JP2005056950A - 磁気抵抗素子、および、磁気センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 3端子磁気抵抗素子又は4端子磁気抵抗素子を、基板上に半導体結晶を成長させた薄膜層を感磁部の動作層とする複数個の磁気抵抗素子により構成し、動作層にはキャリアを増加させるための不純物を添加させ、また、それら複数個の磁気抵抗素子の磁気抵抗効果は、外部磁界による磁束密度の変化に対する磁気抵抗変化率が互いに異なるようにした。
【選択図】 図1
Description
(基本構成)
まず、本発明に係る3端子磁気抵抗素子の概略構成について説明する。
図1は、3端子磁気抵抗素子100の構成例を示す。
次に、3端子磁気抵抗素子100の製造方法について説明する。
次に、磁気抵抗素子30の磁気特性について説明する。
次に、3端子磁気抵抗素子100の温度依存性について説明する。
次に、応用例として、3端子磁気抵抗素子100を備えた磁気センサを構成して、磁気パターンを検出する例について説明する。
[4端子磁気抵抗素子]
本例は、4端子磁気抵抗素子を作製した場合の例である。
4端子磁気抵抗素子250の変形例として、図22に示すような構造を作製した。同一の磁気特性をもつ磁気抵抗素子42,44と、同一の磁気特性をもつ磁気抵抗素子43,45とを、それぞれ同一方向に近接して配設した。これにより、製造工程の簡素化、電気的特性の改善等を図ることができる。また、このような構造においても、磁気特性および温度依存性を測定したが、上述した図18の4端子磁気抵抗素子200の特性と同等であった。
2 端子電極(出力端子)
3 端子電極(入力端子)
4 磁気抵抗素子
5 磁気抵抗素子
6 短絡電極
7 端子電極(入力端子)
8 端子電極(出力端子)
9 端子電極(入力端子)
10 端子電極(出力端子)
11 磁気抵抗素子
12 磁気抵抗素子
13 磁気抵抗素子
14 磁気抵抗素子
15 希土類磁石
16 磁気印刷物
17 磁気インク
18 歯車
19 動作層
20 端子電極
21 モールド樹脂
22 端子
23 GaAs基板
24 InSb薄膜
25 メサエッチングしたInSb薄膜
26 窒化シリコン薄膜
27 電極パッド部
28 素子幅
29 素子長
30 磁気抵抗素子
31 短絡電極を有しない磁気抵抗素子
32 3端子磁気抵抗素子
33 電磁石
34 CAN
35 エポキシ樹脂
36 MRヘッド
37 プリント基板
38 磁気印刷物
39 磁気インク
40 直流増幅後の出力端子
41 検出信号
42 磁気抵抗素子
43 短絡電極を有しない磁気抵抗素子
44 磁気抵抗素子
45 短絡電極を有しない磁気抵抗素子
46 4端子磁気抵抗素子
100 3端子磁気抵抗素子
150 直流増幅回路
151,152 増幅回路
200,250 4端子磁気抵抗素子
Claims (9)
- 2個の磁気抵抗素子が直列に接続されることにより、外部電圧印加用の第1および第2の入力端子と、出力信号を取り出す1個の出力端子との3端子を有する3端子磁気抵抗素子であって、
前記各磁気抵抗素子は、基板上に半導体結晶を成長させた薄膜層を感磁部の動作層とする薄膜磁気抵抗素子であり、該半導体薄膜磁気抵抗素子の動作層にはキャリアを増加させるための不純物が添加されている半導体薄膜を動作層とし、
該動作層の組成は、InxGa1−xAsySb1−y(0≦x≦1、0≦y≦1)であり、前記不純物が珪素あるいは錫であり、
前記第1の入力端子と前記出力端子との間に接続された前記磁気抵抗素子と、前記出力端子と前記第2の入力端子との間に接続された前記磁気抵抗素子とは、外部磁界による磁束密度の変化に対する磁気抵抗変化率が互いに異なる磁気抵抗効果を具えたことを特徴とする3端子磁気抵抗素子。 - 前記第1の入力端子と前記出力端子との間に接続された前記磁気抵抗素子は短絡電極を有し、
前記出力端子と前記第2の入力端子との間に接続された前記磁気抵抗素子は短絡電極を有しないことを特徴とする請求項1記載の3端子磁気抵抗素子。 - 前記第1の入力端子と前記出力端子との間に接続された前記磁気抵抗素子の抵抗値と、前記出力端子と前記第2の入力端子との間に接続された前記磁気抵抗素子の抵抗値とは、互いに等しいことを特徴とする請求項1又は2記載の3端子磁気抵抗素子。
- 磁気抵抗素子の磁気抵抗効果を利用して信号検出を行う磁気センサであって、
請求項1ないし3のいずれかに記載の3端子磁気抵抗素子と、
前記3端子磁気抵抗素子に対して外部磁界を印加する磁界印加手段と
を具え、
