JP2005101070A - 搬送装置、基板処理装置、ジグ、及びティーチング方法 - Google Patents
搬送装置、基板処理装置、ジグ、及びティーチング方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005101070A JP2005101070A JP2003330011A JP2003330011A JP2005101070A JP 2005101070 A JP2005101070 A JP 2005101070A JP 2003330011 A JP2003330011 A JP 2003330011A JP 2003330011 A JP2003330011 A JP 2003330011A JP 2005101070 A JP2005101070 A JP 2005101070A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- substrate
- jig
- unit
- mounting table
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】載置台の上面の中央箇所には位置識別用の小孔41が形成されており、保持アームには、センサを有するセンシングジグがセットされている。保持アームを走査駆動することによって、センサによって小孔41のエッジを検出する。次に、保持アームを駆動することにより、センサによってエッジ上の2点P1,P2を検出し、それらのθ座標θ0,θ1の平均値θ2を算出して、正式なθ軸ポジションとして設定する。次に、保持アームを+X方向及び−X方向に駆動することにより、センサによってエッジ上の2点P3,P4を検出し、それらのX座標x2,x3の平均値x4を算出して、正式なX軸ポジションとして設定する。
【選択図】図17
Description
以上の説明では、X軸、θ軸、及びZ軸の各方向の駆動機構を有する搬送装置について述べたが、Y軸方向の駆動機構をさらに有する搬送装置にも本発明は適用可能である。
センシングジグ49には、限定反射型の光学式センサ43と、透過型の光学式センサ44とが配設されているが、これらのセンサ43,44の代わりに、レーザ変位センサを配設しても良い。図18は、変形例2に係るセンシングジグ49の構成を示す底面図であり、図19は、図18に示したラインXIX−XIXに沿った位置に関する断面図である。本体部42の底面の中央箇所に、レーザ変位センサ70が配設されている。レーザ変位センサ70は、レーザビームを照射する照射部と反射ビームを検出する検出部とを備えており、レーザビームの反射対象物までの距離を検出可能である。そのため、レーザ変位センサ70を使用する場合には、Z軸ターゲットジグ48は不要となる。レーザ変位センサ70を使用すると、光学式センサ43,44を使用する場合よりも高精度な位置検出が可能となる。
以上の説明では、位置識別用の識別構造として載置台40に小孔41が形成されている例について述べたが、載置台40の特定の箇所を識別できる構造であれば、どのような構造(例えば二次元的なマーク等)であっても良い。例えば、小孔41を形成する代わりに、磁石等の異物を載置台40の上面に埋め込んでも良く、この場合は、光学式センサ43の代わりに磁気センサが用いられる。
以上の説明では、ティーチングの際に、センシングジグ49が制御部50aにコネクタ58を介して接続される例について述べたが、電波通信や光通信等の無線の送受信によって位置情報を授受する構成としても良い。図20は、変形例4に係るセンシングジグ49の構成を示す側面図であり、図21は、変形例4に係る制御機構の構成を示すブロック図である。図20を参照して、センサ43と、センサ44の光照射部44a及び受光部44bとは、送信部71に接続されている。送信部71は、センサ43,44による各検出データを無線送信する。図21を参照して、制御部50bは受信部72を備えており、CPU51は、受信部72に接続されている。受信部72は、送信部71から送られてきた検出データを受信する。
図22は、変形例5に係る搬送装置の構成を示す側面図である。図4には、2本の保持アーム10a,10bを備えるアームユニット10eを示したが、図22に示すように、変形例5に係るアームユニット1eは、基板Wを保持する保持アーム10a,10bとは別体のアームとして、センシングジグ49が常時専用に保持された保持アーム10gを備えている。なお、保持アーム10gは、保持アーム10aより上に配設されていても良く、あるいは、保持アーム10aと保持アーム10bとの間に配設されていても良い。但し、基板処理装置の内部には、清浄空気がダウンフローの状態で供給されているため、保持アーム10gやセンシングジグ49に付着しているパーティクル等によって基板Wが汚染されることを未然に防止すべく、保持アーム10gは、保持アーム10a,10bよりも下に配設されていることが望ましい。
以上の説明では、センシングジグ49は保持アーム10aによって保持されたが、この状態で小孔41の中心ポイントP5の座標(x4,θ2)の取得が完了した後、センシングジグ49を保持アーム10bに付け替えて、上記と同様に、小孔41の中心ポイントP5の座標を取得しても良い。センシングジグ49を付け替える前後で中心ポイントP5の座標に誤差が生じた場合、その誤差は保持アーム10aと保持アーム10bとの位置偏差ということになるので、その位置偏差を考慮して、保持アーム10bに関するX軸ポジション値及びθ軸ポジション値が設定される。
図23は、変形例7に係るZ軸ターゲットジグ48aの構成を示す底面図であり、図24は、図23に示したラインXXIV−XXIVに沿った位置に関する断面図である。変形例7に係るZ軸ターゲットジグ48aは、本体部45の上面の中央箇所に、載置台40に形成されている小孔41と同形状の小孔46が形成されている。上記と同様に、ベース値(x0,θ0)を目標として、保持アーム10bによってZ軸ターゲットジグ48aを載置台40上に載置する。次に、保持アーム10bをブラケット10d内に収納する。次に、ベース値(x0,θ0)を目標として、センシングジグ49を保持した保持アーム10aを送り出し、センサ43によって小孔80の中心ポイントの座標を求める。求めた中心ポイントの座標とベース値(x0,θ0)との間に誤差が生じた場合、その誤差は保持アーム10aと保持アーム10bとの位置偏差ということになるので、その位置偏差を考慮して、保持アーム10bに関するX軸ポジション値及びθ軸ポジション値が設定される。
2 反射防止膜処理ブロック
3 レジスト膜処理ブロック
4 現像処理ブロック
5 インタフェイスブロック
10A 第1主搬送機構
10B 第2主搬送機構
10C 第3主搬送機構
10D 第4主搬送機構
10a,10b,10g 保持アーム
40 載置台
41,80 小孔
42,45 本体部
43 センサ
44a 光照射部
44b 受光部
46 検出ピン
48,48a Z軸ターゲットジグ
50a,50b 制御部
51 CPU
71 送信部
72 受信部
W 基板
Claims (14)
- アームを有するアームユニットと、
前記アームユニットによって搬送された基板を載置可能であり、位置識別用の第1の識別構造が所定の箇所に形成された載置台と、
第1の検出手段を有するセンシングジグを前記アームに保持させた状態で、前記載置台の近傍で前記アームを水平方向に移動させる第1の制御手段と、
前記第1の検出手段が前記第1の識別構造を検出した位置の情報に基づいて、前記アームが前記基板を搬送する水平方向の位置を設定する第1の設定手段と
を備える、搬送装置。 - 前記第1の識別構造は、前記載置台の上面に形成された小孔である、請求項1に記載の搬送装置。
- 前記第1の検出手段は、前記小孔を検出対象とする限定反射型の光学式センサである、請求項2に記載の搬送装置。
- 前記センシングジグは、前記第1の検出手段による検出結果に関する第1のデータを無線送信する第1の送信手段をさらに有し、
前記第1の設定手段は、前記第1の送信手段から送られてきた前記第1のデータを受信する第1の受信手段を有する、請求項1ないし請求項3のいずれか一つに記載の搬送装置。 - 前記センシングジグは、第2の検出手段として、水平方向に沿って互いに対向する光照射部と受光部とを有する透過型の光学式センサをさらに有し、
前記搬送装置は、
前記第2の検出手段の検出対象である突起が所定の箇所に形成されたターゲットジグが前記載置台上に載置され、前記センシングジグを前記アームに保持させた状態で、前記ターゲットジグの近傍で前記アームを高さ方向に移動させる第2の制御手段と、
前記第2の検出手段による前記突起の検出可否の境界の高さに基づいて、前記アームが前記基板を搬送する高さ方向の位置を設定する第2の設定手段と
をさらに備える、請求項1ないし請求項4のいずれか一つに記載の搬送装置。 - 前記センシングジグは、前記第2の検出手段による検出結果に関する第2のデータを無線送信する第2の送信手段をさらに有し、
前記第2の設定手段は、前記第2の送信手段から送られてきた前記第2のデータを受信する第2の受信手段を有する、請求項5に記載の搬送装置。 - 前記アームユニットは、ティーチングの際に前記センシングジグを保持する第1のアームと、ティーチングの際に前記ターゲットジグを保持する第2のアームとを有し、
前記ターゲットジグには、所定の箇所に位置識別用の第2の識別構造がさらに形成されており、
前記搬送装置は、
前記ターゲットジグを前記第2のアームによって前記載置台上に搬送させた後、前記第1のアームに前記センシングジグを保持させた状態で、前記ターゲットジグの近傍で前記第1のアームを水平方向に移動させる第3の制御手段と、
前記第1の検出手段が前記第2の識別構造を検出した位置の情報に基づいて、前記第1のアームと前記第2のアームとの水平方向の位置偏差を設定する第3の設定手段と
をさらに備える、請求項5又は請求項6に記載の搬送装置。 - アームを有するアームユニットと、
前記アームユニットによって搬送された基板を載置可能な載置台と、
検出手段を有するセンシングジグを前記アームに保持させ、前記検出手段の検出対象である突起が所定の箇所に形成されたターゲットジグが前記載置台上に載置された状態で、前記ターゲットジグの近傍で前記アームを高さ方向に移動させる制御手段と、
前記検出手段による前記突起の検出可否の境界の高さ情報に基づいて、前記アームが前記基板を搬送する高さ方向の位置を設定する設定手段と
を備える、搬送装置。 - 前記アームユニットは、前記基板を保持可能なアームとは別体のアームとして、前記センシングジグが保持された専用アームを有する、請求項1ないし請求項8のいずれか一つに記載の搬送装置。
- 基板に対して所定の処理を行う処理部を備えるとともに、
前記処理部に対する前記基板の搬出入を行う搬送装置として、請求項1ないし請求項9のいずれか一つに記載の搬送装置を備える、基板処理装置。 - 基板を保持可能なアームを有するアームユニットと、位置識別用の小孔が所定の箇所に形成された上面を有する載置台とを備えた搬送装置について、前記アームによって前記基板を搬送すべき、前記載置台上の水平方向の搬送位置をティーチングする際に使用されるジグであって、
前記アームによって保持可能な本体部と、
前記本体部の所定の箇所に配設され、前記小孔を検出対象とする限定反射型の光学式センサと
を備える、ジグ。 - 基板を保持可能なアームを有するアームユニットと、載置台とを備えた搬送装置について、前記アームによって前記基板を搬送すべき、前記載置台上の高さ方向の搬送位置をティーチングする際に使用されるジグであって、
前記アームによって保持可能な第1の本体部と、前記第1の本体部の所定の箇所に形成された突起とを有するターゲットジグと、
