JP2005039941A - 円筒形リニアモータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 電機子コア12および電機子コイル13からなる可動子11と、永久磁石17を多数配置した固定子16と、により構成される円筒形リニアモータ10において、電機子コア12に焼結材料を使用し、電機子コア12または固定子16の永久磁石17にスキューを施し、電機子コア12の進行方向の最前端または最後端に、鋼製のダミーティース14bを配置した。
【選択図】 図1
Description
しかしこの円筒形リニアモータは、固定子表面に段差部を形成してこれにホール素子を対向接近配置するので、固定子と可動子との間の空隙を狭くすることができず、加工も複雑となるなどの欠点があった。
図4は、上記欠点を解決する従来の円筒形リニアモータで、(a)は正面図、(b)は平面図、(c)は側面図である。
図において、40は従来の円筒形リニアモータで、主として可動子側41と固定子部46から成る。
可動子41は薄い電磁鋼板を多数積層した電機子コア42となっており、
43は電機子コイルであり、結線部44にて各電機子コイルを半田付けにより接続している。
固定子46は永久磁石47を多数並べて固定子を構成している。
48は可動子を直下で支持するタイプのリニアガイドで、これによって可動子41を支持しており、リニアスケール49a、リニアスケール・リードヘッド49bによって、可動子41の位置検出を行っている。
解決策として電機子コイル42にスキューを施すことが考えられるが、電機子コアは薄い電磁鋼板を多数積層したつくりになっており、1枚1枚の断面形状は同じであることが生産上望ましく、電機子コアをスキューさせるような複雑なコア形状にできないという問題があった。
また、可動子41はその下部に配置したリニアガイド48にて支持されているが、この構成では剛性が低く、ヨーイングが発生するという問題があった。
さらに、位置決めの精度が必要とされる可動子41のステージ面45から実際に位置検出を行うリニアスケール・リードヘッド49bまでの部品点数が多く、位置決め精度がよくないという問題があった。
また、多数の電機子コイル43を半田付けする結線部44での結線作業は、非常に手間のかかる作業であり、誤配線および振動による断線等の信頼性にも欠けていた。
次に、この構成は、固定子46の永久磁石47の表面や磁石間の隙間に埃や異物が溜まりやすく、特に金属片などが付着した場合にモータ故障を起こす恐れがあった。
また、この永久磁石47は推力方向に精度よく等間隔に配置する必要があるが、位置決め治具を用いてひとつずつ接着を行っており、非常に手間のかかる作業であった。
次に、このリニアモータ40は、工作機械における従来のボールねじを用いた直動案内装置からの置き換えが多く、従って固定子46は非常に長尺で、永久磁石47を多数配置した固定子46のシャフトは自重による撓みが大きく、モータの特性に悪影響を及ぼしてしまうという問題があった。特に半導体装置においては、高精度な位置決めが要求され、それに伴って装置の温度上昇について厳しく制限されるが、電機子コイル43を備えた可動子41の発熱によって、温度仕様を満足できないという問題があった。
図において、50は別のタイプの円筒形リニアモータで、主として可動子側51と固定子部56から成る。可動子側51は電機子コア52となっており、これは中心積層コア53と両端積層コア54の2種類で構成されている。中心積層コア53と両端積層コア54はいずれも電磁鋼板等の薄板から成り、これで電機子コア52とするためには、中心積層コア53を一定枚数積層し、さらに両端積層コア54を一定枚数積層して、各々の位置合わせを行うことで作成している。55は電機子コイルであり、電機子コア52、52の間に配置している。
固定子部56は永久磁石57を多数並べて固定子を構成している。
58はリニアガイドで、これによって可動子51を支持しており、リニアスケール59a、リニアスケール・リードヘッド59bによって、可動子51の位置検出を行っている。
しかしながら、この種の円筒形リニアモータ50の電機子コア52は、中心積層コア53と両端積層コア54の2種類の積層コアを用いた構成となっており、簡単に位置決めして重ね合わせることができず、コア製作に非常に時間を費やしてしまうという問題があった。
また、積層コアが2種類あることで、抜き型や位置決め治具等も2種類必要であり、コア製作に多額の費用がかかってしまうという問題もあった。