ここで、前記3端子磁気抵抗素子を構成する2個全ての磁気抵抗素子が、前記磁界印加手段の同一面に装着され、かつ、該外部磁界の一定な磁場内に配置された構成において、前記各磁気抵抗素子の互いに異なる磁気抵抗効果に基づいて、該3端子磁気抵抗素子を構成する出力端子から出力される出力信号を検出することを特徴とする磁気センサ。 - 4個の磁気抵抗素子が閉ループ回路内で接続されることにより、外部電圧印加用の第1および第2の入力端子と、出力信号を取り出す2個の出力端子との4端子を有し、該4端子が該閉ループ回路内の一方向に沿って、第1の入力端子、第1の出力端子、第2の入力端子、第2の出力端子の順に接続されて構成された4端子磁気抵抗素子であって、
該磁気抵抗素子は、基板上に半導体結晶を成長させた薄膜層を感磁部の動作層とする薄膜磁気抵抗素子であり、該半導体薄膜磁気抵抗素子の動作層にはキャリアを増加させるための不純物が添加されている半導体薄膜を動作層とし、
該動作層の組成がInxGa1−xAsySb1−y(0≦x≦1、0≦y≦1)であり、前記不純物が珪素あるいは錫であり、
前記閉ループ回路内の前記第1の入力端子から前記一方向に沿って前記第2の出力端子を介して該第1の入力端子に至るまで接続される前記4個の磁気抵抗素子を順に、第1、第2、第3、第4の磁気抵抗素子とするとき、
前記閉ループ回路内で隣接接続された前記第1の磁気抵抗素子と前記第2の磁気抵抗素子とは、並びに、該閉ループ回路内で隣接接続された前記第3の磁気抵抗素子と前記第4の磁気抵抗素子とは、それぞれ外部磁界による磁束密度の変化に対する磁気抵抗変化率が互いに異なる磁気抵抗効果を具え、かつ、
前記閉ループ回路内で対向接続された前記第1の磁気抵抗素子と前記第3の磁気抵抗素子とは、並びに、該閉ループ回路内で対向接続された前記第2の磁気抵抗素子と前記第4の磁気抵抗素子とは、それぞれ外部磁界による磁束密度の変化に対する磁気抵抗変化率が互いに等しい磁気抵抗効果を具えたことを特徴とする4端子磁気抵抗素子。 - 前記閉ループ回路内で対向接続された前記第1の磁気抵抗素子と前記第3の磁気抵抗素子とは、短絡電極を有し、
前記閉ループ回路内で対向接続された前記第2の磁気抵抗素子と前記第4の磁気抵抗素子とは、短絡電極を有しないことを特徴とする請求項5記載の4端子磁気抵抗素子。 - 前記閉ループ回路内で対向接続された前記第1の磁気抵抗素子の抵抗値と、前記第3の磁気抵抗素子の抵抗値とは、互いに等しく、
前記閉ループ回路内で対向接続された前記第2の磁気抵抗素子の抵抗値と、前記第4の磁気抵抗素子の抵抗値とは、互いに等しいことを特徴とする請求項5又は6記載の4端子磁気抵抗素子。 - 前記閉ループ回路内で隣接接続された前記第1の磁気抵抗素子の抵抗値と前記第2の磁気抵抗素子の抵抗値とは、並びに、該閉ループ回路内で隣接接続された前記第3の磁気抵抗素子の抵抗値と前記第4の磁気抵抗素子の抵抗値とは、それぞれ互いに等しいことを特徴とする請求項5ないし7のいずれかに記載の4端子磁気抵抗素子。
- 磁気抵抗素子の磁気抵抗効果を利用して信号検出を行う磁気センサであって、
請求項5ないし8のいずれかに記載の4端子磁気抵抗素子と、
前記4端子磁気抵抗素子に対して外部磁界を印加する磁界印加手段と
を具え、
ここで、前記4端子磁気抵抗素子を構成する4個全ての磁気抵抗素子が、前記磁界印加手段の同一面に装着され、かつ、該外部磁界の一定な磁場内に配置された構成において、前記各磁気抵抗素子の磁気抵抗効果に基づいて、該4端子磁気抵抗素子を構成する前記第1の出力端子および前記第2の出力端子から出力される出力信号を検出することを特徴とする磁気センサ。
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JP2003284416A JP2005056950A (ja) | 2003-07-31 | 2003-07-31 | 磁気抵抗素子、および、磁気センサ |
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JP2003284416A Pending JP2005056950A (ja) | 2003-07-31 | 2003-07-31 | 磁気抵抗素子、および、磁気センサ |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009110358A1 (ja) * | 2008-03-04 | 2009-09-11 | アルプス電気株式会社 | 磁気センサ、及び磁気エンコーダ、ならびに磁気センサの製造方法 |
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-
2003
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