JP2005153928A - 検査機能付きトレー供給装置及びトレー供給移載装置 - Google Patents

検査機能付きトレー供給装置及びトレー供給移載装置 Download PDF

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Yukio Nakajima
幸雄 中嶌
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Abstract

【課題】画像処理し、検査トレーをその結果により供給するか、排出部へトレーを排出す
るか自動切換えし、薬品などの残存物や汚れなどを検出し、安全な検査を行う。
【解決手段】段積みされたトレー6をストックしておくトレーストック部2とトレー1枚
ずつ分離供給して段バラシしたトレーを検査すべき位置まで搬送してトレーを撮像する撮
像部7と、その撮像データの画像処理・検査部3を有し、画像処理・検査の検査結果に応
じて次工程へのトレーの搬送する搬送部とトレーを排出するトレー排出部5を備える。
【選択図】図1

Description

本発明は、検査機能付きトレー供給装置及びトレー供給移載装置に関する。具体的には、トレーを画像認識して、検査結果に応じてトレーの供給、排出を行なうトレー供給に関するものである。
従来においては、検査物であるトレーを画像処理による検査判定後、検査結果により被
検査物の排出及び除去などは手作業に依存しており、即ち、検査結果によりトレーを供給
するか、排出部へトレーを排出するかは人の手で処理されていた。
なお、関連する先行技術としては、複数個の半導体チップを1視野で撮像し、画像処理
で1視野の入力画像の中心位置、各チップの中心位置を求め、チップ中心位置と予め良品
チップのマスター画像との濃淡マッチングによってチップの欠陥を判定することが記載さ
れている(特許文献1)。
また、複数の食器を撮像し、互いに接触する食器の画像の接触部を検知し、これらの画
像を接触部にて切り離してトレー上の各食器を識別することが記載されている(特許文献
2)。
また、液晶セル基板の欠陥検査を行なう際、バックライトを消灯するとともに、落射照
明によってシール剤塗布部の画像を得て、セル基板の欠陥対象領域を限定して検査を行な
うことが記載されている(特許文献3)。
特開平7−153804号公報 特開平8−335236号公報 特開2000−275596号公報
しかしながら、従来の構成では、画像処理後、被検査物自体に以前払出したものが残っ
ていたり、被検査物であるトレーが汚れていたりすることによる間違いや危険性からの防
止(安全性)などの問題があり、また、検査結果により被検査物の排出及び除去などを自
動切換えがなされていないという課題があった。
本発明は、前記従来の課題を解決するもので、多数のトレーを連続的に検査してトレー
内の不定形な残存物(薬品やその破片や汚れ及びラベルなどの不定形の余分なもの)など
を画像処理にて抽出し、検査判定し、且つその結果により供給するか、排出部へトレーを
排出するか自動切換え機能を実現することで、薬品払出作業の作業効率を改善し、また薬
品またはラベルなど以前払出したものが残っていたり、トレーが汚れていたりすることに
よる間違いや危険性からの防止(安全性)などリスクマネージメントの向上を図る検査機
能付きトレー供給装置及びトレー供給移載装置を提供することを目的とする。
従来の課題を解決するために、本発明の検査機能付きトレー供給装置は、段積みされた
トレーをストックしておくトレーストック部と、前記段積みされたトレーを1枚ずつ分離
供給する段バラシ部と、前記段バラシされたトレーを検査すべき位置まで搬送する搬送部
と、前記搬送されたトレーを撮像する撮像部と、その撮像されたトレーの画像データを処
理し検査を行なう画像処理・検査部と、前記画像処理・検査部でトレー検査不良と判定さ
れたトレーを排出するトレー排出部とを備えたものである。
また、本発明は、トレーが段積み格納されている専用カートと、前記専用カートからト
レー移載部を介してトレーを供給移載するトレー供給移載装置と、前記トレー移載部から、前記トレーを1枚ずつ抽出して検査するためにトレーを搬送する搬送部と、前記搬送されてきたトレーを撮像する撮像部と、その撮像されたトレーの画像データを処理し検査を行う画像検査・処理部と、前記画像処理・検査部でトレー検査不良と判定されたトレーを排出するトレー排出部とを備えたものである。
