TWI279553B - Device, method, program, and recording medium for error factor acquisition - Google Patents

Description

1279553 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 發明領域 、、i⑽有關於冑將被測定物的電路參數進行運算 /J定時的誤差要因之測定。 【先前技術】 月景技術 迄今，仍需進行被測定物(DUT: DeviceUnderTest)電 ⑺路參數(例如：S參數)的測定(例如：參考專利文獻1(日本公 開公報第H-38054號)）。切技術中被測定物(DUT)的電路 參數測定法可參照第16圖來說明。 來自信號源130之信號係透過DUT4〇〇傳送至接收部 140。該信號會透過接收部14〇接收。藉由測定由接收部14〇 所接收之信號，即可取得DUT400的S參數及頻率特性。 15 此時，由於信號源130等測定系與DUT400的不整合等 會對測定產生測定系誤差。此測定系誤差例如，Ed ··因橋 接方向性產生之誤差；Er ··因頻率追縱產生之誤差；及es : 因信號源匹配產生之誤差。有關於信號源130之信號流程圖 係顯示於第17圖，且RFIN是從信號源130輸入DUT400等之 20 信號，Slim是從DUT400等反射之信號求出之DUT400等的 S參數，Slla是無測定系誤差之真實的DUT400等之S參數。 在此情形下，可例如專利文獻1記載一樣地校正誤差。 而如此之校正稱為校準。以下對校準概略說明。將校準模 組連接至信號源130上，以實現開放(open)、短路(short)、 1279553 =咖，標準娜G)等三種類狀態。並且，利用橋接器 籍Γ欠此時的校正模組反射之信號，並求出對應於前述三 變，再從前述三種細參數求出三種類的 -而’在如上述的先前技術中，必須對於信號源⑽ 订所謂開放、短路及負荷等三種類校正模組之襄卸工 1卸動作的次數係每—種類校正模組為兩次(裝 故-種頰校正模組的裝卸動作次數為六次。如此—來，在 10 ^正過程巾’會產生因校正模峰㈣次數增加而使作章 繁雜的問題。 之作業 …在此’本發明之目地係減少校正模組次數以 仃破測定物的魏參數測定系的校正。 【發明内容】 發明概要 π根據本發明之誤差要因取得用裝置的_態樣，係用以 取传、、、罔路分析器與被測定物間的誤差要因者，JL，前述網 ，分_包含有信號輪出部、用以輸出來自前述信號輸出 Ρ的U虎之輪出端琿及接收前述信號之接收端璋，又，該 二已3有第板正機構，具有可對前述網路分析器的 前，輸出端埠及前述接收端埠實現第_狀態之第_狀^實 見和亚連接於前述輸出端埠及其前述接㈣埠；及第二 k正機構，具有可對前述網路分析器的前述輸出端璋或前 心接收端埠K現第二狀態之第二狀態實現部，並連接於前 述第&JL機構與前述被測定物，又，前述第—校正機構 1279553 第出端蟑及前述接收端4，與前述第-狀態 且，前述第二校正機構之第—連接部， 端蟑，與前述第二狀能實現部”,出端璋及前述接收 5之第二連接部。㈣見‘切述被測定物任—者連接 根據如上述所構成之本發明，係提供—種用以取得網 ^析定物間的誤差要因之誤差要因取得用襄 且月.J述網路分析器包含有信號輸出部、用以輸出來 輸出部的信號之輸出料及接收前述信號之接 “蟑，又，該農置包含有：第-校正機構，具有可對前 达網路分析器的前述輸出端璋 :::-狀態實現部，並連接於前述輸出= 述校正機構，具有可對前述網路分析器的前 15 部，並連接於前述第一校正機構與前述被測定物，:，、= =-校正機巧有可將前述輸出端蟑及前述接收端蟑， 二别述第-㈣實現部或前述第二校正機構任—者連接之 __卩s㈣第—校正機構具有可將前述輸出端 物二:捿收端埠’與前述第二狀態實現部或前述被測定 物任一者連接之第二連接部。 —根據上述本發明之誤差要因取得用裝置，其中第一狀 態實現部包含有：可實現開放狀態之開放校正用且；可實 =路狀態之短路校正用具;可實現標準負載狀態之標： 、又正用具；使前述輸出端埠與前述接收端痒短路之短 20 1279553 路部；於前述輸出端埠連接前述開放校正用呈、^ ^ 八 別述短路 仅正用具、前述標準負載校正用具及前述短路部之任一者 之輪出端埠連接冑；及於前述接收端埠連接前述開放校正 用具、前述短路校正用具、前述標準負載校正用具及^述 紐路部之任一者之接收端埠連接部。 ，a 根據本發明之誤差要因取得用裝置，其中 、&… 見。卩包含有：可實現開放狀態之開放校正用具； : u b At 』員現短 10 7狀悲之短路校正用具；可實現標準負載狀態之標準 二正用具’及於前述網路分析II連接前述開放校正用具 前述短路校正用具及前述標準負载校正用且之任_/、、 正用具連接部。 、 考之校 根據本發明之誤差要因取得用裝置，其巾前述被 15 並包含3 =數大於前述網路分析11具有之端淳個數， 相—校正機構具有之端蟑與第二校 /、之端埠任一者連接之分歧連接機構。 物包本發明之誤差要因取得用裝置，其一^ 機構及與4晶81接觸錢接於_第二校正 钺構之晶圓探針。 仅止 得用之誤差判取得方法，係使用誤差要因取 用衣置取侍誤差要因者，又，前述 取得網路分析器與被測定物間的誤差要::二置 出：分析器包含有信號輪出部、用以輸出來自前心 二=號如她前述信號之接收端璋，： 3第才父正機構，具有可對前述網路分析器的 20 J279553 5 =輸出端埠及前述接收端#實現第—狀態之第—狀態實 部’並連接於前述㈣端埠及前述接收端埠，·及第二校 =機構，具材對前義路分析器㈣述輸出端埠或前述 *收端埠實現第二狀態之第二狀態實現部，並連接於前述 :一校^機構與前述被測定物，x，前述第一校正機構具 有可將前述輸出端蟑及前述接收端埠，與前述第一狀態實 現2或前述第二校正機構任一者連接之第一連接部，且前 述第一权正機構具有可將前述輸出料及前述接收端璋， 與前述第二狀態實現部或前述被測定物任—者連接之第二 連接部，另，該方法包含下列程序：第一誤差要因取得程 =，係在將前述網路分析器與前述第—狀態實現部連接 時，依據由前述輸出端埠輸出之前信號、由前述第一狀態 實現部反射至前述輸出端埠之信號，及於接收端埠接收之 β號所測出之預定參數’取得前述網路分析器與前述第一 校正機構間的第-誤差要因；及第二誤差要因取得程序， 係在將前述網路分析器與前述第二狀態實現部連接時，依 據由前述輸出料輸出之前錢及由第二狀態實現部反射 至前述輸出端4之信號，取得冑述被測定物與前述第一校 正機構間的第二誤差要因。 