JP2011155126A - 圧電積層部品 - Google Patents
圧電積層部品 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011155126A JP2011155126A JP2010015436A JP2010015436A JP2011155126A JP 2011155126 A JP2011155126 A JP 2011155126A JP 2010015436 A JP2010015436 A JP 2010015436A JP 2010015436 A JP2010015436 A JP 2010015436A JP 2011155126 A JP2011155126 A JP 2011155126A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- main surface
- laminate
- electrode
- laminated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 38
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 10
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 46
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 167
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 19
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 16
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 14
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 11
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 10
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 10
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 10
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 6
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 6
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 5
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 4
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 3
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 3
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 3
- FNMJFZYRSQTKIH-HXPMCKFVSA-N (4ar,7as)-2-amino-7a-(2,4-difluorophenyl)-6-(5-fluoro-4-methoxy-6-methylpyrimidin-2-yl)-3-methyl-5,7-dihydro-4ah-pyrrolo[3,4-d]pyrimidin-4-one Chemical compound CC1=C(F)C(OC)=NC(N2C[C@@]3(N=C(N)N(C)C(=O)[C@@H]3C2)C=2C(=CC(F)=CC=2)F)=N1 FNMJFZYRSQTKIH-HXPMCKFVSA-N 0.000 description 2
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 2
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)titanium;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][Ti]([O-])=O NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 2
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- AGMKJFDTUWUMFE-UHFFFAOYSA-N [Nb].[K].[Na] Chemical compound [Nb].[K].[Na] AGMKJFDTUWUMFE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 1
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 1
- SWELZOZIOHGSPA-UHFFFAOYSA-N palladium silver Chemical compound [Pd].[Ag] SWELZOZIOHGSPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- BITYAPCSNKJESK-UHFFFAOYSA-N potassiosodium Chemical compound [Na].[K] BITYAPCSNKJESK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
【解決手段】 複数の圧電体層2が積層され、圧電体層2間と一方主面Aと他方主面Bとに電極3が形成され、両端部に電極3に接続された端子電極4a,4bがそれぞれ形成されている圧電積層体5と、両面にそれぞれ圧電積層体5が一方主面A側で貼り付けられたシム材6とを含む圧電積層部品1であって、それぞれの圧電積層体5は、一方主面A側の圧電体層2aが、その他の圧電体層2bの2層分以上の厚みを有している圧電積層部品1である。振動の変位の発生力の低減を抑制しつつ、静電容量を低減させることができる。
【選択図】 図2
Description
記圧電体層が、その他の前記圧電体層2層分以上の厚みを有していることを特徴とするものである。
のいずれか一方に露出しており、端子電極が、非接続電極の端部とは接続せず、非接続電極よりも圧電積層体の他方主面側に配置された電極と接続するように、圧電積層体の両端部にそれぞれ部分的に形成されているときには、圧電積層部品の作製時に、圧電体層および電極を交互に積層する際に、一方主面側の圧電体層およびその他の圧電体層のそれぞれにおいて、電極および非接続電極の構成を、端部が圧電積層体の両端部の端面のいずれか一方に露出する、という構成に一様に揃えることが可能となる。従って、一方主面側の圧電体層およびその他の圧電体層のそれぞれにおいて電極の形成の仕方を変化させる必要がないため、圧電積層部品の作製の効率を向上させることができる。
った。そこで、振動の変位の発生力の低減を抑制しつつ、全体としての静電容量を低減させることが課題であった。
mとした。その他の圧電体層2bの寸法は、長さを19mm、幅を3.5mm、厚みを30μm
とした。その他の圧電体層2bは12層積層されているものとした。これにより、圧電積層体5中には12層の電極3が形成された。圧電積層体5の一方主面Aおよび他方主面Bには、1層ずつ電極3を形成した。これら電極3の寸法は、圧電体層2の長さ方向の寸法が18.5mmであり、圧電体層2の幅方向の寸法が3mmであり、厚みが1μmであるものとした。
