JP5450394B2 - 角速度を測定する方法及び振動型微小機械角速度センサ - Google Patents
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Description
振動型角速度センサに基づく測定は、角速度の測定に単純な動作原理を使用する信頼性の高い方法であることが証明されている。振動型角速度センサでは、特定の既知の主運動がセンサ内で誘導され、維持される。次に、センサによる測定が望まれる運動が、主運動の逸脱として検出される。
図1は、従来技術による振動型微小機械角速度センサの機能構造の図を示し、
図2は、従来技術による典型的な角速度センサのアナログシステム電子回路のブロック図を示す。
図3は、本発明による角速度センサの測定のブロック図を示す。図示の本発明による角速度の測定は、増幅10を介して位相検出器11に送られる検出信号8を含む。本発明による測定は、増幅12を介して位相検出器11並びに90度位相シフトモジュール13に送られる主検出信号9をさらに含む。本発明による測定の結果として、位相検出器11からの出力信号14が得られると共に、位相シフトモジュール13から主位相シフト駆動信号15も得られる。
Claims (21)
- 振動型微小機械角速度センサによって角速度を測定する方法であって、
前記方法で用いる角速度センサは、1台の本体(18)、1台の検出共振器(16,17,19,20,21,22)および1台の位相検出器(11)を備え、
前記検出共振器(16,17,19,20,21,22)は、主運動が励起される少なくとも一つの振動質量(16)と、前記振動質量(16)につながった移動電極と、バネ懸架装置(17,19,20,21,22)を備え、
前記振動質量(16)は前記バネ懸架装置(17,19,20,21,22)によって本体(18)に懸架され、
前記バネ懸架装置(17,19,20,21,22)は互いに直交の関係からずれた主運動軸と副運動軸をもち、前記振動質量(16)は前記主運動軸及び前記副運動軸の方向に運動の自由度を持ち、その結果として前記主運動軸の方向における前記振動質量(16)の主運動が検出共振器に対して前記副運動軸の方向に力を誘起し、
前記振動質量(16)に主運動を励起し、
副運動を、前記副運動軸の方向における前記振動質量(16)の運動として検出し、
前記位相検出器(11)によって前記副運動の位相を検出し、前記主運動と前記副運動の位相差から、角速度センサの本体の角速度を求めることを特徴とする角速度を測定する方法。 - 前記主運動の信号と前記副運動の信号のうちの一方が、90°位相シフトされることを特徴とする、請求項1に記載の角速度を測定する方法。
- 前記主運動の信号及び前記副運動の信号のうちの少なくとも一方が、増幅されることを特徴とする、請求項1又は2に記載の角速度を測定する方法。
- 前記主運動の信号及び前記副運動の信号から、エッジの急なパルス波が比較器(48)、(50)によって生成され、前記パルス波がXORゲート(49)に送られて、前記位相の検出がXORゲート(49)によって実施されること、を特徴とする、請求項1、2、又は3に記載の角速度を測定する方法。
- 前記位相検出の出力として、前記信号の位相差に比例するパルス幅変調信号が得られることを特徴とする、請求項4に記載の角速度を測定する方法。
- ローパスフィルタリングにより、前記位相検出の出力として得られる前記信号の前記位相差に比例する前記パルス幅変調信号からアナログ出力信号が生成されることを特徴とする、請求項5に記載の角速度を測定する方法。
- 前記主運動が、前記比較器(50)の入力に対する抵抗結合によって直接検出されることを特徴とする、請求項4に記載の角速度を測定する方法。
- 角速度を測定するための角速度センサであって、
前記角速度センサは、1台の本体(18)、1台の検出共振器(16,17,19,20,21,22)および1台の位相検出器(11)を備え、
前記検出共振器(16,17,19,20,21,22)は、主運動が励起される少なくとも一つの振動質量(16)と、前記振動質量(16)につながった移動電極と、バネ懸架装置(17,19,20,21,22)を備え、