さらに、薄板の電磁鋼板の積層方向が、磁気回路の磁路の方向に対して直角方向となっているため、電磁鋼板に渦電流が発生しモータ効率を悪くしてしまうという問題があった。
そこで、本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、コギング推力を低減するとともに、可動子のヨーイングを少なくし、位置検出の精度を向上させ、モータ特性を向上させると共に、電機子コアの構成を簡易化して製作時間の短縮および製作費の削減を図ることで安価で生産性がよい、渦電流を低減してモータ効率を向上できる円筒形リニアモータを提供することを目的とする。
また、請求項2に記載の発明は、請求項1記載の円筒形リニアモータにおいて、前記電機子コアまたは前記固定子の永久磁石にスキューを施したことを特徴としている。
次に、請求項3に記載の発明は、請求項1または2記載の円筒形リニアモータにおいて、前記電機子コアの進行方向の最前端または最後端に、鋼製のダミーティースを配置したことを特徴としている。
請求項4に記載の発明は、請求項1〜3のいずれか1項記載の円筒形リニアモータにおいて、前記可動子の進行方向と直角な面の両側に配置した2本のリニアガイドにて前記可動子を支持する構成とし、かつ前記リニアガイドの少なくとも一方の内側に位置検出用のリニアスケールを備えたことを特徴としている。
請求項5に記載の発明は、請求項1〜4のいずれか1項記載の円筒形リニアモータにおいて、前記電機子コアの上部に切り欠き溝を設け、該切り欠き溝に結線用の基板を配置したことを特徴としている。
請求項6に記載の発明は、請求項1〜5のいずれか1項記載の円筒形リニアモータにおいて、前記各永久磁石の間に非磁性材料製のスペーサを配置したことを特徴としている。
請求項7に記載の発明は、請求項1〜6のいずれか1項記載の円筒形リニアモータにおいて、前記可動子と前記固定子との間の隙間部分をクリーニングするため、例えばネオプレン・スポンジ等の弾性材料でできたワイパーを前記可動子側に設けたことを特徴としている。
請求項8に記載の発明は、請求項1〜7のいずれか1記載の円筒形リニアモータにおいて、固定子として中空シャフトを使用したことを特徴としている。
また、請求項10に記載の発明は、電機子コアを構成する中心積層コアと一体形ヨークとにそれぞれ数箇所の凹凸部を設け、前記凹凸部を基準に接合したことを特徴としている。
また、請求項2に記載の発明は、請求項1にある電機子コアもしくは、固定子のマグネットにスキューを施したため、さらにモータのコギング推力を低減することができ、モータ特性が向上する。
次に、請求項3に記載の円筒形リニアモータによれば、電機子コアの両端に焼結材料製のダミーティースを追加するようになっているため、同じくモータのコギング推力を低減することができ、モータ特性が向上する。
請求項4に記載の発明によれば、可動子を、両側に配置した2本のリニアガイドにて支持する構成とし、少なくとも一方のリニアガイドの内側に、位置検出のためのリニアスケールを備えて一体化するようになっているため、ガイドの剛性が増し、可動子のヨーイングを少なくでき、モータ特性および位置検出の精度を向上することができるという効果がある。
請求項6に記載の発明によれば、各永久磁石の間に、非磁性材料製のスペーサを配置する構造になっているため、精度よく等間隔に永久磁石が並べられ、生産性を向上することができるという効果がある。
請求項7に記載の発明によれば、可動子における、固定子との隙間部分に、ネオプレン・スポンジ等の弾性材料でできたワイパーを設ける構造になっているため、永久磁石上に溜まる埃や異物を除去でき、リニアモータの安定した運転を保証することが可能なため、モータの信頼性が高くなるという効果がある。
請求項8に記載の発明によれば、固定子に中空シャフトを使用しており、ここに冷却液を流すことでモータを冷却することができ、またシャフトの質量も低減するため、撓み量が少なくなり、優れたモータ特性を得ることができるという効果がある。
請求項9に記載の発明によれば、電機子コアを、中心積層コアと一体形ヨークとを交互に並べて構成したので、作業時間の短縮が図れ、製作費も削減でき、さらに、焼結材料製の一体形ヨークを用いることにより、磁気回路の磁路を妨げることがなくなるため、渦電流を低減することができるという効果がある。
また、請求項10記載のによれば、中心積層コアと一体形ヨークに、それぞれ数箇所の凹凸部を設けており、前記凹凸部を基準に接合することで、位置合せ等が簡単に行え、製作時間の短縮が図れるという効果がある。
(第1発明の第1実施の形態)
図1は、本願第1発明の第1実施の形態係る円筒形リニアモータで、(a)は正面図、(b)は平面図、(c)は側面図である。
図において、10は本発明に係る円筒形リニアモータ、11は可動子、12は電機子コア、13は電機子コイル、14aは結線基板、14bはダミーティース、14cはワイパー、14dはステージ面、16は固定子、17は永久磁石、18はリニアガイド、19aはリニアスケール、19bはリニアスケール・リードヘッドである。
電機子コア12は焼結材料を用いて各ブロックを一体成形しており、従来の電磁鋼板を積層したものと比べて、発生する渦電流を小さく抑えられるため、モータの損失が減り、効率を上げることができる。
これにより、従来単純な形状にしかできなかった電機子コア12を複雑な形状に成形できるため、電機子コイル13にスキューを施す形状としている。
従って、電機子コイル13と永久磁石間17でコギング推力が発生しにくくなり、優れたモータ特性を得ることができる。
18はリニアガイドであり、可動子11を両サイドから支持する構成としている。これによって剛性が増し、可動子11のヨーイングが少なくなり、高精度で滑らかな動きを得ることができる。このリニアガイド18には面取り加工を施しており、その面に直接リニアスケール19aを貼り付けて一体化している。
19bはリニアスケール・リードヘッドであり、この構成によって可動子11の位置検出の精度を向上することができる。
また、電機子コア12の上部に設けた切り欠き溝に、結線基板14aを配置しており、これによって、各電機子コア12の位置決めおよび結線作業を容易に行うことができる。この結線基板14aが配置された切り欠き溝は、全体を樹脂封止しており、モータ運転時の振動に対して強くなり、断線を防ぐことができる。
また、各永久磁石17の間には、非磁性材料製のスペーサ16aを配置して位置決めを行っており、これによって、精度よく等間隔に永久磁石17を並べる作業が容易に行える。
次に、可動子11における固定子16との隙間部分には、弾性材料であるネオプレン・スポンジ製のワイパー14cを設けており、固定子16の永久磁石17上に溜まる埃や異物を除去でき、リニアモータ10の安定した運転を保証することができる。
さらに、固定子16に中空シャフト16bを使用しており、ここに冷却液を流すことで、発熱部である可動子11や、温度上昇によって特性が低下してしまう永久磁石17を冷却することができ、特に半導体製造装置などに要求される、厳しい温度仕様を満足することができる。
この冷却液によってモータ運転時の振動も防止することができ、またシャフトの質量も低減するため、撓み量が少なくなり、優れたモータ特性を得ることができる。
図2は第2実施の形態に係る円筒形リニアモータで、(a)は正面図、(b)は平面図、(c)は側面図である。
図において、20は本発明に係る円筒形リニアモータ、21は可動子、22は電機子コア、23は電機子コイル、24aは結線基板、24bはダミーティース、24cはワイパー、24dはステージ面、26は固定子、27は永久磁石、28はリニアガイド、29aはリニアスケール、29bはリニアスケール・リードヘッドである。
第1の実施の形態での電機子コイルにスキューを施すことに加え、ここではさらに固定子26永久磁石27にもスキューを施した構造になっており、これによってモータのコギング推力をさらに低減することができる。
また、可動子21の両側にあるリニアガイド28に、それぞれリニアスケール29aを配置しており、リニアスケール・リードヘッド29bにて位置検出を行う構成としている。これにより、二つのセンサで検出した値を相殺して、さらに可動子の位置決めの精度を向上することができる。
図において、30は本願第2の発明に係る円筒形リニアモータ、31は可動子、32は電機子コア、33は中心積層コア、34は焼結材料製一体形ヨーク、35は電機子コイル、36は固定子部、37は永久磁石、38はリニアガイド、39aはリニアスケール、39bはリニアスケール・リードヘッドである。
電機子コア32は、電磁鋼板をリング形状に打ち抜いた後、一定の厚さになるまで積層して構成した中心積層コア33と、同じくリング形状に一体成形した焼結材料製の一体形ヨーク34とを交互に並べて構成されている。
