JP2005129797A - 露光装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
露光装置及びデバイス製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005129797A JP2005129797A JP2003364955A JP2003364955A JP2005129797A JP 2005129797 A JP2005129797 A JP 2005129797A JP 2003364955 A JP2003364955 A JP 2003364955A JP 2003364955 A JP2003364955 A JP 2003364955A JP 2005129797 A JP2005129797 A JP 2005129797A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- correction
- exposure
- expiration date
- exposure apparatus
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
- G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
- G03F9/7003—Alignment type or strategy, e.g. leveling, global alignment
- G03F9/7023—Aligning or positioning in direction perpendicular to substrate surface
- G03F9/7026—Focusing
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
- G03F7/70491—Information management, e.g. software; Active and passive control, e.g. details of controlling exposure processes or exposure tool monitoring processes
- G03F7/70525—Controlling normal operating mode, e.g. matching different apparatus, remote control or prediction of failure
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
- G03F7/70491—Information management, e.g. software; Active and passive control, e.g. details of controlling exposure processes or exposure tool monitoring processes
- G03F7/70533—Controlling abnormal operating mode, e.g. taking account of waiting time, decision to rework or rework flow
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
- G03F7/70605—Workpiece metrology
- G03F7/70616—Monitoring the printed patterns
- G03F7/70641—Focus
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
【解決手段】露光装置の駆動を補正するための補正量を取得し、取得された補正量の有効期限を設定する(S11、S12)。露光装置による所定の露光処理単位の実行(S13)に先だって、当該露光処理の終了時が前記有効期限を過ぎるか否かを判定し(S15、S16)、終了時間が前記有効期限を過ぎる場合は新たな補正量とその有効期限を取得させる(S16、S11、S12)。
【選択図】 図9
Description
基板にパターンを露光する露光装置であって、
前記露光装置における処理に必要なパラメータを補正する補正手段と、
前記補正手段により補正されたパラメータの有効期限を設定する設定手段と、
前記有効期限に基づいて、前記補正手段による補正を実行させる制御手段と
を備えることを特徴とする。
図1は第1実施形態に係わるステップ・アンド・スキャン型露光装置の概略構成を示す図である。図1において、101は例えばKrF等のガスが封入され、レーザ光を発光させるパルスレーザ光源である。このパルスレーザ光源101は、遠紫外領域の波長248nmの光を発光する。また、パルスレーザ光源101には、共振器を構成するフロントミラー、露光波長を狭帯化するための回折格子、プリズム等からなる狭帯化モジュール、波長の安定性、スペクトル幅をモニタするための分光器やディテクタ等からなるモニタモジュール、及びシャッター等(いずれも不図示)が設けられている。パルスレーザ光源101のガス交換動作、あるいは波長安定化のための制御、放電印加電圧の制御等は、レーザ制御装置102により制御される。第1実施形態では、レーザ制御装置102のみによる単独制御は行わず、インタフェースケーブルで接続した露光装置全体を制御する主制御装置103からの命令で制御できるようにしてある。
[次ウエハ終了時間]=[経過時間(Tr)]+[次ウエハ加工予測時間(Tn)] …(式1)
本実施形態では、(式1)の「次ウエハ加工予測時間(Tn)」を1枚目の加工実績時間(Tr)で置き換えた(式2)を用い、実績値を反映して予測精度を高めることもできる。
[次ウエハ終了時間]=[経過時間(Tr)]×n …(式2)
但し、(式2)においてnは次ウエハがn枚目のウエハであることを示す。
第2実施形態では、上記第1実施形態における露光処理単位の実行中(ステップS13)に露光処理が停止した場合を考慮する。本実施形態では、そのような停止が発生した場合に、残りの露光処理を実行した場合に補正値の有効期限が切れるか否かを判定し、必要に応じて補正値の計測をやり直す。
[現ウエハ終了時間]=[経過時間(Tr)]+[2枚目(加工中ウエハ)加工残時間(Tn)] …(式3)
ここで(式3)を、1枚目の加工実績時間(Tr[1])と実測停止時間(t)を使った(式4)を用いて書き換え、実測値を反映して現ウエハ終了時間の予測精度を高めることもできる。
[現ウエハ終了時間]=[1枚目の加工実績時間(Tr[1])]×n+[停止時間(t)] …(式4)
