JP2005091194A - 誤差要因取得用装置、方法、プログラムおよび記録媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ネットワークアナライザ1のポート18、28について開放、短絡、標準負荷を実現し、またはポート18と28とを短絡する第一状態実現部120を有し、ポート18、28に接続された第一校正器100と、ポート18、28について開放、短絡、標準負荷を実現する第二状態実現部220を有し、第一校正器100とDUT400とに接続された第二校正器200とを備え、第一校正器100は、ポート18、28を、第一状態実現部120あるいは第二校正器200のいずれかに接続する第一接続部110a、110bを有し、第二校正器200は、ポート18、28を、第二状態実現部220あるいはDUT400のいずれかに接続する第二接続部210を有する。
【選択図】 図1
Description
Under Test)の回路パラメータ(例えば、Sパラメータ)を測定することが行われている(例えば、特許文献1を参照)。従来技術にかかる被測定物(DUT)の回路パラメータの測定法を図16を参照して説明する。
図1は、本発明の第一の実施形態にかかる誤差要因取得用装置が使用される測定系の構成を示す図である。測定系は、ネットワークアナライザ1、第一校正器100、第二校正器200、ケーブル300、DUT400を備える。第一校正器100および第二校正器200が誤差要因取得用装置を構成する。
(1)入力信号をポート18から出力する場合のレシーバ(RS)16a、レシーバ(TS)16b、レシーバ(TR)26aのDUT400に関する測定データ(Sパラメータ)、
(2)入力信号をポート28から出力する場合のレシーバ(RR)26b、レシーバ(TR)26a、レシーバ(TS)16bのDUT400に関する測定データ(Sパラメータ)、
(3)測定系誤差要因記録部30の記録する測定系誤差要因、
とに基づき、DUT400の真の(測定系誤差要因の影響を排除した)Sパラメータを測定する。
第二の実施形態は、第一の実施形態におけるネットワークアナライザ1およびDUT400のポートをそれぞれ4個にした点が第一の実施形態と異なる。
第三の実施形態は、ネットワークアナライザ1のポートの個数(4個)よりも、DUT400のポートの個数(9個)の方が大きいために、誤差要因取得用装置が9ポートテストセット(分岐接続手段)500をさらに備えた点が第二の実施形態と異なる。
第四の実施形態は、第一の実施形態におけるDUT400にかえて、ウェハ410、ウェハプローブ420を使用している。
12 信号出力部
18 ポート
28 ポート
100 第一校正器
102、104、106、108 ポート
110a、110b 第一接続部
120 第一状態実現部
122op、123op 開放校正用具
122s、123s 短絡校正用具
122L、123L 標準負荷校正用具
124 短絡部
126、128 ポート接続部
200 第二校正器
202、204 ポート
210 第二接続部
220 第二状態実現部
222op 開放校正用具
222s 短絡校正用具
222L 標準負荷校正用具
224 校正用具接続部
300 ケーブル
400 DUT
410 ウェハ
420 ウェハプローブ
500 9ポートテストセット(分岐接続手段)
Claims (11)
- 信号出力部、前記信号出力部からの信号を出力するための出力ポート、および、前記信号を受ける受信ポートを備えるネットワークアナライザと、前記被測定物との間の誤差要因を取得するための誤差要因取得用装置であって、
前記ネットワークアナライザの前記出力ポートおよび前記受信ポートについて第一の状態を実現する第一状態実現部を有し、前記出力ポートおよび前記受信ポートに接続された第一校正手段と、
前記ネットワークアナライザの前記出力ポートまたは前記受信ポートについて第二の状態を実現する第二状態実現部を有し、前記第一校正手段と前記被測定物とに接続された第二校正手段と、
を備え、
前記第一校正手段は、前記出力ポートおよび前記受信ポートを、前記第一状態実現部あるいは前記第二校正手段のいずれかに接続する第一接続部を有し、
前記第二校正手段は、前記出力ポートおよび前記受信ポートを、前記第二状態実現部あるいは前記被測定物のいずれかに接続する第二接続部を有する、
誤差要因取得用装置。 - 請求項1に記載の誤差要因取得用装置であって、
前記第一状態実現部は、
開放の状態を実現する開放校正用具と、
短絡の状態を実現する短絡校正用具と、
標準負荷の状態を実現する標準負荷校正用具と、
前記出力ポートと前記受信ポートとを短絡する短絡部と、
前記出力ポートに、前記開放校正用具、前記短絡校正用具、前記標準負荷校正用具および前記短絡部の内のいずれか一つを接続する出力ポート接続部と、
