JP2004531443A - アルカリ金属不含のアルミノホウケイ酸塩および使用 - Google Patents
アルカリ金属不含のアルミノホウケイ酸塩および使用 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004531443A JP2004531443A JP2002576166A JP2002576166A JP2004531443A JP 2004531443 A JP2004531443 A JP 2004531443A JP 2002576166 A JP2002576166 A JP 2002576166A JP 2002576166 A JP2002576166 A JP 2002576166A JP 2004531443 A JP2004531443 A JP 2004531443A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass
- less
- aluminoborosilicate glass
- sro
- weight
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C3/00—Glass compositions
- C03C3/04—Glass compositions containing silica
- C03C3/076—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
- C03C3/089—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron
- C03C3/091—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron containing aluminium
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
Abstract
Description
【0001】
本発明の対象は、アルカリ金属不含のアルミノホウケイ酸塩である。また、本発明の対象は、このガラスの使用である。
【0002】
液晶フラットディスプレイ技術、例えばTN(Twisted Nematic)/STN(Super Twisted Nematic)ディスプレイ、アクティブマトリックス液晶ディスプレイ(AMLCD’s)、薄膜トランジスタ(TFT’s)またはプラズマアドレスド液晶(PALC’s)における支持体としての使用のためのガラスには、高度な要件が課されている。平面画像スクリーンの製造法に使用される攻撃的な化学薬品に関連する高い温度交換安定性ならびに良好な耐性と共に、ガラスは、幅広いスペクトル範囲(VIS、UV)により高い透明度ならびに質量節約のために僅かな密度を有していなければならない。更に、例えば、TFTディスプレイにおける組み込まれた半導体回路のための担持材料としての使用(”chip on glss”)は、薄膜材料のシリコンに対する熱的適合化を必要とする。この薄膜材料は、通常、無定形シリコン(a−Si)として300℃までの低い温度でガラス支持体上に析出される。約600℃の温度での次の熱処理により、無定形シリコンは、部分的に再結晶化される。生じる部分的に結晶性のポリ−Si−層は、a−Si−含量のためにα20/300≒3.7×10−6/Kの熱膨張の値によって特性決定されている。a−Si対ポリ−Siの比に応じて、熱膨張係数α20/300は、2.9・10−6/K〜4.2・10−6/Kの間で変動する。700℃を上廻る高温熱処理またはCVD処理による直接的な析出によって十分に結晶性のSi層を発生させる場合には、また光起電力技術においても、3.2×10−6/Kまでまたはそれ以下の明らかに減少された熱膨脹係数を有する支持体が必要とされる。更に、ディスプレイ技術および光起電力技術への使用のためには、アルカリ金属イオンの不在が前提となる。製造に応じた、1500ppm未満の酸化ナトリウムの含量は、一般に”毒化”作用に関連して半導体層中へのNa+の拡散によってなお許容することができる。
【0003】
適当なガラスは、大工業的に十分な品質(膨れ、結節、封入物なし)で、例えばフロート装置上でかまたは引き上げ法で経済的に製造可能であるべきである。特に、引き上げ法による少ない表面波状性の薄い(1mm未満)縞模様なしの支持体の製造は、ガラスの高い失透安定性を必要とする。殊に、TFTディスプレイの場合に製造の間に半導体微細構造対に不利に作用する、支持体の収縮(”圧密化(compaction)”)に抵抗するために、ガラスは、適当な温度依存性の粘度特性曲線を必要とする:熱的処理安定性および形状安定性に関連して、一面で、ガラスは、高すぎない溶融温度および加工(VA)温度、即ち1350℃以下の場合に十分に高い転移温度、即ち700℃を超えるTgを有するべきである。
【0004】
また、LCDディスプレイ技術または薄膜−光起電力技術のためのガラス支持体に対する要求は、J.C. Lappの”Glass Substrates for AMLCD applications: properties and implications”, SPIE Proceedings, Vol. 3014, Invited paper (1997)またはJ. Schmidの”Photovoltaik-Strom aus der Sonne”, Verlag C.F. Mueller, Heidelberg 1994に記載されている。
【0005】
大型のディスプレイ形式への移行に伴なって、生産の視点から、ガラス支持体の機械的安定性および特殊な質量に対する新規の要件がもたらされている。現在の600m×720mmの大きさのガラス板から例えば1m×1mおよびそれ以上の大きさのガラス板に移行する場合には、質量は、相応して上昇するであろうし、このことは、1つの製造処理工程から別の製造処理工程へのガラス板の移行のために、なかんずくロボットの購入に対して作用を及ぼすであろう。従って、”弾性弛み”、即ち固有の質量に基づくガラス板の弛みを最少化するために、2.55g/cm3未満の僅かな密度との組合せで80GPaを超える、有利に85GPa以上のE弾性率を有するガラスが望ましい。また、それによって、ガラス板の反り返りの危険は、ガラス支持体を活性のシリコン層で被覆した場合に最少化される。
【0006】
”Mechanical Properties of AMLCD Glass Substrates”, Proceedings of the XVIII International Congress on Glass, San Francisco, CA, USA, July 5-10, 1998に記載されたガラスは、これに関連して明らかな欠点を有している。
【0007】
同様のことは、以下に記載された、ディスプレイ用支持体または太陽電池用支持体のためのガラスにも当てはまる。
【0008】
このガラスは、記載された使用のための全目録の要求を満たすものではない。
【0009】
数多くの刊行物、即ち例えばWO97/11919、WO 97/11920、米国特許第5374595号明細書、WO 00/32528、特開平9−156953号公報、特開平10−72237号公報、欧州特許第714862号明細書、欧州特許第341313号明細書、ドイツ連邦共和国特許第19603698号明細書C1、ドイツ連邦共和国特許第19617344号明細書C1、ドイツ連邦共和国特許出願公開第4213579号明細書およびWO 98/27019には、それに基づいて要求された高い機械的安定性を有しないMgO不含のガラスまたはMgO貧有のガラスが記載されている。
【0010】
若干の前記ガラスならびにドイツ連邦共和国特許第19739912号明細書C1に記載のガラスならびに実施例に基づき特開平9−48632号公報は、重いアルカリ土類金属酸化物BaOおよび/またはSrOの比較的高い含量を有し、このことは、劣悪な溶融可能性をまねく。更に、このようなガラスは、望ましくない高い密度を有し、このことは、殊に大型のディスプレイにとって不利である。
【0011】
実際に、例えば特開平8−295530号公報に記載されているように、高い硼酸含量を有するガラスは、低い溶融温度のために簡単に溶融可能であるが、しかし、十分な温度安定性および殊に塩酸溶液に対して十分な化学的安定性を有していない。また、このガラスは、早期に低いE弾性率を有する。
【0012】
ドイツ連邦共和国特許出願公開第19601922号明細書A1には、極めて変動しうる組成範囲からなるSnO含有ガラスが記載されている。実施例に基づきMgO貧有のガラス、B2O3富有のガラスおよびBaO富有のガラスは、強制的なZrO2含量のためにガラスに傷を生じる傾向にある。
【0013】
未審査の公開公報の特開平10−25132号公報、特開平10−114538号公報、特開平10−130034号公報、特開平10−59741号公報、特開平10−324526号公報、特開平11−43350号公報、特開平11−49520号公報、特開平10−231139号公報、特開平10−139467号公報および特開平11−292563号公報およびJP2000−159541Aには、多数の自由選択成分で変動可能な極めて大きい、ディスプレイ用ガラスのための組成範囲が記載されており、この場合には、それぞれ1つまたはそれ以上の一定の清澄剤が添加される。しかし、これらの刊行物には、意図的に完全に記載された要件プロフィールを有するガラスを得ることができることは指摘されていない。
【0014】
本発明の課題は、殊に多結晶性Siを基礎とする、液晶ディスプレイ、殊にTFTディスプレイおよび薄膜太陽電池のためのガラス支持体に課されている、物理的性質および化学的性質に関連する記載された複雑な要件プロフィールを満足させるガラス、高い温度安定性、処理に有利な加工範囲、高い化学的安定性および殊に十分な機械的強度を有するガラスを提供することである。
【0015】
この課題は、請求項1記載の組成範囲からなるアルカリ金属不含のアルミノホウケイ酸塩ガラスによって解決される。このガラスは、SiO258〜70質量%を含有する。よりいっそう少ない含量の場合には、化学的安定性は劣化し、よりいっそう高い含量の場合には、熱膨張係数は、僅かな値を取り、ガラスの結晶化傾向は、増大する。好ましいのは、68質量%の最大含量である。
【0016】
ガラスは、Al2O310〜25質量%を含有する。それによって、ガラスの失透強さ(Entglasungsfestigkeit)は、プラスに影響を及ぼされ、熱安定性は、上昇し、この場合には、加工温度は、あまり上昇することがない。好ましいのは、Al2O314〜24質量%の含量である。
【0017】
B2O3含量は、0.5ないし9質量%未満である。B2O3含量は、高い機械的安定性を達成するために、記載された最も高い含量に限定されている。また、よりいっそう高い含量は、塩酸溶液に対する化学的安定性を劣化させるであろう。B2O3の記載された最も少ない含量は、ガラスの良好な溶融可能性および良好な失透強さの保証に使用される。好ましいのは、1〜8.5質量%の含量である。特に好ましいのは、5質量%の最も高い含量である。
【0018】
本質的なガラス成分は、網状組織を変化させるアルカリ土類金属酸化物である。アルカリ土類金属酸化物の総和が8質量%を上廻り18質量%までの間にある場合には、熱膨張係数α20/300は、2.8・10−6/K〜3.9・10−6/Kの間に到達する。MgOは、絶えず存在し、一方で、CaO、SrOおよびBaOは、自由選択成分である。有利に、少なくとも2つのアルカリ土類金属酸化物が存在する。特に好ましいのは、前記の第2のアルカリ土類金属酸化物CaOである。特に有利には、3つのアルカリ土類金属酸化物が存在する。
【0019】
ガラスは、MgOを8質量%を上廻り15質量%まで含有する。この比較的高い含量は、高められた要件に対して十分に高いE弾性率および低い密度を有するガラスを可能にする。
【0020】
特に、MgOのB2O3含量への依存性が維持される。それというのも、B2O3およびMgOは、E弾性率に対する影響を逆方向に有するからである。即ち、質量比MgO/B2O3は、有利に1を上廻り、特に有利に1.35を上廻る。
【0021】
