JP2005201762A - リチウム漏洩検出装置およびリチウム漏洩検出方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】リチウム漏洩検出装置は、各構成機器の制御とデータ処理を行うコントローラ1と、照射手段としてのパルスレーザー発振器2と、検出手段としてのプラズマからの発光を分光する分光器3および検出器4により構成され、パルスレーザー発振器2より発振したレーザー光5をミラー6により反射してレンズ7により漏洩検知したい範囲をカバーできる大きさにビーム径を調整して試料(対象物)8に照射する。このとき、試料8表面のレーザー照射位置において発生する表面付着物質のプラズマ9の発光をレンズ10により集光してファイバー11へ入射して、ファイバー11により伝送した光を分光器3により分光して検出器4により測定する。
【選択図】 図1
Description
武藤義一他編「分析機器要覧」化学新聞社1980年9月第55頁 武藤義一他編「分析機器要覧」化学新聞社1980年9月第113頁
2 パルスレーザー発振器(照射手段)
3 分光器(検出手段)
4 検出器(検出手段)
5 レーザー光
6 ミラー
7 集光レンズ
8 試料(対象物)
9 ブレイクダウンプラズマ
10 蛍光集光レンズ
11 光ファイバー
12a,12b 試料運搬装置
13 試料移動装置
14 測定台
15 表示装置
16 不良品集積場所
17 干渉フィルター
18 干渉フィルター
19 検出器(検出手段)
20 検出器(検出手段)
21 集光レンズ
22 ハーフミラー
23 ミラー
24a、24b シリンドリカルレンズ
25a、25b ビーム拡大用レンズ
26 レンズアレイ
27 集光レンズ
28a,28b,28c 小レンズ
29a,29b ビーム拡大用レンズ
30 ミラー
31 レンズアレイ
32 ダイクロイックミラー
33 集光レンズ
34 光ファイバー
35 集光レンズ
36 駆動装置
37 集光レンズ
38 集光レンズ
39 蒸発物質
40 プラズマ
41 減圧容器
42 排気装置
43 容器
44 排気装置
45 ガスボンベ
46 バルブ
Claims (9)
- 対象物の表面にパルスレーザー光を照射することにより該表面の付着物をプラズマ化する照射手段と、生成したプラズマからの発光を分光してリチウム固有の蛍光を検出することによりリチウムおよびリチウム化合物の漏洩を検出する検出手段とを備えたことを特徴とするリチウム漏洩検出装置。
- 前記照射手段から照射されたパルスレーザー光の試料表面におけるエネルギー密度が、1MW/cm2以上1GW/cm2以下であることを特徴とする請求項1記載のリチウム漏洩検出装置。
- 前記対象物の形状に応じて、前記照射手段からのパルスレーザー光をシート状に整形して照射するシリンドリカルレンズを備えたことを特徴とする請求項1記載のリチウム漏洩検出装置。
- 平行に並べられたレンズアレイを備え、前記照射手段からのパルスレーザー光を光軸の異なる複数のレーザー光線に分離し、分離されたレーザー光線を対象物表面の所定の範囲内に集光させる集光光学系を備えたことを特徴とする請求項1記載のリチウム漏洩検出装置。
- 前記照射手段からのパルスレーザー光と前記プラズマからの発光を伝送する光ファイバーを備えたことを特徴とする請求項1記載のリチウム漏洩検出装置。
- 前記照射手段からのパルスレーザー光を対象物表面より上方に集光するように集光照射し、該集光点にて発生したプラズマからの発光を分光してリチウム固有の蛍光を検出する請求項1記載のリチウム漏洩検出装置。
- 前記対象物の表面あるいは前記対象物の上方にて生成した付着物プラズマからの発光を分光する際に、前記検出手段によりリチウムの蛍光とリチウム化合物に含まれる他の成分元素からの蛍光の両方を抽出して検出することを特徴とする請求項1記載のリチウム漏洩検出装置。
- 前記対象物の表面あるいは前記対象物の上方にて生成した付着物プラズマからの発光を分光する際に、リチウム原子とイオンの蛍光波長のうち、2つ以上の波長をモニターして前記検出手段により検出することを特徴とする請求項1記載のリチウム漏洩検出装置。
- 対象物の表面にパルスレーザー光を照射することにより該表面の付着物をプラズマ化し、生成したプラズマからの発光を分光してリチウム固有の蛍光を検出することにより、リチウムおよびリチウム化合物の漏洩を検出することを特徴とするリチウム漏洩検出方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004008104A JP4176024B2 (ja) | 2004-01-15 | 2004-01-15 | リチウム漏洩検出装置およびリチウム漏洩検出方法 |
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Publications (2)
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JP2005201762A true JP2005201762A (ja) | 2005-07-28 |
JP4176024B2 JP4176024B2 (ja) | 2008-11-05 |
Family
ID=34821568
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---|---|---|---|
JP2004008104A Expired - Fee Related JP4176024B2 (ja) | 2004-01-15 | 2004-01-15 | リチウム漏洩検出装置およびリチウム漏洩検出方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4176024B2 (ja) |
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