WO2005026831A1 (ja) 2005-03-24
TW200532921A (en) 2005-10-01
JP2005084644A (ja) 2005-03-31
US20070040968A1 (en) 2007-02-22
KR101067574B1 (ko) 2011-09-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4050119B2 (ja) 液晶表示装置
JP3326794B2 (ja) 液晶装置及び電子機器
TW584766B (en) Liquid crystal display device
JP2005173037A (ja) 液晶表示装置及びその製造方法
KR100656695B1 (ko) 투과반사형 액정 표시장치
JP4810796B2 (ja) 液晶表示装置およびその製造方法
KR20070072020A (ko) 반사투과형 액정표시장치 및 그 제조방법
JP4461748B2 (ja) 液晶表示装置およびその製造方法
JP2009139853A (ja) 液晶表示装置
KR101125248B1 (ko) 반투과형 컬러필터 기판 및 그 제조방법
TWI326785B (ja)
CN113391485A (zh) 阵列基板及制作方法、显示面板
JP2001042317A (ja) 半透過反射型及び反射型液晶装置並びにこれらを用いた電子機器
JP4086890B2 (ja) 液晶表示装置の製造方法
JP2000137243A (ja) 液晶表示装置
JP4474926B2 (ja) 表示装置の製造方法
KR20030024596A (ko) 액정 표시 장치 및 전자기기
KR100310697B1 (ko) 반사형 칼라 액정 표시소자
JP5079863B2 (ja) 液晶表示装置およびその製造方法
JP4018911B2 (ja) 半透過型カラー液晶表示素子
JP4688851B2 (ja) 液晶表示装置
JP2008046222A (ja) 液晶表示装置
CN117666208A (zh) 显示面板、制备方法及显示装置
JP2004361633A (ja) 液晶表示装置
JP4582113B2 (ja) 液晶装置及び電子機器

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060508

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20091027

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20091209

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20100126

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20100208

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130226

Year of fee payment: 3

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 4461748

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130226

Year of fee payment: 3

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130226

Year of fee payment: 3

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130226

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140226

Year of fee payment: 4

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees