JP2005109404A - 基板保持装置 - Google Patents
基板保持装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005109404A JP2005109404A JP2003344402A JP2003344402A JP2005109404A JP 2005109404 A JP2005109404 A JP 2005109404A JP 2003344402 A JP2003344402 A JP 2003344402A JP 2003344402 A JP2003344402 A JP 2003344402A JP 2005109404 A JP2005109404 A JP 2005109404A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- air
- air discharge
- holding device
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】基板4の周縁部を保持する保持部材3,5と、基板4の中央部の下側に、基板4の下面に空気を吹き付けて、基板4の中央部を持ち上げる空気吐出部8を備える。また、空気吐出部8を上下に昇降して、高さ方向の位置を変更できるようにする。また、基板4の撓みを検出するセンサを備え、撓みの大きさに応じて、空気吐出部8の高さ方向の位置および吐出空気の圧力および流量を調整するものである。また、基板保持装置1の傾きを検出するセンサを備え、傾きの大きさに応じて、空気吐出部8の高さ方向の位置および吐出空気の圧力および流量を調整する。また、空気吐出部8の流路形状を絞り効果を有する形状とする。
【選択図】 図2
Description
そこで、本発明は基板の撓みを非接触で補正することによって、基板に傷を付けたり、パーティクルを発生させたりすることのない基板保持装置を提供することを目的とするものである。
から、前記クリーンエアを吐出する。
Claims (5)
- 基板の周縁部を保持する保持部材と、前記基板の中央部の下側に、前記基板の下面に空気を吹き付けて、前記基板の中央部を持ち上げる空気吐出部を備えたことを特徴とする基板保持装置。
- 前記空気吐出部は上下に昇降して、高さ方向の位置を変更できることを特徴とする請求項1に記載の基板保持装置。
- 前記基板の撓みを検出するセンサを備え、前記センサで検出した撓みの大きさに応じて、前記空気吐出部の高さ方向の位置および吐出空気の圧力および流量を調整することを特徴とする請求項2に記載の基板保持装置。
- 基板保持装置の傾きを検出するセンサを備え、前記センサで検出した傾きの大きさに応じて、前記空気吐出部の高さ方向の位置および吐出空気の圧力および流量を調整することを特徴とする請求項2または請求項3に記載の基板保持装置。
- 前記空気吐出部の流路形状を絞り効果を有する形状とすることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の基板保持装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003344402A JP4305749B2 (ja) | 2003-10-02 | 2003-10-02 | 基板保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003344402A JP4305749B2 (ja) | 2003-10-02 | 2003-10-02 | 基板保持装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005109404A true JP2005109404A (ja) | 2005-04-21 |
JP4305749B2 JP4305749B2 (ja) | 2009-07-29 |
Family
ID=34538048
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003344402A Expired - Fee Related JP4305749B2 (ja) | 2003-10-02 | 2003-10-02 | 基板保持装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4305749B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100689843B1 (ko) | 2006-01-03 | 2007-03-08 | 삼성전자주식회사 | 웨이퍼 스테이지 및 이를 이용한 웨이퍼 안착방법 |
JP2007273541A (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-18 | Topcon Corp | ウェハ保持装置 |
JP2012178471A (ja) * | 2011-02-25 | 2012-09-13 | Lintec Corp | シート貼付装置および貼付方法 |
JP2012222240A (ja) * | 2011-04-12 | 2012-11-12 | Tokyo Electron Ltd | 基板保持装置、基板処理装置、基板処理方法、及び基板処理プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
JP2013229409A (ja) * | 2012-04-25 | 2013-11-07 | Ebara Corp | 基板処理装置 |
-
2003
- 2003-10-02 JP JP2003344402A patent/JP4305749B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100689843B1 (ko) | 2006-01-03 | 2007-03-08 | 삼성전자주식회사 | 웨이퍼 스테이지 및 이를 이용한 웨이퍼 안착방법 |
JP2007273541A (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-18 | Topcon Corp | ウェハ保持装置 |
JP4694400B2 (ja) * | 2006-03-30 | 2011-06-08 | 株式会社トプコン | ウェハ保持装置 |
JP2012178471A (ja) * | 2011-02-25 | 2012-09-13 | Lintec Corp | シート貼付装置および貼付方法 |
JP2012222240A (ja) * | 2011-04-12 | 2012-11-12 | Tokyo Electron Ltd | 基板保持装置、基板処理装置、基板処理方法、及び基板処理プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
JP2013229409A (ja) * | 2012-04-25 | 2013-11-07 | Ebara Corp | 基板処理装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4305749B2 (ja) | 2009-07-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9425076B2 (en) | Substrate transfer robot end effector | |
US20080089768A1 (en) | Transfer Unit | |
JP5868228B2 (ja) | 基板保持装置及び基板保持方法 | |
JP4580327B2 (ja) | 被処理体の取り出し方法及びプログラム記憶媒体並びに載置機構 | |
JPWO2003071599A1 (ja) | 基板吸着装置 | |
JP2009130011A (ja) | 基板位置決め装置 | |
JP4305749B2 (ja) | 基板保持装置 | |
KR20050030136A (ko) | 기판 보유 지지 장치, 기판 처리 장치, 기판 검사 장치 및기판 보유 지지 방법 | |
JP2005101226A5 (ja) | ||
JP2002127070A (ja) | 板状体保持装置 | |
US7879149B2 (en) | Vacuum processing apparatus | |
EP2905807B1 (en) | Method and apparatus for preventing the deformation of a substrate supported at its edge area | |
JP4447497B2 (ja) | 基板保持具 | |
JP4459023B2 (ja) | 基板保持装置 | |
JP7269753B2 (ja) | 基板保持装置 | |
JP2006156612A (ja) | 位置決め装置 | |
JPH01127538A (ja) | 板状物受け渡し装置 | |
JP2001135712A (ja) | 真空処理装置 | |
TWI844367B (zh) | 基板處理裝置及使用其的基板處理方法 | |
JP2010165883A (ja) | 半導体ウエハの搬送装置及び搬送方法 | |
JP4408786B2 (ja) | 減圧乾燥装置および減圧乾燥方法 | |
TW202347597A (zh) | 基板處理裝置及使用其的基板處理方法 | |
KR20030016903A (ko) | 노광 설비의 웨이퍼 스테이지 | |
TW202232652A (zh) | 晶圓保持裝置 | |
KR20220078486A (ko) | 보정 방법 및 기판 반송 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060906 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090126 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090128 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090319 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090409 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090422 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120515 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130515 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140515 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |