JP2005134687A - 基板の組立方法およびその装置 - Google Patents
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Abstract
粘着シートを用いて基板を保持した場合、垂直方向の保持力は強いが水平方向の保持力は小さく、加圧時に基板間に位置ずれを発生しやすい。
【解決手段】
少なくともテーブル4側に、複数の粘着パッドと摩擦パッドを配置することで、加圧力を加えたときに、水平方向の力が作用しても、テーブルに対して基板が水平方向にずれことが防止できる。
【選択図】 図1
Description
Claims (5)
- 真空チャンバ内で貼り合わせる一方の基板を加圧板の下面に粘着力を作用させて保持し、貼り合わせる他方の基板をテーブル上に保持して対向させ、少なくともいずれか一方の基板に設けた接着剤により真空中で間隔を狭めて貼り合わせる基板の組立方法において、
前記一方の基板を加圧板に脱着可能に設けた粘着保持機構で保持し、他方の基板を複数の粘着パッドと複数の摩擦パッドで構成されるテーブル上に保持して、両基板の位置決め、および貼り合わせを行った後、加圧板に設けた粘着保持機構から基板を剥離し、真空チャンバ内を大気解放後、テーブル上の粘着パッドを待避させて貼り合わされた他方側基板の粘着パッドから剥離することを特徴とする基板の組立方法。 - 真空チャンバ内で貼り合わせる一方の基板を加圧板の下面に粘着力を作用させて保持し、貼り合わせる他方の基板をテーブル上に保持して対向させ、少なくともいずれか一方の基板に設けた接着剤により真空中で間隔を狭めて貼り合わせる基板の組立方法において、
前記一方の基板を加圧板に脱着可能に設けた粘着保持機構で保持し、他方の基板を複数の粘着パッドと複数の摩擦パッドで構成されるテーブル上に保持して、両基板の位置決め、および貼り合わせを行った後、粘着保持し位置合わせしたまま大気開放して、大気開放中または、大気解放後、テーブル上の粘着パッドを待避させて基板から粘着パッドを剥離させ、加圧板に設けた粘着保持機構から基板を剥離することを特徴とする基板の組立方法。 - 真空チャンバ内の上方に一方の基板を保持する加圧板と、貼り合わせる他方の基板を真空チャンバ内の下方に保持するテーブルとを備え、両基板を対向させ、少なくともいづれかの基板に設けた接着剤により減圧雰囲気中で両基板の間隔を狭めて基板同士を貼り合わせる基板組立装置において、
前記テーブルに他方の基板を保持する複数の粘着パッドと、複数の摩擦パッドを配置し、該粘着パッドは、前記テーブル面に突出およびテーブル面より内側に待避する駆動機構を備えていることを特徴とする基板組立装置。 - 請求項3に記載の基板組立装置において、
前記加圧板にも前記複数の摩擦パッドを設けた構成としたことを特徴とする基板組立装置。 - 請求項3、又は4記載の基板組立装置において、
前記加圧板及びテーブルに複数の吸引吸着用の吸引口を設けると共に、前記加圧板に設けた粘着保持機構にも、前記吸引口に合わせて基板吸着側にまで連通するように吸引吸着用の貫通孔を設けてあり、前記テーブルは前記粘着パッド及び摩擦パッド以外の部分に吸引吸口が設けてあることを特徴とする基板組立装置。
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