図5の場合のような非常に時間を要していた薄板の積み重ね作業が、ここではこのように積層コアが1種類となるため、減って作業性がよくなり、また、電磁鋼板の抜き型も1種類で済むため、製作費を削減することができる。
さらに、焼結材料製一体形ヨーク34は、磁気回路の磁路を妨げることがないため、渦電流を低減することができる。
この凹凸部を基準に接合することにより、中心積層コア33の薄板を多数積み重ねる工程や、中心積層コア33と一体形ヨーク34とを接合する際に、位置決めが容易に行え、さらに短時間で電機子コア32を製作することができる。
なお、電機子コイル35は電機子コア32、32の間に配置し、固定子部36は永久磁石37を多数並べて固定子を構成している。
38はリニアガイドで、これによって可動子31を支持しており、リニアスケール39a、リニアスケール・リードヘッド39bによって、可動子31の位置検出を行っている。
以上のように、本願第2の発明によれば、電機子コアを中心積層コアと一体形ヨークとを交互に並べて構成したので、作業時間の短縮が図れ、製作費も削減できた。
さらに、焼結材料製の一体形ヨークを用いることにより、磁気回路の磁路を妨げることがなくなるため、渦電流を低減することができた。
また、電機子コアを構成する中心積層コアと一体形ヨークとに、それぞれ数箇所の凹凸部を設け、この凹凸部を基準に接合する構造にしたので、位置合せが容易に行え、電機子コアの製作時間をさらに短縮することができた。
11、21、31 可動子
12、22,32 電機子コア
13、23,33 電機子コイル
14a、24a 結線基板
14b、24b ダミーティース
14c、24c ワイパー
14d、24d ステージ面
16、26,36, 固定子
17、27,37 永久磁石
18、28,38 リニアガイド
19a,29a、39a リニアスケール
19b、29b、39b リニアスケール・リードヘッド
20 本願第1発明の第2実施形態に係る円筒形リニアモータ
30 本願第2発明に係る円筒形リニアモータ
33 中心積層コア
33a 中心積層コアの凹凸部
34 焼結材料製一体形ヨーク
34a 焼結材料製一体形ヨークの凹凸部
Claims (10)
- 電機子コアおよび電機子コイルからなる可動子と、永久磁石を多数配置した固定子と、により構成される円筒形リニアモータにおいて、前記電機子コアに焼結材料を使用したことを特徴とする円筒形リニアモータ。
- 前記電機子コアまたは前記固定子の永久磁石にスキューを施したことを特徴とする請求項1記載の円筒形リニアモータ。
- 前記電機子コアの進行方向の最前端または最後端に、鋼製のダミーティースを配置したことを特徴とする請求項1または2記載の円筒形リニアモータ。
- 前記可動子の進行方向と直角な面の両側に配置した2本のリニアガイドが前記可動子を支持し、かつ前記リニアガイドの少なくとも一方の内側に位置検出用のリニアスケールを備えたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載の円筒形リニアモータ。
- 前記電機子コアの上部に切り欠き溝を設け、該切り欠き溝に結線用の基板を配置したことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項記載の円筒形リニアモータ。
- 前記各永久磁石の間に非磁性材料製のスペーサを配置したことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項記載の円筒形リニアモータ。
- 前記可動子と前記固定子との間の隙間部分をクリーニングするための弾性材料でできたワイパーを前記可動子側に設けたことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項記載の円筒形リニアモータ。
- 前記固定子として中空のシャフトを使用したことを特徴とする請求項1〜7のいずれか1記載の円筒形リニアモータ。
- 電機子コア、電機子コイルからなる可動子と、永久磁石を多数配置した固定子により構成される円筒形リニアモータにおいて、電機子コアを、積層コアと一体形ヨークとにより構成したことを特徴とする円筒形リニアモータ。
- 前記積層コアと前記一体形ヨークにそれぞれ数箇所の凹凸部を設け、前記凹凸部を基準に接合したことを特徴とする請求項9記載の円筒形リニアモータ。
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100302 |