前記アームによって保持可能な第2の本体部と、前記第2の本体部の所定の箇所に配設され、水平方向に沿って互いに対向する光照射部及び受光部を含む透過型の光学式センサとを有するセンシングジグと
を備える、ジグ。 - 基板を保持可能なアームを有するアームユニットと、載置台とを備えた搬送装置について、前記アームによって前記基板を搬送すべき、前記載置台上の水平方向の搬送位置をティーチングする方法であって、
(a)検出手段を有するセンシングジグを前記アームに保持させる工程と、
(b)位置識別用の識別構造が所定の箇所に形成された前記載置台の近傍で、前記センシングジグを保持した前記アームを水平方向に移動させる工程と、
(c)前記検出手段が前記識別構造を検出した位置の情報を取得する工程と、
(d)前記位置の情報に基づいて前記搬送位置を設定する工程と
を備える、ティーチング方法。 - 基板を保持可能なアームを有するアームユニットと、載置台とを備えた搬送装置について、前記アームによって前記基板を搬送すべき、前記載置台上の高さ方向の搬送位置をティーチングする方法であって、
(a)検出手段を有するセンシングジグを前記アームに保持させる工程と、
(b)所定の箇所に突起が形成されたターゲットジグを、前記載置台上に載置する工程と、
(c)前記センシングジグを保持した前記アームを、前記ターゲットジグの近傍で高さ方向に移動させる工程と、
(d)前記検出手段による前記突起の検出可否の境界に関する高さ情報を取得する工程と、
(e)前記高さ情報に基づいて前記搬送位置を設定する工程と
を備える、ティーチング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003330011A JP4279101B2 (ja) | 2003-09-22 | 2003-09-22 | 搬送装置、基板処理装置、ジグ、及びティーチング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003330011A JP4279101B2 (ja) | 2003-09-22 | 2003-09-22 | 搬送装置、基板処理装置、ジグ、及びティーチング方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005101070A true JP2005101070A (ja) | 2005-04-14 |
JP4279101B2 JP4279101B2 (ja) | 2009-06-17 |
Family
ID=34459110
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003330011A Expired - Fee Related JP4279101B2 (ja) | 2003-09-22 | 2003-09-22 | 搬送装置、基板処理装置、ジグ、及びティーチング方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4279101B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009253291A (ja) * | 2008-04-09 | 2009-10-29 | Asml Holding Nv | ロボット位置キャリブレーションツール(rpct) |
JP2011508976A (ja) * | 2007-12-27 | 2011-03-17 | ラム リサーチ コーポレーション | 少なくとも1つの光源を使用してエンドエフェクタ・アラインメントを校正するためのシステムおよび方法 |
JP2012523682A (ja) * | 2009-04-09 | 2012-10-04 | アーエーエス モトマチオーン ゲーエムベーハー | センサキャリアにより基板処理システム内の物体の位置を自動的に測定して教示する方法および関連するセンサキャリア |
WO2019064891A1 (ja) * | 2017-09-29 | 2019-04-04 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送装置及び基板搬送ロボットと基板載置部との位置関係を求める方法 |
CN115072051A (zh) * | 2022-07-06 | 2022-09-20 | 珠海格力智能装备有限公司 | 一种转运设备 |
-
2003
- 2003-09-22 JP JP2003330011A patent/JP4279101B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011508976A (ja) * | 2007-12-27 | 2011-03-17 | ラム リサーチ コーポレーション | 少なくとも1つの光源を使用してエンドエフェクタ・アラインメントを校正するためのシステムおよび方法 |
JP2009253291A (ja) * | 2008-04-09 | 2009-10-29 | Asml Holding Nv | ロボット位置キャリブレーションツール(rpct) |
JP2012523682A (ja) * | 2009-04-09 | 2012-10-04 | アーエーエス モトマチオーン ゲーエムベーハー | センサキャリアにより基板処理システム内の物体の位置を自動的に測定して教示する方法および関連するセンサキャリア |
WO2019064891A1 (ja) * | 2017-09-29 | 2019-04-04 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送装置及び基板搬送ロボットと基板載置部との位置関係を求める方法 |
