JP2005003922A - 光モジュールおよび搭載部品 - Google Patents
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Abstract
【課題】より高い精度で光ファイバを搭載部品に位置決めできる光モジュールを提供する。
【解決手段】光モジュール1は、半導体光素子3と、光ファイバ5と、フェルール7と、搭載部品9とを備える。光ファイバ5は、半導体光素子3に光学的に結合されている。フェルール7は、光ファイバ5を保持している。搭載部品9は、フェルール7を支持する第1の支持溝11と、光ファイバ5を支持する第2の支持溝13とを有している。搭載部品9は、半導体光素子3を搭載している。第1及び第2の支持溝11,13は、所定の軸の方向に順に配列されている。第2の支持溝13は一端13aおよび他端13bを有している。第2の支持溝13は一端13aから他端13bに向けて浅くなる。
【選択図】 図1
【解決手段】光モジュール1は、半導体光素子3と、光ファイバ5と、フェルール7と、搭載部品9とを備える。光ファイバ5は、半導体光素子3に光学的に結合されている。フェルール7は、光ファイバ5を保持している。搭載部品9は、フェルール7を支持する第1の支持溝11と、光ファイバ5を支持する第2の支持溝13とを有している。搭載部品9は、半導体光素子3を搭載している。第1及び第2の支持溝11,13は、所定の軸の方向に順に配列されている。第2の支持溝13は一端13aおよび他端13bを有している。第2の支持溝13は一端13aから他端13bに向けて浅くなる。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光モジュールおよび搭載部品に関する。
【0002】
【従来の技術】
特許文献1には、光モジュールが示されている。この光モジュールでは、基板の中央部にファイバ搭載用溝と2本のガイドピン搭載用溝をSiの異方性エッチングで形成し、光素子搭載用マーカ上に光素子を配置させ半田で固定する。光ファイバは、基板のファイバ搭載用溝に合わされファイバ押さえ用溝を有するファイバホルダで樹脂固定している。ガイドピンは基板のガイドピン搭載用溝に合わされガイドピン押さえ用溝とファイバホルダ嵌合用溝を有するキャップで樹脂固定している(例えば、特許文献1)。
【0003】
【特許文献1】
特開平9−33765号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
文献に記載された光モジュールでは、光ファイバは、光ファイバ押さえ溝を有するファイバホルダおよび接着樹脂体を介して基板に固定されている。ファイバホルダには、比較的高い精度で光ファイバ押さえ溝を形成する必要がある。
【0005】
基板上において位置合わせされた光ファイバ上にファイバホルダを置く時、ファイバホルダから該光ファイバに力が加わって、光ファイバの位置をシフトさせることがある。
【0006】
そこで、本発明の目的は、より高い精度で光ファイバを搭載部品に位置決めできる光モジュールを提供することとしている。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明の一側面によれば、光モジュールは、(a)半導体光素子と、(b)半導体光素子に光学的に結合された光ファイバと、(c)光ファイバを保持するフェルールと、(d)フェルールを支持する第1の支持溝と、光ファイバを支持する第2の支持溝とを有しており半導体光素子を搭載する搭載部品とを備え、(e)第1及び第2の支持溝は所定の軸の方向に配列されており、第2の支持溝は一端および他端を有しており、第2の支持溝は一端から他端に向けて浅くなる。
【0008】
この光モジュールによれば、第2の支持溝は一端から他端に向けて浅くなっているので、光ファイバは第2の支持溝に収まる。
【0009】
また、光モジュールでは、光ファイバは、第1の支持面上の第1の支持部において支持されており、光ファイバは、第2の支持面上の第2の支持部において支持されており、所定の軸上の第1の位置における第1の支持部と第2の支持部との間隔は、所定の軸上の第2の位置における第1の支持部と第2の支持部との間隔より小さく、第2の支持溝の一端と第1の位置との距離は、第2の支持溝の一端と第2の位置との距離より大きい。
【0010】
この光モジュールによれば、第1の位置における第1の支持部と第2の支持部との間隔は、第2の位置における第1の支持部と第2の支持部との間隔より小さいので、光ファイバは第2の支持溝に収まる。
【0011】
本発明に係る光モジュールでは、搭載部品は、所定の面に沿って伸びる主面を有しており、第1の支持溝は主面に設けられており、光ファイバは、第2の支持溝において所定の面に対して傾斜する部分を有しており、光ファイバの該部分は、略直線に沿って伸びている。
【0012】
この光モジュールによれば、光ファイバの一部分は、第2の支持溝に沿って傾斜しながら第2の支持溝に収まる。
【0013】
本発明に係る光モジュールでは、傾斜の角度は4度以上12度以下であることができる。
【0014】
第2の支持溝の傾斜の角度が4度未満であると、傾斜による利点が光ファイバに十分に発揮されない。第2の支持溝の傾斜の角度が12度を超えると、光ファイバの屈曲が大きすぎる。
【0015】
本発明に係る光モジュールでは、搭載部品は、所定の面に沿って伸びる主面を有しており、第1の支持溝は主面に設けられており、光ファイバは、第2の支持溝において所定の面に対して傾斜する部分を有しており、光ファイバの該部分は、凸曲線を描いて伸びている。
【0016】
この光モジュールによれば、光ファイバの一部分は、凸曲線を描いて第2の支持溝に収まる。
【0017】
本発明に係る光モジュールでは、光ファイバの該部分は、略円弧に沿って伸びている。
【0018】
この光モジュールによれば、光ファイバの一部分は、略円弧を描いて第2の支持溝に収まる。
【0019】
本発明に係る光モジュールでは、光ファイバを搭載部品に固定する樹脂体を更に備えることができる。
【0020】
この光モジュールによれば、光ファイバが第2の支持溝に収まった状態で、光ファイバは搭載部品に樹脂体よって固定される。
【0021】
本発明に係る光モジュールでは、搭載部品はシリコン製であることができる。
【0022】
この光モジュールでは、シリコン製の搭載部品によれば、第1及び第2の支持溝をエッチングにより形成される。
【0023】
本発明に係る光モジュールでは搭載部品はセラミック製であることができる。
【0024】
この光モジュールでは、セラミック製の搭載部品によれば、低キャパシタンスの搭載部品が形成される。
【0025】
本発明に係る光モジュールでは、搭載部品は樹脂製であることができる。
【0026】
この光モジュールでは、樹脂製の搭載部品によれば、成形型の形状に応じて第2の支持溝が形成される。
【0027】
本発明に係る光モジュールでは、半導体光素子は、半導体発光素子および半導体受光素子のいずれかであることができる。光モジュールによれば、発光モジュールおよび受光モジュールが実現される。
【0028】
本発明に係る光モジュールでは、半導体光素子は、裏面入射タイプの半導体受光素子であり、搭載部品は、半導体受光素子を搭載する搭載領域と、搭載領域に設けられており光ファイバからの光を反射する反射面とをさらに備えることができる。裏面入射型の半導体受光素子の受光径は大きいので、傾斜する光ファイバからより多くの光を受けることができる。
【0029】
本発明の別の側面は、フェルールに保持された光ファイバを搭載する搭載部品である。この搭載部品は、(a)第1および第2のエリアを有する主面と、(b)主面の第1のエリアに設けられ光ファイバに光学的に結合される半導体光素子を搭載するための搭載部と、(c)主面の第2のエリアに設けられ光ファイバを支持するための第2の支持溝とを備え、(d)第2の支持溝は、一端及び他端を有しており、(e)第2の支持溝の深さは、一端から他端に向けて浅くなる。
【0030】
搭載部品よれば、第2の支持溝は、一端から他端に向けて浅くなっているので、光ファイバを第2の支持溝に収めるために役立つ。
【0031】
本発明の搭載部品では、主面は第3のエリアを有しており、第2のエリアは第1のエリアと第3のエリアとの間に設けられており、第3のエリアにはフェルールを支持するための第1の支持溝が設けられている。
【0032】
この搭載部品によれば、フェルールを支持する溝を設けることができる。
【0033】
本発明の上記の目的および他の目的、特徴、並びに利点は、添付図面を参照して進められる本発明の好適な実施の形態の以下の詳細な記述から、より容易に明らかになる。
【0034】
【発明の実施の形態】
本発明の知見は、例示として示された添付図面を参照して以下の詳細な記述を考慮することによって容易に理解できる。引き続いて、添付図面を参照しながら、本発明の半導体装置を製造する方法に係る実施の形態を説明する。可能な場合には、同一の部分には同一の符号を付する。
【0035】
(第1の実施の形態)
図1は本実施の形態に係る光モジュールの構成部品を示す図面である。図2(A)は光モジュールを示す側面図である。図2(B)は図1に示されたI−I線に沿った光モジュールを示す断面図である。図2(C)は光モジュールを示す平面図である。
【0036】
光モジュール1は、半導体光素子3と、光ファイバ5と、フェルール7と、搭載部品9とを備える。光ファイバ5は、半導体光素子3に光学的に結合されている。フェルール7は、光ファイバ5を保持している。搭載部品9は、フェルール7を支持する第1の支持溝11と、光ファイバ5を支持する第2の支持溝13とを有している。搭載部品9は、半導体光素子3を搭載している。第1及び第2の支持溝11,13は、所定の軸の方向に順に配列されている。第2の支持溝13は一端13aおよび他端13bを有している。第2の支持溝13は一端13aから他端13bに向けて浅くなる。
【0037】
この光モジュール1によれば、第2の支持溝13は一端13aから他端13bに向けて浅くなっているので、溝内の光ファイバ5は第2の支持溝13から抗力を受ける。この力により、光ファイバ5は第2の支持溝13にしっかり収まる。この光モジュール1によれば、光ファイバを搭載部品に固定するために、ガラス板といった固定部材を用いることなく、光ファイバ5は第2の支持溝13に沿って伸びることになる。固定部材を用いないので、より高い精度で光ファイバを搭載部品に位置決めできる光モジュールが提供される。