ここで、nは現在のウエハがn枚目であることを示す。
第1及び第2実施形態では、ステップS12及びステップS28における有効期限の設定において、回路パターン微細度に関する情報に基づいて有効期限を登録したテーブルを参照した。第3実施形態では、補正パラメータの有効期限を動的に調整する。補正パラメータの経過時間と有効期限とを比較しながら、自動的に計測・補正する方法は、第1及び第2実施形態の図6、図7と同様である。本実施形態の相違点は、予測補正量と実測補正量とから、次に補正する有効期限を演算で決定する点である。つまり、予め実験で求めた有効期限をそのまま使用するのではなく、生産中に計測した補正量を、次の補正時期に係る有効期限の決定にフィードバック(反映)することで、装置状態に適した補正時期(有効期限)を計画(決定)することができる。
Claims (8)
- 基板にパターンを露光する露光装置であって、
前記露光装置における処理に必要なパラメータを補正する補正手段と、
前記補正手段により補正されたパラメータの有効期限を設定する設定手段と、
前記有効期限に基づいて、前記補正手段による補正を実行させる制御手段とを備えることを特徴とする露光装置。 - 前記制御手段は、前記露光装置における所定の処理単位の実行に先立って、前記有効期限に基づいて、前記補正手段による補正を実行させるか否かを判断することを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記設定手段は、処理に要求される精度と前記有効期限とを対応付けたテーブルと、前記精度に関する情報とに基づいて、前記パラメータの有効期限を設定することを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記制御手段は、前記処理単位の実行が、その途中で停止された後に、再開される場合、当該処理単位の残りの処理の終了予想時刻に基づいて、前記補正手段による補正を実行させるか否かを判断することを特徴とする請求項2に記載の露光装置。
- 前記設定手段は、前記補正手段により補正されたパラメータの補正量と補正時刻とに基づいて、当該パラメータに対する有効期限を設定することを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記補正手段による補正対象となる前記パラメータが複数種類あることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の露光装置。
- 前記パラメータは、前記パターンの結像位置を含むことを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の露光装置。
- 請求項1乃至7のいずれかに記載の露光装置を用いてデバイスを製造することを特徴とするデバイス製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003364955A JP3833209B2 (ja) | 2003-10-24 | 2003-10-24 | 露光装置及びデバイス製造方法 |
US10/969,072 US7233836B2 (en) | 2003-10-24 | 2004-10-21 | Exposure apparatus and device manufacturing method |
US11/559,433 US8422623B2 (en) | 2003-10-24 | 2006-11-14 | Exposure apparatus and device manufacturing method |
US11/735,036 US7483764B2 (en) | 2003-10-24 | 2007-04-13 | Exposure apparatus and device manufacturing method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003364955A JP3833209B2 (ja) | 2003-10-24 | 2003-10-24 | 露光装置及びデバイス製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005129797A true JP2005129797A (ja) | 2005-05-19 |
JP3833209B2 JP3833209B2 (ja) | 2006-10-11 |
Family
ID=34543756
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003364955A Expired - Fee Related JP3833209B2 (ja) | 2003-10-24 | 2003-10-24 | 露光装置及びデバイス製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US7233836B2 (ja) |
JP (1) | JP3833209B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3833209B2 (ja) * | 2003-10-24 | 2006-10-11 | キヤノン株式会社 | 露光装置及びデバイス製造方法 |
JP2005294473A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Canon Inc | 露光装置、デバイス製造方法及びデバイス |
JP2006108474A (ja) * | 2004-10-07 | 2006-04-20 | Canon Inc | 露光装置及びそれを用いたデバイス製造方法 |
JP4492875B2 (ja) * | 2005-06-21 | 2010-06-30 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理システム及び基板処理方法 |
JP5383399B2 (ja) * | 2009-09-14 | 2014-01-08 | キヤノン株式会社 | 管理装置、露光方法及びデバイス製造方法 |
TWM550415U (zh) * | 2016-01-28 | 2017-10-11 | 應用材料股份有限公司 | 圖像投影裝置及系統 |
JP6812536B2 (ja) | 2016-09-06 | 2021-01-13 | エーエスエムエル ホールディング エヌ.ブイ. | 検査システムにおける合焦のための方法及びデバイス |
KR102546434B1 (ko) | 2020-03-13 | 2023-06-22 | 바이두 온라인 네트웍 테크놀러지 (베이징) 캄파니 리미티드 | 미니 프로그램 처리 방법, 장치, 기기 및 저장매체 |
CN111382362B (zh) * | 2020-03-13 | 2023-10-03 | 百度在线网络技术(北京)有限公司 | 小程序处理方法、装置、设备及存储介质 |
Family Cites Families (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5999722A (ja) * | 1982-11-29 | 1984-06-08 | Canon Inc | 半導体焼付露光制御方法 |
JPS609631A (ja) | 1983-06-29 | 1985-01-18 | Toyoda Mach Works Ltd | 工作機械における予備工具の準備方法 |
US4624551A (en) * | 1983-09-17 | 1986-11-25 | Nippon Kogaku K.K. | Light irradiation control method for projection exposure apparatus |
US4666273A (en) * | 1983-10-05 | 1987-05-19 | Nippon Kogaku K. K. | Automatic magnification correcting system in a projection optical apparatus |
JPS61183928A (ja) * | 1985-02-12 | 1986-08-16 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 投影光学装置 |
JPH0712012B2 (ja) * | 1985-12-11 | 1995-02-08 | 株式会社ニコン | 投影露光装置 |
JPH0782981B2 (ja) * | 1986-02-07 | 1995-09-06 | 株式会社ニコン | 投影露光方法及び装置 |
JPH0821531B2 (ja) * | 1986-08-29 | 1996-03-04 | 株式会社ニコン | 投影光学装置 |
US5361122A (en) * | 1990-09-06 | 1994-11-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Autofocusing device and projection exposure apparatus with the same |
DE69127335T2 (de) * | 1990-10-08 | 1998-01-15 | Canon Kk | Projektionsbelichtungsapparat mit einer Vorrichtung zur Ausgleichung der Verzeichnung einer Projektionslinse |
US5424552A (en) * | 1991-07-09 | 1995-06-13 | Nikon Corporation | Projection exposing apparatus |
JP3218631B2 (ja) | 1991-07-09 | 2001-10-15 | 株式会社ニコン | 投影露光装置 |
JP3395280B2 (ja) * | 1993-09-21 | 2003-04-07 | 株式会社ニコン | 投影露光装置及び方法 |
JP3412981B2 (ja) * | 1995-08-29 | 2003-06-03 | キヤノン株式会社 | 投影露光装置および投影露光方法 |
JPH09270382A (ja) | 1996-03-29 | 1997-10-14 | Canon Inc | 投影露光装置及びそれを用いた半導体デバイスの製造方法 |
JPH1027743A (ja) * | 1996-07-11 | 1998-01-27 | Canon Inc | 投影露光装置、デバイス製造方法及び収差補正光学系 |
JPH10199782A (ja) * | 1997-01-14 | 1998-07-31 | Canon Inc | 投影露光装置 |
JPH10270535A (ja) * | 1997-03-25 | 1998-10-09 | Nikon Corp | 移動ステージ装置、及び該ステージ装置を用いた回路デバイス製造方法 |
JP2000049088A (ja) * | 1998-07-29 | 2000-02-18 | Canon Inc | 露光装置およびデバイス製造方法 |
US6297877B1 (en) * | 1998-08-13 | 2001-10-02 | Micron Technology, Inc. | Methods for compensating for lens heating resulting from wafer reflectance in micro-photolithography equipment |
JP4323608B2 (ja) * | 1999-03-12 | 2009-09-02 | キヤノン株式会社 | 露光装置およびデバイス製造方法 |
WO2000072365A1 (fr) | 1999-05-24 | 2000-11-30 | Nikon Corporation | Systeme d'exposition et procede de fabrication de dispositif |
JP2001196294A (ja) * | 2000-01-14 | 2001-07-19 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置の露光処理方法 |
JP2001274056A (ja) * | 2000-03-24 | 2001-10-05 | Canon Inc | 露光装置およびデバイス製造装置 |
CN1491427A (zh) * | 2001-02-06 | 2004-04-21 | ������������ʽ���� | 曝光装置、曝光法和器件制造法 |
JP2003031462A (ja) | 2001-07-12 | 2003-01-31 | Nikon Corp | 露光方法及び露光装置 |
JP2004281697A (ja) * | 2003-03-14 | 2004-10-07 | Canon Inc | 露光装置及び収差補正方法 |
