JP2005039047A - 多関節ロボット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 第1〜第3アーム24,25,26の長さをほぼ等しく選択し、第2アーム25と第3アーム26とを連動させ、第2アーム25が第2角変位軸線L2まわりに周方向一方に角変位する角度の2倍の角度で、第3アーム26を第3角変位軸線L3まわりに周方向他方に角変位させる。これによって基準線19および第1角変位軸線L1を含む仮想平面によって分割される2つの分割領域80,81のうち一方の分割領域に第2アーム25および第3アーム26を配置して、ハンド部27を基準線19に沿って移動させることができる。したがって2つのうちいずれかの分割領域80,81に第2および第3アーム25,26の動作占有領域が含まれることをなくすることができ、動作占有領域を小さくすることができる。
【選択図】 図1
Description
一端部がベース部に一体に連結され、他端部に第1角変位軸線に平行な第2角変位軸線を有する第1アームと、
一端部が前記第1アームの他端部に連結され、他端部に前記第1角変位軸線に平行な第3角変位軸線を有し、前記第2角変位軸線まわりに角変位自在に設けられる第2アームと、
一端部が前記第2アームの他端部に連結され、前記第3角変位軸線まわりに角変位自在に設けられる第3アームと、
第2アームと第3アームとを連動させ、第2アームが第1アームに対して第2角変位軸線まわりに周方向一方に角変位する角度の2倍の角度で、第3アームを第2アームに対して第3角変位軸線まわりに周方向他方に角変位させる連動手段と、
ベース部を第1角変位軸線まわりに角変位するベース部駆動手段と、
第2アームを第2角変位軸線まわりに角変位するアーム駆動手段とを含み、
第1〜第3アームの各角変位軸線の間の長さが、ほぼ等しく設定されることを特徴とする多関節ロボットである。
エンドエフェクタを角変位するエンドエフェクタ駆動手段とをさらに含み、
第3アームは、その他端部に前記第1角変位軸線に平行な第4角変位軸線を有し、
エンドエフェクタ駆動手段は、前記第4角変位軸線まわりにエンドエフェクタを変位駆動することを特徴とする。
第2アームは、一端部がベース部に連結可能であって、第2アームとベース部とが連結された状態で、ベース部に対して前記第1角変位軸線まわりに角変位可能に設けられ、
連動手段は、第2アームがベース部に対して第1角変位軸線まわりに周方向一方に角変位する角度の2倍の角度で、第3アームを第2アームに対して第3角変位軸線まわりに周方向他方に角変位させることを特徴とする。
また本発明は、限定された狭隘な空間に配置されことを特徴とする。
20 多関節ロボット
21 半導体ウェハ
22 基台
23 ベース部
24 第1アーム
25 第2アーム
26 第3アーム
27 ハンド部
50 ベース駆動手段
51 アーム駆動手段
54 連動手段
L1 第1角変位軸線
L2 第2角変位軸線
L3 第3角変位軸線
L4 第4角変位軸線
Claims (7)
- 予め定められる第1角変位軸線を有し、第1角変位軸線まわりに角変位自在に設けられるベース部と、
一端部がベース部に一体に連結され、他端部に第1角変位軸線に平行な第2角変位軸線を有する第1アームと、
一端部が前記第1アームの他端部に連結され、他端部に前記第1角変位軸線に平行な第3角変位軸線を有し、前記第2角変位軸線まわりに角変位自在に設けられる第2アームと、
一端部が前記第2アームの他端部に連結され、前記第3角変位軸線まわりに角変位自在に設けられる第3アームと、
第2アームと第3アームとを連動させ、第2アームが第1アームに対して第2角変位軸線まわりに周方向一方に角変位する角度の2倍の角度で、第3アームを第2アームに対して第3角変位軸線まわりに周方向他方に角変位させる連動手段と、
ベース部を第1角変位軸線まわりに角変位するベース部駆動手段と、
第2アームを第2角変位軸線まわりに角変位するアーム駆動手段とを含み、
第1〜第3アームの各角変位軸線の間の長さが、ほぼ等しく設定されることを特徴とする多関節ロボット。 - 第2アームおよび第3アームの一端部から他端部に延びる方向を、第1アームの一端部から他端部に延びる方向に対して、同方向でかつ向きが逆となるように各アームを角変位した状態で、第1角変位軸線まわりの各アームの旋回半径が最小となるようにアームの長さが選択されることを特徴とする請求項1記載の多関節ロボット。
- ワークに処理を施すエンドエフェクタと、
エンドエフェクタを角変位するエンドエフェクタ駆動手段とをさらに含み、
第3アームは、その他端部に前記第1角変位軸線に平行な第4角変位軸線を有し、
エンドエフェクタ駆動手段は、前記第4角変位軸線まわりにエンドエフェクタを変位駆動することを特徴とする請求項1または2記載の多関節ロボット。 - 第1アームは、ベース部および第2アームに対して着脱可能に設けられ、
第2アームは、一端部がベース部に連結可能であって、第2アームとベース部とが連結された状態で、ベース部に対して前記第1角変位軸線まわりに角変位可能に設けられ、
連動手段は、第2アームがベース部に対して第1角変位軸線まわりに周方向一方に角変位する角度の2倍の角度で、第3アームを第2アームに対して第3角変位軸線まわりに周方向他方に角変位させることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の多関節ロボット。 - 前記連動手段は、歯車伝達機構によってアーム駆動手段からの駆動力を第2アームおよび第3アームに伝達することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の多関節ロボット。
- 限定された狭隘な空間に配置されことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の多関節ロボット。
- 予め定められる雰囲気に保たれるハウジング内に配置され、半導体ウェハを搬送することを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の多関節ロボット。
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