JP2005147819A - 照明補助装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 照明装置からの射出光を拡散する拡散板1と、前記光路中該複数の拡散板1の近傍で、被検査試料との距離がL1となる位置に直径φ1の開口絞り2を配置している。さらに、光の混入を防ぐため各光路中、被検査試料4との距離がL2となる位置に直径φ2の固定絞り3を有している。この時、φ2およびL2は式(1)式〜(3)式を満たすことで、被検査試料を所定の口径比、所定の瞳距離にて照明し、かつ被検査試料上の各照明領域に対応する開口絞り以外の他の開口絞りからの光が混入することを防ぐことが可能である。
【数1】
【選択図】 図1
Description
L1=L …(4)
φ1=L/A …(5)
ところで、一般にこの光応答特性検査は、製造される固体撮像素子すべてについて実施される全数検査であるが、検査のスループット向上のため、1シークエンスで複数のチップを同時に検査を実施する場合がある。すなわち前述の拡散板11と開口絞り12による疑似光源を複数個ならべて配置し、複数チップを一度に照明し、同時に電荷蓄積させることで複数チップ同時検査を実施し、全体の照射時間および搬送時間などの処理に必要な時間を短縮している。
φ2>0.17L2+3 …(7)
φ2<0.68L2−3 …(8)
φ2<−1.02L2+22.6 …(9)
となり、例えばφ2=6.4[mm]の開口を有する固定絞りを、L2=15[mm]の位置に配置することで、本発明の目的を満たす照明を実現することが可能となる。
φ2>0.05L2+5 …(11)
φ2<1.13L2−5 …(12)
φ2>−1.23L2+18.6 …(13)
となり、例えばφ2=5.9[mm]、L2=10[mm]となる固定絞りを配置することで、本発明の目的を満たす照明を実現することが可能となる。このように斜めの位置関係にある2チップの同時検査についても、横並び同様に、本発明の目的を満たす照明を実現することが可能である。なお、第3の実施例においては、斜め2チップの同時検査について説明しているが、3チップ以上の同時検査を行う場合についても、第2の実施の形態で説明したものと同様に、2チップ隣から光束に対しての遮光対策を施すことで、同様に、隣り合わないチップを照明する照明光の影響をなくすことが可能である。
Claims (3)
- 照明装置と、当該照明装置から射出する光が照射する被検査試料との間の光路中に設置され、前記照明装置からの射出光を拡散する拡散板と、前記光路中の前記拡散板の近傍に配置され、前記被検査試料上の複数の照明領域に対しそれぞれ所定の口径比となる光束にて照射する有効径を有する複数の開口からなる開口絞りと、前記照明領域に入射する、当該照明領域に隣接する照明領域を照明する光を遮光する固定絞りを備えたことを特徴とする照明補助装置。
- 前記照明領域に入射する、前記照明領域に隣接しない照明領域を照明する光を遮光する遮光手段を、さらに有することを特徴とする請求項1又は請求項2記載の照明補助装置。
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