JP2005192388A - 超音波振動素子及びそれを用いた超音波アクチュエータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】超音波振動素子40の提供による。超音波振動素子40は、交互に積層をされた圧電層44と電極層48,49とを有し、圧電横効果に基づく変位によって共振周波数近傍の振動を励振する圧電素子である。超音波振動素子40は、直方体状を呈する駆動体41で構成され、その駆動体41が、振動発生部46と端子電極部47とを有し、端子電極部47は、直方体状を呈する駆動体41の一の端面の側に設けられ、振動発生部46において、電極層48,49が圧電層44の全面に積層をされ、端子電極部47において、一対の外部電極58,59が一の端面に備わり、複数の電極層48,49が、概ね1層おきに、一対の外部電極58,59と、それぞれ導通をしている。
【選択図】図4
Description
Claims (11)
- 交互に積層をされた、圧電材料からなる複数の圧電層と、導電材料からなる複数の電極層と、を有するとともに、直方体状を呈する駆動体で構成され、その直方体状を呈する駆動体の長手方向の圧電横効果に基づく変位によって共振周波数近傍の振動を励振する圧電素子であって、
前記駆動体は、振動発生部と端子電極部とを有し、前記端子電極部は、前記直方体状を呈する駆動体の一の端面の側に設けられ、
前記振動発生部において、前記電極層が前記圧電層の全面に積層をされ、
前記端子電極部において、一対の外部電極が前記一の端面に備わり、前記複数の電極層が、略1層おきに、前記一対の外部電極の何れかと導通をしている超音波振動素子。 - 前記端子電極部において、前記電極層が前記圧電層の片面に積層をされている請求項1に記載の超音波振動素子。
- 前記複数の電極層のうち一の電極層が、
前記一の端面の一の部分において、端部を前記圧電層から露出させ前記一対の外部電極の一方と導通をするとともに、前記一の端面の一の部分以外において、端部を前記圧電層に埋設させ前記一対の外部電極の他方と絶縁し、
前記複数の電極層のうち前記一の電極層から略1層おいた他の電極層が、
前記一の端面の前記一の部分と離れた他の部分において、端部を前記圧電層から露出させ前記一対の外部電極の他方と導通をするとともに、前記一の端面の他の部分以外において、端部を前記圧電層に埋設させ前記一対の外部電極の一方と絶縁している請求項1又は2に記載の超音波振動素子。 - 前記直方体状を呈する駆動体の長手方向に直交する2つの短手方向のうち、その一の短手方向にあたる前記圧電層の積層方向にかかる圧電縦効果に基づく共振周波数と、他の短手方向にあたる前記圧電層の幅方向にかかる圧電横効果に基づく共振周波数とが、等しくなるように調整されている請求項1〜3の何れか一項に記載の超音波振動素子。
- 前記端子電極部が設けられる側にある駆動体の一の端面が、前記駆動体の変位の方向にかかる両端面のうち何れか一方の端面である請求項1〜4の何れか一項に記載の超音波振動素子。
- 前記直方体状を呈する駆動体が2つ備わり、当該2つの駆動体が、前記一の端面を接合させ、前記端子電極部を共有し、焼成一体化されている請求項1〜5の何れか一項に記載の超音波振動素子。
- 圧電層と前記圧電層を挟んで設けられる少なくとも一対の電極層とを有し機械的振動に起因して前記圧電層に発生する電気信号を前記一対の電極層で検出する振動検出部を備える請求項1〜6の何れか一項に記載の超音波振動素子。
- 交互に積層をされた、圧電材料からなる複数の圧電層と、導電材料からなる複数の電極層と、を有するとともに、直方体状を呈する駆動体で構成され、その直方体状を呈する駆動体の長手方向の圧電横効果に基づく変位によって共振周波数近傍の振動を励振する圧電素子であって、前記駆動体は、一の端子電極部と二の振動発生部とを有し、前記一の端子電極部は、前記直方体状を呈する駆動体の略中央に設けられ、前記二の振動発生部は、前記変位の方向にかかる前記端子電極部の両側に設けられ、
前記振動発生部において、前記電極層が前記圧電層の全面に積層をされ、
前記端子電極部において、前記電極層が前記圧電層の片面に積層をされるとともに、前記変位の方向に平行な端面に一対の外部電極が備わり、前記複数の電極層が、略1層おきに、前記一対の外部電極の何れかと導通をしている超音波振動素子。 - 弾性体と、請求項1〜7の何れか一項に記載の超音波振動素子と、を有し、前記超音波振動素子が、前記駆動体の変位の方向にかかる両端面のうち何れか一方の端面の側において前記弾性体に接合されるとともに、残面がフリーである超音波アクチュエータ。
- 前記超音波振動素子の端子電極部に備わる一対の外部電極とその一対の外部電極に駆動電圧を印加するための外部電源との導通をするための接続手段が、前記弾性体に一体的に形成されている請求項9に記載の超音波アクチュエータ。
- 弾性体と、請求項7に記載の超音波振動素子と、を有し、前記超音波振動素子が、前記駆動体の変位の方向にかかる両端面のうち何れか一方の端面の側において前記弾性体に接合されるとともに、残面がフリーであり、前記超音波振動素子の端子電極部に備わる一対の外部電極とその一対の外部電極に駆動電圧を印加するための外部電源との導通をするための接続手段と、前記超音波振動素子の振動検出部に備わる電極層とその電極層に駆動電圧を印加するための外部電源との導通をするための接続手段とが、前記弾性体に一体的に形成されている超音波アクチュエータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004348033A JP4666578B2 (ja) | 2003-12-04 | 2004-12-01 | 超音波振動素子及びそれを用いた超音波アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003406188 | 2003-12-04 | ||
JP2004348033A JP4666578B2 (ja) | 2003-12-04 | 2004-12-01 | 超音波振動素子及びそれを用いた超音波アクチュエータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005192388A true JP2005192388A (ja) | 2005-07-14 |
JP4666578B2 JP4666578B2 (ja) | 2011-04-06 |
Family
ID=34797601
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004348033A Expired - Fee Related JP4666578B2 (ja) | 2003-12-04 | 2004-12-01 | 超音波振動素子及びそれを用いた超音波アクチュエータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4666578B2 (ja) |
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