MgOのなおよりいっそう高い含量の場合には、ガラスの良好な結晶安定性および高い化学的HCl安定性は、劣化する。
【0022】
更に、ガラスはCaOを10質量%未満まで、有利に9質量%未満まで含有することができる。よりいっそう高い含量の場合には、密度は、高すぎる値を取り、ガラスの結晶化傾向は、増加する。特に、ガラスは、CaOを実際に有利に少なくとも0.5質量%、特に有利に少なくとも1質量%含有する。
【0023】
また、ガラスは、BaOを含有することができ、このことは、失透安定性に対してプラスであることを証明する。最大の含量は、ガラスの密度を低く維持するために、2質量%未満に限定されている。ガラスがBaOを0〜0.5質量%含有することは、特に有利である。殊に、ガラスが極めて軽量である場合には、ガラスがBaOを含まないことは、特に有利である。
【0024】
また、ガラスは、SrOを含有していてもよい。その存在は、同様に失透安定性に対してプラスの作用を生じる。SrOの最大含量は、ガラスの密度を低く維持するために、3質量%未満に限定されている。ガラスが0〜1質量%、特に有利に0〜0.5質量%含有することは、特に有利である。
【0025】
2つの重いアルカリ土類金属酸化物SrOおよびBaOの総和は、有利に最大で4質量%に限定されている。
【0026】
更に、成分ZnOは、2質量%未満まででガラス中に存在することができる。ZnOは、硼酸に類似する、粘度特性曲線に対する影響を有し、網状組織を弛緩させ、アルカリ土類金属酸化物よりも少ない、熱膨張に対する影響を有する。有利に、殊にフロート法でガラスを加工する場合には、ZnO含量は、最大で1.5質量%に限定されている。よりいっそう高い含量は、ガラス表面上で支障のあるZnO被覆の危険を高め、この場合この被覆は、蒸発および引続く熱成形範囲内での縮合によって形成されうる。
【0027】
ガラスは、アルカリ金属不含である。この場合、アルカリ金属不含とは、本質的にアルカリ金属酸化物を含まないことと理解され、この場合には、1500ppm未満の不純物が含有されていてよい。
【0028】
ガラスは、ZrO+TiO22質量%まで含有していてよく、この場合TiO2含量ならびにZrO2含量は、個別的に2質量%までであることができる。ZrO2は、ガラスの温度安定性を高める。しかし、ガラス中でのZrO2含有溶融残存物(所謂”ジルコニウムネスト(Zirkonnester)”)の危険は高まる。従って、有利にZrO2の添加は、断念される。ジルコニウム含有のタンク材料の腐蝕を惹起する僅かな含量のZrO2は、問題にはならない。TiO2は、好ましくはソラジゼーションの傾向、即ちUV−VIS線に基づく可視波長範囲内での透過率の減少を少なくする。2質量%を上廻る含量の場合には、ガラス中に僅かな含量で使用される原料物質の不純物のために存在するFe3+イオンとの複合体形成によって色合いが起こりうる。
【0029】
ガラスは、従来の清澄剤を従来の量で含有する:即ち、As2O3、Sb2O3、SnO2、CeO2、Cl−、Fおよび/またはSO4 2−を1.5質量%になるまで含有することができる。しかし、清澄剤の総和は、1.5質量%を上廻らない。清澄剤As2O3およびSb2O3を断念する場合には、ガラスは、種々の引き上げ法を用いて加工することができるだけでなく、フロート法を用いても加工することができる。
【0030】
例えば、簡単な混合物調合に関連して、ZrO2ならびにSnO2を断念することができるにも拘わらず、記載された特性プロフィール、殊に高い熱的安定性および化学的安定性ならびに僅かな結晶化傾向を有するガラスを得ることができることは、好ましい。
【0031】
実施例:
回避できない不純物を除いて本質的にアルカリ金属不含の従来の原料物質から、1620℃でガラスをPt/Ir坩堝中で溶融した。溶融液を1時間半この温度で純化し、引続き誘導加熱される白金坩堝中に再び注入し、均質化のために1550℃で30分間攪拌した。溶融液を予め加熱された黒鉛金型内に注入し、室温に冷却した。
【0032】
表は、組成(酸化物に対する質量%で)および最も重要な性質を有する本発明によるガラス(A1〜A8)の8つの実施例および比較ガラスの例(V)を示す。次の性質が記載されている:
・熱膨張係数α20/300[10−6/K]
・密度ρ[g/cm3]
・DIN52324による膨張計測による転移温度Tg[℃]
・粘度104dPasでの温度(T4[℃]と呼称される)
・弾性率E[GPa]
・95℃で24時間、5%の塩酸を用いての処理後の寸法50mm×50mm×2mmの全面が研磨されたガラス板の質量損失(摩耗値)としての酸安定性”HCl”[mg/cm2]。
・95℃で6時間、5%の苛性ソーダ液を用いての処理後の寸法50mm×50mm×2mmの全面が研磨されたガラス板の質量損失(摩耗値)としてのアルカリ液安定性”NaOH”(mg/cm2)。
・23℃で20分間、10%のNH4F・HFを用いての処理後の寸法50mm×50mm×2mmの全面が研磨されたガラス板の質量損失(摩耗値)としての緩衝弗化水素酸に対する安定性”BHF”[mg/cm2]。
【0033】
【表1】
【0034】
【表2】
【0035】
実施例から明らかなように、本発明によるガラスは、次の好ましい性質を有する:
・それによって、多結晶性シリコンの膨張挙動に適合した、熱膨張係数α20/3002.8・10−6/K〜3.9・10−6/K。
・710℃を上廻るTgで高い転移温度、即ち高い温度安定性。これは、できるだけ少ない製造に応じた収縮(”圧密化”)ならびに無定形のSi層での被覆および引続く温度処理のための支持体としてのガラスの使用にとって本質的なことである。
・ρ2.55g/cm3未満で僅かな密度。
・80EPaを上廻るEで高いE弾性率。このE弾性率または高い比E弾性率E/ρは、殊に”弛み”の問題に関連して十分な機械的強度を保証する。
・最大1300℃の粘度104dPasでの温度(加工温度VA)。それによっておよび最大1700℃の粘度102dPasでの温度で、ガラスは、熱成形ならびに常用の技術での溶融可能性に関連して適当な粘度特性曲線を有する。