【0038】
光ファイバ5は、第1の部分5a及び第2の部分5bを有している。フェルール7は、光ファイバ5の第2の部分5bを保持している。フェルール7は、一端面7a及び他端面7bと、一端面7aから他端面7bに伸びる孔7cとを有する。光ファイバ5は、一端5c及び他端5dを有している。光ファイバ5の一端5cは、半導体光素子3の一端面3aに光学的に結合されている。光ファイバ5の他端5dは、フェルール7の他端面7bに現れている。
【0039】
搭載部品9は、フェルール7に保持された光ファイバ5と半導体光素子3とを搭載する。搭載部品9は、主面9aを有する。主面9aは、第1〜第3のエリア9b、9c、9dを有する。主面9aの第1のエリア9bは、搭載領域9eを備えており、光ファイバ5に光学的に結合される半導体光素子3を搭載する。第2の支持溝13は、主面9aの第2のエリア9cに設けられており、光ファイバ5を支持する。第1の支持溝11は、主面9aの第3のエリア9dに設けられており、フェルール7を支持している。
【0040】
第1の支持溝11はフェルール7を支持するための第1及び第2の側面11c、11dを有している。第2の支持溝13は光ファイバ5を支持するための第1及び第2の側面13c、13dを有している。第1の支持溝11の他端11bは、第2の支持溝13の一端13aにつながる。第1の支持溝11と第2の支持溝13との間には、面取り部15が設けられている。面取り部15は、傾斜面15a、15bを有する。傾斜面15a、15bは、それぞれ、第2の支持溝13の2側面13c、13dと第1の支持溝11の端面11eとを繋げる。第2の支持溝13の深さは、一端13aから他端13bに向けて浅くなる。図2(A)に示されるように、例えば、第1の支持溝11は深さD0を有する。また、第2の支持溝13の一端13aにおける深さDAは、他端13bにおける深さDBより大きい。第2の支持溝13は搭載部品9の主面9aに対して角度aで傾斜している。
【0041】
図2(B)を参照すると、光ファイバ5の第2の部分5bの光軸は、フェルール7内において基準軸AXに沿って伸びている。光ファイバ5の第2の部分5bにおいて、光ファイバ5の第1の部分5aの光軸と基準軸AXとの第1の位置P1における間隔は、光ファイバ5の第1の部分5aの光軸と基準軸AXとの第2の位置P2における間隔より大きい。基準軸AX上において、第2の支持溝13の一端13aと第1の位置P1との距離は、第2の支持溝13の一端13aと第2の位置P2との距離より大きい。
【0042】
第2の支持溝13の傾斜に従って、光ファイバ5の第1の部分5aは、搭載部品9の主面9aに対して角度aで傾斜している。光ファイバ5の端部5cは、基準面S1に沿って伸びる端面を有する。半導体光素子3の端面3aは基準面S2に沿って伸びている。基準面S1は基準面S2に対して傾斜している。この傾斜のため、光ファイバ5の端部5cの端面おいて反射された光が、半導体光素子3に戻らない。
【0043】
光モジュール1では、光ファイバ5の第2の部分5aは、略直線に沿って伸びている。光ファイバ5の第2の部分5aは、第2の支持溝13に沿って傾斜しながら第2の支持溝13に収まる。この傾斜の角度は4度以上12度以下であることができる。第2の支持溝の傾斜の角度が4度未満であると、傾斜による利点が光ファイバに十分に発揮されない。第2の支持溝の傾斜の角度が12度を超えると、光ファイバの屈曲が大きすぎる。第2の支持溝13の長さ4ミリメートル程度であるとき、光ファイバ5の一端5cにおける高さは、約280マイクロメートルから約850マイクロメートルである。光ファイバ5の第1の部分5aの傾斜は、光ファイバ5の端部5cの端面を傾斜させる。
【0044】
図2(B)および図2(C)を参照すると、光モジュール1は、光ファイバ5を搭載部品9に固定する樹脂体17aを更に備えることができる。光ファイバ5が第2の支持溝13に収まった状態で、光ファイバ5は搭載部品9に樹脂体17aよって固定される。光モジュール1は、フェルール7を搭載部品9に固定する樹脂体17bを更に備えることができる。フェルール7が第1の支持溝11に収まった状態で、フェルール7は搭載部品9に樹脂体17bよって固定される。樹脂体17aは、第2のエリアの設けられている。また、樹脂体17bは、第3のエリアの設けられている。
【0045】
図2(C)を参照すると、光モジュール1では、第1の側面13cと第2の側面13dとの間隔に関して、第1の位置P1における該間隔は、第2の位置P2における該間隔より小さい。これによって、搭載部品9において、第2の支持溝13の深さが変化している。
【0046】
光モジュール1では、搭載部品9はシリコン製であることができる。シリコン製の搭載部品9によれば、第1及び第2の支持溝11,13をエッチングにより形成される。また、搭載部品9はセラミック製であることができる。セラミック製の搭載部品9によれば、低キャパシタンスの搭載部品が形成される。さらに、搭載部品9は樹脂製であることができる。樹脂製の搭載部品9によれば、成形型の形状に応じて第2の支持溝が形成される。樹脂材の種類としては、例えば、エポキシ樹脂、液晶ポリマー樹脂を使用できる。
【0047】
光モジュール1では、半導体光素子3は、半導体発光素子および半導体受光素子のいずれかであることができる。半導体発光素子としては、半導体レーザ、発光ダイオード、半導体光増幅器、半導体光変調器が例示される。半導体受光素子としては、フォトダイオードが例示される。
【0048】
図3(A)は、図2(C)に示されたII−II線に沿った第1の支持溝を示す断面図である。図3(B)は、図2(C)に示されたIII−III線に沿った第2の支持溝を示す断面図である。図3(C)は、図2(C)に示されたIV−IV線に沿った第2の支持溝を示す断面図である。図3(D)は、搭載部品を示す平面図である。
【0049】
搭載部品9の第1の支持溝11は、第1及び第2の側面11c、11dを有しており、図3(A)に示されるように、台形の断面を有している。第2の支持溝13は、第1及び第2の側面13c、13dを有しており、図3(B)及び図13(C)に示されるように、V字形の断面を有している。図3(B)及び図13(C)を参照すると、第2の支持溝13は一端13aから他端13bに向けて浅くなる。
【0050】
図3(D)を参照すると、第1の支持溝11では、フェルール7は、第1の側面11c上の第1の支持部11e(波線で示される)において支持されている。フェルール7は、第2の側面11d上の第2の支持部11f(波線で示される)において支持されている。第2の支持溝13では、光ファイバ5は、第1の側面13c上の第1の支持部13e(波線で示される)において支持されている。光ファイバ5は、第2の側面13d上の第2の支持部13f(波線で示される)において支持されている。
【0051】
図3(D)には、所定の軸上の第1〜第3の位置P3、P4、P5が示されている。第1の位置P3において、第1の支持部と第2の支持部との間隔は、シンボルW1で示されている。第2の位置P4において、第1の支持部と第2の支持部との間隔は、シンボルW2で示されている。第3の位置P5において、第1の支持部と第2の支持部との間隔は、シンボルW3で示されている。本実施例では、間隔W1は間隔W2より大きく、間隔W2は間隔W3より大きい。この構造により、第2の支持溝13は、一端13aから他端13bに向けて浅くなる。この光モジュールによれば、光ファイバ5を支持する部位13e、13fが支持溝13の一端13aから離れるにつれて、第1の支持部13eと第2の支持部13fとの間隔はより小さくなり、これによって光ファイバ5は第2の支持溝に収まる。
【0052】
以上説明したように、この光モジュール1によれば、より高い精度で光ファイバを搭載部品に位置決めできる光モジュールが提供される。
【0053】
図4(A)は、搭載部品の変形例を示す平面図である。図4(B)は、光モジュールの変形例を示す平面図である。図4(C)は、図4(A)に示されたV−V線に沿った断面図である。図5(A)は、図4(A)に示されたVI−VI線に沿った第1の支持溝を示す断面図である。図5(B)は、図4(A)に示されたVII−VII線に沿った第2の支持溝を示す断面図である。図5(C)は、図4(A)に示されたVIII−VIII線に沿った第2の支持溝を示す断面図である。図5(D)は、図5(C)に示された断面の拡大を示す図面である。
【0054】
図4(A)および図4(B)を参照すると、光モジュール1aは、搭載部品9に替えて搭載部品10を備えている。搭載部品10は、第1の支持溝11および第2の支持溝14を備える。第2の支持溝14は、第1の部分14aおよび第2の部分14bを有する。
【0055】
図5(A)に示されるように、第1の支持溝11では、第1及び第2の側面11c、11dはフェルール7を支持している。第2の支持溝14の第1の部分14aは、第1及び第2の側面14c、14dを有している。図5(B)に示されるように、第1の部分14aでは、第1及び第2の側面14c、14dが光ファイバ5を支持している。図5(C)および図5(D)に示されるように、第2の部分14bでは、第2の支持溝14のエッジが光ファイバ5を支持している。第2の支持溝14は、一端14eから他端14fに向けて浅くなる。
【0056】
図4(C)を参照すると、光ファイバ5の第2の部分5bの光軸は、フェルール7内において基準軸AXに沿って伸びている。光ファイバ5の第2の部分5bにおいて、光ファイバ5の第1の部分5aの光軸と基準軸AXとの第6の位置P6における間隔は、光ファイバ5の第1の部分5aの光軸と基準軸AXとの第7の位置P7における間隔より小さい。基準軸AX上において、第2の支持溝13の一端13aと第6の位置P6との距離は、第2の支持溝13の一端13aと第7の位置P7との距離より小さい。第2の支持溝14の傾斜に従って、光ファイバ5の第1の部分5aは、搭載部品9の主面9aに対して角度bで傾斜している。
【0057】
光モジュール1では、光ファイバ5の第2の部分5aは、略直線に沿って伸びている。光ファイバ5の第2の部分5aは、第2の支持溝14に沿って傾斜しながら第2の支持溝14に収まる。この傾斜の角度は4度以上12度以下であることができる。
【0058】
図4(B)および図4(C)を参照すると、光モジュール1aは、光ファイバ5を搭載部品10に固定する樹脂体17aを更に備えることができる。光ファイバ5が第2の支持溝14に収まった状態で、光ファイバ5は搭載部品9に樹脂体17aよって固定される。光モジュール1aは、フェルール7を搭載部品10に固定する樹脂体17bを更に備えることができる。フェルール7が第1の支持溝11に収まった状態で、フェルール7は搭載部品10に樹脂体17bよって固定される。主面10aの第1のエリア10bには、半導体光素子3が搭載されている。
樹脂体17aは、主面10aの第2のエリア10cの設けられている。また、樹脂体17bは、主面10aの第3のエリア10dの設けられている。
【0059】
また、図4(A)を参照すると、光モジュール1aでは、第1の側面14cと第2の側面14dとの間隔に関して、第6の位置P6における該間隔は、第7の位置P7における該間隔より小さい。これによって、搭載部品10において、第2の支持溝14の深さが変化している。
【0060】
以上説明したように、この光モジュール1によれば、より高い精度で光ファイバを搭載部品に位置決めできる光モジュールが提供される。
【0061】
(第2の実施の形態)
図6(A)は本実施の形態の搭載部品を示す平面図である。図6(B)は図6(A)に示されたIX−IX線に沿って光モジュールを示す断面図である。図6(C)は図6(A)に示されたIX−IX線に沿って搭載部品を示す断面図である。図7(A)は搭載部品を示す平面図である。図7(B)は搭載部品の変形例を示す平面図である。
【0062】
図6(A)を参照すると、光モジュール2において、搭載部品19は、第1の支持溝11および第2の支持溝23を備える。第2の支持溝23の底は、図6(C)に示されるように、凸曲線に沿って伸びている。一実施例では、凸曲線は、曲率半径R1の実質的な円弧で表されることができる。
【0063】
図6(B)を参照すると、光ファイバ5の第2の部分5bの光軸は、フェルール7内において基準軸AXに沿って伸びている。光ファイバ5の第2の部分5bにおいて、第8の位置P8における光ファイバ5の第1の部分5aの光軸と基準軸AXとの間隔W8は、第9の位置P9における光ファイバ5の第1の部分5aの光軸と基準軸AXとの間隔W9より小さい。基準軸AX上において、第2の支持溝23の一端23aと第8の位置P8との距離は、第9の支持溝23の一端23aと第9の位置P9との距離より小さい。第2の支持溝23の傾斜に従って、光ファイバ5の第1の部分5aは、搭載部品9の主面9aに対して曲率R2で屈曲している。例示的な曲率半径は、第2の支持溝23の長さが4ミリメートル程度であるとき、30ミリメートル程度である。好適な曲率半径の範囲は、10ミリメートル以上60ミリメートル以下である。曲率半径が上記最小値未満であると、光ファイバの屈曲が大きすぎる。曲率半径が上記最大値を超えると、屈曲による利点が光ファイバに十分に発揮されない。
【0064】
図6(B)を参照すると、光モジュール2は、光ファイバ5を搭載部品19に固定する樹脂体17aを更に備えることができる。光モジュール2は、フェルール7を搭載部品19に固定する樹脂体17bを更に備えることができる。
【0065】
図6(A)を参照すると、光モジュール2では、第1の側面23cと第2の側面23dとの間隔に関して、第8の位置P8における該間隔は、第9の位置P9における該間隔より大きい。これによって、搭載部品19において、第2の支持溝23の深さが変化している。
【0066】
また、第2の支持溝23のエッジは、凸曲線を描いており。第2の支持溝23の側面23c、23dの各々は、凸曲線に沿って伸びている。この光モジュール2によれば、光ファイバの一部分は、凸曲線を描いて第2の支持溝に収まる。一実施例では、第2の支持溝23の側面23cは、曲率半径R3の円弧に沿って伸びている。第2の支持溝23の側面23dは、曲率半径R4(実質的に曲率半径R3に等しい)の円弧に沿って伸びている。この光モジュールによれば、光ファイバの一部分は、略円弧を描いて第2の支持溝に収まる。第2の支持溝23は、一端23eから他端23fに向けて浅くなる。
【0067】
図7(A)は、搭載部品を示す平面図である。図7(A)を参照すると、第2の支持溝23は、支持部(破線で表される)23e、23fにおいて、光ファイバ5を支持している。支持部23e、23fの各々は、凸曲線に沿って伸びている。一実施例では、第2の支持溝23の支持部23eは、曲率半径R5の円弧に沿って伸びている。第2の支持溝23の支持部23fは、曲率半径R6(実質的に曲率半径R6に等しい)の円弧に沿って伸びている。
【0068】
以上説明したように、この光モジュール2によれば、より高い精度で光ファイバを搭載部品に位置決めできる光モジュールが提供される。
【0069】
図7(B)は、搭載部品の変形例を示す平面図である。図7(B)を参照すると、光モジュール2aは、搭載部品19に替えて搭載部品20を備えている。搭載部品20は、第1の支持溝11および第2の支持溝24を備える。第2の支持溝24は、第1の部分24aおよび第2の部分24bを有する。第2の支持溝24の第1の部分24aは、第1及び第2の側面24c、24dを有している。図5(B)に示される実施例のように、第1の部分24aでは、第1及び第2の側面24c、24dが光ファイバ5を支持している。図5(C)および図5(D)に示される実施例のように、第2の部分24bでは、第2の支持溝24のエッジが光ファイバ5を支持している。第2の支持溝24は、一端24eから他端24fに向けて浅くなる。
【0070】
また、第2の支持溝43のエッジは、凸曲線を描いており。第2の支持溝24の側面24c、24dの各々は、凸曲線に沿って伸びている。この光モジュール2aによれば、光ファイバの一部分は、凸曲線を描いて第2の支持溝24に収まる。一実施例では、第2の支持溝24の側面24cは、曲率半径R5の円弧に沿って伸びている。第2の支持溝24の側面24dは、曲率半径R6(実質的に曲率半径R5に等しい)の円弧に沿って伸びている。この光モジュール2aによれば、光ファイバの一部分は、略円弧を描いて第2の支持溝に収まる。第2の支持溝23は、一端24eから他端24fに向けて浅くなる。
【0071】
第2の支持溝24は、支持部24g、24hでは、光ファイバ5を支持している。支持部24g、24hの各々は凸曲線に沿って伸びている。一実施例では、第2の支持溝24の支持部24gは曲率半径R7の円弧に沿って伸びている。第2の支持溝24の支持部24hは曲率半径R8の円弧に沿って伸びている。
【0072】
以上説明したように、この光モジュール2によれば、より高い精度で光ファイバを搭載部品に位置決めできる光モジュールが提供される。
【0073】
(第3の実施の形態)
図8は、本実施の形態に係る光モジュールの構成部品を示す図面である。図9(A)は光モジュールを示す平面図である。図9(B)は図9(A)に示されたX−X線に沿った第1の支持溝を示す断面図である。図9(C)は図9(A)に示されたXI−XI線に沿った第2の支持溝を示す断面図である。図9(D)は図9(A)に示されたXII−XII線に沿った第2の支持溝を示す断面図である。図9(E)は図9(A)に示されたXIII−XIII線に沿った第2の支持溝を示す断面図である。
【0074】
図8を参照すると、光モジュール2bは、半導体光素子3と、光ファイバ5と、フェルール7と、搭載部品21とを備える。搭載部品21は、フェルール7を支持する第1の支持溝11と、光ファイバ5を支持する第2の支持溝25とを有している。搭載部品21は、半導体光素子3を搭載している。第1及び第2の支持溝11,25は、所定の軸の方向に順に配列されている。第2の支持溝25は一端13aおよび他端25bを有している。
【0075】
図9(C)〜図9(E)を参照すると、第2の支持溝25は、側面25aを有している。本実施の形態では、第2の支持溝25の側面25cは、光ファイバ5を支持する支持面として働く。第2の支持溝25の断面は、凸曲線によって表される。一実施例では、第2の支持溝25の断面は、円弧によって表される。この円弧の曲率は、例えば、光ファイバ5の外周線の曲率半径に実質的に等しいか、あるいはやや大きい。第2の支持溝25は一端25aから他端25bに向けて浅くなっている。
【0076】
この光モジュール2bによれば、第2の支持溝25の一端25aから他端25bに向けて浅くなっているので、光ファイバ5は第2の支持溝25から力を受ける。この力により、光ファイバ5は第2の支持溝25に収まる。この光モジュール2bによれば、光ファイバ5を搭載部材21に固定するために、ガラス板といった固定部材を用いることなく、光ファイバ5は第2の支持溝25に収まる。固定部材を用いないので、より高い精度で光ファイバを搭載部品に位置決めできる光モジュールが提供される。
【0077】
(第4の実施の形態)
図10(A)および図10(B)は、第4の実施の形態に係る光モジュールを示す図面である。図10(C)および図10(D)は、本実施の形態の光モジュールのための半導体受光素子を示す図面である。
【0078】
図10(A)および図10(B)を参照すると、光モジュール4は、搭載部品9に替えて搭載部品8を備えている。光モジュール4は、半導体受光素子6と、光ファイバ5と、フェルール7と、搭載部品8とを備える。光ファイバ5は、半導体受光素子6に光学的に結合されている。フェルール7は、光ファイバ5を保持している。搭載部品8は、半導体受光素子6を搭載している。搭載部品8は、第1の支持溝11および第2の支持溝13を備える。
【0079】
図10(C)および図10(D)に示されるように、本実施の形態では、半導体受光素子6は、裏面入射タイプである。半導体受光素子6は、InP基板といった基板6aと、この基板6a上に設けられた一又は複数の半導体層6bと、この半導体層6b内に設けられたP型半導体領域6cと備える。半導体受光素子6の表面にはアノード電極6dが設けられており、半導体受光素子6の裏面にはカソード電極6eが設けられている。また、必要に応じて、半導体受光素子6は、モノリシックレンズを備えることもできる。