前記受信ポートに、前記開放校正用具、前記短絡校正用具、前記標準負荷校正用具および前記短絡部の内のいずれか一つを接続する受信ポート接続部と、
を有する誤差要因取得用装置。 - 請求項1に記載の誤差要因取得用装置であって、
前記第二状態実現部は、
開放の状態を実現する開放校正用具と、
短絡の状態を実現する短絡校正用具と、
標準負荷の状態を実現する標準負荷校正用具と、
前記ネットワークアナライザに、前記開放校正用具、前記短絡校正用具および前記標準負荷校正用具の内のいずれか一つを接続する校正用具接続部と、
を有する誤差要因取得用装置。 - 請求項1ないし3のいずれか一項に記載の誤差要因取得用装置であって、
前記ネットワークアナライザの有するポートの個数よりも、前記被測定物の有するポートの個数の方が大きく、
前記第一校正手段の有するポートを、前記第二校正手段の有するポートのいずれかに接続する分岐接続手段を備えた誤差要因取得用装置。 - 請求項1ないし4のいずれか一項に記載の誤差要因取得用装置であって、
前記被測定物は、ウェハと、前記ウェハに接触し前記第二校正手段に接続されるウェハプローブとを有する、
誤差要因取得用装置。 - 信号出力部、前記信号出力部からの信号を出力するための出力ポート、および、前記信号を受ける受信ポートを備えるネットワークアナライザと、前記被測定物との間の誤差要因を取得するための誤差要因取得用装置であって、(1)前記ネットワークアナライザの前記出力ポートおよび前記受信ポートについて第一の状態を実現する第一状態実現部を有し、前記出力ポートおよび前記受信ポートに接続された第一校正手段と、(2)前記ネットワークアナライザの前記出力ポートまたは前記受信ポートについて第二の状態を実現する第二状態実現部を有し、前記第一校正手段と前記被測定物とに接続された第二校正手段とを備え、(3)前記第一校正手段は、前記出力ポートおよび前記受信ポートを、前記第一状態実現部あるいは前記第二校正手段のいずれかに接続する第一接続部を有し、(4)前記第二校正手段は、前記出力ポートおよび前記受信ポートを、前記第二状態実現部あるいは前記被測定物のいずれかに接続する第二接続部を有する、誤差要因取得用装置を使用して誤差要因を取得する誤差要因取得方法であって、
前記ネットワークアナライザを前記第一状態実現部に接続したときに、前記出力ポートから出力される前の信号、前記第一状態実現部から前記出力ポートに反射されてきた信号および受信ポートに受信された信号について測定された所定のパラメータに基づき、前記ネットワークアナライザと前記第一校正手段との間の第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得工程と、
前記ネットワークアナライザを前記第二状態実現部に接続したときに、前記出力ポートから出力される前の信号および前記第二状態実現部から前記出力ポートに反射されてきた信号に基づき、前記被測定物と前記第一校正手段との間の第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得工程と、
を備えた誤差要因取得方法。 - 信号出力部、前記信号出力部からの信号を出力するための出力ポート、および、前記信号を受ける受信ポートを備えるネットワークアナライザと、前記被測定物との間の誤差要因を取得するための誤差要因取得用装置であって、(1)前記ネットワークアナライザの前記出力ポートおよび前記受信ポートについて第一の状態を実現する第一状態実現部を有し、前記出力ポートおよび前記受信ポートに接続された第一校正手段と、(2)前記ネットワークアナライザの前記出力ポートまたは前記受信ポートについて第二の状態を実現する第二状態実現部を有し、前記第一校正手段と前記被測定物とに接続された第二校正手段とを備え、(3)前記第一校正手段は、前記出力ポートおよび前記受信ポートを、前記第一状態実現部あるいは前記第二校正手段のいずれかに接続する第一接続部を有し、(4)前記第二校正手段は、前記出力ポートおよび前記受信ポートを、前記第二状態実現部あるいは前記被測定物のいずれかに接続する第二接続部を有し、(5)前記被測定物は、ウェハと、前記ウェハに接触し前記第二校正手段に接続されるウェハプローブとを有する、誤差要因取得用装置を使用して誤差要因を取得する誤差要因取得方法であって、
前記ネットワークアナライザを前記第一状態実現部に接続したときに、前記出力ポートから出力される前の信号、前記第一状態実現部から前記出力ポートに反射されてきた信号および受信ポートに受信された信号について測定された所定のパラメータに基づき、前記ネットワークアナライザと前記第一校正手段との間の第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得工程と、