体層が13層積層されており、圧電積層体中には電極が12層積層されているものとした。なお、圧電積層体の厚みは0.404mmとした。それ以外の構成および寸法等は、本発明の圧
電積層部品1の実験例1と同様のものとした。
験例1の圧電積層部品1の静電容量の値は720pFであった。これに対して、比較例1の
圧電積層部品の静電容量の値は780pFであった。
〜10kHzであり、電圧が1Vであるサイン波の入力信号を使用して測定を行なった。
動の変位の発生力を比較し検討した。なお、実験例1の圧電積層部品1と比較例1の圧電積層部品とについて750Hzの周波数の信号を入力した場合の振動の変位の発生力を比較
した理由は、それぞれの圧電積層部品が主に約750Hz付近の高周波信号が入力される携
帯型電子機器で使用されることを目的として作製されたものだからである。
圧電積層部品1の振動の変位の発生力は−20.1dBNであり、周波数750Hzにおける比
較例1の圧電積層部品の振動の変位の発生力は−21.1dBNであった。
とができた。
2bの厚みの2倍である構成の実験例1の圧電積層部品1と同様のものとして、実験例2の圧電積層部品1を作製した。
層の厚みと同じである圧電積層部品を作製した。この圧電積層部品の圧電積層体は、圧電体層が12層積層されており、圧電積層体中には電極が11層積層されているものとした。なお、圧電積層体の厚みは0.373mmとした。それ以外の構成および寸法等は、本発明の圧
電積層部品1の実験例2と同様のものとした。
して、比較例2の圧電積層部品の静電容量の値は780pFであった。
、実験例2の圧電積層部品1の振動の変位の発生力は−20.6dBNであり、比較例2の圧電積層部品の振動の変位の発生力は−21.1dBNであった。
の厚みを30μmとした。また、その他の圧電体層2bは10層積層されているものとした。これにより、圧電積層体5中には10層の電極3が形成された。なお、圧電積層体の厚みは0.432mmとした。それ以外の構成および寸法等は、前述の圧電体層2aの厚みが圧電体
層2bの厚みの2倍である構成の実験例1の圧電積層部品1と同様のものとして、実験例3の圧電積層部品1を作製した。
電積層部品1の実験例3と同様のものとした。
して、比較例3の圧電積層部品の静電容量の値は780pFであった。
、実験例3の圧電積層部品1の振動の変位の発生力は−21.6dBNであり、比較例3の圧電積層部品の振動の変位の発生力は−21.1dBNであった。
1の具体例を説明する。図6は、図1(b)に示す圧電積層部品1の実施の形態の他の例のX−X線における断面図である。
みを60μmとした。また、その他の圧電体層2bの寸法は、長さを19mm、幅を3.5mm
、厚みを30μmとした。その他の圧電体層2bは12層積層されているものとした。これにより、圧電積層体5中には12層の電極3を形成した。圧電積層体5の一方主面Aおよび他方主面Bには、1層ずつ電極3を形成した。これら電極3の寸法は、圧電体層2の長さ方向の寸法が18.5mmであり、圧電体層2の幅方向の寸法が3mmであり、厚みが1μmであるものとした。そして、端子電極4a,4bの厚みは20μmとした。
体5の両端部の端面に露出していないものとした。
方向に3.5mmとし、厚みを20μmとした。
2:圧電体層
2a:一方主面側の圧電体層(絶縁セラミック層)
2b:その他の圧電体層
3:電極
4a:(圧電積層体の一方の端部の)端子電極
4b:(圧電積層体の他方の端部の)端子電極
5:圧電積層体
6:シム材
7:非接続電極
A:一方主面
B:他方主面
Claims (5)
- 複数の圧電体層が積層され、該圧電体層間と一方主面と他方主面とに電極が形成され、両端部に前記電極に接続された端子電極がそれぞれ形成されている圧電積層体と、
両面にそれぞれ前記圧電積層体が前記一方主面側で貼り付けられたシム材とを含む圧電積層部品であって、
それぞれの前記圧電積層体は、前記一方主面側の前記圧電体層が、その他の前記圧電体層2層分以上の厚みを有していることを特徴とする圧電積層部品。 - 前記圧電積層体の前記一方主面側の前記圧電体層中に、前記端子電極に電気的に接続されていない非接続電極が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の圧電積層部品。
- 前記非接続電極は、前記圧電積層体の前記両端部の端面に露出していないことを特徴とする請求項2に記載の圧電積層部品。
- 前記非接続電極の端部が前記圧電積層体の前記両端部の端面のいずれか一方に露出しており、前記端子電極は、前記非接続電極の前記端部とは接続せず、前記非接続電極よりも前記圧電積層体の前記他方主面側に配置された前記電極と接続するように、前記圧電積層体の前記両端部にそれぞれ部分的に形成されていることを特徴とする請求項2に記載の圧電積層部品。
- 前記圧電積層体の前記一方主面側の前記圧電体層に替えて絶縁セラミック層を積層してなることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれかに記載の圧電積層部品。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010015436A JP5586248B2 (ja) | 2010-01-27 | 2010-01-27 | 圧電積層部品 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010015436A JP5586248B2 (ja) | 2010-01-27 | 2010-01-27 | 圧電積層部品 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011155126A true JP2011155126A (ja) | 2011-08-11 |
JP5586248B2 JP5586248B2 (ja) | 2014-09-10 |
Family
ID=44540889
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010015436A Expired - Fee Related JP5586248B2 (ja) | 2010-01-27 | 2010-01-27 | 圧電積層部品 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5586248B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013094583A1 (ja) * | 2011-12-20 | 2013-06-27 | 太陽誘電株式会社 | 圧電発音体及びそれを利用した電子機器 |
JP2015046947A (ja) * | 2011-12-20 | 2015-03-12 | 太陽誘電株式会社 | 圧電発音体及びそれを利用した電子機器 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09289342A (ja) * | 1996-04-19 | 1997-11-04 | Sony Corp | 多層型圧電アクチュエータ |
JPH10193623A (ja) * | 1997-01-08 | 1998-07-28 | Minolta Co Ltd | インクジェット記録ヘッド用圧電部材の分極方法 |
WO2006073018A1 (ja) * | 2005-01-06 | 2006-07-13 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 圧電アクチュエータの製造方法及び圧電アクチュエータ |
JP2007329431A (ja) * | 2006-06-09 | 2007-12-20 | Citizen Electronics Co Ltd | 圧電型エキサイタ |