【0080】
図10(B)を参照すると、搭載部品8の主面8aは、所定の軸に沿って設けられた第1〜第3のエリア8b、8c、8dを有する。主面8aの第1のエリア8bは、半導体受光素子6を搭載する搭載領域8eを有する。第2の支持溝13は、主面8aの第2のエリア8cの設けられている。また、第1の支持溝11は、主面8aの第3のエリア8dの設けられている。また、第1のエリア8bには、溝16が設けられている。溝16の一端には、反射面16aが設けられている。
反射面16aは、主面10aに対して傾斜している。好適な実施例では、反射面16aは金メッキされ、金メッキ層が形成される。搭載部品8は、溝16の一端に合わせて設けられている導電パターン16bを備える。導電パターン16bは、半導体受光素子6のカソードのために設けられている。
【0081】
光ファイバ5は第2の支持溝13に位置しており、光ファイバ5の一端からの光は、反射面16aにおいて反射されて、反射光になる。反射光は図10(D)に示されるように、カソード電極6eの開口を通過して半導体受光素子6の背面に入射する。半導体受光素子6は、入射光のパワーに応じて光電流を生成する。
【0082】
この光モジュール4によれば、第2の支持溝13は一端から他端に向けて浅くなっているので、溝内の光ファイバ5は第2の支持溝13から抗力を受ける。この力により、光ファイバ5は第2の支持溝13にしっかり収まる。この光モジュール1によれば、光ファイバを搭載部品に固定するために、ガラス板といった固定部材を用いることなく、光ファイバ5は第2の支持溝13に沿って伸びることになる。固定部材を用いないので、より高い精度で光ファイバを搭載部品に位置決めできる光モジュールが提供される。また裏面入射タイプの半導体受光素子の受光径は大きいので、光ファイバが湾曲しても、半導体受光素子に光ファイバを光学的に結合することができる。
【0083】
以上説明したように、この光モジュール4によれば、より高い精度で光ファイバを搭載部品に位置決めできる光モジュールが提供される。
【0084】
(第5の実施の形態)
図11は、光モジュールを示す図面である。光モジュール31は、光モジュール部品35と、リード端子部品37、ハウジング39とを備える。光モジュール部品35は、半導体光素子3と、光ファイバ5と、フェルール7と、搭載部品9とを備える。光モジュール部品35では、光ファイバ5が半導体光素子3に光学的に結合されるように、光ファイバ5およびフェルール7が搭載部品9上に位置決めされている。光ファイバ5およびフェルール7は、それぞれ、樹脂部材17a、17bを介して搭載部品9に固定されている。リード端子部品37は、例えばリードフレームであり、アイランド37aおよびリード端子37bを備える。
光モジュール部品35は、リード端子部品37のアイランド37a上に搭載されている。光モジュール部品35は、光ファイバ5を伝搬する光が透過できる樹脂から成る樹脂体41を備える。樹脂体41は、半導体光素子3および光ファイバ5の一端を覆うように設けられており、これにより、半導体光素子3と光ファイバ5との間の光経路は樹脂体41内に設けられる。ハウジング39は、その中に、光モジュール部品35を含んでいる。
【0085】
この光モジュール31によれば、光ファイバを搭載部材に固定するために、ガラス板といった固定部材を用いることなく、光ファイバ5は第2の支持溝に収まる。固定部材を用いないので、より高い精度で光ファイバを搭載部品に位置決めできる光モジュールが提供される。
【0086】
光モジュールには、低コストであることが求められている。この光モジュールによれば、ガラス板またはファイバホルダといった固定部材を使用しないので、光モジュールの構成部品の数が削減される。発明者は、低コストの光モジュールを開発するために検討した結果、光モジュールの構成部品の数を削減できる構造を見いだした。
【0087】
好適な実施の形態において本発明の原理を図示し説明してきたが、本発明は、そのような原理から逸脱することなく配置および詳細において変更され得ることは、当業者によって認識される。本発明は、本実施の形態に開示された特定の構成に限定されるものではない。例えば、搭載部品は、本実施の形態に記載された特定の構造に限定されない。また、必要ならば、搭載部品は、更なる電子部品を搭載することができる。半導体光素子は、半導体レーザといった半導体発光素子だけでなく、フォトダイオードといった半導体受光素子であることができる。したがって、特許請求の範囲およびその精神の範囲から来る全ての修正および変更に権利を請求する。
【0088】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、より高い精度で光ファイバを搭載部品に位置決めできる光モジュールが提供される。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、第1の実施の形態に係る光モジュールの構成部品を示す図面である。
【図2】図2(A)は、光モジュールを示す側面図である。図2(B)は、図1に示されたI−I線に沿った光モジュールを示す断面図である。図2(C)は、光モジュールを示す平面図である。
【図3】図3(A)は、図2(C)に示されたII−II線に沿った第1の支持溝を示す断面図である。図3(B)は、図2(C)に示されたIII−III線に沿った第2の支持溝を示す断面図である。図3(C)は、図2(C)に示されたIV−IV線に沿った第2の支持溝を示す断面図である。図3(D)は、搭載部品を示す平面図である。
【図4】図4(A)は、搭載部品の変形例を示す平面図である。図4(B)は、光モジュールの変形例を示す平面図である。図4(C)は、図4(B)に示されたV−V線に沿った断面図である。
【図5】図5(A)は、図4(A)に示されたVI−VI線に沿った第1の支持溝を示す断面図である。図5(B)は、図4(A)に示されたVII−VII線に沿った第2の支持溝を示す断面図である。図5(C)は、図4(A)に示されたVIII−VIII線に沿った第2の支持溝を示す断面図である。図5(D)は、図5(C)に示された断面の拡大を示す図面である。
【図6】図6(A)は、第2の実施の形態に係る搭載部品を示す平面図である。図6(B)は、図6(A)に示されたIX−IX線に沿った光モジュールを示す断面図である。図6(C)は、図6(A)に示されたIX−IX線に沿った搭載部品を示す断面図である。
【図7】図7(A)は、搭載部品を示す平面図である。図7(B)は、搭載部品の変形例を示す平面図である。
【図8】図8は、第3の実施の形態に係る光モジュールの構成部品を示す図面である。
【図9】図9(A)は、光モジュールを示す平面図である。図9(B)は、図9(A)に示されたX−X線に沿った第1の支持溝を示す断面図である。図9(C)は、図9(A)に示されたXI−XI線に沿った第1の支持溝を示す断面図である。図9(D)は、図9(A)に示されたXII−XII線に沿った第2の支持溝を示す断面図である。図9(E)は、図9(A)に示されたXIII−XIII線に沿った第2の支持溝を示す断面図である。
【図10】図10(A)および図10(B)は、第4の実施の形態に係る光モジュールを示す図面である。図10(C)および図10(D)は、本実施の形態の光モジュールのための半導体受光素子を示す図面である。
【図11】図11は、第5の実施の形態に係る光モジュールを示す図面である。
【符号の説明】
1、1a、2、2a、2b、4……光モジュール、3…半導体光素子、5…光ファイバ、5a…光ファイバの第1の部分、5b…光ファイバの第2の部分、6…半導体受光素子、7…フェルール、7a…フェルールの一端面、7b…フェルールの他端面、7c…フェルールの孔、8、9…搭載部品、9a…主面、9b、9c、9d…第1〜第3のエリア、10…搭載部品、10a…主面、10b〜10d…第1〜第3のエリア、11…第1の支持溝、11c、11d…第1及び第2の側面、11e、11f…支持部、13…第2の支持溝、13a…第2の支持溝の一端、13b…第2の支持溝の他端、13c、13d…第1及び第2の側面、14…搭載部、15…面取り部、15a、15b…傾斜面、17a、17b…樹脂体、14…第2の支持溝、14a…第2の支持溝の第1の部分、14b…第2の支持溝の第2の部分、14c、14d…第1及び第2の側面、14e…第2の支持溝の一端、14f…第2の支持溝の他端、16…溝、16a…反射面、19…搭載部品、21…搭載部品、23…第2の支持溝、23a…第2の支持溝の一端、23c、23d…第2の支持溝の側面、23e…第2の支持溝の一端、23f…第2の支持溝の他端、24…第2の支持溝、24a…第2の支持溝の第1の部分、24b…第2の支持溝の第2の部分、24c、24d…第2の支持溝の第1及び第2の側面、24e…第2の支持溝の一端、24f…第2の支持溝の他端、24g、24h…第2の支持溝の支持部、25…第2の支持溝、25a…第2の支持溝の側面、25a…第2の支持溝の一端、25b…第2の支持溝の他端、31…光モジュール、35…光モジュール部品、35a…アイランド、35b…リード端子、37…リード端子部品、39…ハウジング、R1〜R8…曲率半径
【発明の属する技術分野】
本発明は、光モジュールおよび搭載部品に関する。
【0002】
【従来の技術】
特許文献1には、光モジュールが示されている。この光モジュールでは、基板の中央部にファイバ搭載用溝と2本のガイドピン搭載用溝をSiの異方性エッチングで形成し、光素子搭載用マーカ上に光素子を配置させ半田で固定する。光ファイバは、基板のファイバ搭載用溝に合わされファイバ押さえ用溝を有するファイバホルダで樹脂固定している。ガイドピンは基板のガイドピン搭載用溝に合わされガイドピン押さえ用溝とファイバホルダ嵌合用溝を有するキャップで樹脂固定している(例えば、特許文献1)。
【0003】
【特許文献1】
特開平9−33765号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
文献に記載された光モジュールでは、光ファイバは、光ファイバ押さえ溝を有するファイバホルダおよび接着樹脂体を介して基板に固定されている。ファイバホルダには、比較的高い精度で光ファイバ押さえ溝を形成する必要がある。
【0005】
基板上において位置合わせされた光ファイバ上にファイバホルダを置く時、ファイバホルダから該光ファイバに力が加わって、光ファイバの位置をシフトさせることがある。
【0006】
そこで、本発明の目的は、より高い精度で光ファイバを搭載部品に位置決めできる光モジュールを提供することとしている。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明の一側面によれば、光モジュールは、(a)半導体光素子と、(b)半導体光素子に光学的に結合された光ファイバと、(c)光ファイバを保持するフェルールと、(d)フェルールを支持する第1の支持溝と、光ファイバを支持する第2の支持溝とを有しており半導体光素子を搭載する搭載部品とを備え、(e)第1及び第2の支持溝は所定の軸の方向に配列されており、第2の支持溝は一端および他端を有しており、第2の支持溝は一端から他端に向けて浅くなる。
【0008】
この光モジュールによれば、第2の支持溝は一端から他端に向けて浅くなっているので、光ファイバは第2の支持溝に収まる。
【0009】
また、光モジュールでは、光ファイバは、第1の支持面上の第1の支持部において支持されており、光ファイバは、第2の支持面上の第2の支持部において支持されており、所定の軸上の第1の位置における第1の支持部と第2の支持部との間隔は、所定の軸上の第2の位置における第1の支持部と第2の支持部との間隔より小さく、第2の支持溝の一端と第1の位置との距離は、第2の支持溝の一端と第2の位置との距離より大きい。
【0010】
この光モジュールによれば、第1の位置における第1の支持部と第2の支持部との間隔は、第2の位置における第1の支持部と第2の支持部との間隔より小さいので、光ファイバは第2の支持溝に収まる。
【0011】
本発明に係る光モジュールでは、搭載部品は、所定の面に沿って伸びる主面を有しており、第1の支持溝は主面に設けられており、光ファイバは、第2の支持溝において所定の面に対して傾斜する部分を有しており、光ファイバの該部分は、略直線に沿って伸びている。
【0012】
この光モジュールによれば、光ファイバの一部分は、第2の支持溝に沿って傾斜しながら第2の支持溝に収まる。
【0013】
本発明に係る光モジュールでは、傾斜の角度は4度以上12度以下であることができる。
【0014】
第2の支持溝の傾斜の角度が4度未満であると、傾斜による利点が光ファイバに十分に発揮されない。第2の支持溝の傾斜の角度が12度を超えると、光ファイバの屈曲が大きすぎる。
【0015】
本発明に係る光モジュールでは、搭載部品は、所定の面に沿って伸びる主面を有しており、第1の支持溝は主面に設けられており、光ファイバは、第2の支持溝において所定の面に対して傾斜する部分を有しており、光ファイバの該部分は、凸曲線を描いて伸びている。
【0016】
この光モジュールによれば、光ファイバの一部分は、凸曲線を描いて第2の支持溝に収まる。
【0017】
本発明に係る光モジュールでは、光ファイバの該部分は、略円弧に沿って伸びている。
【0018】
この光モジュールによれば、光ファイバの一部分は、略円弧を描いて第2の支持溝に収まる。
【0019】
本発明に係る光モジュールでは、光ファイバを搭載部品に固定する樹脂体を更に備えることができる。
【0020】
この光モジュールによれば、光ファイバが第2の支持溝に収まった状態で、光ファイバは搭載部品に樹脂体よって固定される。
【0021】
本発明に係る光モジュールでは、搭載部品はシリコン製であることができる。
【0022】
この光モジュールでは、シリコン製の搭載部品によれば、第1及び第2の支持溝をエッチングにより形成される。
【0023】
本発明に係る光モジュールでは搭載部品はセラミック製であることができる。
【0024】
この光モジュールでは、セラミック製の搭載部品によれば、低キャパシタンスの搭載部品が形成される。
【0025】
本発明に係る光モジュールでは、搭載部品は樹脂製であることができる。
【0026】
この光モジュールでは、樹脂製の搭載部品によれば、成形型の形状に応じて第2の支持溝が形成される。
【0027】
本発明に係る光モジュールでは、半導体光素子は、半導体発光素子および半導体受光素子のいずれかであることができる。光モジュールによれば、発光モジュールおよび受光モジュールが実現される。
【0028】
本発明に係る光モジュールでは、半導体光素子は、裏面入射タイプの半導体受光素子であり、搭載部品は、半導体受光素子を搭載する搭載領域と、搭載領域に設けられており光ファイバからの光を反射する反射面とをさらに備えることができる。裏面入射型の半導体受光素子の受光径は大きいので、傾斜する光ファイバからより多くの光を受けることができる。
【0029】
本発明の別の側面は、フェルールに保持された光ファイバを搭載する搭載部品である。この搭載部品は、(a)第1および第2のエリアを有する主面と、(b)主面の第1のエリアに設けられ光ファイバに光学的に結合される半導体光素子を搭載するための搭載部と、(c)主面の第2のエリアに設けられ光ファイバを支持するための第2の支持溝とを備え、(d)第2の支持溝は、一端及び他端を有しており、(e)第2の支持溝の深さは、一端から他端に向けて浅くなる。
【0030】
搭載部品よれば、第2の支持溝は、一端から他端に向けて浅くなっているので、光ファイバを第2の支持溝に収めるために役立つ。
【0031】
本発明の搭載部品では、主面は第3のエリアを有しており、第2のエリアは第1のエリアと第3のエリアとの間に設けられており、第3のエリアにはフェルールを支持するための第1の支持溝が設けられている。
【0032】
この搭載部品によれば、フェルールを支持する溝を設けることができる。
【0033】
本発明の上記の目的および他の目的、特徴、並びに利点は、添付図面を参照して進められる本発明の好適な実施の形態の以下の詳細な記述から、より容易に明らかになる。
【0034】
【発明の実施の形態】
本発明の知見は、例示として示された添付図面を参照して以下の詳細な記述を考慮することによって容易に理解できる。引き続いて、添付図面を参照しながら、本発明の半導体装置を製造する方法に係る実施の形態を説明する。可能な場合には、同一の部分には同一の符号を付する。
【0035】
(第1の実施の形態)
図1は本実施の形態に係る光モジュールの構成部品を示す図面である。図2(A)は光モジュールを示す側面図である。図2(B)は図1に示されたI−I線に沿った光モジュールを示す断面図である。図2(C)は光モジュールを示す平面図である。
【0036】
光モジュール1は、半導体光素子3と、光ファイバ5と、フェルール7と、搭載部品9とを備える。光ファイバ5は、半導体光素子3に光学的に結合されている。フェルール7は、光ファイバ5を保持している。搭載部品9は、フェルール7を支持する第1の支持溝11と、光ファイバ5を支持する第2の支持溝13とを有している。搭載部品9は、半導体光素子3を搭載している。第1及び第2の支持溝11,13は、所定の軸の方向に順に配列されている。第2の支持溝13は一端13aおよび他端13bを有している。第2の支持溝13は一端13aから他端13bに向けて浅くなる。
【0037】
この光モジュール1によれば、第2の支持溝13は一端13aから他端13bに向けて浅くなっているので、溝内の光ファイバ5は第2の支持溝13から抗力を受ける。この力により、光ファイバ5は第2の支持溝13にしっかり収まる。この光モジュール1によれば、光ファイバを搭載部品に固定するために、ガラス板といった固定部材を用いることなく、光ファイバ5は第2の支持溝13に沿って伸びることになる。固定部材を用いないので、より高い精度で光ファイバを搭載部品に位置決めできる光モジュールが提供される。
【0038】
光ファイバ5は、第1の部分5a及び第2の部分5bを有している。フェルール7は、光ファイバ5の第2の部分5bを保持している。フェルール7は、一端面7a及び他端面7bと、一端面7aから他端面7bに伸びる孔7cとを有する。光ファイバ5は、一端5c及び他端5dを有している。光ファイバ5の一端5cは、半導体光素子3の一端面3aに光学的に結合されている。光ファイバ5の他端5dは、フェルール7の他端面7bに現れている。
【0039】
搭載部品9は、フェルール7に保持された光ファイバ5と半導体光素子3とを搭載する。搭載部品9は、主面9aを有する。主面9aは、第1〜第3のエリア9b、9c、9dを有する。主面9aの第1のエリア9bは、搭載領域9eを備えており、光ファイバ5に光学的に結合される半導体光素子3を搭載する。第2の支持溝13は、主面9aの第2のエリア9cに設けられており、光ファイバ5を支持する。第1の支持溝11は、主面9aの第3のエリア9dに設けられており、フェルール7を支持している。
【0040】
第1の支持溝11はフェルール7を支持するための第1及び第2の側面11c、11dを有している。第2の支持溝13は光ファイバ5を支持するための第1及び第2の側面13c、13dを有している。第1の支持溝11の他端11bは、第2の支持溝13の一端13aにつながる。第1の支持溝11と第2の支持溝13との間には、面取り部15が設けられている。面取り部15は、傾斜面15a、15bを有する。傾斜面15a、15bは、それぞれ、第2の支持溝13の2側面13c、13dと第1の支持溝11の端面11eとを繋げる。第2の支持溝13の深さは、一端13aから他端13bに向けて浅くなる。図2(A)に示されるように、例えば、第1の支持溝11は深さD0を有する。また、第2の支持溝13の一端13aにおける深さDAは、他端13bにおける深さDBより大きい。第2の支持溝13は搭載部品9の主面9aに対して角度aで傾斜している。
【0041】
図2(B)を参照すると、光ファイバ5の第2の部分5bの光軸は、フェルール7内において基準軸AXに沿って伸びている。光ファイバ5の第2の部分5bにおいて、光ファイバ5の第1の部分5aの光軸と基準軸AXとの第1の位置P1における間隔は、光ファイバ5の第1の部分5aの光軸と基準軸AXとの第2の位置P2における間隔より大きい。基準軸AX上において、第2の支持溝13の一端13aと第1の位置P1との距離は、第2の支持溝13の一端13aと第2の位置P2との距離より大きい。
【0042】
第2の支持溝13の傾斜に従って、光ファイバ5の第1の部分5aは、搭載部品9の主面9aに対して角度aで傾斜している。光ファイバ5の端部5cは、基準面S1に沿って伸びる端面を有する。半導体光素子3の端面3aは基準面S2に沿って伸びている。基準面S1は基準面S2に対して傾斜している。この傾斜のため、光ファイバ5の端部5cの端面おいて反射された光が、半導体光素子3に戻らない。
【0043】
光モジュール1では、光ファイバ5の第2の部分5aは、略直線に沿って伸びている。光ファイバ5の第2の部分5aは、第2の支持溝13に沿って傾斜しながら第2の支持溝13に収まる。この傾斜の角度は4度以上12度以下であることができる。第2の支持溝の傾斜の角度が4度未満であると、傾斜による利点が光ファイバに十分に発揮されない。第2の支持溝の傾斜の角度が12度を超えると、光ファイバの屈曲が大きすぎる。第2の支持溝13の長さ4ミリメートル程度であるとき、光ファイバ5の一端5cにおける高さは、約280マイクロメートルから約850マイクロメートルである。光ファイバ5の第1の部分5aの傾斜は、光ファイバ5の端部5cの端面を傾斜させる。
【0044】
図2(B)および図2(C)を参照すると、光モジュール1は、光ファイバ5を搭載部品9に固定する樹脂体17aを更に備えることができる。光ファイバ5が第2の支持溝13に収まった状態で、光ファイバ5は搭載部品9に樹脂体17aよって固定される。光モジュール1は、フェルール7を搭載部品9に固定する樹脂体17bを更に備えることができる。フェルール7が第1の支持溝11に収まった状態で、フェルール7は搭載部品9に樹脂体17bよって固定される。樹脂体17aは、第2のエリアの設けられている。また、樹脂体17bは、第3のエリアの設けられている。
【0045】
図2(C)を参照すると、光モジュール1では、第1の側面13cと第2の側面13dとの間隔に関して、第1の位置P1における該間隔は、第2の位置P2における該間隔より小さい。これによって、搭載部品9において、第2の支持溝13の深さが変化している。
【0046】
光モジュール1では、搭載部品9はシリコン製であることができる。シリコン製の搭載部品9によれば、第1及び第2の支持溝11,13をエッチングにより形成される。また、搭載部品9はセラミック製であることができる。セラミック製の搭載部品9によれば、低キャパシタンスの搭載部品が形成される。さらに、搭載部品9は樹脂製であることができる。樹脂製の搭載部品9によれば、成形型の形状に応じて第2の支持溝が形成される。樹脂材の種類としては、例えば、エポキシ樹脂、液晶ポリマー樹脂を使用できる。
【0047】
光モジュール1では、半導体光素子3は、半導体発光素子および半導体受光素子のいずれかであることができる。半導体発光素子としては、半導体レーザ、発光ダイオード、半導体光増幅器、半導体光変調器が例示される。半導体受光素子としては、フォトダイオードが例示される。
【0048】
図3(A)は、図2(C)に示されたII−II線に沿った第1の支持溝を示す断面図である。図3(B)は、図2(C)に示されたIII−III線に沿った第2の支持溝を示す断面図である。図3(C)は、図2(C)に示されたIV−IV線に沿った第2の支持溝を示す断面図である。図3(D)は、搭載部品を示す平面図である。
【0049】
搭載部品9の第1の支持溝11は、第1及び第2の側面11c、11dを有しており、図3(A)に示されるように、台形の断面を有している。第2の支持溝13は、第1及び第2の側面13c、13dを有しており、図3(B)及び図13(C)に示されるように、V字形の断面を有している。図3(B)及び図13(C)を参照すると、第2の支持溝13は一端13aから他端13bに向けて浅くなる。
【0050】
図3(D)を参照すると、第1の支持溝11では、フェルール7は、第1の側面11c上の第1の支持部11e(波線で示される)において支持されている。フェルール7は、第2の側面11d上の第2の支持部11f(波線で示される)において支持されている。第2の支持溝13では、光ファイバ5は、第1の側面13c上の第1の支持部13e(波線で示される)において支持されている。光ファイバ5は、第2の側面13d上の第2の支持部13f(波線で示される)において支持されている。
【0051】
図3(D)には、所定の軸上の第1〜第3の位置P3、P4、P5が示されている。第1の位置P3において、第1の支持部と第2の支持部との間隔は、シンボルW1で示されている。第2の位置P4において、第1の支持部と第2の支持部との間隔は、シンボルW2で示されている。第3の位置P5において、第1の支持部と第2の支持部との間隔は、シンボルW3で示されている。本実施例では、間隔W1は間隔W2より大きく、間隔W2は間隔W3より大きい。この構造により、第2の支持溝13は、一端13aから他端13bに向けて浅くなる。この光モジュールによれば、光ファイバ5を支持する部位13e、13fが支持溝13の一端13aから離れるにつれて、第1の支持部13eと第2の支持部13fとの間隔はより小さくなり、これによって光ファイバ5は第2の支持溝に収まる。
【0052】
以上説明したように、この光モジュール1によれば、より高い精度で光ファイバを搭載部品に位置決めできる光モジュールが提供される。
【0053】
図4(A)は、搭載部品の変形例を示す平面図である。図4(B)は、光モジュールの変形例を示す平面図である。図4(C)は、図4(A)に示されたV−V線に沿った断面図である。図5(A)は、図4(A)に示されたVI−VI線に沿った第1の支持溝を示す断面図である。図5(B)は、図4(A)に示されたVII−VII線に沿った第2の支持溝を示す断面図である。図5(C)は、図4(A)に示されたVIII−VIII線に沿った第2の支持溝を示す断面図である。図5(D)は、図5(C)に示された断面の拡大を示す図面である。
【0054】
図4(A)および図4(B)を参照すると、光モジュール1aは、搭載部品9に替えて搭載部品10を備えている。搭載部品10は、第1の支持溝11および第2の支持溝14を備える。第2の支持溝14は、第1の部分14aおよび第2の部分14bを有する。
【0055】
図5(A)に示されるように、第1の支持溝11では、第1及び第2の側面11c、11dはフェルール7を支持している。第2の支持溝14の第1の部分14aは、第1及び第2の側面14c、14dを有している。図5(B)に示されるように、第1の部分14aでは、第1及び第2の側面14c、14dが光ファイバ5を支持している。図5(C)および図5(D)に示されるように、第2の部分14bでは、第2の支持溝14のエッジが光ファイバ5を支持している。第2の支持溝14は、一端14eから他端14fに向けて浅くなる。
【0056】
図4(C)を参照すると、光ファイバ5の第2の部分5bの光軸は、フェルール7内において基準軸AXに沿って伸びている。光ファイバ5の第2の部分5bにおいて、光ファイバ5の第1の部分5aの光軸と基準軸AXとの第6の位置P6における間隔は、光ファイバ5の第1の部分5aの光軸と基準軸AXとの第7の位置P7における間隔より小さい。基準軸AX上において、第2の支持溝13の一端13aと第6の位置P6との距離は、第2の支持溝13の一端13aと第7の位置P7との距離より小さい。第2の支持溝14の傾斜に従って、光ファイバ5の第1の部分5aは、搭載部品9の主面9aに対して角度bで傾斜している。
【0057】
光モジュール1では、光ファイバ5の第2の部分5aは、略直線に沿って伸びている。光ファイバ5の第2の部分5aは、第2の支持溝14に沿って傾斜しながら第2の支持溝14に収まる。この傾斜の角度は4度以上12度以下であることができる。
【0058】
図4(B)および図4(C)を参照すると、光モジュール1aは、光ファイバ5を搭載部品10に固定する樹脂体17aを更に備えることができる。光ファイバ5が第2の支持溝14に収まった状態で、光ファイバ5は搭載部品9に樹脂体17aよって固定される。光モジュール1aは、フェルール7を搭載部品10に固定する樹脂体17bを更に備えることができる。フェルール7が第1の支持溝11に収まった状態で、フェルール7は搭載部品10に樹脂体17bよって固定される。主面10aの第1のエリア10bには、半導体光素子3が搭載されている。
樹脂体17aは、主面10aの第2のエリア10cの設けられている。また、樹脂体17bは、主面10aの第3のエリア10dの設けられている。
【0059】
また、図4(A)を参照すると、光モジュール1aでは、第1の側面14cと第2の側面14dとの間隔に関して、第6の位置P6における該間隔は、第7の位置P7における該間隔より小さい。これによって、搭載部品10において、第2の支持溝14の深さが変化している。
【0060】
以上説明したように、この光モジュール1によれば、より高い精度で光ファイバを搭載部品に位置決めできる光モジュールが提供される。
【0061】
(第2の実施の形態)
図6(A)は本実施の形態の搭載部品を示す平面図である。図6(B)は図6(A)に示されたIX−IX線に沿って光モジュールを示す断面図である。図6(C)は図6(A)に示されたIX−IX線に沿って搭載部品を示す断面図である。図7(A)は搭載部品を示す平面図である。図7(B)は搭載部品の変形例を示す平面図である。
【0062】
図6(A)を参照すると、光モジュール2において、搭載部品19は、第1の支持溝11および第2の支持溝23を備える。第2の支持溝23の底は、図6(C)に示されるように、凸曲線に沿って伸びている。一実施例では、凸曲線は、曲率半径R1の実質的な円弧で表されることができる。
【0063】
図6(B)を参照すると、光ファイバ5の第2の部分5bの光軸は、フェルール7内において基準軸AXに沿って伸びている。光ファイバ5の第2の部分5bにおいて、第8の位置P8における光ファイバ5の第1の部分5aの光軸と基準軸AXとの間隔W8は、第9の位置P9における光ファイバ5の第1の部分5aの光軸と基準軸AXとの間隔W9より小さい。基準軸AX上において、第2の支持溝23の一端23aと第8の位置P8との距離は、第9の支持溝23の一端23aと第9の位置P9との距離より小さい。第2の支持溝23の傾斜に従って、光ファイバ5の第1の部分5aは、搭載部品9の主面9aに対して曲率R2で屈曲している。例示的な曲率半径は、第2の支持溝23の長さが4ミリメートル程度であるとき、30ミリメートル程度である。好適な曲率半径の範囲は、10ミリメートル以上60ミリメートル以下である。曲率半径が上記最小値未満であると、光ファイバの屈曲が大きすぎる。曲率半径が上記最大値を超えると、屈曲による利点が光ファイバに十分に発揮されない。
【0064】
図6(B)を参照すると、光モジュール2は、光ファイバ5を搭載部品19に固定する樹脂体17aを更に備えることができる。光モジュール2は、フェルール7を搭載部品19に固定する樹脂体17bを更に備えることができる。
【0065】
図6(A)を参照すると、光モジュール2では、第1の側面23cと第2の側面23dとの間隔に関して、第8の位置P8における該間隔は、第9の位置P9における該間隔より大きい。これによって、搭載部品19において、第2の支持溝23の深さが変化している。
【0066】
また、第2の支持溝23のエッジは、凸曲線を描いており。第2の支持溝23の側面23c、23dの各々は、凸曲線に沿って伸びている。この光モジュール2によれば、光ファイバの一部分は、凸曲線を描いて第2の支持溝に収まる。一実施例では、第2の支持溝23の側面23cは、曲率半径R3の円弧に沿って伸びている。第2の支持溝23の側面23dは、曲率半径R4(実質的に曲率半径R3に等しい)の円弧に沿って伸びている。この光モジュールによれば、光ファイバの一部分は、略円弧を描いて第2の支持溝に収まる。第2の支持溝23は、一端23eから他端23fに向けて浅くなる。
【0067】
図7(A)は、搭載部品を示す平面図である。図7(A)を参照すると、第2の支持溝23は、支持部(破線で表される)23e、23fにおいて、光ファイバ5を支持している。支持部23e、23fの各々は、凸曲線に沿って伸びている。一実施例では、第2の支持溝23の支持部23eは、曲率半径R5の円弧に沿って伸びている。第2の支持溝23の支持部23fは、曲率半径R6(実質的に曲率半径R6に等しい)の円弧に沿って伸びている。
【0068】
以上説明したように、この光モジュール2によれば、より高い精度で光ファイバを搭載部品に位置決めできる光モジュールが提供される。
【0069】
図7(B)は、搭載部品の変形例を示す平面図である。図7(B)を参照すると、光モジュール2aは、搭載部品19に替えて搭載部品20を備えている。搭載部品20は、第1の支持溝11および第2の支持溝24を備える。第2の支持溝24は、第1の部分24aおよび第2の部分24bを有する。第2の支持溝24の第1の部分24aは、第1及び第2の側面24c、24dを有している。図5(B)に示される実施例のように、第1の部分24aでは、第1及び第2の側面24c、24dが光ファイバ5を支持している。図5(C)および図5(D)に示される実施例のように、第2の部分24bでは、第2の支持溝24のエッジが光ファイバ5を支持している。第2の支持溝24は、一端24eから他端24fに向けて浅くなる。
【0070】
また、第2の支持溝43のエッジは、凸曲線を描いており。第2の支持溝24の側面24c、24dの各々は、凸曲線に沿って伸びている。この光モジュール2aによれば、光ファイバの一部分は、凸曲線を描いて第2の支持溝24に収まる。一実施例では、第2の支持溝24の側面24cは、曲率半径R5の円弧に沿って伸びている。第2の支持溝24の側面24dは、曲率半径R6(実質的に曲率半径R5に等しい)の円弧に沿って伸びている。この光モジュール2aによれば、光ファイバの一部分は、略円弧を描いて第2の支持溝に収まる。第2の支持溝23は、一端24eから他端24fに向けて浅くなる。
【0071】
第2の支持溝24は、支持部24g、24hでは、光ファイバ5を支持している。支持部24g、24hの各々は凸曲線に沿って伸びている。一実施例では、第2の支持溝24の支持部24gは曲率半径R7の円弧に沿って伸びている。第2の支持溝24の支持部24hは曲率半径R8の円弧に沿って伸びている。
【0072】
以上説明したように、この光モジュール2によれば、より高い精度で光ファイバを搭載部品に位置決めできる光モジュールが提供される。
【0073】
(第3の実施の形態)
図8は、本実施の形態に係る光モジュールの構成部品を示す図面である。図9(A)は光モジュールを示す平面図である。図9(B)は図9(A)に示されたX−X線に沿った第1の支持溝を示す断面図である。図9(C)は図9(A)に示されたXI−XI線に沿った第2の支持溝を示す断面図である。図9(D)は図9(A)に示されたXII−XII線に沿った第2の支持溝を示す断面図である。図9(E)は図9(A)に示されたXIII−XIII線に沿った第2の支持溝を示す断面図である。
【0074】
図8を参照すると、光モジュール2bは、半導体光素子3と、光ファイバ5と、フェルール7と、搭載部品21とを備える。搭載部品21は、フェルール7を支持する第1の支持溝11と、光ファイバ5を支持する第2の支持溝25とを有している。搭載部品21は、半導体光素子3を搭載している。第1及び第2の支持溝11,25は、所定の軸の方向に順に配列されている。第2の支持溝25は一端13aおよび他端25bを有している。
【0075】
図9(C)〜図9(E)を参照すると、第2の支持溝25は、側面25aを有している。本実施の形態では、第2の支持溝25の側面25cは、光ファイバ5を支持する支持面として働く。第2の支持溝25の断面は、凸曲線によって表される。一実施例では、第2の支持溝25の断面は、円弧によって表される。この円弧の曲率は、例えば、光ファイバ5の外周線の曲率半径に実質的に等しいか、あるいはやや大きい。第2の支持溝25は一端25aから他端25bに向けて浅くなっている。
【0076】
この光モジュール2bによれば、第2の支持溝25の一端25aから他端25bに向けて浅くなっているので、光ファイバ5は第2の支持溝25から力を受ける。この力により、光ファイバ5は第2の支持溝25に収まる。この光モジュール2bによれば、光ファイバ5を搭載部材21に固定するために、ガラス板といった固定部材を用いることなく、光ファイバ5は第2の支持溝25に収まる。固定部材を用いないので、より高い精度で光ファイバを搭載部品に位置決めできる光モジュールが提供される。
【0077】
(第4の実施の形態)
図10(A)および図10(B)は、第4の実施の形態に係る光モジュールを示す図面である。図10(C)および図10(D)は、本実施の形態の光モジュールのための半導体受光素子を示す図面である。
【0078】
図10(A)および図10(B)を参照すると、光モジュール4は、搭載部品9に替えて搭載部品8を備えている。光モジュール4は、半導体受光素子6と、光ファイバ5と、フェルール7と、搭載部品8とを備える。光ファイバ5は、半導体受光素子6に光学的に結合されている。フェルール7は、光ファイバ5を保持している。搭載部品8は、半導体受光素子6を搭載している。搭載部品8は、第1の支持溝11および第2の支持溝13を備える。
【0079】
図10(C)および図10(D)に示されるように、本実施の形態では、半導体受光素子6は、裏面入射タイプである。半導体受光素子6は、InP基板といった基板6aと、この基板6a上に設けられた一又は複数の半導体層6bと、この半導体層6b内に設けられたP型半導体領域6cと備える。半導体受光素子6の表面にはアノード電極6dが設けられており、半導体受光素子6の裏面にはカソード電極6eが設けられている。また、必要に応じて、半導体受光素子6は、モノリシックレンズを備えることもできる。
【0080】
図10(B)を参照すると、搭載部品8の主面8aは、所定の軸に沿って設けられた第1〜第3のエリア8b、8c、8dを有する。主面8aの第1のエリア8bは、半導体受光素子6を搭載する搭載領域8eを有する。第2の支持溝13は、主面8aの第2のエリア8cの設けられている。また、第1の支持溝11は、主面8aの第3のエリア8dの設けられている。また、第1のエリア8bには、溝16が設けられている。溝16の一端には、反射面16aが設けられている。
反射面16aは、主面10aに対して傾斜している。好適な実施例では、反射面16aは金メッキされ、金メッキ層が形成される。搭載部品8は、溝16の一端に合わせて設けられている導電パターン16bを備える。導電パターン16bは、半導体受光素子6のカソードのために設けられている。
【0081】
光ファイバ5は第2の支持溝13に位置しており、光ファイバ5の一端からの光は、反射面16aにおいて反射されて、反射光になる。反射光は図10(D)に示されるように、カソード電極6eの開口を通過して半導体受光素子6の背面に入射する。半導体受光素子6は、入射光のパワーに応じて光電流を生成する。
【0082】
この光モジュール4によれば、第2の支持溝13は一端から他端に向けて浅くなっているので、溝内の光ファイバ5は第2の支持溝13から抗力を受ける。この力により、光ファイバ5は第2の支持溝13にしっかり収まる。この光モジュール1によれば、光ファイバを搭載部品に固定するために、ガラス板といった固定部材を用いることなく、光ファイバ5は第2の支持溝13に沿って伸びることになる。固定部材を用いないので、より高い精度で光ファイバを搭載部品に位置決めできる光モジュールが提供される。また裏面入射タイプの半導体受光素子の受光径は大きいので、光ファイバが湾曲しても、半導体受光素子に光ファイバを光学的に結合することができる。
【0083】
以上説明したように、この光モジュール4によれば、より高い精度で光ファイバを搭載部品に位置決めできる光モジュールが提供される。
【0084】
(第5の実施の形態)
図11は、光モジュールを示す図面である。光モジュール31は、光モジュール部品35と、リード端子部品37、ハウジング39とを備える。光モジュール部品35は、半導体光素子3と、光ファイバ5と、フェルール7と、搭載部品9とを備える。光モジュール部品35では、光ファイバ5が半導体光素子3に光学的に結合されるように、光ファイバ5およびフェルール7が搭載部品9上に位置決めされている。光ファイバ5およびフェルール7は、それぞれ、樹脂部材17a、17bを介して搭載部品9に固定されている。リード端子部品37は、例えばリードフレームであり、アイランド37aおよびリード端子37bを備える。