・高い化学的安定性は、なかんずく塩酸溶液に対する卓越した安定性によって試験結果で証明されており、このことは、この高い化学的安定性が平面画像スクリーンの製造の際に使用される化学薬品に対して十分に不活性の作用をもたらすことである。
【0036】
前記の性質により、ガラスは、殊に多結晶性Siを基礎とする、ディスプレイ技術において、殊にTFTディスプレイのための支持体ガラスおよび薄膜−光起電力技術における支持体ガラス、ならびにハードディスクのための支持体ガラスとしての使用に卓越して好適である。
Claims (11)
- 次の組成(酸化物に対して質量%で):
SiO2 58を上廻り70まで
B2O3 0.5ないし9未満
Al2O3 10〜25
MgO 8を上廻り15まで
CaO 0ないし10未満
SrO 0ないし3未満
BaO 0ないし2未満
およびMgO+CaO+SrO+BaO 8を上廻り18まで
ZnO 0ないし2未満
を有するアルカリ金属不含のアルミノホウケイ酸塩ガラス。 - 次の組成(酸化物に対して質量%で):
SiO2 58を上廻り68まで
B2O3 1ないし8.5
Al2O3 14〜24
MgO 8を上廻り15まで
CaO 0ないし0
SrO 0ないし3未満
BaO 0ないし2未満
およびMgO+CaO+SrO+BaO 8を上廻り18まで
ZnO 0ないし2未満
を有する、請求項1記載のアルミノホウケイ酸塩ガラス。 - BaOを0〜0.5質量%含有する、請求項1または2に記載のアルミノホウケイ酸塩ガラス。
- SrOを0〜1質量%、有利にSrOを0〜0.5質量%含有する、請求項1から3までのいずれか1項に記載のアルミノホウケイ酸塩ガラス。
- B2O3を最大で5質量%含有する、請求項1から4までのいずれか1項に記載のアルミノホウケイ酸塩ガラス。
- 付加的に
ZrO2 0〜2
TiO2 0〜2
およびZrO2+TiO2 0〜2
As2O3 0〜1.5
Sb2O3 0〜1.5
SnO2 0〜1.5
CeO2 0〜1.5
Cl− 0〜1.5
F− 0〜1.5
SO4 2− 0〜1.5
およびAs2O3+Sb2O3+SnO2+CeO2+Cl−+F−+SO4 2−
1.5以上
を含有する、請求項1から5までのいずれか1項に記載のアルミノホウケイ酸塩ガラス。 - 熱膨張係数α20/3002.8・10−6/K〜3.9・10−6/K、710℃を上廻る転移温度Tg、密度ρ2.55g/cm3未満および0.5mg/cm2未満の”酸安定性HCl”を有する、請求項1から6までのいずれか1項に記載のアルミノホウケイ酸塩ガラス。
- 80GPaを上廻るE弾性率を有する、請求項1から7までのいずれか1項に記載のアルミノホウケイ酸塩ガラス。
- ディスプレイ技術における請求項1から8までのいずれか1項に記載のアルミノホウケイ酸塩ガラスの使用。
- 薄膜−光起電力技術における請求項1から8までのいずれか1項に記載のアルミノホウケイ酸塩ガラスの使用。
- ハードディスクのための支持体ガラスを製造するための請求項1から8までのいずれか1項に記載のアルミノホウケイ酸塩ガラスの使用。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10114581.0 | 2001-03-24 | ||
DE10114581A DE10114581C2 (de) | 2001-03-24 | 2001-03-24 | Alkalifreies Aluminoborosilicatglas und Verwendungen |
PCT/EP2002/002432 WO2002076899A1 (de) | 2001-03-24 | 2002-03-06 | Alkalifreies aluminoborosilicatglas und verwendungen |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004531443A true JP2004531443A (ja) | 2004-10-14 |
JP2004531443A5 JP2004531443A5 (ja) | 2012-03-01 |
JP4944354B2 JP4944354B2 (ja) | 2012-05-30 |
Family
ID=7678924
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002576166A Expired - Lifetime JP4944354B2 (ja) | 2001-03-24 | 2002-03-06 | アルカリ金属不含のアルミノホウケイ酸塩ガラスおよびその使用方法 |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US20050101469A1 (ja) |
EP (1) | EP1373155B1 (ja) |
JP (1) | JP4944354B2 (ja) |
KR (1) | KR100526747B1 (ja) |
CN (1) | CN1262503C (ja) |
AT (1) | ATE271528T1 (ja) |
DE (2) | DE10114581C2 (ja) |
TW (1) | TW567175B (ja) |
WO (1) | WO2002076899A1 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007039316A (ja) * | 2005-06-27 | 2007-02-15 | Nippon Electric Glass Co Ltd | ディスプレイ用ガラス基板 |
JP2007269625A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Schott Ag | アルミノホウ珪酸ガラス |
JP2014502951A (ja) * | 2011-01-11 | 2014-02-06 | エージーワイ ホールディング コーポレイション | 低い熱膨張係数を有するガラス組成物、および該ガラス組成物から生成されるガラス繊維 |
JP2014529572A (ja) * | 2011-09-02 | 2014-11-13 | エルジー・ケム・リミテッド | 無アルカリガラス及びその製造方法 |