15 20 根據本發明之誤差要因取得方法的另-態樣，係使用 誤差要因取得用裳置取得要因者，又，前述誤差要因取得 用裝置係用以取得網路分析器與被測定物間的誤差要因， 且’前述網路分析器包含有信號輸出部、用以輪出來自前 述信號輸出部的信號之輸出端埠及接收前述信號之接收端 1279553 5 10 20 置包含有··第—校正機構，具有可對前述網路分 2㈣輸出端埠及前述接㈣蟑實現第—狀態之第_ 現部，並連接於前述輸出料及前述接收端璋；及 機構，具有可對前述網路分析器的前述輸出端痒 收料實現第二狀態之第二狀態實現部，並連接 機右㈣構與前述被測定物，又，前述第-校正 能、、， 皁W献端埠與前述第-狀 心貝現或前述第二校正機禮杠 _任—者連接之第-連接部， 弟t校正連接機構具有可將前述㈣料及前述接 收埠與前述第二狀態實 之第n// ㈣被敎練—者連接 連接和前述被_勿具有晶圓’及與前述晶 妾觸且連接於則述第二校正機構之晶圓探針，又 下列程序：第—誤差要因取得程序，係在將前i網 =析器额述第-狀態實現部連接時，依據由前述輪出 =輸出，前信號、由前述第-狀態實現部反射至前述輸 叙 、車接收之信號所測出之預定來 2 ’取得前賴路分析器與前述第_校正機制的第—誤 ί要因；第二誤差要因取得料，係在將前述網路分析器 之針mu u 據前述輸出料輪出 。Μ及“心二狀態實現部反射至前述輸出端淳之 ^虎，取得前述被測杨與前述第—校正機構間的第^ 要因；及晶圓啦程序，係依據前述第-誤差要因、前 逑第二誤差要因及前述晶圓探針誤差要因，測定前述晶圓 之預定參數。 ^

10 1279553 5 10 15 20 一根據本發明之程式的—態樣，係用以在電腦 决差要因取得用裝置取得誤差要因之誤差 T用 又，前述誤差要因取得用裝置係用以取得網 與被測定物間的誤差要因，且，前述網路分析哭包八= 號輸出部、用以輸出來自前述信號輸出部師號之二 璋及接收前述信號之接收端埠，該裝置係包含有^ 端 正機構，具有可《述财分析㈣前频“埠及= 接“槔貫現第-狀態之第一狀態實現部，並連 — 輸出端蟑及前述接收端蟑；及第二校正機構，可= 述網路分析器實現第二狀態之第二狀態實現部:2 料第-校正機構與前述被測定物，又 2接於 I、有可將前述輸出端埠及前述接㈣埠與前述第 =現部或前述第二校正機構任—者連接之第—連接部，: 校正機構具有可將前述輸出端蟑及前述純端ί 第一共則述第二狀態實現部或前述被測定物任一者連接之 連接部，S，前述誤差要因取得處理包含有··第—誤 I要，取得處理，係在將前述網路分析器與前述第—狀態 =部連接時’依據對由前述輸出端槔輸出之前信號、: 2第—狀態實現部反射至前述輸出端埠之信號及於接收 與此接收之信號制出的預定參數，取得前述網路分析器 二耵述第一校正機構間的第一誤差要因；及第二誤差因 α 、 ，係在將前述網路分析器與前述第二狀態實現部 依據由前述輸出端琿輸出之前信號及由前述第二 “貫現部反射至前述輸出料之信號，取得前述被測定

11 !279553 物與前述第一校正機構間的第二誤差要因。 。 根據本發明之程式的另一態樣，係用以在電腦執行使 用。吳差要因取得用裝置而取得誤差要因之誤差要因取得處 - 理者，又，前述誤差要因取得用裝置係用以取得網路分析 - 5器與被測定物間的誤差要因，且，前述網路分析器、包含有 ^號輸出部、用以輸出來自前述信號輸出部的信號之輸出 端埠及接收前述信號之接收端埠，又，該裝置包含有：第 一校正機構，具有可對前述網路分析器的前述輪出端埠及 月’J述接收端埠實現第一狀態之第一狀態實現部，並連接於 鲁 10別述輸出端埠及前述接收端埠；及第二校正機構，具有可 對前述網路分析器的前述輸出端埠或前述接收端埠實現第 二狀狀態實現部，並連接於前述第—校正機構與 刚述被測疋物’前述第一校正機構具有可將前述輸出端埠 及則述接收端埠與前述第一狀態實現部或前述第二校正機 15構任-麵接之第一連接部，且前述第二校正連接機構具 有可=前述輸出端埠及前述接收端埠與前述第二狀態實現 二或刚述被测定物任—者連接之第二連接部，而前述被測 _ a有曰曰圓、及與别述晶圓接觸且連接於前述第二校正 機構之曰曰圓挺針，另’前述誤差要因取得處理包含有：第 20 一 ^要因取得處理，係在將前述網路分析器與前述第— ， 狀悲貝現部連接時，依據由前述輸出端埠輸出之前信號、 由月il述第狀怨貫現部反射至前述輸出端埠之信號及於接 收^阜接收之^ 5虎測出之預定參數，取得前述網路分析器 契則述第一权正機構間第一誤差要因；第二誤差要因取得 12 1279553 處理，係在前述網路分析器與前述第二狀態實現部連接 時，依據由前述輸出端埠輸出之前信號及由前述第二狀態 f現部反射至前述輸出料之信號，取得前述被測定物與 月〕述第％C正機構間第二誤差要因；及晶圓測定處理，係 5依據前述第-誤差要因、前述第二誤差要因及前述晶圓探 針誤差要因，測定前述晶圓預定參數。 10 根據本發明之記錄媒體的一態樣，係可藉由記錄有程 式之電腦讀取者，i ’該程式係用以在電腦中執行使用誤 差要因取得用裝置取得誤差要因之誤差要因取得處理， 15 20 又’前述誤差要因取得㈣置係心取得網路分析 述被測定物間的誤差要因，χ，前述網路分析器包含有 號輸出部、用以輸出來自前述信號輸出部的信號之輸出 琿及接收前述信號之接收端埠，該裝置包含有：第一校 為構具有可對4述網路分析器的前述輸出端蟑及前述 ㈣蟑貫現第-狀態之第―狀態實現部’並連接於前述 出端蟑及前述魏端埠；及第二校正機構，具有可對前 網路分析1的前賴丨端料前述接收料實現第二狀 、:狀1、只現和並連接於前述第__校正機構與前述 =定物’ X ’前述第-校正機構具有可將前述輸出端缚 則速接收料與前述第實現部或前述第二校正機 任—者連接之第-連接部，且前述第二校正連 I將前述輪_埠及㈣触料㈣述第二狀態實現 物任一者連接之第二連接部，另，前述誤 口取侍處理包含有：第—駐要因取得處理，係在將

13 1279553 述網路分析器與前述第一狀態實現部連接時，依據對由前 述輸出端琿輪出之前信號、由前述第-狀態實現部反射至 前述輸出端埠之信號及在接收端埠接之信號等測出之預定 參數，取得前述網路分析器與前述第一校正機構間第一誤 i要因，及第三誤差要因取得處理’係在將前述網路分析 器與=述第二狀態實現部連接時，依據由前述輸出端蜂輪 出^前信號及由前述第二狀態實現部反射至前述輸出端璋 之信號’取得前述被測定物與前述第_校正機構間的第二 誤差要因。 ιυ 15 根據本發明之記錄媒體的另—態樣，係可藉由記錄有 知式之電腦讀取者，且該程式係用以在電腦中執行使用誤 差要:取得用裝置而取得誤差要因之誤差要因取得處理， 述块差要因取得用裝置係用以取得網路分析器與前 =定物間的誤差要因…前述網路分析器包含有信 ί=Γ、^χ輸出來自前述錢μ部的錢之輸出端 2接收W述信號之接收端槔，該裝置包含有：第一校正 機構，具有可對前述網路分 收端造本㈣ 刀析-的則述輸出端埠及前述接 φ貝現第—狀態之第-狀態實現部，並連接於前述浐 出端璋及前述接收端埠;及第二校正機構，== 網路分析器的前述輸出 /、 #刖述 之第二狀自w 或^接收端埠實現第二狀態 心貝見邛，並連接於前述第一 測定物，又m > X簡與則逑被 兑⑽ 才父正機構具有可將前述輸出端埠及 與前述第-狀態實現部或前述第 —者連接之第_連接部，且前述第二校正連接機構具有 20 1279553 可將前述輸出端埠及前述接收端埠連接於前述第二狀態冑 - 卩或則述被叙物任—者之第二連接部·，前述制定⑯ * 具^晶圓’及與前述晶圓接觸而連接於前述第二校正频 — 、，曰曰1)¼針，另’ 4述誤差要因取得處理包含有·第一誤 ^要因取付處理，係在將前述網路分析器與前述第—狀態 . 