US7084952B2 (en) * | 2003-07-23 | 2006-08-01 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus, device manufacturing method, and computer-readable storage medium |
JP3833209B2 (ja) | 2003-10-24 | 2006-10-11 | キヤノン株式会社 | 露光装置及びデバイス製造方法 |
-
2003
- 2003-10-24 JP JP2003364955A patent/JP3833209B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-10-21 US US10/969,072 patent/US7233836B2/en active Active
-
2006
- 2006-11-14 US US11/559,433 patent/US8422623B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-04-13 US US11/735,036 patent/US7483764B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20070052941A1 (en) | 2007-03-08 |
JP3833209B2 (ja) | 2006-10-11 |
US8422623B2 (en) | 2013-04-16 |
US20070185606A1 (en) | 2007-08-09 |
US7483764B2 (en) | 2009-01-27 |
US20050102263A1 (en) | 2005-05-12 |
US7233836B2 (en) | 2007-06-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4370608B2 (ja) | 走査露光方法、走査型露光装置及びその製造方法、並びにデバイス製造方法 | |
US7483764B2 (en) | Exposure apparatus and device manufacturing method | |
US9891525B2 (en) | Exposure method, exposure apparatus, and article manufacturing method | |
JP2007207821A (ja) | 可変スリット装置、照明装置、露光装置、露光方法及びデバイスの製造方法 | |
JP4392879B2 (ja) | 投影露光装置及びデバイスの製造方法 | |
JP5077656B2 (ja) | パターンデータ処理方法及びシステム、並びに露光方法及び装置 | |
JP2005310453A (ja) | 光源装置、当該光源装置を有する露光装置 | |
EP3739390A1 (en) | Exposure apparatus and article manufacturing method | |
WO1999031716A1 (fr) | Aligneur, methode d'exposition et procede de fabrication de ce dispositif | |
JP2003068622A (ja) | 露光装置及びその制御方法並びにデバイスの製造方法 | |
JPH11354425A (ja) | 走査型投影露光装置及びそれを用いたデバイスの製造方法 | |
JP3363532B2 (ja) | 走査型露光装置 | |
JP2005012169A (ja) | 露光装置及びデバイス製造方法 | |
JP2001244183A (ja) | 投影露光装置 | |
JP2006108474A (ja) | 露光装置及びそれを用いたデバイス製造方法 | |
JP2005294473A (ja) | 露光装置、デバイス製造方法及びデバイス | |
JP2009141154A (ja) | 走査露光装置及びデバイス製造方法 | |
US6744492B2 (en) | Exposure apparatus | |
JP2001326159A (ja) | レーザ装置、露光装置、および該露光装置を用いるデバイス製造方法 | |
JP2011109014A (ja) | 走査型露光装置 | |
KR20080057167A (ko) | 이동장치 | |
JP3235472B2 (ja) | 投影露光装置及びそれを用いたデバイスの製造方法 | |
JPH0996908A (ja) | 露光装置及びそれを用いたデバイスの製造方法 | |
JP2001291662A (ja) | 露光方法及び露光装置、並びにデバイス製造方法 | |
JP2009038271A (ja) | 露光装置及び方法、並びにデバイスの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20051014 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051024 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051226 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060707 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060718 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3833209 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090728 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100728 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100728 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110728 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120728 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120728 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130728 Year of fee payment: 7 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |