JP3894192B2 - 基板の組立方法およびその装置 - Google Patents
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Description
一方の基板を加圧板に脱着可能に設けた面状の粘着保持機構で保持し、テーブル設けた複数の粘着パッドの吸引吸着口に吸着力を作用させることで、複数の粘着パッドをテーブル上の他方の基板面に移動させ、他方の基板を粘着パッドと吸引吸着でテーブル上に保持して、部分的に両基板の貼り合わせを行った後、加圧板に設けた粘着保持機構から基板を剥離し、真空チャンバ内を大気解放後、テーブル側の粘着パッドを待避させて貼り合わされた他方側基板の粘着パッドから剥離するようにした。
また、真空チャンバ内の上方に一方の基板を保持する加圧板と、貼り合わせる他方の基板を真空チャンバ内の下方に保持するテーブルとを備え、両基板を対向させ、少なくともいずれかの基板に設けた接着剤により減圧雰囲気中で両基板の間隔を狭めて基板同士を貼り合わせるものにおいて、テーブルに他方の基板を保持する複数の粘着パッドと、複数の摩擦パッドを配置し、粘着パッド部に吸引吸着力で基板を保持する吸引吸着口とを備え、吸引吸着力を作用させることで粘着パッドをテーブル面に載置された基板裏面に突出させ、基板面に粘着パッドが接触して保持すると、粘着パッドがテーブル面から移動しないように粘着パッドを保持する保持機構を備えた構成とした。
Claims (4)
- 真空チャンバ内で貼り合わせる一方の基板を加圧板の下面に粘着力を作用させて保持し、貼り合わせる他方の基板をテーブル上に保持して対向させ、少なくともいずれか一方の基板に設けた接着剤により真空中で間隔を狭めて貼り合わせる基板の組立方法において、
前記一方の基板を加圧板に脱着可能に設けた面状の粘着保持機構で保持し、前記テーブル設けた複数の粘着パッドの吸引吸着口に吸着力を作用させることで、前記複数の粘着パッドをテーブル上の前記他方の基板面に移動させ、前記他方の基板を粘着パッドと吸引吸着でテーブル上に保持して、部分的に両基板の貼り合わせを行った後、加圧板に設けた粘着保持機構から基板を剥離し、真空チャンバ内を大気解放後、テーブル側の粘着パッドを待避させて貼り合わされた他方側基板の粘着パッドから剥離することを特徴とする基板の組立方法。 - 真空チャンバ内の上方に一方の基板を保持する加圧板と、貼り合わせる他方の基板を真空チャンバ内の下方に保持するテーブルとを備え、両基板を対向させ、少なくともいずれかの基板に設けた接着剤により減圧雰囲気中で両基板の間隔を狭めて基板同士を貼り合わせる基板組立装置において、
前記テーブルに他方の基板を保持する複数の粘着パッドと、複数の摩擦パッドを配置し、前記粘着パッド部に吸引吸着力で基板を保持する吸引吸着口とを備え、前記吸引吸着力を作用させることで前記粘着パッドを前記テーブル面に載置された基板裏面に突出させ、基板面に粘着パッドが接触して保持すると、該粘着パッドがテーブル面から移動しないように粘着パッドを保持する保持機構を備えていることを特徴とする基板組立装置。 - 請求項2に記載の基板組立装置において、
前記加圧板に粘着シートを取り付けた粘着保持部材を固定し、加圧板に上下に移動可能に真空吸着パッドを複数設け、前記真空吸着パッドが上下に移動可能に前記粘着シートと粘着保持部材を複数の開口部を備え、上基板を保持する場合に基板中央部の前記真空吸着パッドから順次基板端部の真空吸着パッドを動作させて基板を保持することを特徴とする基板組立装置。 - 請求項2又は3に記載の基板組立装置において、
前記加圧板側に複数の荷重計を、また上下基板の間隔を測定する間隔測定手段を設け、前記荷重計と前記間隔測定手段の測定結果に応じて加圧板の移動を制御することを特徴とする基板組立装置。
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