WO2014208521A1 (ja) * | 2013-06-27 | 2014-12-31 | 旭硝子株式会社 | 無アルカリガラス |
JPWO2019021672A1 (ja) * | 2017-07-26 | 2020-05-28 | 日本電気硝子株式会社 | 支持ガラス基板及びこれを用いた積層基板 |
WO2020162604A1 (ja) * | 2019-02-07 | 2020-08-13 | Agc株式会社 | 無アルカリガラス |
Families Citing this family (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4726399B2 (ja) * | 2003-05-29 | 2011-07-20 | コニカミノルタオプト株式会社 | ガラス基板 |
TWI404691B (zh) * | 2003-12-26 | 2013-08-11 | Asahi Glass Co Ltd | E-glass and liquid crystal display panel |
US8007913B2 (en) * | 2006-02-10 | 2011-08-30 | Corning Incorporated | Laminated glass articles and methods of making thereof |
US9156728B2 (en) | 2006-12-14 | 2015-10-13 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Low density and high strength fiber glass for ballistic applications |
US8697591B2 (en) * | 2006-12-14 | 2014-04-15 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Low dielectric glass and fiber glass |
US9056786B2 (en) | 2006-12-14 | 2015-06-16 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Low density and high strength fiber glass for ballistic applications |
US7829490B2 (en) * | 2006-12-14 | 2010-11-09 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Low dielectric glass and fiber glass for electronic applications |
US9394196B2 (en) | 2006-12-14 | 2016-07-19 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Low density and high strength fiber glass for reinforcement applications |
JP5808069B2 (ja) * | 2007-02-16 | 2015-11-10 | 日本電気硝子株式会社 | 太陽電池用ガラス基板 |
DE102008005857A1 (de) | 2008-01-17 | 2009-07-23 | Schott Ag | Alkalifreies Glas |
US8975199B2 (en) * | 2011-08-12 | 2015-03-10 | Corsam Technologies Llc | Fusion formable alkali-free intermediate thermal expansion coefficient glass |
TWI478889B (zh) * | 2010-10-06 | 2015-04-01 | Corning Inc | 具有高熱與化學穩定性的無鹼玻璃組合物 |
WO2012156991A2 (en) * | 2011-05-11 | 2012-11-22 | Sterlite Technologies Ltd | Glass composition and glass substrate for display devices |
US10347782B2 (en) * | 2011-08-04 | 2019-07-09 | Corning Incorporated | Photovoltaic module package |
CN102584007B (zh) * | 2011-12-20 | 2015-12-16 | 东旭集团有限公司 | 一种环保型tft-lcd基板玻璃的配方 |
EP2842918B1 (en) | 2012-04-27 | 2017-09-06 | Asahi Glass Company, Limited | Non-alkali glass and method for producing same |
EP2860160A1 (en) * | 2012-05-31 | 2015-04-15 | Asahi Glass Company, Limited | Alkali-free glass substrate and method for reducing thickness of alkali-free glass substrate |
KR102410236B1 (ko) * | 2012-06-05 | 2022-06-22 | 에이지씨 가부시키가이샤 | 무알칼리 유리 및 그 제조 방법 |
US11352287B2 (en) | 2012-11-28 | 2022-06-07 | Vitro Flat Glass Llc | High strain point glass |
JP2016153346A (ja) * | 2013-06-27 | 2016-08-25 | 旭硝子株式会社 | 無アルカリガラス |