貝^連接日守’依據由前述輸出端埠輸出之前信號、由前 ㈣1¾'貫現部反射至前述輸出端璋之信號及在接收端 璋接收之㈣等測出之預定參數，取得前述網路分析器與 前述第-校正機構間第一誤差要因；第二誤差要因取得處 · 理係在將4述網路分析器與前述第二狀態實現部連接 0寸’依據由前述輸出端埠輸出的信號及由前述第二狀態實 現部反射至前述輸出端埠之信號，取得前述被測定物與前 述第一校正機構間的第二誤差要因；及晶圓測定處理，係 根據可述第一誤差要因、前述第二誤差要因及前述晶圓探 15針誤差要因，測定前述晶圓的預定參數。 圖式簡單說明 第1圖係顯示使用本發明第一實施形態之誤差要因取 · 得用裝置之測定系構造圖。 第2圖係顯示網路分析器1之構造圖。 20 第3圖係顯示第一狀態實現部120之構造圖。 第4圖係顯示第二狀態實現部22〇之構造圖。 第5圖中第一連接部110a(110b)是將端埠18(28)連接至 第二校正器200，且第二連接部210是將端埠202與DUT400 連接時之信號流程圖，並顯示以端埠18為輸出端埠、以端 15 1279553 埠28為接收端埠的情形（第5(a)圖），及以端埠18為接收端 埠、以端埠28為輸出端埠的情形（第5(b)圖）。 第6圖係顯示第一實施形態動作之流程圖。 第7圖係顯示誤差要因Edf、Erf、Esf(第7(a)圖）及誤差 5 要因Edr、Err、Esr(第7(b)圖）之信號流程圖。 第8圖係顯示誤差要因Etf、ELf(第8(a)圖）及誤差要因 Etf、ELr(第8(b)圖）之信號流程圖。 第9圖係顯示誤差要因All、A12、A21、A22(第9⑻圖） 及誤差要因Bll、B12、B21、B22(第9(b)圖）之信號流程圖。 ίο 第1 〇圖係顯示使用本發明第二實施形態之誤差要因取 得用裝置之測定系構造圖。 第11圖係顯示本發明第二實施形態之第一校正器100 的内部構造圖。 第12圖係顯示使用本發明第三實施形態之誤差要因取 I5 得用裝置之測定系構造圖。 第13圖係顯示9端埠測試儀500的内部構造圖。 第14圖係顯示使用本發明第四實施形態之誤差要因取 得用裝置之測定系構造圖。 第15圖中第一連接部ll〇a(ll〇b)是將端埠18(28)與第 2〇 二校正器200連接，且第二連接部210是將端埠202與晶圓探 針420連接時之信號流程圖，並顯示以端埠18為輸出端埠、 以端埠28為接收端埠的情形（第15(a)圖），及以端埠18為接 收端埠、以端琿28為輸出端埠的情形（第15(b)圖）。 第16圖係用以說明先前技術中被測定物(DUT)的電路 1279553 參數測定法之圖不。 第17圖係有關於先前技術中信號源130之信號流程圖。 【實施方式】 用以實施發明之最佳形態 5 以下，參照圖示說明本發明實施形態。 第一實施形態 第1圖係顯示使用本發明第一實施形態之誤差要因取 得用裝置之測定系構造圖。又，前述測定系包含有：網路 分析器1、第一校正器100、第二校正器200、電纜300及 10 DUT400。第一校正器1 〇〇及第二校正器200係構成誤差要因 取得用裝置。 網路分析器1的構造係顯示於第2圖。網路分析器1包含 有：信號源10、接收機構20、測定系誤差要因記錄部30、 電路參數測定部40、測定系誤差要因取得部50、接收側測 15 定系誤差要因記錄部70。 信號源10包含信號輸出部12、開關13、橋接器14a及 14b、接收器i6a(RS)、接收器16b(TS)、端埠18。 信號輸出部12係輸出預定頻率之輸入信號，且，前述 預定頻率是可改變的。 20 開關13係用以將自信號輪出部12輸出之輸入信號，選 擇從端埠18輸出或從端埠28輪出之開關。開關13包含端子 13a、13b、13c。端子13a係連接至端埠18，端子13b係連接 至接收裝置20，端子13c係連接至信號輸出部12。又，連接 端子13a與端子i3c，即，若使開關13位於端子13a側，則前 17 1279553 述輸入信號會從端埠18輸出。若連接端子13a與端子13b， 即，右使開關13位於端子13b側，則前述輪入信號會從端埠 28輸出。 又，當從端埠28輸出輸入信號時，則來自於端埠18的 5 k號會輸入信號源10。在此，橋接部14b係將該信號供給至 接收部16b(TS)。 橋接部14a係將從信號輸出部12輸出之信號供給至接 收部16a(RS)。橋接部14b係將自端埠丨8輸出輸入信號並反 射返回之反射信號供給至16b。又，橋接部14&、14b亦可為 10功率分配器，並於後述中說明。其他橋接器也可以功率分 配器代用。

接收部16a(RS)係測定透過橋接器14a接收之信號的S 參數。接收部16b(TS)係測定透過橋接器14b接收之信號的S 參數。 15 端埠18係用以輸出輸入信號之端子。 接收裝置20包含有：橋接器24a及24b、接收器 26a(TR)、接收器26b(RR)及端埠28。 從端埠18輸出輸入信號時，橋接器24a會將從端埠28輪 入之信號供給至接收器26a(TR)。接收器26a(TR)係測定接 20 收信號的S參數。端埠28係用以使接收接收裝置20接收信號 之端子。 若使開關13位於端子13b側，則從信號輸出部12輸出之 輸入信號會透過開關13傳送至接收機構2 0。橋接器2 4 b係將 該輸入信號供給至接收器26b(RR)。橋接器24a係將從端埠 1279553 28輸出輸入信號再反射返回之信號供給至接收器26a(TR)。 在從端埠18(輸出端埠)輸出輸入信號時，端埠2g(接收 端埠）會透過DUT400接收信號。又，在從端埠28(輪出端璋) 輸出輸入信號時，端埠18(接收端埠）會透過DUT400接收作 5 號。 接收器26a(TR)係測定透過橋接器24a接收之信號的s 參數。橋接器26b(RR)係測定透過橋接器24b接收之輸入信 號的S參數。 測定糸誤差要因記錄部30係記錄網路分析器1測定系 10 的誤差要因。測定系的誤差要因有第一誤差要因、第二誤 差要因。又，前述第一誤差要因為網路分析器1與第一校正 裔100間的誤差要因。前述第二誤差要因為DUT400與第一 校正杰、1〇〇間的誤差要因。前述第二誤差要因主要是因為電 纜300所產生的誤差要因。 