JP2005109246A - 高周波用磁性薄膜、その作製方法及び磁気素子 - Google Patents
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- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims abstract description 180
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 100
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 16
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 116
- 229910000808 amorphous metal alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 50
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 claims abstract description 39
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract description 25
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 22
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 7
- 230000005350 ferromagnetic resonance Effects 0.000 claims description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 82
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 32
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 18
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 7
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 4
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 4
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 3
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 3
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 3
- 229910002546 FeCo Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 238000011160 research Methods 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000531 Co alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910019236 CoFeB Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910019230 CoFeSiB Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910019586 CoZrTa Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052774 Proactinium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000577 Silicon-germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 229910052878 cordierite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- JSKIRARMQDRGJZ-UHFFFAOYSA-N dimagnesium dioxido-bis[(1-oxido-3-oxo-2,4,6,8,9-pentaoxa-1,3-disila-5,7-dialuminabicyclo[3.3.1]nonan-7-yl)oxy]silane Chemical compound [Mg++].[Mg++].[O-][Si]([O-])(O[Al]1O[Al]2O[Si](=O)O[Si]([O-])(O1)O2)O[Al]1O[Al]2O[Si](=O)O[Si]([O-])(O1)O2 JSKIRARMQDRGJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052839 forsterite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000001659 ion-beam spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- HCWCAKKEBCNQJP-UHFFFAOYSA-N magnesium orthosilicate Chemical compound [Mg+2].[Mg+2].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] HCWCAKKEBCNQJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052863 mullite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 238000001552 radio frequency sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011029 spinel Substances 0.000 description 1