以上のように、本発明の検査機能付きトレー供給装置及び検査機能付きトレー供給移載
装置によれば、段積みされた多数のトレーを連続的に画像処理して検査し、その検査結果
に応じてトレーを供給するか排出部へ排出するか自動切換え機能を実現し、薬品払出作業
の作業効率を改善し、また薬品またはラベルなど以前払出したものが残っていたり、トレ
ーが汚れていたりすることによる間違いや危険性からの防止(安全性)などリスクマネー
ジメントの向上を図ることができる。
以下に本発明の検査機能付きトレー供給装置及び検査機能付きトレー供給移載装置の実
施の形態を図面とともに詳細に説明する。
図1(a)、図1(b)は、本発明の検査機能付きトレー供給装置の正面図、側面図、図1(c)は、検査機能付きトレー供給装置の段バラシ部及び周辺を示す図である。
図1(a)、(b)、(c)において、検査機能付きトレー供給装置1は、空トレー6をストックし1枚ずつ供給するトレーストック部2及び搬送部4aと空トレーを検査する画像処理・検査部3と検査OKのトレーを次工程に搬送する搬送部4b(図1(c)参照)及び検査不良になったトレーを排出するトレー排出部5及び搬送部4cから構成されている。
ここで、搬送部4aは、トレーストック部2からトレー6を1枚ずつ方向(2)へ送り
出す搬送部分である。搬送部4bは搬送部4aからトレー6を受け取り画像処理・検査の
位置まで運ぶ搬送部分であり、且つ検査OKとなったトレー6を次工程に搬送する部分で
もある。搬送部4cは検査NGとなったトレー6を搬出部へ(方向(3)へ)排出する搬
送部分である。
以上のように構成された検査機能付きトレー供給装置について、以下その動作、作用を
説明する。
まず、トレーストック部2に段積み格納されている空トレー6aを1枚ずつ段バラシし
ていく。図1(c)は、段バラシ部及び周辺部を示す側面図である。段バラシ機構はモー
ター(図示せず)による上下駆動する昇降部1aと90度に立体交差するモーター(図示せ
ず)によるベルト駆動で搬送する搬送部4aから構成されている。
次に段積みされたトレー6を検査するため1枚づつバラシしていく段バラシ機構を説
明する。
段バラシは、段積みされたトレー6を昇降部1aが上昇し、昇降部と連結している搬送
部4aも一緒に上昇する。搬送部4aが上昇すると段積みされたトレー6aもその搬送部
の上にのったまま上昇する。この時、ストッパ1bは、側面に戻っていて(図示せず)上
昇の障害とはならない。その後、昇降部1aが下降し、搬送部4aとその上に乗っている
トレー6aも一緒に下降する。最下段のトレーがストッパ1bより下に下降した時、スト
ッパ1bが側面から出てきて最下段のトレー以外の段積みされているトレー6aを受け止
める。最下段のトレー6bはそのまま搬送部4aと一緒に下降し、段バラシを行なう。段
バラシされたトレー6bは、搬送部4aにより矢印(2)の方向(図1(c)では手前方向)に送り出され、搬送部4bに移送されて画像処理・検査を行なう位置まで搬送される。
即ち、段積みされたトレー6aの最下段のトレー6bを送り出すため、搬送部4aから
搬送部4bに移送されていくが、これらはモータ駆動によるベルト搬送である。搬送部4
bによりベルト搬送されて送り出されてきたトレー6の画像を画像処理・検査部3にて撮
像し取り込み、位置補正及び画像処理・検査部に記録部(図示せず)に記録されているマ
スター画像とパターンマッチング方式により検査判定を行なう。検査判定は、まず、搬送
されてきたトレー6を図3のレンズ7b及びCCDカメラ7aで撮像し、その画像情報を
画像処理・検査部3に入力する。入力された画像情報の表示例を図7に示す。図7の検査
画像3eの情報からトレーの位置を図4の4つの外形検出ポイント3aより求め、図6の
マスター画像3dのトレー位置との差を計算し、縦方向、横方向及び回転方向それぞれに
位置補正を行なう。
即ち、撮像した検査画像3eとマスター画像の画像データとを比較してトレー6の4つ
の外形検出ポイント3aから位置の差を画像処理・検査部3にて計算し、位置補正を行な
う。
次に、図7の検査画像3eにおいて、図5の3ヶ所の検査対象エリア3bを各々8等分
した検査域区分3c毎に、濃淡投影によるパターンマッチングや、特徴値抽出(最大、最
小、平均、標準偏差)及び図7のラベリング3hなどの処理を施して、図6のマスター画