15 電路參數測定部40係根據： (1)從端埠18輸出輸入信號時與接收器i6a(RS)、接收器 16b(TS)、接收器26a(TR)的DUT400有關之測定數據（s參 數）； (2) 從端埠28輸出輸入信號時與接收器26b(RR)、接收器 20 26a(TR)、接收器16b(TS)的DUT400有關之測定數據（S參 數）；及 (3) 記錄測定系誤差要因記錄部3〇之測定系誤差要因， 來測定DUT400真實的S參數(排除測定系誤差要因的影響）。 測定系誤差要因取得部5〇係根據接收器16a(RS)、接收 !279553 器16b(TS)、及接收器26a(TR)的測定結果，取得測定系的誤 - 差要因。 接收側測定系誤差要因取得部70係根據接收p ' 26b(RR)、接收器26a(TR)、接收器16b(TS)及信號輸出取得 ， 5 部62的測定結果，取得測定系的誤差要因。 第一校正器100包含：端埠102、104、106、108 ;第一 連接部110a、lib ;第一狀態實現部120。 端埠102係與端埠18連接。端埠104係與端埠28連接。 端埠106係與第二校正器200的端埠202連接。端埠108係與 鲁 10 第二校正器200的端埠202連接。 第一連接部110a係與端埠102、106及第一狀態實現部 12〇連接。第一連接部ll〇a係將端埠102與端埠1〇6或第一狀 恶實現部120連接。因此，第一連接部11〇a係將端埠18與第 二校正器200或第一狀態實現部120連接。且，端埠18為輸 15出端埠(從端埠18輸出信號時）或接收端埠(從端埠28輸出信 號時）。 第一連接部110b係與端埠104、108及第一狀態實現部 ® 120連接。第一連接部1 l〇b係將端埠丨〇4與端埠1〇8或第一狀 L焉現部120連接。因此，第一連接部110b係將端埠28與第 2〇 一校正200或第一狀態實現部120連接。且，端埠28為接收 ~ 端埠(從端埠18輸出信號時）或輸出端埠(從端埠28輸出信號 : 時）。 第一狀悲貫現部120係對端璋18及端埠28，即，對輸出 蝠埠及接收端埠實現第一狀態。第一狀態實現部120的構造 20 1279553 顯不於第3圖。第一狀態實現部12〇包含：開放校正用具 122op、i23op，短路校正用具122s、123s ;標準負載校正 用具122L、123L ;短路部124 ;及端埠連接部126、128。 杈正用具係如習知日本公開公報第n_38〇54號所記 5載，為可實現開放(0Pen)、短路(Short)、負載(load，標準負 載Z0)等三種狀態。 開放校正用具122op係對端埠18實現開放狀態。開放校 正用具123op係對端埠28實現開放狀態。短路校正用具122§ 係對端埠18實現短路狀態。短路校正用具123§係對端埠28 10貫現短路狀態。標準負載校正用具122L係對端埠18實現標 準負載狀恶。標準負載校正用具123L係對端埠28實現標準 負載狀態。 短路部124係用以連接端埠18及端埠28。 即，所謂第一狀態係指對端埠18呈開放、短路及標準 15負載的狀態；對端埠28呈開放短路及標準負載的狀態；及 連接端埠18與端埠28之狀態。 端琿連接部126係在第一連接部11〇中a連接開放校正 用具122〇P、短路校正用具122s、標準負載校正用具122L、 短路部124之任一者。端埠連接部126為一種開關。 20 端埠連接部128係在第一連接部ii〇b中連接開放校正 用具123op、短路校正用具123s、標準負載校正用具J23L·、 短路部124之任一者。端埠連接部128為一種開關。 第二校正器2〇〇包含端埠202及204、第二連接部210、 第二狀態實現部220。 21 1279553 端埠202係與端埠ι〇6(ΐ〇8)連接。端埠204係與DUT400 的端埠402連接。 第二連接部210係與端埠202、204及第二狀態實現部 220連接。第二連接部21〇係將端埠2〇2與端埠2〇4或第二狀 5態實現部220連接。 因此’在端埠202是透過第一連接部ll〇a(ll〇b)與端埠 18(28)連接時，第二連接部210係將端埠18(28)連接至 DUT400或第二狀態實現部220。 第二狀態實現部220係對端埠18(28)，即，對輸出端埠 1〇或接收端埠實現第二狀態。第二狀態實現部220的構造係顯 不於第4圖。第二狀態實現部220包含開放校正用具220op、 短路杈正用具222s、標準負載校正用具222L及校正用具連 接部224。 月ίι述扠正用具係如日本公開公報第11-38〇54號所記 載為热知可貫現開放(0Pen)、短路(short)、負載(load，標 準負載Z0)等三種狀態者。 開放权正用具222op係對端埠18(28)實現開放狀態。短 路校正用具222樣對端埠18(28)實現短路狀態。標準負載校 正用具222L係對端埠18(28)實現標準負載狀態。 2〇 即’所謂第二狀態係指對端物或28呈開放、短路及 ^準負載的狀態。 枝正用具連接部224係在第二連接部連接開放校正 用.、222op紐路杈正用具222s、標準負載校正用具之 任一者。校正用具連接部224為一種開關。 1279553 電纜300係連接第一校正器1〇〇的端埠1〇6(1〇8)與第二 校正器200的端埠202。 DUT400具有端埠402、404。又，DUT400為被測定物， 又，網路分析器1的目的係測定DUT400真實的S參數。 5 接著，說明第一實施形態的動作。 第5圖中第一連接部ii〇a(110b)係將端埠18(28)與第二 校正器200連接，且第二連接部21〇係將端埠202與DUT400 連接時之信號流程圖。但是，第5(a)圖係以端埠18為輸出端 埠、以端埠28為接收端埠時之信號流程圖。第”的圖係以端 10埠18為接收端埠、以端埠28為輸出端埠之信號流程圖。 測定系誤差要因有第一誤差要因及第二誤差要因。參 照第5(a)圖，其中第一誤差要因為Edf、Erf、Esf、Etf、ELf。 第二誤差要因為 All、A12、A21、A22、B11、B12、B21、 B22。且，第一誤差要因中末端的f為順向的縮寫，係指輸 15 入信號從端埠18提供至DUT400。另外，Ed:因橋接方向性 產生之誤差、Er :因反射追蹤產生之誤差、es :因信號源 匹配產生之誤差、Et ··因傳送追蹤產生之誤差、el :因負 載匹配產生之誤差。 參照第5(b)圖，其中第一誤差要因為Edr、Err、Esr、 20 Etr、ELr。第二誤差要因為 All、A12、A21、A22、Bll、 B12、B21、B22。且，第一誤差要因中末端的r為反向的縮 寫，係指將輸入信號從端埠28提供至DUT400。 由於將DUT400的S參數透過端埠18、28測定之結果， 含有測定系誤差要因，故無法作為DUT400正確的S參數 23 1279553 (S11、S12、S21、S22)。因此，會先測定第一誤差要因及 弟一疾差要因’再求出DUT400正確的s參數。 第6圖係顯示第一實施形態之動作流程圖。 