JP2005081163A - キャリアプレートの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 研磨後のキャリアプレート1を洗浄装置31の洗浄槽32に貯留した水系洗浄液Wに浸漬し、真空ポンプ36および超音波発振器40を用いて減圧下もしくは減圧後において超音波洗浄を施す。
【選択図】 図3
Description
2 プレート本体
3 基板部
4 外側フレーム
5、6 有底凹部
7 小孔
9 電子部品支持体
10 弾性孔
24 洗浄工程
31 洗浄装置
32 洗浄槽
33 蓋部材
35 真空配管
36 真空ポンプ
37 圧力計
40 超音波発振器
40a 振動子
W 洗浄液
Claims (3)
- 小型電子部品の端部に端子となるコーティングを施す際に用いられ、プレート本体に多数の小型電子部品を支持するための多数の弾性孔を具備するゴム様弾性体からなる電子部品支持体を設けたキャリアプレートの製造方法において、
前記プレート本体に電子部品支持体を設けた後、前記プレート本体および前記電子部品支持体のそれぞれの表面に研磨加工を施し、その後、水系洗浄液に浸漬し、減圧下もしくは減圧後において超音波洗浄を施すことを特徴とするキャリアプレートの製造方法。 - 前記超音波洗浄の周波数が、25〜45kHzであることを特徴とする請求項1に記載のキャリアプレートの製造方法。
- 前記減圧が、ゲージ圧で−0.08MPa以下であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のキャリアプレートの製造方法。
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