像の基準データ(マスター画像のマスター特徴抽出データ(通常=0)やマスター画像パタ
ーンデータ(予め内部のメモリ(図示せず)に登録されている画像データ)など)と比較しながら図7の残存物36を検出していき、検査判定する。
ラべリング3hは、視野内にあるいくつかの画像の集まり、この場合では薬品1本の画
像の集まりが1つのラベリングとして抽出する処理(図7の×マーク)、つまりラベリング
処理を行なって抽出された画像の集まりである。
ここで言う「画像の集まり」とは、一定条件(閾値より上/下など)を満たすラベリング
処理した「画素数の集まり」である。
判定されたトレー6は、その結果により、検査OKの場合は搬送部4bにより次工程に搬
送される。また検査NGの場合は、搬送部4cによりトレー排出部5(方向(3))に排出
される。排出されたトレー6は作業者により確認及び処理された後に再投入される。
以上の様に、本実施例1においては、画像処理・検査部3とトレー排出部5を設けたこ
とで、トレーの確認漏れや作業効率を大幅に削減でき、且つ安全性にも貢献できる。
また、本実施例の形態では、単一形状のトレーを対象としているが、これはあくまでも
1例であり、段積みできる容器であれば形・寸法・色などに関わらず、実際は全てに応用
することが出来る。
特に、画像処理によるマスター画像とのパターンマッチング方式であるため、マスター画
像を複数登録することで、複数の形状の検査判定も自動で切り替えながら判定することも
出来る。また同時に複数の形状の検査を行なう複数機種並行判定することもできる。
図2(a)は、本発明の実施例2における検査機能付きトレー供給移載装置の全体構成
図である。
図2(a)において、図1(a)及び図1(b)を用いて説明した実施例1の検査機能
付きトレー供給装置の構成と異なるところは、トレー6を段積み格納しているトレースト
ック部2の代わりに、専用カート11に格納されている空トレー6を搬送部4aへ移載す
るトレー移載部10を搭載している点である。
以上のように構成された検査機能付きトレー収納移載装置9について、以下その動作、
作用を説明する。
まず、図2(a)及び図2(b)の専用カート(または台車)11に格納されているト
レー6を1枚ずつ、図2(a)及び図2(b)のトレー移載部10に搭載されている図2
(b)のトレー引き出し用ガイド10aを専用カート11内のトレー6が格納されている
図2(b)のレール11aまでモーター駆動により伸ばし、その後トレー移載部11の内側に搭載されている図2_2の引き出し用の爪10bを専用カート11内のトレー6の中に入れ、トレー6の端部の耳部を引き出し用爪10bで引っ掛けてトレー6を引き出していく。引き出されたトレー6はそのままカート内のレールから引き出し用ガイド10aに移動される。次にトレー6の乗った引き出し用ガイド10aも引き戻すことでトレー6を検査機能付きトレー供給移載装置9の中に運び、持ち上げたガイド10aをモーター駆動で下降及び90度旋回させて搬送部4aのコンベア上にトレー6を移載する。
移載されたトレー6は搬送部4aから送り出され、搬送部4bに移送され、画像処理・
検査部3による検査位置まで搬送される。搬送部はモータ駆動によるベルト搬送である。
搬送されてきたトレー6の画像を画像処理・検査部3に撮像し取り込み、位置補正及びマ
スター画像とパターンマッチング方式により検査判定を行なう。検査判定は、まず搬送さ
れてきたトレー6を図3のレンズ7b及びCCDカメラ7aで撮像し、その画像情報を画
像処理・検査部3に入力する。入力した図7の検査画像3eの情報からトレーの位置を図
4の4つの外形検出ポイント3aより求め、図6のマスター画像3dのトレー位置との差
を計算し、縦方向、横方向及び回転方向それぞれに位置補正を行なう。次に、図7の検査
画像3eにおいて、図5の3ヶ所の検査対象エリア3bを各々8等分した検査域区分3c
毎に、濃淡投影によるパターンマッチングや、特徴値抽出(最大、最小、平均、標準偏差)及び図7のラベリング3hなどの処理を施して、図6のマスター画像の基準データ(マスター画像のマスター特徴抽出データ(通常=0)やマスター画像パターンデータ(予め内部のメモリ(図示せず)に登録されている画像データ)など)と比較しながら図7の残存物36を検出していき、検査判定する。
判定されたトレー6は、その結果により、検査OKの場合は搬送部4bにより次工程に
搬送される。また検査NGの場合は搬送部4c(図示せず。図1(a)及び図1(b)と同様の動作)によりトレー排出部5に排出される。排出されたトレー6は作業者により確認及び処理された後に再投入される。
以上の様に、本実施例2においては、画像処理・検査部3とトレー排出部5を設けたこ
とで、トレーの確認漏れや作業効率を大幅に削減でき、且つ安全性にも貢献できる。
また、本実施例の形態では、単一形状のトレーを対象としているが、これはあくまでも
1例であり、カートなどの台車にレール毎に格納することができる容器であれば形・寸法・色などに関わらず、応用することが出来る。特に、画像処理によるマスター画像とのパターンマッチング方式であるため、マスター画像を複数と登録することで、複数の形状の検査判定も自動で切り替えながら判定することも出来る。また同時に複数の形状の検査を行なう複数機種並行判定することもできる。
図3は、本発明の実施例における画像処理・検査部及び周辺部を模式的に示すものであ
り、前述した実施例1及び実施例2に搭載されてものである。
図3において、トレー6を撮像するレンズ7b及びCCDカメラ7a(これ用の電源も
含む)と間接照明により明るさを調整する照明8a及び拡散板8bと透明なトレーなどの
場合にも画像精度(画質)を維持するために設置した背面板8cと画像モニター31と画
像処理・検査部3とから構成されている。
以上のように構成された画像処理・検査部について、以下その動作、作用を説明する。
まず、まず搬送されてきたトレー6を図3のレンズ7b及びCCDカメラ7aで撮像し、その画像情報を画像処理・検査部3に入力する。入力した図7の検査画像3eの情報からトレーの位置を図4の4つの外形検出ポイント3aより求め、図6のマスター画像3dのトレー位置との差を計算し、縦方向、横方向及び回転方向それぞれに画像表示される画像情報を処理して位置補正を行なう。
即ち、画像処理・検査部3内のメモリー(図示せず)に記憶されているトレーのマスタ
ー画像を画像モニター31に表示し、当該マスター画像のトレーの4隅に検査すべきトレ
ー6の検査画像の4隅3aを表示画像上で重畳してそれらが一致するようにトレー6の位
置補正を行う。
次に、トレー6内にある中仕切り61(透明な板;無い場合はこの部分も検査対象エリ
アとなる)およびトレーの淵の部分を検査対象から外すように3ヶ所の検査対象エリア3
b(図5参照)を抽出する。次に、図7の検査画像3eにおいて、図5の3ヶ所の検査対
象エリア3bを各々8等分した検査域区分3c毎に、濃淡投影によるパターンマッチング
や、特徴値抽出(最大、最小、平均、標準偏差)及び図7のラベリング3hなどの処理を
施して、図7の検査画像3eと図6のマスター画像3dと比較しながら図7の残存物36
を検出していき、検査判定する。
図6のマスター画像においては、通常トレー6の中には何も無いため、特徴抽出データ
は、X方向、Y方向とも全て“0”である。またラベリング処理をしてもラベリングは0
である。つまり何もない状態である。次に図7の検査画像を検査する。単純に図6のマス
ター画像とのパターンマッチングでも、残存物36があきらかであるため差異は容易に検
出できるが、特徴抽出データにおいても、残存物の画素数分、X方向、Y方向ともマスタ
ーの0より特徴抽出値が高くなる(例として125、215などの)数値を示し、明らかに
何かがあることがわかる。次にラベリング処理によりいくつかの固まりを抽出する。この
場合は残存物36が4本の薬品であるため、4つ以上の固まりを抽出する。実際は、図5
の検査域区分3c毎に抽出していくため、この例では、隣の検査域区分3cにもまたがる
(複数の検査域区分にまたがる)残存物があるため、図7のラベリング処理3hは9ヶ所
(×マークの箇所)で検出されている。これは、4本の残存物でも、細かい区分:検査区
域区分3cの単位で見ることで、複数の検査域区分にまたがるものはその両方で検査する
ことが出来る。もし検査条件が悪い時、例えば光量不足や光量のばらつきや残存物の影や
トレーの反射等で検出精度が落ちたとしても細かい区分で同一物を複数回検査することが
できるため、検出漏れを大幅に改善することが出来るのである。今回の場合は実際の残存
物は4つのかたまりでも9箇所のラベリングが検出される。また、これらは全て濃淡処理
(2値ではなく多値化処理)で行なっているため、小さな差異も検出が可能であるととも
に、照明の光量の影響も考慮して検査が出来る。
また、本実施例3(図3参照)において、透明なトレーの場合には、検査精度を確保す
るために、入力画像の画質向上が必要となる。そのためにトレーの下部に光沢の無い単色
の板である背面板8cを設けている。これにより通常のトレー6の時と同レベルの画質が
確保できる。
また、本実施例3において、画像処理による検査の精度を向上させるために、
高周波点滅用の管照明8aと樹脂系の拡散板8bにより照明のばらつきを平均化し且つ直
接検査対象物に当たらないように対象物であるトレー6から一定の距離と一定の角度の位
置から(側面から)間接的に照明を当てるように行なっている。即ち、照明8aの光を拡
散板8bを通して間接照明を行なっている。
また画像を撮像するレンズ7b及びCCDカメラ(エリアカメラ)7aと検査対象物間
の距離と、レンズ7bとCCDカメラ7aと照明8a間の距離と位置関係も重要である。
これにより、光沢のあるトレーやアンプル薬品などに対しても、光の反射を最小限にする
こととばらつきを最小限にすることが出来る。
まずカメラ7aと照明8aの位置関係は、対面にならないように、また反射光が入って
こないように照明方向とカメラ方向を90度の位置にする。つまりCCDカメラ7aが上
方から撮像する場合は、照明8aは側面から照射することになる。この時、照明8aは対
象物であるトレー6に対しても90度となり直接照射するよりもばらつきが少なくなる。
また外光の影響をなくすため搬送部4がありトレー6の移動がある下面以外の側面4面と
天板も囲っている。それにCCDカメラ7aと照明8aとの距離も一定以上(今回1m程
度)離している。それから拡散板8bは光を出来るだけ拡散することと明るさの確保を両
立する必要があるため、白色の樹脂系の拡散板を今回は採用している。
また、本実施例3において、画像処理による検査を行なう前に、正確に検査が出来るか
どうかの判断も必要となってくる。入力した画像から、明るさの検査や画像視野内の光量
ばらつきの検査(バランス検査)やトレー位置の検査など画像処理検査が可能かどうかを事
前に検査することが出来る。
まず明るさの検査においては、画像による判定を確実にするには、画像視野全体の明る
さが明るすぎたり、暗すぎたりした場合は、濃淡投影や特徴値抽出において、大きく誤差
が発生し、正しく検査判定が出来ない可能性があるため、通常は画像の濃淡諧調度のセン
ター付近(256階調なら128前後)に調整しておくことが必要である。また画像視野
内の光量ばらつきであるバランス検査においては、照明8aに拡散版8bを付加してもば
らつきは発生するため、今回のように視野の中心付近は最も明るく端に寄るほど暗くなっ
ている。この差が大きく、また場所により大きく明るさが異なる場合も検査判定の精度が
落ちるため、予め一定の差に収まっている事を確認検査している。トレー位置検査は、ト
レー位置補正時、行なっている。
以上のように、本実施例3においては、間接照明を行なう照明8a及び拡散板8bと背
面板8cを主要構成部とすることとこれらの機器とCCDカメラとの位置関係の工夫した
ことにより、より画像処理によるトレー内の透明な残存物を検出することができる。
本発明にかかる検査機能付きトレー供給装置及び検査機能付きトレー供給移載装置は、
今まで手作業及び目視で行なっていたトレー確認作業を自動化することが出来、薬品払出
システムにおける確認の漏れの防止と確認作業の効率化及びリスクマネージメントの向上
を図ることが出来、病院内の支援システムなどに有用である。
(a)本発明の実施例1における検査機能付きトレー供給装置の正面図(b)本発明の実施例1における検査機能付きトレー供給装置の側面図(c)本発明の実施例における検査機能付きトレー供給装置のトレーストック部(一部)と段バラシ部を説明するための図 (a)本発明の実施例2における検査機能付きトレー供給移載装置の構成図(b)本発明の実施例における検査機能付きトレー供給移載装置のトレー移載部(一部)とその一部であるトレー引出部分及び専用カート(一部)を説明するための図 本発明の実施例におけるトレー画像処理・検査を説明するための構成を模式的に示した図 本発明の実施例における画像処理における位置補正のためのトレー外形の検出ポイントを説明するための模式図 本発明の実施例における画像処理における検査対象エリアを説明するための模式図 本発明の実施例における画像処理・検査を説明するためのマスター画像を示す図 本発明の実施例における画像処理・検査を説明するための検査画像を示す図