FR3008695B1 (fr) | 2013-07-16 | 2021-01-29 | Corning Inc | Verre aluminosilicate dont la composition est exempte de metaux alcalins, convenant comme substrat de plaques de cuisson pour chauffage a induction |
CN103613273A (zh) * | 2013-10-24 | 2014-03-05 | 芜湖东旭光电科技有限公司 | 一种无碱液晶基板玻璃 |
DE102016101090A1 (de) * | 2015-11-26 | 2017-06-01 | Schott Ag | Thermisch vorgespanntes Glaselement und seine Verwendungen |
CN105502931B (zh) * | 2015-12-30 | 2018-12-25 | 芜湖东旭光电装备技术有限公司 | 低温多晶硅薄膜晶体管用玻璃基板的组合物、玻璃基板及制备方法和应用 |
US20170362119A1 (en) | 2016-06-17 | 2017-12-21 | Corning Incorporated | Transparent, near infrared-shielding glass ceramic |
JP7044064B2 (ja) * | 2016-08-05 | 2022-03-30 | Agc株式会社 | 無アルカリガラス基板、積層基板、およびガラス基板の製造方法 |
DE102017124625A1 (de) | 2016-12-22 | 2018-06-28 | Schott Ag | Dünnglassubstrat, Verfahren und Vorrichtung zu dessen Herstellung |
US10450220B2 (en) | 2017-12-13 | 2019-10-22 | Corning Incorporated | Glass-ceramics and glasses |
US10246371B1 (en) | 2017-12-13 | 2019-04-02 | Corning Incorporated | Articles including glass and/or glass-ceramics and methods of making the same |
CN109231816A (zh) * | 2018-10-09 | 2019-01-18 | 成都中光电科技有限公司 | 一种可用于ltps的玻璃基板及其制备方法 |
CN112441743A (zh) * | 2020-11-26 | 2021-03-05 | 河南旭阳光电科技有限公司 | 一种无碱玻璃组合物、无碱玻璃及制备方法和应用 |
Family Cites Families (49)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55155464A (en) | 1979-05-24 | 1980-12-03 | Tokyo Shibaura Electric Co | Halogennfilled incandescent lamp |
JPH0617249B2 (ja) | 1986-08-15 | 1994-03-09 | 松下電工株式会社 | ガラスセラミツク焼結体 |
JPS6425132A (en) * | 1987-07-22 | 1989-01-27 | Hitachi Ltd | Liquid crystal display device |
JPS6428249U (ja) | 1987-08-07 | 1989-02-20 | ||
JPS6459741A (en) * | 1987-08-31 | 1989-03-07 | Toshiba Corp | X-ray image tube device |
JPS6472237A (en) * | 1987-09-14 | 1989-03-17 | Hitachi Ltd | Address calculation system |
KR960000032B1 (ko) * | 1987-10-01 | 1996-01-03 | 아사히 가라스 가부시끼가이샤 | 무알칼리 유리 |
JPH01143350A (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-05 | Fujitsu Ltd | 半導体記憶装置 |
JPH01149520A (ja) * | 1987-12-04 | 1989-06-12 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置 |
JP2871163B2 (ja) * | 1991-04-26 | 1999-03-17 | 日本板硝子株式会社 | 無アルカリガラス |
GB9204537D0 (en) * | 1992-03-03 | 1992-04-15 | Pilkington Plc | Alkali-free glass compositions |
US5374595A (en) * | 1993-01-22 | 1994-12-20 | Corning Incorporated | High liquidus viscosity glasses for flat panel displays |
US5508237A (en) * | 1994-03-14 | 1996-04-16 | Corning Incorporated | Flat panel display |
US5459109A (en) * | 1994-09-19 | 1995-10-17 | Corning Incorporated | Substrate glasses for plasma displays |
JPH0891874A (ja) | 1994-09-29 | 1996-04-09 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | ガラス球状粉末及びその製造方法 |
DE69508706T2 (de) * | 1994-11-30 | 1999-12-02 | Asahi Glass Co. Ltd., Tokio/Tokyo | Alkalifreies Glas und Flachbildschirm |
JPH08231240A (ja) | 1995-02-28 | 1996-09-10 | Nitto Boseki Co Ltd | 高強度ガラス繊維用組成物 |
JP3666608B2 (ja) * | 1995-04-27 | 2005-06-29 | 日本電気硝子株式会社 | 無アルカリガラス基板 |
JP3666610B2 (ja) * | 1995-08-02 | 2005-06-29 | 日本電気硝子株式会社 | 無アルカリガラス基板 |
US5811361A (en) * | 1995-09-28 | 1998-09-22 | Nippon Electric Glass Co., Ltd. | Alkali-free glass substrate |
JP2990379B2 (ja) * | 1995-09-28 | 1999-12-13 | 日本電気硝子株式会社 | 無アルカリガラス基板 |
JP3858293B2 (ja) * | 1995-12-11 | 2006-12-13 | 日本電気硝子株式会社 | 無アルカリガラス基板 |
DE19601922C2 (de) * | 1996-01-13 | 2001-05-17 | Schott Glas | Zinn- und zirkonoxidhaltige, alkalifreie Erdalkali-Alumo-Borosilicatgläser und deren Verwendung |
DE19603698C1 (de) * | 1996-02-02 | 1997-08-28 | Schott Glaswerke | Alkalifreies Aluminoborosilicatglas und dessen Verwendung |
DE19617344C1 (de) * | 1996-04-30 | 1997-08-07 | Schott Glaswerke | Alkalifreies Aluminoborosilicatglas und seine Verwendung |
JP3861271B2 (ja) * | 1996-08-21 | 2006-12-20 | 日本電気硝子株式会社 | 無アルカリガラス及びその製造方法 |
JP3861272B2 (ja) * | 1996-12-18 | 2006-12-20 | 日本電気硝子株式会社 | 無アルカリガラス及びその製造方法 |
JP3800443B2 (ja) * | 1996-10-22 | 2006-07-26 | 日本電気硝子株式会社 | ディスプレイ用無アルカリガラス基板及びその製造方法 |
JPH10139467A (ja) * | 1996-11-12 | 1998-05-26 | Asahi Glass Co Ltd | 無アルカリガラス及びフラットディスプレイパネル |
US6060168A (en) * | 1996-12-17 | 2000-05-09 | Corning Incorporated | Glasses for display panels and photovoltaic devices |
JP4739468B2 (ja) * | 1997-05-20 | 2011-08-03 | 旭硝子株式会社 | 無アルカリガラスおよびその清澄方法 |
DE19739912C1 (de) * | 1997-09-11 | 1998-12-10 | Schott Glas | Alkalifreies Aluminoborosilicatglas und dessen Verwendung |
JPH11292563A (ja) * | 1998-04-03 | 1999-10-26 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 無アルカリガラス基板 |
JPH11322358A (ja) * | 1998-05-20 | 1999-11-24 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 耐熱性ガラス組成物 |
US6468933B1 (en) * | 1998-09-22 | 2002-10-22 | Nippon Electric Glass Co., Ltd. | Alkali-free glass and method of producing the same |
JP4306044B2 (ja) * | 1998-09-22 | 2009-07-29 | 日本電気硝子株式会社 | 無アルカリガラス及びその製造方法 |
EP1152990B1 (en) * | 1998-11-30 | 2012-10-10 | Corning Incorporated | Glasses for flat panel displays |
DE19916296C1 (de) * | 1999-04-12 | 2001-01-18 | Schott Glas | Alkalifreies Aluminoborosilicatglas und dessen Verwendung |
KR100623805B1 (ko) | 1999-06-29 | 2006-09-18 | 호야 가부시키가이샤 | 액정 패널에 사용하기 위한 유리 기판 및 유리 조성물 |
JP4265036B2 (ja) * | 1999-07-14 | 2009-05-20 | コニカミノルタオプト株式会社 | 結晶化ガラス組成物 |
DE19934072C2 (de) | 1999-07-23 | 2001-06-13 | Schott Glas | Alkalifreies Aluminoborosilicatglas, seine Verwendungen und Verfahren zu seiner Herstellung |