- -1 steatite Chemical compound 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
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- H01F41/14—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates
- H01F41/30—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates for applying nanostructures, e.g. by molecular beam epitaxy [MBE]
- H01F41/302—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates for applying nanostructures, e.g. by molecular beam epitaxy [MBE] for applying spin-exchange-coupled multilayers, e.g. nanostructured superlattices
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- H01F10/10—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition
- H01F10/12—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition being metals or alloys
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- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
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- B82Y40/00—Manufacture or treatment of nanostructures
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- H01F10/10—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition
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- H01F10/00—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure
- H01F10/08—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers
- H01F10/10—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition
- H01F10/12—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition being metals or alloys
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Abstract
【課題】 GHz帯域の高周波領域で利用できる高周波用磁性薄膜及び磁気素子を提供する。
【解決手段】 Co系非晶質合金層2と、そのCo系非晶質合金2の自然酸化層3とからなる多層膜であって、その多層膜全体の体積に対する自然酸化層3の割合を5〜50%とすることにより、上記課題を解決した。また、成膜時における磁場印加方向が磁化容易軸となる性質をもつCo系非晶質合金層2と、そのCo系非晶質合金の自然酸化層3とからなる多層膜であって、作製された多層膜の磁化容易軸が、その多層膜の成膜時における磁場印加方向と直交する磁性薄膜により、上記課題を解決した。
【選択図】 図1
【解決手段】 Co系非晶質合金層2と、そのCo系非晶質合金2の自然酸化層3とからなる多層膜であって、その多層膜全体の体積に対する自然酸化層3の割合を5〜50%とすることにより、上記課題を解決した。また、成膜時における磁場印加方向が磁化容易軸となる性質をもつCo系非晶質合金層2と、そのCo系非晶質合金の自然酸化層3とからなる多層膜であって、作製された多層膜の磁化容易軸が、その多層膜の成膜時における磁場印加方向と直交する磁性薄膜により、上記課題を解決した。
【選択図】 図1
Description
本発明は、GHz帯の高周波領域で利用される高周波用磁性薄膜、その作製方法及びその高周波用磁性薄膜を有する磁気素子に関し、さらに詳しくは、薄膜インダクタや薄膜トランス等の高周波用の平面型磁気素子やモノリシックマイクロ波集積回路(以下、MMICと略す。)等に好ましく用いられる高周波用磁性薄膜等に関するものである。
近年の磁気素子の小型化及び高性能化への要求に伴い、GHz帯域で高い透磁率を示す磁性薄膜材料が求められている。
例えば、ワイヤレス送受信装置や携帯情報端末を中心に需要が高まっているMMICは、Si、GaAs又はInP等の半導体基板上に、トランジスタ等の能動素子と、線路、抵抗、キャパシタ、インダクタ等の受動素子とを、一括的且つ一体的に作製して構成される高周波集積回路であるが、このMMICにおいては、特にインダクタやキャパシタ等の受動素子が能動素子に比べて大きな面積を占めている。MMICにおける受動素子の大面積の占有は、結果として高価な半導体基板の大量消費、すなわちMMICのコストアップにつながることになる。MMICの製造コストを低減するためにはチップ面積を縮小することが必要であるが、そのためには、受動素子が占める面積を縮小することが課題となっている。
上述したMMICには、平面型のスパイラルコイルがインダクタとして多く用いられている。こうした平面型のスパイラルコイルにおいては、小さな占有面積でも従来同様のインダクタンスを得るために、その上下面又は片面に軟磁性薄膜を設けることによるインダクタンスの増加が図られている(例えば、非特許文献1を参照)。しかし、磁性材料をMMICのインダクタに応用するためには、先ず、GHz帯域における透磁率が高く且つ高周波損失が少ない軟磁性薄膜材料を開発することが求められている。さらに、高周波での渦電流損失を減らすため、比抵抗が大きいことも求められている。