光モジュール部品35は、リード端子部品37のアイランド37a上に搭載されている。光モジュール部品35は、光ファイバ5を伝搬する光が透過できる樹脂から成る樹脂体41を備える。樹脂体41は、半導体光素子3および光ファイバ5の一端を覆うように設けられており、これにより、半導体光素子3と光ファイバ5との間の光経路は樹脂体41内に設けられる。ハウジング39は、その中に、光モジュール部品35を含んでいる。
【0085】
この光モジュール31によれば、光ファイバを搭載部材に固定するために、ガラス板といった固定部材を用いることなく、光ファイバ5は第2の支持溝に収まる。固定部材を用いないので、より高い精度で光ファイバを搭載部品に位置決めできる光モジュールが提供される。
【0086】
光モジュールには、低コストであることが求められている。この光モジュールによれば、ガラス板またはファイバホルダといった固定部材を使用しないので、光モジュールの構成部品の数が削減される。発明者は、低コストの光モジュールを開発するために検討した結果、光モジュールの構成部品の数を削減できる構造を見いだした。
【0087】
好適な実施の形態において本発明の原理を図示し説明してきたが、本発明は、そのような原理から逸脱することなく配置および詳細において変更され得ることは、当業者によって認識される。本発明は、本実施の形態に開示された特定の構成に限定されるものではない。例えば、搭載部品は、本実施の形態に記載された特定の構造に限定されない。また、必要ならば、搭載部品は、更なる電子部品を搭載することができる。半導体光素子は、半導体レーザといった半導体発光素子だけでなく、フォトダイオードといった半導体受光素子であることができる。したがって、特許請求の範囲およびその精神の範囲から来る全ての修正および変更に権利を請求する。
【0088】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、より高い精度で光ファイバを搭載部品に位置決めできる光モジュールが提供される。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、第1の実施の形態に係る光モジュールの構成部品を示す図面である。
【図2】図2(A)は、光モジュールを示す側面図である。図2(B)は、図1に示されたI−I線に沿った光モジュールを示す断面図である。図2(C)は、光モジュールを示す平面図である。
【図3】図3(A)は、図2(C)に示されたII−II線に沿った第1の支持溝を示す断面図である。図3(B)は、図2(C)に示されたIII−III線に沿った第2の支持溝を示す断面図である。図3(C)は、図2(C)に示されたIV−IV線に沿った第2の支持溝を示す断面図である。図3(D)は、搭載部品を示す平面図である。
【図4】図4(A)は、搭載部品の変形例を示す平面図である。図4(B)は、光モジュールの変形例を示す平面図である。図4(C)は、図4(B)に示されたV−V線に沿った断面図である。
【図5】図5(A)は、図4(A)に示されたVI−VI線に沿った第1の支持溝を示す断面図である。図5(B)は、図4(A)に示されたVII−VII線に沿った第2の支持溝を示す断面図である。図5(C)は、図4(A)に示されたVIII−VIII線に沿った第2の支持溝を示す断面図である。図5(D)は、図5(C)に示された断面の拡大を示す図面である。
【図6】図6(A)は、第2の実施の形態に係る搭載部品を示す平面図である。図6(B)は、図6(A)に示されたIX−IX線に沿った光モジュールを示す断面図である。図6(C)は、図6(A)に示されたIX−IX線に沿った搭載部品を示す断面図である。
【図7】図7(A)は、搭載部品を示す平面図である。図7(B)は、搭載部品の変形例を示す平面図である。
【図8】図8は、第3の実施の形態に係る光モジュールの構成部品を示す図面である。
【図9】図9(A)は、光モジュールを示す平面図である。図9(B)は、図9(A)に示されたX−X線に沿った第1の支持溝を示す断面図である。図9(C)は、図9(A)に示されたXI−XI線に沿った第1の支持溝を示す断面図である。図9(D)は、図9(A)に示されたXII−XII線に沿った第2の支持溝を示す断面図である。図9(E)は、図9(A)に示されたXIII−XIII線に沿った第2の支持溝を示す断面図である。
【図10】図10(A)および図10(B)は、第4の実施の形態に係る光モジュールを示す図面である。図10(C)および図10(D)は、本実施の形態の光モジュールのための半導体受光素子を示す図面である。
【図11】図11は、第5の実施の形態に係る光モジュールを示す図面である。
【符号の説明】
1、1a、2、2a、2b、4……光モジュール、3…半導体光素子、5…光ファイバ、5a…光ファイバの第1の部分、5b…光ファイバの第2の部分、6…半導体受光素子、7…フェルール、7a…フェルールの一端面、7b…フェルールの他端面、7c…フェルールの孔、8、9…搭載部品、9a…主面、9b、9c、9d…第1〜第3のエリア、10…搭載部品、10a…主面、10b〜10d…第1〜第3のエリア、11…第1の支持溝、11c、11d…第1及び第2の側面、11e、11f…支持部、13…第2の支持溝、13a…第2の支持溝の一端、13b…第2の支持溝の他端、13c、13d…第1及び第2の側面、14…搭載部、15…面取り部、15a、15b…傾斜面、17a、17b…樹脂体、14…第2の支持溝、14a…第2の支持溝の第1の部分、14b…第2の支持溝の第2の部分、14c、14d…第1及び第2の側面、14e…第2の支持溝の一端、14f…第2の支持溝の他端、16…溝、16a…反射面、19…搭載部品、21…搭載部品、23…第2の支持溝、23a…第2の支持溝の一端、23c、23d…第2の支持溝の側面、23e…第2の支持溝の一端、23f…第2の支持溝の他端、24…第2の支持溝、24a…第2の支持溝の第1の部分、24b…第2の支持溝の第2の部分、24c、24d…第2の支持溝の第1及び第2の側面、24e…第2の支持溝の一端、24f…第2の支持溝の他端、24g、24h…第2の支持溝の支持部、25…第2の支持溝、25a…第2の支持溝の側面、25a…第2の支持溝の一端、25b…第2の支持溝の他端、31…光モジュール、35…光モジュール部品、35a…アイランド、35b…リード端子、37…リード端子部品、39…ハウジング、R1〜R8…曲率半径
Claims (14)
- 半導体光素子と、
前記半導体光素子に光学的に結合された光ファイバと、
前記光ファイバを保持するフェルールと、
フェルールを支持する第1の支持溝と、光ファイバを支持する第2の支持溝とを有しており前記半導体光素子を搭載する搭載部品とを備え、
前記第1及び第2の支持溝は、所定の軸の方向に配列されており、
前記第2の支持溝は一端および他端を有しており、
前記第2の支持溝は前記一端から前記他端に向けて浅くなる、光モジュール。 - 前記第2の支持溝は、光ファイバを支持する前記所定の軸の方向に伸びる第1及び第2の側面を有しており、
前記光ファイバは、前記第1の支持面上の第1の支持部において支持されており、
前記光ファイバは、前記第2の支持面上の第2の支持部において支持されており、
前記所定の軸上の第1の位置における前記第1の支持部と前記第2の支持部との間隔は、前記所定の軸上の第2の位置における前記第1の支持部と前記第2の支持部との間隔より小さく、
前記第2の支持溝の一端と前記第1の位置との距離は、前記第2の支持溝の一端と前記第2の位置との距離より大きい、請求項1に記載の光モジュール。 - 前記搭載部品は、所定の面に沿って伸びる主面を有しており、
前記第1の支持溝は前記主面に設けられており、
前記光ファイバは、前記第2の支持溝において前記所定の面に対して傾斜する部分を有しており、
前記光ファイバの該部分は、略直線に沿って伸びている、請求項1または請求項2に記載の光モジュール。 - 前記傾斜の角度は4度以上12度以下である、請求項3に記載の光モジュール。
- 前記搭載部品は、所定の面に沿って伸びる主面を有しており、
前記第1の支持溝は前記主面に設けられており、
前記光ファイバは、前記第2の支持溝において前記所定の面に対して傾斜する部分を有しており、
前記光ファイバの該部分は、凸曲線に沿って伸びている、請求項1または請求項2のいずれかに記載の光モジュール。 - 前記光ファイバの該部分は、略円弧に沿って伸びている、請求項5に記載の光モジュール。
- 前記光ファイバを前記搭載部品に固定する樹脂体を更に備える、請求項1〜請求項6のいずれかに記載の光モジュール。
- 前記搭載部品はシリコン製である、請求項1〜請求項7のいずれかに記載の光モジュール。
- 前記搭載部品はセラミック製である、請求項1〜請求項7のいずれかに記載の光モジュール。
- 前記搭載部品は樹脂製である、請求項1〜請求項7のいずれかに記載の光モジュール。
- 前記半導体光素子は、半導体発光素子および半導体受光素子のいずれかである、請求項1〜請求項10のいずれかに記載の光モジュール。
- 前記半導体光素子は、裏面入射タイプの半導体受光素子であり、
前記搭載部品は、前記半導体受光素子を搭載する搭載領域と、前記搭載領域に設けられており光ファイバからの光を反射する反射面とをさらに備える、請求項1〜請求項10のいずれかに記載の光モジュール。 - フェルールに保持された光ファイバを搭載する搭載部品であって、
第1および第2のエリアを有する主面と、
前記主面の前記第1のエリアに設けられ前記光ファイバに光学的に結合される半導体光素子を搭載するための搭載部と、
前記主面の前記第2のエリアに設けられ光ファイバを支持するための第2の支持溝とを備え、
前記第2の支持溝は、一端及び他端を有しており、
前記第2の支持溝の深さは、前記一端から前記他端に向けて浅くなる、搭載部品。 - 前記主面は、第3のエリアを有しており、
前記第2のエリアは、前記第1のエリアと前記第3のエリアとの間に設けられており、
前記第3のエリアには、フェルールを支持するための第1の支持溝が設けられている、請求項13に記載の搭載部品。
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