前記ネットワークアナライザを前記第二状態実現部に接続したときに、前記出力ポートから出力される前の信号および前記第二状態実現部から前記出力ポートに反射されてきた信号に基づき、前記被測定物と前記第一校正手段との間の第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得工程と、
前記第一誤差要因、前記第二誤差要因および前記ウェハプローブの誤差要因に基づき前記ウェハの所定のパラメータを測定するウェハ測定工程と、
を備えた誤差要因取得方法。 - 信号出力部、前記信号出力部からの信号を出力するための出力ポート、および、前記信号を受ける受信ポートを備えるネットワークアナライザと、前記被測定物との間の誤差要因を取得するための誤差要因取得用装置であって、(1)前記ネットワークアナライザの前記出力ポートおよび前記受信ポートについて第一の状態を実現する第一状態実現部を有し、前記出力ポートおよび前記受信ポートに接続された第一校正手段と、(2)前記ネットワークアナライザの前記出力ポートまたは前記受信ポートについて第二の状態を実現する第二状態実現部を有し、前記第一校正手段と前記被測定物とに接続された第二校正手段とを備え、(3)前記第一校正手段は、前記出力ポートおよび前記受信ポートを、前記第一状態実現部あるいは前記第二校正手段のいずれかに接続する第一接続部を有し、(4)前記第二校正手段は、前記出力ポートおよび前記受信ポートを、前記第二状態実現部あるいは前記被測定物のいずれかに接続する第二接続部を有する、誤差要因取得用装置を使用して誤差要因を取得する誤差要因取得処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記ネットワークアナライザを前記第一状態実現部に接続したときに、前記出力ポートから出力される前の信号、前記第一状態実現部から前記出力ポートに反射されてきた信号および受信ポートに受信された信号について測定された所定のパラメータに基づき、前記ネットワークアナライザと前記第一校正手段との間の第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得処理と、
前記ネットワークアナライザを前記第二状態実現部に接続したときに、前記出力ポートから出力される前の信号および前記第二状態実現部から前記出力ポートに反射されてきた信号に基づき、前記被測定物と前記第一校正手段との間の第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラム。 - 信号出力部、前記信号出力部からの信号を出力するための出力ポート、および、前記信号を受ける受信ポートを備えるネットワークアナライザと、前記被測定物との間の誤差要因を取得するための誤差要因取得用装置であって、(1)前記ネットワークアナライザの前記出力ポートおよび前記受信ポートについて第一の状態を実現する第一状態実現部を有し、前記出力ポートおよび前記受信ポートに接続された第一校正手段と、(2)前記ネットワークアナライザの前記出力ポートまたは前記受信ポートについて第二の状態を実現する第二状態実現部を有し、前記第一校正手段と前記被測定物とに接続された第二校正手段とを備え、(3)前記第一校正手段は、前記出力ポートおよび前記受信ポートを、前記第一状態実現部あるいは前記第二校正手段のいずれかに接続する第一接続部を有し、(4)前記第二校正手段は、前記出力ポートおよび前記受信ポートを、前記第二状態実現部あるいは前記被測定物のいずれかに接続する第二接続部を有し、(5)前記被測定物は、ウェハと、前記ウェハに接触し前記第二校正手段に接続されるウェハプローブとを有する、誤差要因取得用装置を使用して誤差要因を取得する誤差要因取得処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記ネットワークアナライザを前記第一状態実現部に接続したときに、前記出力ポートから出力される前の信号、前記第一状態実現部から前記出力ポートに反射されてきた信号および受信ポートに受信された信号について測定された所定のパラメータに基づき、前記ネットワークアナライザと前記第一校正手段との間の第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得処理と、
前記ネットワークアナライザを前記第二状態実現部に接続したときに、前記出力ポートから出力される前の信号および前記第二状態実現部から前記出力ポートに反射されてきた信号に基づき、前記被測定物と前記第一校正手段との間の第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得処理と、