高い飽和磁化を持つ磁性材料として、Fe又はFeCoを主成分とする合金がよく知られている。しかし、Fe系又はFeCo系合金からなる磁性薄膜をスパッタ等の成膜技術により作製すると、得られた膜は飽和磁化が高いものの、膜の保磁力が大きく、また、比抵抗が小さくなってしまい、良好な高周波特性を得ることは困難であった。
一方、軟磁気特性に優れる材料として、Co系非結晶質合金が知られている。このCo系非結晶質合金は、Coを主成分とし、Y、Ti、Zr、Hf、Nb、Ta等から選択される1種又は2種以上の元素を含む非結晶質を主体とするものである。しかし、ゼロ磁歪組成のCo系非結晶質合金の磁性薄膜をスパッタ等の成膜技術により作製すると、得られた膜は透磁率が高いものの、飽和磁化が11kG(1.1T)程度であり、飽和磁化がFe系材料に比べて小さいという難点がある。さらに、100MHz程度の周波数を超えてからの損失成分(透磁率の虚数部μ”)が大きくなり、高周波帯域で使用する磁性材料としては好適とはいえなかった。
このような従来からの実情のもとに、軟磁性薄膜の高周波特性を改良するための種々の提案がなされている。その改良の基本方針としては、渦電流損失の抑制や共鳴周波数の上昇等が挙げられている。渦電流損失を抑制させる具体的な方策としては、例えば、0.01μm〜0.3μmのCo系非晶質合金層と0.02μm〜0.25μmの絶縁層との積層による多層化(例えば、特許文献1及び非特許文献2,3を参照)が提案されている。
軟磁気特性に優れるCo系非結晶質合金を用いてGHz帯のインダクタの実現を図ったものとして、磁性薄膜を磁化容易軸に平行な辺を長手方向とする短冊にマイクロパターン化し、形状磁気異方性エネルギーを増大させて共鳴周波数を高周波側にシフトさせる試みが行われている(例えば、非特許文献4を参照)。
J.Appl.Phys.,85,7919(1999) 日本応用磁気学会誌、16,291(1992) 日本応用磁気学会誌、17,489(1993) 日本応用磁気学会誌、24,879(2000) 特開平7−249516号公報(第1頁)
J.Appl.Phys.,85,7919(1999) 日本応用磁気学会誌、16,291(1992) 日本応用磁気学会誌、17,489(1993) 日本応用磁気学会誌、24,879(2000)
上記の特許文献1及び非特許文献2,3で提案された方法では、MHz帯域での応用の可能性はあるものの、GHz帯域で使用する磁性薄膜としては好適とはいえなかった。
また、上記の非特許文献4で提案された方法では、マイクロパターン化により異方性磁界を40Oe程度にまで挙げることができるので、共鳴周波数をGHz帯域まで挙げることができたが、短冊状のマイクロパターンを複雑なフォトリソグラフィ工程で作製することが必要であるという難点がある。
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その第1の目的は、GHz帯域の高周波領域で利用できる高周波用磁性薄膜を提供することにある。本発明の第2の目的は、そうした特性を有する高周波用磁性薄膜の作製方法を提供することにある。本発明の第3の目的は、GHz帯域での高周波特性のよい高周波用磁性薄膜を用いた磁気素子を提供することにある。
本発明者は、軟磁気特性を有するCo系非晶質合金を利用した高周波用磁性薄膜についての研究を行っている過程で、Co系非晶質合金層とそのCo系非晶質合金の自然酸化層とで多層化した場合に異方性磁界が現れることを見出し、その大きな異方性磁界を利用した高周波用磁性薄膜の研究をさらに行った結果、多層膜全体に対する自然酸化層の体積が所定の範囲内にある場合に大きな異方性磁界が現れ、GHz帯域での高周波特性に優れる磁性薄膜が得られることを知見した。
上記第1の目的を達成する本発明の高周波用磁性薄膜は、前記の知見に基づいてなされたものであって、Co系非晶質合金層と、当該Co系非晶質合金の自然酸化層とからなる多層膜であって、当該多層膜全体の体積に対する自然酸化層の割合が5〜50%であることを特徴とする。
本発明によれば、上記構成からなる多層膜には高い比抵抗と高い異方性磁界が現れるので、GHz帯域での高周波特性に優れた磁性薄膜となる。
また、上記第1の目的を達成する本発明の高周波用磁性薄膜は、前記の知見に基づいてなされたものであって、成膜時における磁場印加方向が磁化容易軸となる性質をもつCo系非晶質合金層と、当該Co系非晶質合金の自然酸化層とからなる多層膜であって、作製された多層膜の磁化容易軸が、当該多層膜の成膜時における磁場印加方向と直交することを特徴とする。
Co系非晶質合金層は、通常、成膜時における磁場印加方向が磁化容易軸となる性質をもつが、この発明によれば、Co系非晶質合金層とその自然酸化層とで多層膜を構成したとき、作製された多層膜の磁化容易軸が多層膜の成膜時における磁場印加方向と直交するという、磁化容易軸/困難軸の反転現象が現れる。こうした現象はいわゆる磁歪の逆効果と考えられるが、本発明の高周波磁性薄膜は、その現象に基づいて発現する大きな異方性磁界を示すと共に比抵抗も高くなるので、GHz帯域での高周波特性に優れた磁性薄膜となる。
本発明の高周波磁性薄膜は、上記の高周波磁性薄膜において、(i)前記Co系非晶質合金層がCoZrNb合金で形成されていること、(ii)比抵抗が150μΩcm以上であり、異方性磁界が100Oe以上であること、(iii)強磁性共鳴周波数が2GHz以上であること、に特徴を有する。
上記第2の目的を達成する本発明の高周波用磁性薄膜の作製方法は、Co系非晶質合金層と当該Co系非晶質合金の自然酸化層とからなる多層膜を印加磁場中で作製する高周波用磁性薄膜の作製方法であって、前記多層膜全体の体積に対する自然酸化層の割合が5〜50%の範囲内となるように成膜することを特徴とする。
Co系非晶質合金層と自然酸化層とを、多層膜全体の体積に対する自然酸化層の割合が5〜50%の範囲内となるように印加磁場中で成膜すると、作製された多層膜の磁化容易軸が多層膜の成膜時における磁場印加方向と直交するという、磁化容易軸/困難軸の反転現象が現れる。こうした現象はいわゆる磁歪の逆効果と考えられるが、本発明の高周波磁性薄膜の作製方法は、その現象に基づいて発現する大きな異方性磁界と高い比抵抗を示す高周波磁性薄膜を作製できるので、GHz帯域での高周波特性に優れた磁性薄膜を極めて容易な方法で作製することができる。
本発明の高周波磁性薄膜の作製方法は、上記高周波磁性薄膜の作製方法において、前記Co系非晶質合金層がCoZrNb合金で形成されることが好ましい。