JP2019067910A (ja) * | 2017-09-29 | 2019-04-25 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送装置及び基板搬送ロボットと基板載置部との位置関係を求める方法 |
CN111095518A (zh) * | 2017-09-29 | 2020-05-01 | 川崎重工业株式会社 | 基板搬运装置以及求出基板搬运机器人与基板载置部的位置关系的方法 |
CN111095518B (zh) * | 2017-09-29 | 2023-06-02 | 川崎重工业株式会社 | 基板搬运装置以及求出机器人与载置部的位置关系的方法 |
CN115072051A (zh) * | 2022-07-06 | 2022-09-20 | 珠海格力智能装备有限公司 | 一种转运设备 |
CN115072051B (zh) * | 2022-07-06 | 2023-12-01 | 珠海格力智能装备有限公司 | 一种转运设备 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4279101B2 (ja) | 2009-06-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101485297B1 (ko) | 열처리 장치 및 기판 반송 위치 조정 방법 | |
KR101015778B1 (ko) | 기판 처리장치 및 기판 수수 위치의 조정 방법 | |
KR101020021B1 (ko) | 기판 처리 장치, 기판 전달 위치의 조정 방법 및 기억 매체 | |
JP4993614B2 (ja) | 搬送手段のティーチング方法、記憶媒体及び基板処理装置 | |
US9539607B2 (en) | Substrate processing apparatus and substrate processing method | |
JP2005019963A (ja) | 基板処理装置及び基板受け渡し位置の調整方法 | |
KR20160055010A (ko) | 웨이퍼 이송 로봇 및 그 제어 방법 | |
CN113228246B (zh) | 基板搬运机器人和自动示教方法 | |
US7364376B2 (en) | Substrate processing apparatus | |
JP2008141098A (ja) | 基板搬送装置の検査装置および基板処理装置 | |
CN110383453B (zh) | 基板搬送装置 | |
JP5089765B2 (ja) | 制御装置及び制御方法 | |
JP4279101B2 (ja) | 搬送装置、基板処理装置、ジグ、及びティーチング方法 | |
JP2007234790A (ja) | 実装方法および表面実装機 | |
JP4523513B2 (ja) | 基板受け渡し装置、基板受け渡し方法及び記憶媒体 | |
JP4473827B2 (ja) | 基板処理装置及び基板の受け渡し位置の調整方法 | |
JP3845585B2 (ja) | 処理装置 | |
JP4676302B2 (ja) | 表面実装機および表面実装機の制御方法 | |
TWI818482B (zh) | 基板處理裝置、教示資訊生成方法、教示組及基板型治具 | |
JP2008108776A (ja) | データ作成装置および表面実装機 | |
JP4047182B2 (ja) | 基板の搬送装置 | |
JP2005101069A (ja) | 搬送装置及び基板処理装置 | |
JPH10173030A (ja) | 基板搬送装置およびこれを用いた露光装置 | |
JP5537380B2 (ja) | 露光装置及びデバイス製造方法 | |
JP2006080198A (ja) | 基板搬送装置及び基板搬送方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051129 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080603 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080610 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080808 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20080808 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090310 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090311 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120319 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120319 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120319 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130319 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130319 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130319 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140319 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |