JP2005090769A - 純粋蒸気発生装置 - Google Patents
純粋蒸気発生装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005090769A JP2005090769A JP2003320889A JP2003320889A JP2005090769A JP 2005090769 A JP2005090769 A JP 2005090769A JP 2003320889 A JP2003320889 A JP 2003320889A JP 2003320889 A JP2003320889 A JP 2003320889A JP 2005090769 A JP2005090769 A JP 2005090769A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- steam
- pure
- pure steam
- supply pipe
- vacuum pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
【解決手段】 熱交換タンク12と純粋蒸気使用機器2を純粋蒸気供給管13で接続する。蒸気使用機器2の下方に真空ポンプ3を接続する。真空ポンプ3をエゼクタ21と循環水タンク8,9と循環ポンプ23で構成する。真空ポンプ3の循環水タンク8,9に純水管10を延設したコイル状の純水供給管4を通して、熱交換タンク12と接続する。
循環水タンク8,9で加熱された純水が熱交換タンク12へ供給されて純粋蒸気となり、蒸気使用機器2で被加熱物を加熱する。加熱により生じた復水はエゼクタ21に吸引される。エゼクタ21の吸引力によって蒸気使用機器2内には所定の圧力勾配が維持される。
【選択図】 図1
Description
2 純粋蒸気使用機器
3 真空ポンプ
4 純水供給管
8,9 循環水タンク
10 純水管
12 熱交換タンク
13 純粋蒸気供給管
21 エゼクタ
23 循環ポンプ
Claims (1)
- 熱交換部で純水を低圧の加熱用蒸気によって加熱することにより、不純物の少ない低圧純粋蒸気を発生するものにおいて、熱交換部に純水供給管と加熱用蒸気供給管を接続し、当該熱交換部で発生した純粋蒸気を純粋蒸気使用機器へ供給する純粋蒸気供給管を接続すると共に、当該純粋蒸気使用機器と真空ポンプを連通したことを特徴とする純粋蒸気発生装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003320889A JP2005090769A (ja) | 2003-09-12 | 2003-09-12 | 純粋蒸気発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003320889A JP2005090769A (ja) | 2003-09-12 | 2003-09-12 | 純粋蒸気発生装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005090769A true JP2005090769A (ja) | 2005-04-07 |
Family
ID=34452723
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003320889A Pending JP2005090769A (ja) | 2003-09-12 | 2003-09-12 | 純粋蒸気発生装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005090769A (ja) |
-
2003
- 2003-09-12 JP JP2003320889A patent/JP2005090769A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2007017097A (ja) | 蒸気発生方法、その装置及び蒸気処理装置並びに蒸気発生用記録媒体 | |
JP2013155896A (ja) | 低圧蒸気加熱装置 | |
JP5822599B2 (ja) | 低圧蒸気による加熱装置 | |
JP2007330896A (ja) | 加熱冷却装置 | |
JP2005090769A (ja) | 純粋蒸気発生装置 | |
JP5852452B2 (ja) | 低圧蒸気加熱装置 | |
JP5497979B2 (ja) | 加熱冷却装置 | |
JP2005090770A (ja) | 純粋蒸気発生装置 | |
JP2009257653A (ja) | 復水回収装置 | |
JP5917225B2 (ja) | 低圧蒸気加熱装置 | |
JP4722665B2 (ja) | 蒸気減温装置 | |
JP2009079845A (ja) | 給水加熱器及び発電プラント | |
JP2006255503A (ja) | 加熱冷却装置 | |
JP2006110475A (ja) | 加熱冷却装置 | |
JP2018047418A (ja) | 蒸気加熱装置 | |
JP2006112712A (ja) | 減圧気化冷却装置 | |
JP5301199B2 (ja) | 復水回収装置 | |
JP5301264B2 (ja) | 加熱冷却装置 | |
JP5184158B2 (ja) | 加熱冷却装置 | |
JP2008096059A (ja) | 減圧蒸気加熱装置 | |
JP2007107837A (ja) | 蒸気減温装置 | |
JP5989932B2 (ja) | 冷却装置 | |
JP5301263B2 (ja) | 冷却装置 | |
JP2014112001A (ja) | 熱交換装置 | |
JP5184159B2 (ja) | 加熱冷却装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060720 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20071113 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20071225 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080212 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080617 |