JP2005136260A - 積層型圧電セラミックス素子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 卑金属内部電極を使用し、層間剥離がなく、圧電特性が良好で、かつ焼結の雰囲気の調整が容易な、安価な積層型圧電セラミックス素子及びその製造方法を実現すること。
【解決手段】 前記導電ペーストに含まれるCu粉末31の表面に、PbO、Bi2O3、SiO2、GeO2、Li2CO3、ZnO、B2O3、BaO、SrO、CaO、CuO、Agのうち少なくとも1種類以上からなる低融点の無機薄膜層32を形成したことを特徴とし、温度が950℃では酸素分圧1.01×103から1.01×102Pa、1050℃では、酸素分圧7.07×10-2から2.02×10-1Paの範囲の雰囲気で焼結することを特徴とする積層型圧電セラミックス素子及びその製造方法。
【選択図】 図3
Description
32 無機薄膜層
Claims (7)
- 圧電セラミックス層と内部電極層とを複数、交互に積層して一体化した積層体で、前記内部電極層の表面露出部に内部電極と電気的に接続する外部電極を形成した積層型圧電セラミックス素子において、前記内部電極はCuを主成分とし、Ni、Ir、Pd、Pt、Rhのうち少なくとも1種類の金属を0.5重量%以上、10重量%以下、含有していることを特徴とする積層型圧電セラミックス素子。
- 前記内部電極を印刷する導電ペーストに含まれる金属粉末の平均粒子径は、0.1〜5μmであることを特徴とする請求項1に記載の積層型圧電セラミックス素子。
- 前記導電ペーストに含まれる金属粉末の表面に、PbO、Bi2O3、SiO2、GeO2、Li2CO3、ZnO、B2O3、BaO、SrO、CaO、CuO、Agのうち少なくとも1種類以上からなる低融点の無機薄膜層を形成したことを特徴とする請求項2に記載の積層型圧電セラミックス素子。
- 前記金属粉末の表面に形成した無機薄膜層は、融点が1000℃以下で、その厚さは、10nm以上であることを特徴とする請求項3に記載の積層型圧電セラミックス素子。
- 前記金属粉末の表面に形成した無機薄膜層の含有量は、金属粉末に対し0.5重量%以上、5重量%以下であることを特徴とする請求項3または4に記載の積層型圧電セラミックス素子。
- 前記圧電セラミックス層を形成する圧電セラミックス原料粉末に、前記無機薄膜層と同じ元素からなる化合物を、0.1重量%以上、2重量%以下、含有することを特徴とする請求項3乃至5に記載の積層型圧電セラミックス素子。
- 前記請求項1乃至6に記載の積層型圧電セラミックス素子は、温度が950℃では酸素分圧1.01×103から1.01×102Pa、1050℃では、酸素分圧7.07×10-2から2.02×10-1Paの範囲の雰囲気で焼結することを特徴とする積層型圧電セラミックス素子の製造方法。
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