前記バネ懸架装置(17,19,20,21,22)は互いに直交の関係からずれた主運動軸と副運動軸をもち、前記振動質量(16)は前記主運動軸及び前記副運動軸の方向に運動の自由度を持ち、その結果として前記主運動軸の方向における前記振動質量(16)の主運動が検出用共振器に対して前記副運動軸の方向に力を誘起し、
位相検出器(49)が、主運動と、副運動軸の方向における振動質量の動きとしての副運動を検知し、前記主運動と前記副運動の位相差から、角速度センサの本体の角速度を求めるよう構成されていることを特徴とする角速度センサ。 - 前記主運動の信号又は前記副運動の信号のうちの一方の位相を90度シフトさせる位相シフタ(13)をさらに備えることを特徴とする、請求項8に記載の角速度センサ。
- 前記主運動の信号又は前記副運動の信号のうちの少なくとも一方を増幅する増幅器(10)、(12)をさらに備えることを特徴とする、請求項8又は9に記載の角速度センサ。
- XORゲート(49)及び比較器(48)、(50)をさらに備え、前記主運動の信号及び前記副運動の信号が、前記比較器(48)、(50)によりエッジの急なパルス波にされ、前記XORゲート(49)に送られることによって、位相の検出が前記XORゲート(49)によって実施されることを特徴とする、請求項8、9、又は10に記載の角速度センサ。
- 前記位相検出の出力として、前記信号間の前記位相のずれに比例するパルス幅変調信号を送出する手段をさらに備えることを特徴とする、請求項11に記載の角速度センサ。
- 前記信号間の前記位相のずれに比例する前記パルス幅変調信号をローパスフィルタリングし、前記位相検出の出力としてアナログ出力信号を送出する手段をさらに備えることを特徴とする、請求項12に記載の角速度センサ。
- 前記比較器(50)の入力に対する抵抗結合によって前記主運動を直接検出する手段をさらに備えることを特徴とする、請求項11に記載の角速度センサ。
- 角速度を測定するための振動型微小機械角速度センサであって、
前記角速度センサは、1台の本体(18)、1台の検出共振器(16,17,19,20,21,22)および1台の位相検出器(11)を備え、
前記検出共振器(16,17,19,20,21,22)は、主運動が励起される少なくとも一つの振動質量(16)と、前記振動質量(16)につながった移動電極と、バネ懸架装置(17,19,20,21,22)を備え、
前記バネ懸架装置(17,19,20,21,22)は互いに直交の関係からずれた主運動軸と副運動軸をもち、前記振動質量(16)は前記主運動軸及び前記副運動軸の方向に運動の自由度を持ち、その結果として前記主運動軸の方向における前記振動質量(16)の主運動が検出用共振器に対して前記副運動軸の方向に力を誘起し、
位相検出器(49)が、主運動と、副運動軸の方向における振動質量の動きとしての副運動を検知し、前記主運動と前記副運動の位相差から、角速度センサの本体の角速度を求めるよう構成されていることを特徴とする角速度センサ。 - 前記主運動の信号又は前記副運動の信号のうちの一方の位相を90度シフトさせる手段をさらに備えることを特徴とする、請求項15に記載の角速度センサ。
- 前記主運動の信号又は前記副運動の信号のうちの少なくとも一方を増幅する手段をさらに備えることを特徴とする、請求項15又は16に記載の角速度センサ。
- XORゲート(49)及び比較器(48)、(50)をさらに備え、前記主運動の信号及び前記副運動の信号が、前記比較器(48)、(50)によりエッジの急なパルス波にされ、前記XORゲート(49)に送られることによって、位相の検出が前記XORゲート(49)によって実施されることを特徴とする、請求項15、16、又は17に記載の角速度センサ。
- 前記位相検出の出力として、前記信号間の前記位相のずれに比例するパルス幅変調信号を送出する手段をさらに備えることを特徴とする、請求項18に記載の角速度センサ。
- 前記信号間の前記位相のずれに比例する前記パルス幅変調信号をローパスフィルタリングし、前記位相検出の出力としてアナログ出力信号を送出する手段をさらに備えることを特徴とする、請求項19に記載の角速度センサ。
- 前記比較器(50)の入力に対する抵抗結合によって前記主運動を直接検出する手段を備えることを特徴とする、請求項18に記載の角速度センサ。
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