上記第3の目的を達成する本発明の磁気素子は、上述した本発明の高周波用磁性薄膜、又は、上述した本発明の方法で作製された高周波用磁性薄膜、を一部に有することを特徴とする。
本発明の磁気素子は、上記磁気素子において、(a)前記高周波用磁性薄膜がコイルを挟持するように対向配置されていること、(b)インダクタ又はトランスに使用されること、(c)モノリシックマイクロ波集積回路に使用されること、が好ましい。
以上説明したように、本発明の高周波用磁性薄膜は、高い異方性磁界と高い比抵抗を有しているので、例えばMMICに搭載される平面型スパイラルコイルを有するインダクタ等に適用されるGHz帯域用の磁性薄膜として好ましく利用できる。なお、本発明の高周波用磁性薄膜は、室温で成膜したまま(as-deposit)の状態でその性能が得られるので、MMICのような半導体プロセスで製作される高周波集積回路に最適な材料である。
また、本発明の高周波用磁性薄膜の製造方法は、磁歪の逆効果と考えられる現象により大きな異方性磁界と高い比抵抗を示す高周波磁性薄膜を作製できるので、GHz帯域での高周波特性に優れた磁性薄膜を極めて容易な方法で作製することができる。
また、本発明の磁気素子は、高い異方性磁界と高い比抵抗を有した高周波用磁性薄膜をその一部に備えるので、例えばMMICに搭載されるプレーナ型インダクタ中のスパイラルコイルにその高周波用磁性薄膜を適用した場合には、そのインダクタはGHz帯域に共鳴周波数を有した磁気素子となる。
以下、本発明の高周波用磁性薄膜及びその作製方法並びに磁気素子について、図面を参照しつつ説明する。なお、以下に説明する実施形態により本発明の範囲は制限されない。
図1は、本発明の高周波用磁性薄膜の断面形態の一例を示す模式断面図である。
本発明の高周波用磁性薄膜1は、図1に示されるように、Co系非晶質合金層2と、そのCo系非晶質合金の自然酸化層3とが交互に積層された多層膜である。そして、その特徴は、多層膜全体の体積に対する自然酸化層3の割合が5〜50%であることにある。
(Co系非晶質合金層)
Co系非晶質合金層2は、Co系非結晶質合金で形成される。Co系非結晶質合金は、透磁率が高く且つ高抵抗(比抵抗が100〜120μΩcm)であるため、高周波域での渦電流損失の抑制に効果があり、本発明において好ましく適用される。Co系非結晶質合金は、単層膜で透磁率1000以上(10MHz)、飽和磁化10kG(1.0T)以上、比抵抗100μΩcm以上の特性を有するものであることが望ましい。
Co系非晶質合金層2は、Co系非結晶質合金で形成される。Co系非結晶質合金は、透磁率が高く且つ高抵抗(比抵抗が100〜120μΩcm)であるため、高周波域での渦電流損失の抑制に効果があり、本発明において好ましく適用される。Co系非結晶質合金は、単層膜で透磁率1000以上(10MHz)、飽和磁化10kG(1.0T)以上、比抵抗100μΩcm以上の特性を有するものであることが望ましい。
このCo系非結晶質合金は、Coを主成分とし、B,C,Si,Ti,V,Cr,Mn,Fe,Ni,Y,Zr,Nb,Mo,Hf,Ta及びWの群から選択される1種又は2種以上の添加元素を含んでおり、非晶質相を主体として構成されている。なお、非晶質合金乃至非晶質相とは、一般に、X線回折測定において得られる回折パターンが顕著な結晶性ピークを有しない態様として表れるものであり、いわゆるブロードな回折ピークが表れるものをいう。
Co系非晶質合金に添加される元素の割合(2種以上の場合は総和量)は、通常5〜50at%、好ましくは10〜30at%である。添加元素の割合が50at%を超えると、飽和磁化が小さくなるという不都合が生じる。一方、添加元素の割合が5at%未満では、磁歪の制御が困難となり、有効な軟磁気特性が得られなくなるという不都合が生じる。
Co系非結晶質合金としては、例えば、CoZr,CoHf,CoNb,CoMo,CoZrNb,CoZrTa,CoFeZr,CoFeNb,CoTiNb,CoZrMo,CoFeB,CoZrNbMo,CoZrMoNi,CoFeZrB,CoFeSiB,CoZrCrMo等が挙げられる。特に好ましくは、CoZrNbが挙げられる。
(自然酸化層)
自然酸化層3は、上述したCo系非結晶質合金層2の表面が酸素と接触することによって自然に生成する酸化層のことであり、例えば、大気中、純水中又は薬液中で形成される酸化層の他、成膜装置内の残留酸素や残留水分により形成される酸化層も含まれる。
自然酸化層3は、上述したCo系非結晶質合金層2の表面が酸素と接触することによって自然に生成する酸化層のことであり、例えば、大気中、純水中又は薬液中で形成される酸化層の他、成膜装置内の残留酸素や残留水分により形成される酸化層も含まれる。
形成される自然酸化層3は、通常、0.1〜2.0nm程度の厚さであり、自然酸化層であるためにあまり厚くは形成されない。また、その比抵抗は、およそ103〜106μΩcm程度である。
(多層膜)
本発明に係る多層膜1は、Co系非晶質合金層2と自然酸化層3とを交互に積層して形成される。具体的には、成膜時に一定方向から磁場を印加しながら基板上にCo系非晶質合金層2を形成する工程と、そのCo系非晶質合金層の表面に自然酸化層3を形成する工程とを交互に行うことにより形成される。
本発明に係る多層膜1は、Co系非晶質合金層2と自然酸化層3とを交互に積層して形成される。具体的には、成膜時に一定方向から磁場を印加しながら基板上にCo系非晶質合金層2を形成する工程と、そのCo系非晶質合金層の表面に自然酸化層3を形成する工程とを交互に行うことにより形成される。
多層膜1は、真空薄膜形成方法、特にスパッタ法により形成されることが好ましい。より具体的には、RFスパッタ、DCスパッタ、マグネトロンスパッタ、イオンビームスパッタ、誘導結合RFプラズマ支援スパッタ、ECRスパッタ、対向ターゲット式スパッタ等が用いられる。なお、スパッタリングはあくまで本発明の一態様であり、他の薄膜作成プロセスを適用できることは言うまでもない。
Co系非晶質合金層を堆積させるためのターゲットとしては、Coターゲット上に、所望の添加元素のペレットを配置した複合ターゲットを用いたり、所望の添加成分を含有するCo合金のターゲットを用いればよい。
なお、本発明の多層膜1が形成される基板4(図1を参照)としては、ガラス基板、セラミクス材料基板、半導体基板、樹脂基板等が例示できる。セラミクス材料としては、アルミナ、ジルコニア、炭化珪素、窒化珪素、窒化アルミニウム、ステアタイト、ムライト、コージライト、フォルステライト、スピネル、フェライト等が挙げられる。中でも熱伝導率が大きく、曲げ強度も大きい窒化アルミニウムを用いることが好ましい。
また、本発明の多層膜は、室温(約15〜35℃)で成膜したままの状態でその性能が発揮できるので、MMICのような半導体プロセスで製作される高周波集積回路に最適な材料である。従って、基板としては、Si、GaAs、InP、SiGe等の半導体基板が例示できる。
多層膜1はこうしたプロセスを繰り返すことによって形成され、その層数は特に制限されず、また、多層膜全体の厚さについても特に制限されない。なお、Co系非晶質合金層2とその自然酸化層3とからなる多層膜1の比抵抗は150μΩcm以上となり、また、多層膜1の異方性磁界Hkは100Oe(エルステッド。1Oe=79.6A/m)以上となる。比抵抗が150μΩcm以上になる理由は、Co系非晶質合金層2自体の比抵抗が100μΩcm以上であり、さらに自然酸化層3の比抵抗が103μΩcm以上であるからである。また、異方性磁界が100Oe以上となる理由は、以下に示す磁化反転現象に基づくものと考えられる。
すなわち、本発明の多層膜1において、多層膜全体の体積に対する自然酸化層3の割合が5〜50%の範囲内にある場合には、作製された多層膜1の磁化容易軸が、その多層膜の成膜時における磁場印加方向と直交する(90°ずれることをいう。)磁化反転現象が現れる。こうした現象は、いわゆる磁歪の逆効果現象と考えられる。なお、多層膜全体の体積に対する自然酸化層3は、好ましくは10%以上45%以下である。
図2は、成膜時に一定方向から磁場を印加しながら基板上に成膜して得られた厚さ500nmでのCoZrNb薄膜のヒステリシス曲線を示すグラフであり、図3は、得られたCoZrNb薄膜の共鳴周波数特性を示すグラフである。また、図4は、成膜時に一定方向から磁場を印加しながら基板上に成膜して得られた厚さ8nmのCoZrNb薄膜と厚さ1nmの自然酸化層とからなる厚さ450nmの多層膜のヒステリシス曲線を示すグラフであり、図5は得られた多層膜の共鳴周波数特性を示すグラフである。なお、図4及び図5に使用した多層膜において、多層膜全体の体積に対する自然酸化層の体積は11%である。
図2中に示したように、CoZrNb薄膜においては、成膜時に印加される磁場の方向が磁化容易軸と一致するのが一般的であり、従って、磁化困難軸は磁化容易軸と直交する。しかし、CoZrNb薄膜は、比抵抗が120μΩcmと比較的高いものの、異方性磁界Hkは15Oeと小さいので、図3に示すように、共鳴周波数特性frは1GHzを超えたところで落ち込んでしまう。
一方、図3に示したように、CoZrNb薄膜/自然酸化層の多層膜においては、成膜時に印加される磁場の方向と磁化容易軸とは一致せず、両者は直交している。言い換えれば、成膜時に印加される磁場の方向と磁化困難軸とが一致する。このとき、得られた多層膜は、比抵抗が180μΩcmと高く、しかも、異方性磁界Hkも105Oeと高くなっている。その異方性磁界Hkが大きいほど高周波特性に優れた多層膜が得られることから、実際には図5に示すように、共鳴周波数特性frは2GHzを超えても、落ち込みが生じないという効果がある。
本発明の多層膜において、自然酸化層3の割合が全体の5%未満では、そうした磁化反転現象が現れないことがある。一方、自然酸化層3の割合が全体の50%を超えた場合は、非磁性成分の割合が磁性成分の割合より多くなるため、難磁性材料としての使用が困難である。
(多層膜の高周波特性)
本発明の多層膜は、上述した構造を有するので、比抵抗が150μΩcm以上、異方性磁界が100Oe以上、強磁性共鳴周波数が2GHz以上という優れた高周波特性を有している。このような特性は、熱処理等を施さない成膜のままの状態で得ることができる。
本発明の多層膜は、上述した構造を有するので、比抵抗が150μΩcm以上、異方性磁界が100Oe以上、強磁性共鳴周波数が2GHz以上という優れた高周波特性を有している。このような特性は、熱処理等を施さない成膜のままの状態で得ることができる。
(磁気素子)
本発明の磁気素子は、上述した高周波用磁性薄膜をその一部に備えていることに特徴がある。
本発明の磁気素子は、上述した高周波用磁性薄膜をその一部に備えていることに特徴がある。
図6は、平面型の磁気素子をインダクタに応用した一例である。図6(A)はインダクタの平面図を模式的に示したものであり、図6(B)は図6(A)のA−A矢視断面を模式的に示したものである。
これらの図面に示されるインダクタ10は、基板11と、この基板11の両面にスパイラル状に形成された平面コイル12,12と、これらの平面コイル12,12と基板11面を覆うように形成された絶縁膜13,13と、これの各々の絶縁膜13,13の上を覆うように形成された一対の本発明の高周波用磁性薄膜1とを備えている。そして、上記2つの平面コイル12,12は、基板11の略中央部分に形成されたスルーホール15を介して電気的に接続されている。さらに、基板11の両面の平面コイル12,12からそれぞれ接続のための端子16が基板11の外方に引き出されている。このようなインダクタ10は、一対の高周波用磁性薄膜1によって、絶縁膜13,13を介して平面コイル12,12を挟むように構成されているので、接続端子16,16間にインダクタが形成される。
このように形成されたインダクタは、小型かつ薄型軽量であり、特に1GHz以上の高周波帯域で優れたインダクタンスを示す。なお上記説明したインダクタ10において、平面コイル12,12を並列的に複数設けることによりトランスを形成することができる。
図7は、本発明の平面型磁気素子をインダクタに応用した他の一例を示す断面模式図である。
この図に示されるインダクタ20は、基板21と、この基板21の上に必要に応じて形成される酸化膜22と、この酸化膜22の上に形成された本発明の高周波用磁性薄膜1aと、この高周波用磁性薄膜1aの上に形成された絶縁膜23を備え、さらにこの絶縁膜23の上に形成された平面コイル24と、これらの平面コイル24と絶縁膜23を覆うように形成された絶縁膜25と、この絶縁膜25の上に形成された本発明の高周波用磁性薄膜1bとを有している。このように形成されたインダクタ20もやはり、小型かつ薄型軽量であり、特に1GHz以上の高周波帯域で優れたインダクタンスを示す。そしてこのようなインダクタ20において、平面コイル24を並列的に複数設けることによりトランスを形成することができる。
図8及び図9は、本発明の高周波用磁性薄膜1をMMIC用インダクタとして応用した実施例であり、図8はインダクタの導体層部分を抜き出した平面図を模式的に示したものであり、図9は図8のA−A矢視断面を模式的に示した図面である。