首先，連接網路分析器1與第一狀態實現部12〇(sl〇)。 5即，藉第一連接部110a，將端埠18連接至第一狀態實現部 120 ’並藉第一連接部110b，將端埠28連接至第一狀態實現 部 120。 接著，取得第一誤差要因（S12)。首先，從端埠18輸出 #號。端埠連接部126係透過第一連接部11〇a，在端埠18連 10接開放校正用具122op，再連接短路校正用具122s，然後連 接k準負載板正用具122L。此時，測定系誤差要因取得部 50會從接收器16a(RS)及接收器i6b(TS)的測定值，求出如第 7(a)圖所示之誤差要因Edf、Erf、Esf，再寫入測定系誤差要 因記錄部30。接著，端埠連接部126會透過第一連接部 15 110a，在端埠18連接短路部124，且端埠連接部128也會透 過第一連接部110b，在端埠28連接短路部124。此時，測定 系誤差要因取得部50會從接收器16a(RS)、接收器16b(TS) 及接收為26a(TR)的測定值，求出如第g(a)圖所示之誤差要 因Etf、ELf，再寫入測定系誤差要因記錄部3〇。 20 然後，從端埠28輸出信號。端埠連接部128係透過第一 連接部110b，在&埠28連接開放校正用具i23op，再連接短 路校正用具123s，然後連接標準負載校正用具123L。此時， 接收側測定系誤差要因取得部7〇會從接收器26a(TR)及接 收器26b(RR)的測定值，求出如第7(b)圖所示之誤差要因 24 1279553

Edr Err、Esr ’再寫入測定系誤差要因記錄部3〇。接著， 端埠連接部126會透過第-連接部_，在端淳财接短路 · 部124，且端埠連接部128也會透過第-連接部UOb，在端 璋28連接短路部124。此時，接收側測定系誤差要因取得部 5脚從接收器26a(TR)、接收器26b(RR)及接收器働⑽的 測定值，求出如第8(b)圖所示之誤差要因此、山，再寫入 測定系誤差要因記錄部3〇。 如此一來，即可取得第一誤差要因。 接著’連接網路分析以與第二校正器勘(S14)。即， · 藉第連接部110a，將端埠18連接至第二校正器2〇〇，並藉 第連接部110b，將端埠28連接至第二校正器2〇〇，再進而 連接網路分析Hi與第二狀態實現部22〇(sl6)。即，利用第 二連接部210,並透過第一連接部11〇a(u〇b)，將端蜂18(28) 連接至第二狀態實現部220。 接著，取得第二誤差要因（S18)。首先，從端埠以輸出 4口號。权正用具連接部224係透過第二連接部21〇，在端埠 18連接開放校正用具222()p，再連接短路校正用具222s，然 # 後連接標準負載校正用具222L。此時，測定系誤差要因取 知邠50會從接收器16a(RS)及接收器16b(Ts)的測定值，求出 如第9(a)圖所示之誤差要因A11、A12、A21、A22，再寫入 ： 測定系誤差要因記錄部3〇。 : 接著，從鳊埠28輸出信號。校正用具連接部224係透過 第一連接部210，在端埠28連接開放校正用具222〇p，再連 接短路校正用具222s，然後連接標準負載校正用具222l。 25 1279553 此時，接收側測定系誤差要因取得部70會從接收器26a(TR) 及接收器26b(RR)的測定值，求出如第9(1))圖所示之誤差要 因Bll、B12、B21、B22，再寫入測定系誤差要因記錄部3〇。 如此一來，即可取得第二誤差要因。 5 接著’連接網路分析器1與DUT400(S20)。即，藉第二 連接部210，並透過第一連接部11〇a(n〇b)，將端埠18(28) 連接至DUT400的端埠402(404)。 在此’先從端蟑18或28輸出信號，電路參數測定部4〇 再從接收器16a(RS)、接收器i6b(TS)、接收器26a(TR)及 10 26b(RR)的測定值，實際測定DUT400的S參數(S22)。 該實測值係受到測定系誤差要因的影響。在此，電路 參數測定部40會讀出業已記錄在測定系誤差要因記錄部3〇 之測定系誤差要因，並從實際測得之DUT400的S參數去除 測定系誤差要因的影響，再測定實際DUT400的8參數 15 (S24) 〇 根據第一實施形態，除了可分別在網路分析器1的端埠 18、28連接校正用具及DUT400以外，亦可僅以操作第一連 接部110a、lib;第二連接部210;及端埠連接部126、128、 224，進行網路分析器1的校正。 20 第二實施形態 第二實施形態係在分別將第一實施形態中的網路分析 器1及DUT400的端埠作成4個此點上與第一實施形態不同。 第10圖係顯示使用本發明第二實施形態之誤差要因取 得用裝置之測定系構造圖。前述測定系之構造包含有··網 1279553 路分析器1、第一校正器100、第二校正器200、電纜300、 DUT400。又，第_校正器1〇〇及第二校正器2〇〇係構成誤差 要因取得用裳置。以下，與第一實施形態相同部分，係附 加相同編说並省略說明。 5 網路分析器1包含端埠18、28、38、48。又，前述網路 分析器1的内部構造幾乎與第一實施形態相同。從前述網路 分係為中某一端埠輸出之信號，其他任一端埠均可接收。 例如’從端埠18輸出之信號，端埠28、38、48等任一者均 可接收。又，對於前述任一端埠，均有相當於橋接器14a、 10 14b，接收器I6a、1价之構件。 苐一校正裔1〇〇的内部構造係顯示於第η圖。第一校正 器 100包含有：端埠 101、1〇2、1〇3、1〇4、1〇5、1%、1〇7、 108 ;第一連接部110a、11〇b、11〇c、11〇d;第一狀態實現 部 120a、120b、120c、120d ;開關SI、S2、S3、S4、Sll、 15 S12、S13、S14。 端埠102係與端埠18連接。端埠104係與端埠28連接。 端埠101係與端埠38連接。端埠103係與端埠48連接。端埠 105、106、107、108係與第二校正器1〇〇的端埠2〇2連接。 第一連接部110a，係將端埠102與端埠1〇6、開關sii或 20第一狀態實現部120a連接。第一連接部110b，係將端埠104 與端埠108、開關S12或第一狀態實現部12〇b連接。第一連 接部iioc,係將端埠ιοί與端埠105、開關S13或第一狀態實 現部120c連接。第一連接部n〇d，係將端埠1〇3與端埠1〇7、 開關S14或第一狀態實現部120d連接。 27 1279553 第一狀態實現部120a係與第一連接部11〇&及開關31連 接。第一狀態實現部120b係與第一連接部及開關S2連 接。第一狀態實現部i20c係與第一連接部11〇(：及開關幻連 接。第一狀態實現部120d係與第一連接部11〇(1及開關料連 5 接。第一狀態實現部12〇a、120b、12〇c、12〇d的内部構造 係與第一實施形態相同。 開關 SI、S2、S3、S4係與開關 Sll、si2、S13、S14連 接，且開關SI、S2、S3、S4之任一者為〇N。當開關31為 ON時’開關12、S13、S14之任一者為on。當開關S2為ON 10時，開關S11、sl3、S14之任一者為on。當開關33為〇]^時， 開關Sll、S12、S14之任一者為0N。當開關S4g〇N時，開 關Sll、S12、S13之任一者為ON。 第二杈正态200、電纜3〇〇及DUT400係與第一實施形態 相同。但在DUT400上有4個端淳。 15 #著’說明第二實施形態的動作。第二實施形態的動 作幾乎與第-實施形態的動作相同，並參照第6圖的流程圖 加以說明。 首先，連接網路分析器丨與第一狀態實現部12加、 120b、12(k、12Gd(SlG)。即，藉第—連接部n()a，將端埠 20 18連接至第-狀態實現部12加，並藉第_連接部議，將 端埠28連接至第一狀態實施部120b，再藉第-連接部 ll〇c，將端埠38連接至第_狀態實現施，更利用第一 連接部麗，將端物連接至第_狀態實現部應。 接著’取传第一誤差要因（S12)。這也幾乎與第一實施 28 1279553 形態相同。即，從端埠18、28、38、48輸出信號，再分別 — 在端璋18、28、38、48連接第一狀態實現部、職、 120c、120d的開放校正用具、短路校正用具及標準負載校 正用具。又，端埠18係、透過第_連接部liQa、第—狀態冑 5現部、開關S1、開關S12、第一連接部110b與端埠28 . 連接同樣i也將知埠18與端埠38、48連接；將端埠28與 端埠38、48連接，將端埠38與端埠48連接。然後，根據此 時接收器的測定值取得第一誤差要因。 接著，連接網路分析器m第二校正器細(S14)。即， · 1〇藉第-連接部ll〇a，將端埠18連接至第二校正器2〇〇，並藉 第連接口(Ul〇b，將端埠28連接至第二校正器2〇〇，再藉第 連接4110c，將端埠38連接至第二校正器勘，更藉第一 連接部1KM ’將端埠48連接至第二校正器·。 然後，連接網路分析器1與第二狀態實現部220(S16)。 15即’藉第二連接部210，並透過第一連接部110a、110b、 ll〇c 110d ’將端埠18、28、38、48與第二狀態實現部 連接。 # 接著取得第二誤差要因（S18)。這幾乎與第一實施形 心相同。即’從端埠18、28、38、48輸出信號。然後分別 〇在端琿18、28、38、48連接第二狀態實現部22〇的開放校正 用具、短路校正用具及標準負載校正用具。再根據此_ ， 接收測定值，取得第二誤差要因。 接著’連接網路分析器1與DUT400(S20)。即，藉第二 連接口210並透過第一連接部ll〇a、ll〇b、ll〇c、ll〇d， 29 1279553 將端埠18、28、38、48與DUT400的各端埠連接。 在此，先從端埠18、28、38、48任一者輸出信號，電 · 路參數測定部40再從接收器的測定值，實際測出DUT400的 S參數(S22)。 \ 5 該實測值係受到測定系誤差要因的影響。在此，電路 ， 參數測定部40會讀出業已記錄在測定系誤差要因記錄部 之測定系誤差要因，再從實際測得之DUT400的S參數去除 測定系誤差要因的影響，以測定DUT400真實的S參數 (S24) 。 · 0 根據第二實施形態，即使分別將網路分析器1與 DUT400的端埠作成4個，也可獲得與第一實施形態相同的 效果。 第三實施形態 第三實施形態係在誤差要因取得用裝置中更包含9端 15埠測試儀500(分歧連接機構），使DUT400的端埠個數(9個） 大於前述網路分析器的端埠個數(4個）此點上與第二實施形 態不同。 _ 第12圖係顯示使用本發明第三實施形態之誤差要因取 付用裝置之測疋糸構造圖。前述測定系包含有··網路分析 20器卜第一校正器100、第二校正器200、電纜300、DUT400、 9端埠測試儀500。第一校正器1〇〇及第二校正器2〇〇係構成 ： 誤差要因取得用裝置。以下，與第二實施形態相同部分， 係附加相同編號並省略說明。 網路分析器1、第一校正器1〇〇、第二校正器2〇〇、電纜 30 1279553 300、DUT400係與第二實施形態相同。 9端埠測試儀500(分歧連接機構）包含端埠502、504、 506、508、512、514、516、518、520、522、524、526、 528。端淳502、504、506、508係分別與端埠 1〇6、1〇8、1〇5、 5 1〇7連接。端埠512、514、516、518、520、522、524、526、 528係分別與端埠2〇2連接。 9端埠測試儀500的内部構造係顯示於第13圖。端埠502 係與端埠512或514連接。端埠504係與端埠514或516連接。 但，在端埠502與端埠514連接時，端埠514會與端埠516連 10接。端埠5〇6係與端埠518、520或522連接。端埠508係與端 琿524、526或528連接。如此一來，第一校正器1〇〇所具有 的端埠106、108、105、107會與第二校正器2〇〇的端埠202 之任一者連接。 第三實施形態的動作幾乎與第二實施形態相同。但在 15使用9端埠測試儀5〇〇，將網路分析器1的端埠18、28、38、 48之任一者與第二校正器2〇〇連接此點上不同。 根據第三實施形態，即使DUT400的端埠個數(9個）大於 網路分析器1的端埠個數(4個），也可獲得與第一實施形態相 同的效果。且，即使DUT400的端埠個數更多，只要使用與 20 9端埠測試儀500類似的測試頭，也可達到同樣效果。 第四實施形態 第四實施形態係使用晶圓41〇、晶圓探針420取代第一 實施形態中的DUT400。 第14圖係顯示使用本發明第四實施形態之誤差要因取 1279553 知用裝置之測定系構造圖。前述測定系包含有··網路分析 裔卜第一校正器100、第二校正器200、電纜300、晶圓410、 晶圓探針420。第一校正器i 〇〇及第二校正器2〇〇係構成誤差 要因取得用裝置。且，網路分析器i、第一校正器1〇〇、第 5二校正器200、電纜300係與第一實施形態相同。 晶圓410是為了測定網路分析器丄而設置的。使晶圓探 針420與晶圓41〇接觸，並透過端埠422與第二校正器2〇〇連 接。 第15圖中，第一連接部110a(110b)係將端埠18(28)與第 10 一权正恭20〇連接，且第二連接部210係將端埠202與晶圓探 針420連接時之信號流程圖。而第15(幻圖，係以端埠18為輸 出端埠、以端埠28為接收端埠時之信號流程圖；而第15(b) 圖，係以端埠18為接收端埠、以端埠28為輸出端埠時之信 號流程圖。 15 弟Μ圖所示之^號流程圖，幾乎與第一實施形態（參照 第5圖）相同，但在更附加晶圓探針42〇誤差要因pil、pi2、 P21、P22此點上不同。晶圓探針42〇可精巧地作成，且電氣 特性相關的個別差小。因此，若事先將晶圓探針42〇的誤差 要因Pll、P12、P21、P22記錄於測定系誤差要因記錄部3〇， 2〇即可從實際測得之測定系DUT4〇(H^s參數中去除ριι、 P12、P21、P22的影響，以測定DUT4〇〇真實的s參數。 第四實施形態的動作幾乎與第一實施形態相同（參照 第6圖）。但，在記錄於測定系誤差要因記錄部3〇之測定系 誤差要因中，亦包含晶圓探針42〇的誤差要因pil、pi2、 1279553 P21、P22。因此，電路參數測定部4〇，可讀出記錄於測定 - 系誤差要因記錄部30之測定系誤差要因（第一誤差要因、第 _ 二誤差要因及誤差要因P11、pl2、p21、p22)，並從實際測 得之DUT400的S參數去除測定系誤差要因的影響，以測定 ’ 5 DUT400真實的s參數(S24)。 又上述貫施形態，可實現如下，係在包含有cpu、 硬碟、媒體(軟碟（登陸商標）、〇：1>11〇]^等）等讀取裝置之電 腦媒體讀取裝置上，讀取記錄有可實現上述各部分(例如： 測定系誤差要因記錄部3〇、電路參數測定部4〇、測定系誤 · 10差要因取知部50、接收侧測定系誤差要因記錄部7〇)之程 式’並安裝於前述硬碟。如此之方法亦可實現上述之機能。 【圖式簡單說明】 第1圖係顯示使用本發明第一實施形態之誤差要因取 得用裝置之測定系構造圖。 15 帛2圖係顯示網路分析器1之構造圖。 第3圖係顯不第1大態實現部12〇之構造圖。 圖係顯不第二狀態實現部220之構造圖。 _ 第5圖中第—連接部ll〇a(ll〇b)是將端埠18(28)連接至 第一枚正為2〇〇，且第二連接部210是將端埠202與DUT400 連接才之lu王圖，並顯示以端淳18為輸出端蜂、以端 阜28為接收&埠的情形（第5⑷圖），及以端埠μ為接收端 埠、以端埠28為輪出端埠的情形（第5(b)圖）。 =6圖係顯示第—實施形態動作之流程圖。 第7圖係顯不兩差要因Edf、Erf、Esf(第7(a)圖）及誤差 33 1279553 要因Edr、Err、Esr(第7(b)圖）之信號流程圖。 第8圖係顯示誤差要因Etf、ELf(第8(a)圖）及誤差要因 Etf、ELr(第8(b)圖）之信號流程圖。 第9圖係顯示誤差要因All、A12、A21、A22(第9(a)圖） 5 及誤差要因則1、312、：821、：622(第9〇3)圖）之信號流程圖。 第10圖係顯示使用本發明第二實施形態之誤差要因取 得用裝置之測定系構造圖。 第11圖係顯示本發明第二實施形態之第一校正器100 的内部構造圖。 10 第12圖係顯示使用本發明第三實施形態之誤差要因取 得用裝置之測定系構造圖。 第13圖係顯示9端埠測試儀500的内部構造圖。 第14圖係顯示使用本發明第四實施形態之誤差要因取 得用裝置之測定系構造圖。 15 第15圖中第一連接部110a(110b)是將端埠18(28)與第 二校正器200連接，且第二連接部210是將端埠2〇2與晶圓探 針420連接時之信號流程圖，並顯示以端埠以為輸出端埠、 鈿埠28為接收端埠的情形（第15(a)圖），及以端琿18為接收 端埠、以端埠28為輸出端埠的情形（第15(b)圖）。 20 第16圖係用以說明先前技術中被測定物(DUT)的電路 餐數測定法之圖示。 第17圖係有關於先前技術中信號源130之信號流程圖。 【主要元件符號說明】 1···網路分析器 34 1279553 100…第一校正器 200…第二校正器 300···電纜 DUT400···被測定物 10、130···信號源 20、140. ··接收機構 30···測疋糸誤差要因記錄部 40…電路參數測定部 50…測定系誤差要因取得部 70···接收側測定系誤差要因記錄部 12···信號輸出部 13、SI、S2、S3、S4、Sll、S12、S13、S14···開關 13a、13b、13c···端子 14a、14b、24a、24b···橋接器 16a(RS) ' 16b(TS)、26a(TR)、26b(RR)···接收器 18、28、38、48、102、103、104、105、106、107、108、202、204、 402、404、502、504、506、508、512、514、516、518、520、522、 524、526、528···端埠 110a、lib、110c、110d···第一連接部 120、120a、120b、120c、120d··♦第一狀態實現部 122op、123op、220ορ· · ·開放校正用具 35 1279553 122s、123s、222s·.·短路校正用具 122L、123L、222L…標準負載校正用具 124···短路部 126、128···端埠連接部 210…第二連接部 220…第二狀態實現部 224···校正用具連接部 410. · ·晶圓 420…晶圓探針 500.. .9端埠測試儀 62.. .信號輸出取得部

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Claims (1)

1279553 十、申請專利範圍： 93128009號專利申請案申請專利範圍修正本95.6.1 1. 一種誤差要因取得用裝置，係用以取得網路分析器與被 5 測定物間的誤差要因者，且，前述網路分析器包含有信 號輸出部、用以輸出來自前述信號輸出部的信號之輸出 端埠及接收前述信號之接收端埠，又，該裝置包含有： 第一校正機構，具有可對前述網路分析器的前述輸 出端埠及前述接收端埠實現第一狀態之第一狀態實現 10 部，並連接於前述輸出端埠及其前述接收端埠；及 第二校正機構，具有可對前述網路分析器的前述輸 出端埠或前述接收端埠實現第二狀態之第二狀態實現 部，並連接於前述第一校正機構與前述被測定物， 又，前述第一校正機構具有可將前述輸出端埠及前 15 述接收端埠，與前述第一狀態實現部或前述第二校正機 構任一者連接之第一連接部， 且，前述第二校正機構具有可將前述輸出端埠及前 述接收端琿，與前述第二狀態實現部或前述被測定物任 一者連接之第二連接部。 20 2.如申請專利範圍第1項之誤差要因取得用裝置，其中前 述第一狀態實現部包含有： 可實現開放狀態之開放校正用具； 可實現短路狀態之短路校正用具； 可實現標準負載狀態之標準負載校正用具； 37 1279553 5 10 15 20 使前述輸出端埠與前述接收端埠短路之短路部· 於前述輸出端埠連接前述開放校正用具、前述短路 校正用具、前《準負載校正用具及前述短路部之任一 者之輸出端埠連接部；及 於前述接收端埠連接前述開放校正用具、前述短路 权正用具、前述標準負載校正用具及前述短路部之任— 者之接收端埠連接部。 如申請專利範圍第！項之誤差要因取得用裝置， 述第二狀態實現部包含有·· 可實現開放狀態之開放校正用具； 可實現短路狀態之短路校正用具； 可^現標準貞餘態之標準負倾正用且；及 於前述網路分析器連接前述開放校且 路校正用具及前述標準負載校正用且之任、去 用具連接部。 用具之任一者之校正 4.