符号の説明
1 トレー供給装置(本体)
2 トレーストック部
3 画像処理・検査部
4 搬送部(4a、4b、4c含む)
5 トレー排出部
6 トレー
7 撮像部
8 照明部
9 トレー供給移載装置(本体)
10 トレー移載部
11 専用カート

Claims (12)

  1. 段積みされたトレーをストックしておくトレーストック部と、前記段積みされたトレー
    を1枚ずつ分離供給する段バラシ部と、前記段バラシされたトレーを検査すべき位置まで
    搬送する搬送部と、前記搬送されたトレーを撮像する撮像部と、その撮像されたトレーの
    画像データを処理し検査を行なう画像処理・検査部と、前記画像処理・検査部でトレー検
    査不良と判定されたトレーを排出するトレー排出部とを、備えたトレー供給装置。
  2. 前記段バラシ部は、前記搬送部とともに前記段積みされたトレーを昇降する昇降部を有
    し、その段積みされた最下段のトレーとその上のトレーとの間にストッパを挿入して最下
    段のトレーを前記搬送部に段バラシして搬送することを特徴とする請求項1に記載のトレ
    ー供給装置。
  3. 前記画像処理・検査部は、画像処理・検査部に記録されているマスター画像と検査画像
    の外形検出ポイントとの位置の差を検出して、その検出された位置の差に基づいて検査す
    べきトレーの位置補正をすることを特徴とする請求項2に記載のトレー供給装置。
  4. 前記画像処理・検査部は、検査すべきトレーの検査対象エリアを所定の数に仕切り、そ
    の仕切られた各エリアを予め定められた数に分割して検査することを特徴とする請求項3
    に記載のトレー供給装置。
  5. 前記画像処理・検査部は、前記トレー内の残存物を撮像された検査画像の集まりと前記
    マスター画像のパターンとを比較し、その比較結果に基づき前記トレーの残存物を抽出し
    判定することを特徴とする請求項4に記載のトレー供給装置。
  6. 前記画像処理・検査部は、検査すべきトレーの下部に無光沢の単色の背面板を設置する
    ことを特徴とする請求項4に記載のトレー供給装置。
  7. トレーが段積み格納されている専用カートと、前記専用カートからトレー移載部を介し
    てトレーを供給移載するトレー供給移載装置と、前記トレー移載部から、前記トレーを1
    枚ずつ抽出して検査するためにトレーを搬送する搬送部と、前記搬送されてきたトレーを
    撮像する撮像部と、その撮像されたトレーの画像データを処理し検査を行う画像検査・処
    理部と、前記画像処理・検査部でトレー検査不良と判定されたトレーを排出するトレー排
    出部とを、備えたトレー供給移載装置。
  8. 前記トレー移載部は、前記トレー供給装置に内蔵されており、前記トレーを引き出すた
    めの引き出し用ガイドと前記トレーの端部の耳を引っ掛けるための引き出し用の爪を有し、
    当該爪を用いて前記専用カートから前記トレーを引き出して前記引き出し用ガイドに移動
    すると共に、前記引き出し用ガイドをトレー移載部に引き戻して前記トレーを前記トレー
    供給移載装置の中に運び、前記搬送部に移載することを特徴とする請求項7に記載のトレ
    ー供給移載装置。
  9. 前記画像処理・検査部は、画像処理・検査部に記録されているマスター画像と検査画像
    の外形検出ポイントとの位置の差を検出して、その検査された位置の差に基づいて検査す
    べきトレーの位置補正をすることを特徴とする請求項7に記載のトレー供給移載装置。
  10. 前記画像処理・検査部は、検査すべきトレーの検査対象エリアを所定の数に仕切り、そ
    の仕切られた各エリアを予め定められた数に分割して検査することを特徴とする請求項9
    に記載のトレー供給移載装置。
  11. 前記画像処理・検査部は、前記トレー内の残存物を撮像された検査画像の集まりと前記
    マスター画像のパターンとを比較し、その比較結果に基づき前記トレーの残存物を抽出し
    判定することを特徴とする請求項4に記載のトレー供給移載装置。
  12. 前記画像処理・検査部は、検査すべきトレーの下部に無光沢の単色の背面板を設置する
    ことを特徴とする請求項10に記載のトレー供給移載装置。

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