これらの図面で示されているインダクタ30は、基板31と、この基板31の上に必要に応じて形成される絶縁酸化膜32と、その絶縁酸化膜32の上に形成された本発明の高周波用磁性薄膜1aと、この高周波用磁性薄膜1aの上に形成された絶縁膜33を備え、さらにこの絶縁膜33の上に形成されたスパイラルコイル34と、このスパイラルコイル34と絶縁膜33を覆うように形成された絶縁膜35と、この絶縁膜35の上に形成された本発明の高周波用磁性薄膜1bとを有している。
また、スパイラルコイル34は、配線36を介して一対の電極37に接続されている。そして、スパイラルコイル34を囲むように設けられた一対のグラウンドパターン39は、それぞれ一対のグラウンド電極38に接続され、グラウンド−シグナル−グラウンド(G−S−G)タイプのプローブにより、ウェハ上で周波数特性を評価する形状を有している。
本実施の形状にかかるMMIC用インダクタにおいては、磁芯となる高周波用磁性薄膜1a、1bでもってスパイラルコイル34が挟み込まれた有芯構造を採用している。そのため、スパイラルコイル34が同じ形状でありながらも高周波用磁性薄膜1a、1bが形成されていない空芯構造のインダクタに比べ、インダクタンス値が約50%向上される。従って、同じインダクタンス値を得るために必要なスパイラルコイル34の占有面積は小さくてもよいことになり、その結果としてスパイラルコイル34の小型化が実現できる。
ところで、MMIC用インダクタに適用する磁性薄膜の材料としては、GHz帯域の高周波数で高透磁率、かつ高い性能指数Q(低損失)特性を持つことや、半導体製造プロセスによる集積化が可能であることが求められる。
GHz帯域の高周波数における高透磁率を実現するためには、共鳴周波数が高く、かつ飽和磁化が大きい材質が有利であり、一軸磁気異方性の制御が必要である。また、高い性能指数Qを得るためには、高抵抗化による渦電流損失の抑制が重要である。さらに、集積化プロセスに適用するためには、室温で成膜でき成膜のままの状態で使用できることが望ましい。すでにセッティングされている他のオンチップコンポーネントの性能および作成プロセスに加熱による悪影響を及ぼさないようにするためである。
以下、本発明を実施例と比較例によりさらに詳細に説明する。
(実施例1)
実施例1の高周波用磁性薄膜を以下の成膜手法に従って作製した。
実施例1の高周波用磁性薄膜を以下の成膜手法に従って作製した。
先ず、Siウェハの上にSiO2を500nmの厚さに成膜したものを基板として用いた。次に、対向ターゲット式スパッタ装置を用いて、下記の要領で基板上に高周波用磁性薄膜を成膜(deposit)させた。すなわち、対向ターゲット式スパッタ装置内を8×10−5Paまで予備排気した後、圧力が10PaになるまでArガスを導入した後、100WのRFパワーで10分間、基板表面をスパッタエッチングした。次いで、圧力が0.4PaになるようにArガスの流量を調整し、300WのパワーでCo87Zr5Nb8ターゲットをスパッタリングしてCo87Zr5Nb8組成からなる非晶質膜を作製した。
次いで、自然酸化層を形成した。自然酸化層は、各金属層を成膜した後、スパッタ装置内部に2sccmのO2ガスを30秒間導入し金属層の表面を酸化させることで形成した。自然酸化層を形成してから、スパッタ装置を10−4Pa台まで排気した。
成膜時には基板に0〜−80VのDCバイアスを印加した。また、ターゲット表面の不純物の影響を防止するためにシャッターを閉めた状態で10分以上プリスパッタリングを行った。その後、シャッターを開けることにより基板上に成膜を行った。成膜速度(rate)は、CoZrNb層の成膜時で0.33nm/秒とした。シャッターの開閉時間を制御することでCo系非晶質合金層の膜厚を調整した。
成膜は、約35Oeの強さの磁界を印加しながら、まず、基板上の第1層目として厚さ8.0nmのCoZrNb層を成膜した後、その上に第2層目として厚さ1.0nmの自然酸化層を形成し、さらにその自然酸化層上にCoZrNb層を成膜するという成膜サイクルを50回繰り返し、表1に示す特性の磁性薄膜(実施例1)を得た(総厚さ:450nm)。このとき、多層膜全体の体積に対する自然酸化層の割合は11%であった。
上述した図4は、実施例1で得られた磁性薄膜のヒステリシス曲線であり、図5は、その磁性薄膜の高周波特性である。得られた磁化曲線から明らかなように、堆積膜では、印加磁場の方向と磁化容易軸方向とが90°ずれる(直交する)現象が確認された。飽和磁化は10.1kG(1.01T)、磁化容易軸方向の保磁力は0.8Oe(63.7A/m)、磁化困難軸方向の保磁力は4.8Oe(382A/m)が得られた。また、異方性磁界Hkは105Oe(8360A/m)であった。図5の高周波透磁率特性のグラフより、共鳴周波数は測定限界の3GHzを超えており、透磁率の実数部(μ’)の値として、1.0GHzでは80の値が得られた。また、比抵抗は180μΩcmであった。なお、高周波透磁率の測定は、超高周波帯域透磁率測定装置(菱和電子、PMF−3000)を用い、磁気特性は振動試料型磁力計(理研電子、BHV―35)を用いて測定した。
(実施例2)
上記実施例1の成膜手法に基づき、2.3nm厚のCoZrNbと、1.0nmの自然酸化層とを交互に121回ずつ順次形成して総膜厚400nm(合計242層相当)の本発明の磁性薄膜(実施例2)を形成した。このとき、多層膜全体の体積に対する自然酸化層の割合は30%であった。
上記実施例1の成膜手法に基づき、2.3nm厚のCoZrNbと、1.0nmの自然酸化層とを交互に121回ずつ順次形成して総膜厚400nm(合計242層相当)の本発明の磁性薄膜(実施例2)を形成した。このとき、多層膜全体の体積に対する自然酸化層の割合は30%であった。
得られた磁性薄膜の磁気特性を表1に示した。飽和磁化は8.0kG(0.80T)、磁化容易軸方向の保磁力は17.6Oe(1400A/m)、磁化困難軸方向の保磁力は37Oe(2950A/m)であった。高周波透磁率特性は、透磁率の実数部(μ’)の値として、1.0GHzでは40の値が得られ、また、比抵抗は860μΩcmであった。
(実施例3)
上記実施例1の成膜手法に基づき、1.6nm厚のCoZrNb層を成膜後、スパッタ装置内部に5sccmのO2ガスを30秒間導入し金属層の表面を酸化させることで1.3nmの自然酸化層を形成した。1.6nm厚のCoZrNb層と1.3nmの自然酸化層を交互に138回ずつ順次形成して総膜厚400nm(合計276層相当)の本発明の磁性薄膜(実施例3)を形成した。このとき、多層膜全体の体積に対する自然酸化層の割合は45%であった。
上記実施例1の成膜手法に基づき、1.6nm厚のCoZrNb層を成膜後、スパッタ装置内部に5sccmのO2ガスを30秒間導入し金属層の表面を酸化させることで1.3nmの自然酸化層を形成した。1.6nm厚のCoZrNb層と1.3nmの自然酸化層を交互に138回ずつ順次形成して総膜厚400nm(合計276層相当)の本発明の磁性薄膜(実施例3)を形成した。このとき、多層膜全体の体積に対する自然酸化層の割合は45%であった。
得られた磁性薄膜の磁気特性を表1に示した。飽和磁化は6.3kG(0.63T)、磁化容易軸方向の保磁力は22Oe(1750A/m)、磁化困難軸方向の保磁力は41Oe(3260A/m)であった。高周波透磁率特性は、透磁率の実数部(μ’)の値として、1.0GHzでは25の値が得られ、また、比抵抗は1416μΩcmであった。
(比較例1)
上記実施例1の成膜手法に基づき、500μm厚のCoZrNb膜を単層形成し、比較例1の磁性薄膜を形成した。
上記実施例1の成膜手法に基づき、500μm厚のCoZrNb膜を単層形成し、比較例1の磁性薄膜を形成した。
上記の実施例に準じた方法によって、当該磁性薄膜の物性値を求めたところ、表1に示すように、11.5kG(1.15T)の飽和磁化、1.3Oe(104A/m)の磁化容易軸方向の保磁力、0.9Oe(71.6A/m)の磁化困難軸方向の保磁力がそれぞれ得られた。高周波透磁率特性は、透磁率の実数部(μ’)の値として、1.0GHzでは1000の値が得られ、また、比抵抗は120μΩcmであった。
(結果)
これらの結果を含めた測定値を表1にまとめて示した。表1に示すように、本発明による各実施例は、高共鳴周波数かつ高抵抗の特性を得ることができる。
これらの結果を含めた測定値を表1にまとめて示した。表1に示すように、本発明による各実施例は、高共鳴周波数かつ高抵抗の特性を得ることができる。
なお、図10は、磁化反転現象の確認実験結果を示している。この確認実験では、振動試料型磁力計(理研電子、BHV―35)装置を用い、試料を面内方向で回転(成膜中磁場印加方向に対する角度ズレをφとして示す)しながら残留磁化(Mr)を測定し、その値を飽和磁化(Ms)で規格して表記した。実施例1〜3の磁性薄膜と比較例1の磁性薄膜とを対比した結果、図示したように、両者の磁化容易軸には90°のズレがあった。すなわち、実施例1〜3においては、成膜時の磁場印加方向と得られた磁性薄膜の磁化容易軸方向とは直交しているが、比較例1においては、成膜時の磁場印加方向と得られた磁性薄膜の磁化容易軸方向とは平行であることが確認された。
1、1a、1b 高周波用磁性薄膜(多層膜)
2 Co系非晶質合金層
3 自然酸化層
4,11,21,31 基板
10,20,30 インダクタ
12、24 平面コイル
13、23、25、33、35 絶縁膜
15 スルーホール
16 接続端子
22、32 酸化膜
34 スパイラルコイル
36 配線
38 グラウンド電極
39 グラウンドパターン
2 Co系非晶質合金層
3 自然酸化層
4,11,21,31 基板
10,20,30 インダクタ
12、24 平面コイル
13、23、25、33、35 絶縁膜
15 スルーホール
16 接続端子
22、32 酸化膜
34 スパイラルコイル
36 配線
38 グラウンド電極
39 グラウンドパターン
Claims (9)
- Co系非晶質合金層と、当該Co系非晶質合金の自然酸化層とからなる多層膜であって、当該多層膜全体の体積に対する自然酸化層の割合が5〜50%であることを特徴とする高周波用磁性薄膜。
- 成膜時における磁場印加方向が磁化容易軸となる性質をもつCo系非晶質合金層と、当該Co系非晶質合金の自然酸化層とからなる多層膜であって、作製された多層膜の磁化容易軸が、当該多層膜の成膜時における磁場印加方向と直交することを特徴とする高周波用磁性薄膜。
- 前記Co系非晶質合金層がCoZrNb合金で形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の高周波用磁性薄膜。
- 比抵抗が150μΩcm以上であり、異方性磁界が100Oe以上であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の高周波用磁性薄膜。
- 強磁性共鳴周波数が2GHz以上であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の高周波用磁性薄膜。
- Co系非晶質合金層と当該Co系非晶質合金の自然酸化層とからなる多層膜を印加磁場中で作製する高周波用磁性薄膜の作製方法であって、
前記多層膜全体の体積に対する自然酸化層の割合が5〜50%の範囲内となるように成膜することを特徴とする高周波用磁性薄膜の作製方法。 - 前記Co系非晶質合金層がCoZrNb合金で形成されることを特徴とする請求項6に記載の高周波用磁性薄膜の作製方法。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の高周波用磁性薄膜、又は、請求項6又は7に記載の方法で作製された高周波用磁性薄膜、を一部に有することを特徴とする磁気素子。
- 前記高周波用磁性薄膜がコイルを挟持するように対向配置されていること、インダクタ又はトランスに使用されること、及び、モノリシックマイクロ波集積回路に使用されること、のいずれかであることを特徴とする請求項8に記載の磁気素子。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003342470A JP2005109246A (ja) | 2003-09-30 | 2003-09-30 | 高周波用磁性薄膜、その作製方法及び磁気素子 |
PCT/JP2004/014405 WO2005031762A2 (ja) | 2003-09-30 | 2004-09-30 | 高周波用磁性薄膜およびその作製方法ならびに磁気素子 |
US10/573,801 US20070202359A1 (en) | 2003-09-30 | 2004-09-30 | Magnetic Thin Film For High Frequency, and Method of Manufacturing Same, and Magnetic Device |
KR1020067005910A KR100742555B1 (ko) | 2003-09-30 | 2004-09-30 | 고주파용 자성 박막 및 그 제작 방법 그리고 자기 소자 |