JP2008153689A (ja) * | 1999-10-01 | 2008-07-03 | Ngk Insulators Ltd | 圧電/電歪デバイス |
JP2009130661A (ja) * | 2007-11-26 | 2009-06-11 | Nec Tokin Corp | 圧電アクチュエータ |
US20100007243A1 (en) * | 2007-01-23 | 2010-01-14 | Guenter Engel | Piezoelectric Component |
JP2010171360A (ja) * | 2008-12-24 | 2010-08-05 | Kyocera Corp | 積層型圧電素子およびその製法ならびに振動体 |
-
2010
- 2010-01-27 JP JP2010015436A patent/JP5586248B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09289342A (ja) * | 1996-04-19 | 1997-11-04 | Sony Corp | 多層型圧電アクチュエータ |
JPH10193623A (ja) * | 1997-01-08 | 1998-07-28 | Minolta Co Ltd | インクジェット記録ヘッド用圧電部材の分極方法 |
JP2008153689A (ja) * | 1999-10-01 | 2008-07-03 | Ngk Insulators Ltd | 圧電/電歪デバイス |
WO2006073018A1 (ja) * | 2005-01-06 | 2006-07-13 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 圧電アクチュエータの製造方法及び圧電アクチュエータ |
JP2007329431A (ja) * | 2006-06-09 | 2007-12-20 | Citizen Electronics Co Ltd | 圧電型エキサイタ |
US20100007243A1 (en) * | 2007-01-23 | 2010-01-14 | Guenter Engel | Piezoelectric Component |
JP2009130661A (ja) * | 2007-11-26 | 2009-06-11 | Nec Tokin Corp | 圧電アクチュエータ |
JP2010171360A (ja) * | 2008-12-24 | 2010-08-05 | Kyocera Corp | 積層型圧電素子およびその製法ならびに振動体 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013094583A1 (ja) * | 2011-12-20 | 2013-06-27 | 太陽誘電株式会社 | 圧電発音体及びそれを利用した電子機器 |
JP2013150305A (ja) * | 2011-12-20 | 2013-08-01 | Taiyo Yuden Co Ltd | 圧電発音体及びそれを利用した電子機器 |
JP2015046947A (ja) * | 2011-12-20 | 2015-03-12 | 太陽誘電株式会社 | 圧電発音体及びそれを利用した電子機器 |
US9837597B2 (en) | 2011-12-20 | 2017-12-05 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Piezoelectric sound-generating body and electronic device using the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5586248B2 (ja) | 2014-09-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101933412B1 (ko) | 적층 세라믹 커패시터 및 그 실장 기판 | |
JP6021016B2 (ja) | 積層セラミックキャパシタの実装基板 | |
KR101823174B1 (ko) | 적층 세라믹 커패시터 및 그 실장 기판 | |
JP5665522B2 (ja) | 振動体及び振動型駆動装置 | |
KR20140088366A (ko) | 적층 세라믹 커패시터 및 적층 세라믹 커패시터의 실장 기판 | |
JP5886222B2 (ja) | 積層セラミックキャパシタ及び積層セラミックキャパシタの回路基板実装構造 | |
JP2009124791A (ja) | 振動体及び振動波アクチュエータ | |
JP2016127269A (ja) | 積層セラミック電子部品及びその実装基板 | |
JP4725432B2 (ja) | 積層型圧電素子及び圧電装置 | |
KR20190072317A (ko) | 적층 세라믹 커패시터 및 적층 세라믹 커패시터의 실장 기판 | |
JP2014150333A (ja) | 圧電部品 | |
JP2004266110A (ja) | 電子部品 | |
JP5586248B2 (ja) | 圧電積層部品 | |
JP2014130994A (ja) | 積層セラミックキャパシター及びその実装基板 | |
JP2016086063A (ja) | 積層型コンデンサおよび実装構造 | |
WO2010024276A1 (ja) | 積層型圧電素子 | |
JP7163570B2 (ja) | 積層型圧電素子及び振動デバイス | |
JP6451657B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
JP7367290B2 (ja) | 積層型圧電素子 | |
JP2010199271A (ja) | 積層型圧電素子およびその製法ならびに振動体 | |
JP5754879B2 (ja) | 振動体 | |
JP2000340849A (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
JP2015088616A (ja) | セラミック電子部品 | |
WO2023157523A1 (ja) | 積層型圧電素子及び電子機器 | |
JP2019147122A (ja) | 振動発生装置及び電子機器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121015 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131029 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131217 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140121 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140304 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140401 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140527 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140624 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140722 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5586248 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |