JP2005109331A - ステージ装置およびデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 処理対象物を保持して移動するステージ可動部5と、ステージ可動部に設けられた軸受手段24と、軸受手段を介してステージ可動部を案内するガイド面を有するステージガイド部25とを備えたステージ装置において、ステージ可動部の温度を制御するためにステージガイド部の温度を調整する温度調整手段27、28a、28bを設け、温度調整手段によって軸受手段を介した熱の移動を制御することにより、ステージ可動部の温度を制御する。
【選択図】 図2
Description
Claims (11)
- 対象物を保持して移動するステージ可動部と、前記ステージ可動部に設けられた軸受手段と、前記軸受手段と協働して前記ステージ可動部を移動方向に案内するガイド面を有するステージガイド部と、前記ステージ可動部の温度を制御するために前記ステージガイド部の温度を調整する温度調整手段とを具備することを特徴とするステージ装置。
- 前記温度調整手段は、前記ステージガイド部を冷却することにより前記温度の調整を行うものであることを特徴とする請求項1に記載のステージ装置。
- 前記温度調整手段は、前記ステージガイド部に設けた冷媒を通す流路および温度センサ、ならびに前記温度センサからの検出信号に基づき前記冷媒の温度を制御する温度制御ユニットを有することを特徴とする請求項1または2に記載のステージ装置。
- 前記温度調整手段は、前記ステージガイド部に設けたヒートパイプおよび温度センサ、前記ヒートパイプに接続された冷媒を通す流路、ならびに前記温度センサの出力に基づき前記冷媒の温度を制御する温度制御ユニットを有することを特徴とする請求項1または2に記載のステージ装置。
- 前記温度調整手段は、前記ステージガイド部の異なる複数の部分を別個に温度調整するものであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のステージ装置。
- 前記温度調整手段は、前記ステージ可動部の駆動パターンに応じて前記ステージガイド部の異なる各部分を別個に温度調整するものであることを特徴とする請求項5に記載のステージ装置。
- 前記温度調整手段は、前記ステージ可動部に設けた温度センサを備え、その検出信号に基づいて前記温度の調整を行うものであることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載のステージ装置。
- 前記軸受手段はエアベアリングであり、前記ステージガイド部はステージ定盤であり、前記温度調整手段は前記ステージ定盤の温度を調整することにより、前記エアベアリングのエアギャップを経た熱の移動を制御して、前記ステージ可動部の温度制御を行うものであることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載のステージ装置。
- 前記軸受手段は磁気軸受であり、前記ステージガイド部はステージ定盤であり、前記温度調整手段は前記ステージ定盤の温度を調整することにより、前記磁気軸受のギャップを経た熱の移動を制御して、前記ステージ可動部の温度制御を行うものであることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載のステージ装置。
- 前記ステージ可動部の移動を行うリニアモータを備え、前記リニアモータの固定子は前記ステージガイド部を支持する構造体上、または前記ステージガイド部上に設けられており、前記ステージ装置は露光装置における原版または基板の位置決めに使用されるものであることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載のステージ装置。
- 請求項1〜9のいずれかに記載のステージ装置を用いてデバイスを製造することを特徴とするデバイス製造方法。
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