前記第一誤差要因、前記第二誤差要因および前記ウェハプローブの誤差要因に基づき前記ウェハの所定のパラメータを測定するウェハ測定処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラム。 - 信号出力部、前記信号出力部からの信号を出力するための出力ポート、および、前記信号を受ける受信ポートを備えるネットワークアナライザと、前記被測定物との間の誤差要因を取得するための誤差要因取得用装置であって、(1)前記ネットワークアナライザの前記出力ポートおよび前記受信ポートについて第一の状態を実現する第一状態実現部を有し、前記出力ポートおよび前記受信ポートに接続された第一校正手段と、(2)前記ネットワークアナライザの前記出力ポートまたは前記受信ポートについて第二の状態を実現する第二状態実現部を有し、前記第一校正手段と前記被測定物とに接続された第二校正手段とを備え、(3)前記第一校正手段は、前記出力ポートおよび前記受信ポートを、前記第一状態実現部あるいは前記第二校正手段のいずれかに接続する第一接続部を有し、(4)前記第二校正手段は、前記出力ポートおよび前記受信ポートを、前記第二状態実現部あるいは前記被測定物のいずれかに接続する第二接続部を有する、誤差要因取得用装置を使用して誤差要因を取得する誤差要因取得処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、
前記ネットワークアナライザを前記第一状態実現部に接続したときに、前記出力ポートから出力される前の信号、前記第一状態実現部から前記出力ポートに反射されてきた信号および受信ポートに受信された信号について測定された所定のパラメータに基づき、前記ネットワークアナライザと前記第一校正手段との間の第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得処理と、
前記ネットワークアナライザを前記第二状態実現部に接続したときに、前記出力ポートから出力される前の信号および前記第二状態実現部から前記出力ポートに反射されてきた信号に基づき、前記被測定物と前記第一校正手段との間の第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体。 - 信号出力部、前記信号出力部からの信号を出力するための出力ポート、および、前記信号を受ける受信ポートを備えるネットワークアナライザと、前記被測定物との間の誤差要因を取得するための誤差要因取得用装置であって、(1)前記ネットワークアナライザの前記出力ポートおよび前記受信ポートについて第一の状態を実現する第一状態実現部を有し、前記出力ポートおよび前記受信ポートに接続された第一校正手段と、(2)前記ネットワークアナライザの前記出力ポートまたは前記受信ポートについて第二の状態を実現する第二状態実現部を有し、前記第一校正手段と前記被測定物とに接続された第二校正手段とを備え、(3)前記第一校正手段は、前記出力ポートおよび前記受信ポートを、前記第一状態実現部あるいは前記第二校正手段のいずれかに接続する第一接続部を有し、(4)前記第二校正手段は、前記出力ポートおよび前記受信ポートを、前記第二状態実現部あるいは前記被測定物のいずれかに接続する第二接続部を有し、(5)前記被測定物は、ウェハと、前記ウェハに接触し前記第二校正手段に接続されるウェハプローブとを有する、誤差要因取得用装置を使用して誤差要因を取得する誤差要因取得処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、
前記ネットワークアナライザを前記第一状態実現部に接続したときに、前記出力ポートから出力される前の信号、前記第一状態実現部から前記出力ポートに反射されてきた信号および受信ポートに受信された信号について測定された所定のパラメータに基づき、前記ネットワークアナライザと前記第一校正手段との間の第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得処理と、
前記ネットワークアナライザを前記第二状態実現部に接続したときに、前記出力ポートから出力される前の信号および前記第二状態実現部から前記出力ポートに反射されてきた信号に基づき、前記被測定物と前記第一校正手段との間の第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得処理と、
前記第一誤差要因、前記第二誤差要因および前記ウェハプローブの誤差要因に基づき前記ウェハの所定のパラメータを測定するウェハ測定処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体。
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