CNA2004800283931A CN1860561A (zh) | 2003-09-30 | 2004-09-30 | 高频用磁性薄膜及其制作方法、及磁元件 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003342470A JP2005109246A (ja) | 2003-09-30 | 2003-09-30 | 高周波用磁性薄膜、その作製方法及び磁気素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005109246A true JP2005109246A (ja) | 2005-04-21 |
Family
ID=34386248
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003342470A Withdrawn JP2005109246A (ja) | 2003-09-30 | 2003-09-30 | 高周波用磁性薄膜、その作製方法及び磁気素子 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20070202359A1 (ja) |
JP (1) | JP2005109246A (ja) |
KR (1) | KR100742555B1 (ja) |
CN (1) | CN1860561A (ja) |
WO (1) | WO2005031762A2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007208156A (ja) * | 2006-02-06 | 2007-08-16 | Nagoya Institute Of Technology | 高周波軟磁性体膜及びその製造方法 |
US9812448B2 (en) | 2014-12-17 | 2017-11-07 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor devices and methods for fabricating the same |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9741656B2 (en) * | 2012-11-01 | 2017-08-22 | Indian Institute Of Science | High-frequency integrated device with an enhanced inductance and a process thereof |
KR102479826B1 (ko) * | 2016-07-07 | 2022-12-21 | 주식회사 위츠 | 자성체 시트 및 전자기기 |
CN107907145A (zh) * | 2017-11-06 | 2018-04-13 | 上海交通大学 | 低噪声平面磁传感器 |
CN115331935A (zh) * | 2018-12-17 | 2022-11-11 | 华为技术有限公司 | 薄膜电感及其制作方法、集成电路、终端设备 |
CN113996793B (zh) * | 2021-10-15 | 2023-08-04 | 中国航发北京航空材料研究院 | 一种高熵非晶微叠层复合材料及其制备方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2898129B2 (ja) * | 1991-08-19 | 1999-05-31 | 株式会社 アモルファス・電子デバイス研究所 | 非晶質軟磁性多層薄膜及びその製造方法 |
JP2000054083A (ja) * | 1998-08-07 | 2000-02-22 | Alps Electric Co Ltd | 軟磁性多層膜とこの軟磁性多層膜を用いた平面型磁気素子、フィルタ、及び薄膜磁気ヘッド、ならびに前記軟磁性多層膜の製造方法 |
JP2000252121A (ja) * | 1999-02-26 | 2000-09-14 | Alps Electric Co Ltd | 高周波用Co基金属アモルファス磁性膜とそれを用いた磁気素子、インダクタ、トランス |
JP3971697B2 (ja) * | 2002-01-16 | 2007-09-05 | Tdk株式会社 | 高周波用磁性薄膜及び磁気素子 |
-
2003
- 2003-09-30 JP JP2003342470A patent/JP2005109246A/ja not_active Withdrawn
-
2004
- 2004-09-30 KR KR1020067005910A patent/KR100742555B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2004-09-30 CN CNA2004800283931A patent/CN1860561A/zh active Pending
- 2004-09-30 US US10/573,801 patent/US20070202359A1/en not_active Abandoned
- 2004-09-30 WO PCT/JP2004/014405 patent/WO2005031762A2/ja active Application Filing
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US9812448B2 (en) | 2014-12-17 | 2017-11-07 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor devices and methods for fabricating the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20060054471A (ko) | 2006-05-22 |
US20070202359A1 (en) | 2007-08-30 |
KR100742555B1 (ko) | 2007-07-25 |
WO2005031762A3 (ja) | 2005-06-30 |
CN1860561A (zh) | 2006-11-08 |
WO2005031762A2 (ja) | 2005-04-07 |
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