【申:專利範圍第…項任—項之 ;二=定物具有之端埠個數大於前述2 ㈣具有之、埠個數，並包含 有之端埠衫二校正簡^ 歧連接機構。 知埠任一者連接之分 如申請專利範圍第1至3項任 置，其中前述被則定物u 貞之誤差要因取得用裝 H則疋物具有晶圓 連減前述第二校正機構之晶__曰曰因接觸並 種决差要因取得方法，係使用誤差要因取得用裝置取 3. 38 5. 1279553 得誤差要因者，又，前述誤差 得網路分析器與被測定物間的誤差要:用:㈣用以取 分析器包含有信號輸出部、用以輸出來自前述網路 部的信號之如料及皱前述靜自^信號輸出 該裝置包含有： ^奴接收端埠， 第一校正機構，具有可對前述 出端埠及前述接收端淳實㈣刀析器的所述輪 部，並連接於H中 一狀恶之第-狀態實現 接於⑽輸出端埠及前述接_埠； 10 15 20 機構’具村對前述網路分析器 = =端埠實現第二狀態之第二狀態實現 =::: :=校正機構與前述被測定物，又，前述第= «具有可將前述㈣料及前述接收 一狀態實現部或前述第二校正機構任—者連接=第 連接部，且前述第二校正機構且 弟 前述接㈣mu 顿出端埠及 杠一J 狀態實現部或前述被測定物 任者連接之第二連接部， 另，該方法包含下列程序： —第-誤差判取得㈣，係在將前述網路分析器與 ㈣第-狀態實現部連接時，依據由前述輪出端璋輸出 之前信號、由前述第實卿反射至前述輸出端埠 之k號，及於接收端埠接收之信號所測出之預定參數， 取得前述網路分析器與前述第一校正機構間的第一誤 差要因；及 ' 器與 第二誤差要因取得程序，係在將前述網路分析 39 1279553 前述第二㈣實現部連接時，依據由前述料端埠輪出 之前信號及由第二狀態實現部反射至前述輸出端蟑之 ^虎’取得前述被測定物與前述第—校正機 誤差要因。 弟一 7· :種誤差要因取得方法，係使用誤差要因取得用裝置取 付要因者，又，前賴差要因取制裝㈣用以取 路分析器與被測定物間的誤差要因，且，前述網路分析 =包含有信號輸出部、用以輸出來自前述信號輪出 信號之輸出端埠及接收前述信號之接收端蜂， 10 15 20 該裝置包含有： 第-校正機構’具有可對前述網路分析器的前 出端埠及前述接收端璋實現第一狀態之第-狀態實現 部，並連接於前述輸出端埠及前述接收端埠；及第 正機構’具有可對前述鱗分析㈣前述輪出端埠= 職收端埠實現第二狀態之第二狀態實現部，並連接於 校正機構與前述被測定物’又，前述第-校正 機構具有可將前述輸出端埠及前述接收端埠與前述第 一狀態實卿輕料二校正機餘 連接部， 硬筏之弟一 及二述第二校正連接機構具有可將前述輸出端埠 圓、及«述㈣定物具有晶 圓探針， 運接於別述弟二校正機構之晶 40 1279553 又，該方法包含下列程序： 第一誤差要因取得程序，係在將前述網路分析器與 前述第一狀態實現部連接時，依據由前述輸出端埠輸出 之前信號、由前述第一狀態實現部反射至前述輸出端埠 5 之信號，及於接收端埠接收之信號所測出之預定參數， 取得前述網路分析器與前述第一校正機構間的第一誤 差要因； 第二誤差要因取得程序，係在將前述網路分析器與 ^ 前述第二狀態實現部連接時，依據由前述輸出端埠輸出 10 之前信號及由前述第二狀態實現部反射至前述輸出端 埠之信號，取得前述被測定物與前述第一校正機構間的 第二誤差要因；及 晶圓測定程序，係依據前述第一誤差要因、前述第 二誤差要因及前述晶圓探針誤差要因，測定前述晶圓之 15 預定參數。 8. —種記錄媒體，係可藉由記錄有程式之電腦讀取者， 且，該程式係用以在電腦中執行使用誤差要因取得用裝 置取得誤差要因之誤差要因取得處理，又，前述誤差要 20 因取得用裝置係用以取得網路分析器與前述被測定物 間的誤差要因，且，前述網路分析器包含有信號輸出 部、用以輸出來自前述信號輸出部的信號之輸出端埠及 接收前述信號之接收端埠， 該裝置包含有：第一校正機構，具有可對前述網路 41 1279553 10 15 20 刀析為的則述輪出端埠及前述接收端埠實現第一狀離 ::態實現部’並連接於前述輸出端埠及前述接: 出端，具有可對前賴路讀11的前述輪 “阜或_接收端埠實現第二狀態之第二狀態實現 部’並連接於前述第一校正機構與前述被測定物， 述接=前：:=，-前 構任-者連接q-J： 述第二校正機 且可述第二校正連接機構具有可將前述輪出端埠 :前，收端璋與前述第二狀態實現部=車 物任-者連接之第二連接部， 収 另，前述誤差要因取得處理包含有： 前述!得處理’係在將前述網路分析器與 丈苐狀也實現部連接時，依據對:之前信號，述第-狀態實現部反射至== =號及在接收料接之信號等測出之數=路分析器與前述第一校正機構間第-誤差要 第二誤差要因取得處理，係在將前述網路 别述第二狀態實現部連接時，依據 =號及_第二狀態實現部反_= 么琥，取㈣述被敎物與前述第 第二誤差要因。 仅正祛構間的

42 1279553 9. 一種記錄媒體，係可藉由記錄有程式之電腦讀取者，且 該程式係用以在電腦中執行使用誤差要因取得用裝置 而取得誤差要因之誤差要因取得處理，又，前述誤差要 因取得用裝置係用以取得網路分析器與前述被測定物 5 間的誤差要因，且，前述網路分析器包含有信號輸出 部、用以輸出來自前述信號輸出部的信號之輸出端埠及 接收前述信號之接收端埠， 該裝置包含有： 第一校正機構，具有可對前述網路分析器的前述輸 10 出端埠及前述接收端埠實現第一狀態之第一狀態實現 部，並連接於前述輸出端埠及前述接收端埠；及 第二校正機構，具有可對前述網路分析器的前述輸 出端埠或前述接收端埠實現第二狀態之第二狀態實現 部，並連接於前述第一校正機構與前述被測定物， 15 又，前述第一校正機構具有可將前述輸出端埠及前 述接收端埠與前述第一狀態實現部或前述第二校正機 構任一者連接之第一連接部， 且前述第二校正連接機構具有可將前述輸出端琿 及前述接收端埠連接於前述第二狀態實現部或前述被 20 測定物任一者之第二連接部；前述被測定物具有晶圓， 及與前述晶圓接觸而連接於前述第二校正機構之晶圓 探針， 另，前述誤差要因取得處理包含有： 第一誤差要因取得處理，係在將前述網路分析器與 43 1279553 前述第一狀態實現部連接時，依據由前述輸出端埠輸出 之前信號、由前述第一狀態實現部反射至前述輸出端琿 之信號及在接收端璋接收之信號等測出之預定參數，取 得前述網路分析器與前述第一校正機構間第一誤差要 5 因； 第二誤差要因取得處理，係在將前述網路分析器與 前述第二狀態實現部連接時，依據由前述輸出端埠輸出 的信號及由前述第二狀態實現部反射至前述輸出端埠 之信號，取得前述被測定物與前述第一校正機構間的第 10 二誤差要因；及 晶圓測定處理，係根據前述第一誤差要因、前述第 二誤差要因及前述晶圓探針誤差要因，測定前述晶圓的 預定參數。

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