JP2005172836A - 信号の対称的な制限を有するセンサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】震動質量体と、少なくとも1つの機械的ストッパと、前記震動質量体の振れの検出及び電気信号への変換のための手段とを有するセンサであって、該センサの少なくとも1つの動作モードにおいて、振動中央位置に対する前記質量体の振れが前記ストッパにより非対称的に制限される形式のセンサにおいて、前記電気信号の最大値を制限するための手段が設けられており、前記制限が前記振動中央位置に関して対称に行われ、前記電気信号の最大値が前記ストッパによって定められる最小値よりも大きくないように構成する。
【選択図】図3
Description
Claims (7)
- 震動質量体(100)と、
少なくとも1つの機械的ストッパ(101)と、
前記震動質量体(100)の振れの検出及び電気信号(111)への変換のための手段(105,106,110)とを有するセンサであって、該センサの少なくとも1つの動作モードにおいて、振動中央位置(210)に対する前記質量体(100)の振れが前記ストッパ(101)により非対称的に制限される形式のセンサにおいて、
前記電気信号(111)の最大値(401,402)を制限するための手段が設けられており、
前記制限が前記振動中央位置(210)に関して対称に行われ、前記電気信号(111)の最大値が前記ストッパ(101)によって定められる最小値よりも大きくない、ことを特徴とするセンサ。 - 前記検出手段(105,106)間の幾何学的中点からの前記震動質量体(100)の振動中央位置(210)のずれを求める手段が設けられている、請求項1記載のセンサ。
- マイクロメカニカルセンサとして形成された、請求項1記載のセンサ。
- 振れを検出するための前記手段(105,106)が電極として形成されており、該電極はとりわけ差動容量の原理に基づいた容量性測定センサである、請求項1記載のセンサ。
- 電気信号(111)の最大値(401,402)を制限するための前記手段が、電気信号(111)の最大値(401,402)を電気的に制限する電子評価回路(300)である、請求項1記載のセンサ。
- さらに別のストッパ(102A)が設けられており、前記制限手段は、前記質量体(100)の振れ(107)が対称に制限されるように、少なくとも当該の別のストッパ(102A)を位置決めする、請求項1記載のセンサ。
- 前記センサは慣性センサ、とりわけ、加速度センサ又は回転速度センサである、請求項1記載のセンサ。
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