JP4576680B2 (ja) | 1999-08-03 | 2010-11-10 | 旭硝子株式会社 | 無アルカリガラス |
US6537937B1 (en) * | 1999-08-03 | 2003-03-25 | Asahi Glass Company, Limited | Alkali-free glass |
DE19939789A1 (de) * | 1999-08-21 | 2001-02-22 | Schott Glas | Alkalifreie Aluminoborosilicatgläser und deren Verwendungen |
JP2001151534A (ja) * | 1999-11-25 | 2001-06-05 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 液晶ディスプレイ用ガラス基板 |
DE10000837C1 (de) * | 2000-01-12 | 2001-05-31 | Schott Glas | Alkalifreie Aluminoborosilicatgläser und ihre Verwendungen |
DE10034985C1 (de) | 2000-07-19 | 2001-09-06 | Schott Glas | Verfahren zur Herstellung von Aluminosilicatgläsern, Aluminosilicatgläser sowie deren Verwendungen |
DE10064804C2 (de) * | 2000-12-22 | 2003-03-20 | Schott Glas | Alkalifreie Aluminoborosilicatgläser und ihre Verwendung |
DE10214449B4 (de) * | 2002-03-30 | 2005-03-24 | Schott Ag | Verfahren zur Herstellung von alkalifreien Aluminosilicatgläsern |
-
2001
- 2001-03-24 DE DE10114581A patent/DE10114581C2/de not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-03-06 US US10/472,528 patent/US20050101469A1/en not_active Abandoned
- 2002-03-06 JP JP2002576166A patent/JP4944354B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2002-03-06 WO PCT/EP2002/002432 patent/WO2002076899A1/de active IP Right Grant
- 2002-03-06 AT AT02724202T patent/ATE271528T1/de not_active IP Right Cessation
- 2002-03-06 KR KR10-2003-7012202A patent/KR100526747B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2002-03-06 CN CNB02807159XA patent/CN1262503C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2002-03-06 DE DE50200669T patent/DE50200669D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2002-03-06 EP EP02724202A patent/EP1373155B1/de not_active Expired - Lifetime
- 2002-03-21 TW TW091105418A patent/TW567175B/zh not_active IP Right Cessation
-
2007
- 2007-03-05 US US11/713,747 patent/US7727916B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007039316A (ja) * | 2005-06-27 | 2007-02-15 | Nippon Electric Glass Co Ltd | ディスプレイ用ガラス基板 |
JP2007269625A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Schott Ag | アルミノホウ珪酸ガラス |
JP2014502951A (ja) * | 2011-01-11 | 2014-02-06 | エージーワイ ホールディング コーポレイション | 低い熱膨張係数を有するガラス組成物、および該ガラス組成物から生成されるガラス繊維 |
JP2014529572A (ja) * | 2011-09-02 | 2014-11-13 | エルジー・ケム・リミテッド | 無アルカリガラス及びその製造方法 |
WO2014208521A1 (ja) * | 2013-06-27 | 2014-12-31 | 旭硝子株式会社 | 無アルカリガラス |
JPWO2019021672A1 (ja) * | 2017-07-26 | 2020-05-28 | 日本電気硝子株式会社 | 支持ガラス基板及びこれを用いた積層基板 |
JP7265224B2 (ja) | 2017-07-26 | 2023-04-26 | 日本電気硝子株式会社 | 支持ガラス基板及びこれを用いた積層基板 |
WO2020162604A1 (ja) * | 2019-02-07 | 2020-08-13 | Agc株式会社 | 無アルカリガラス |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1525945A (zh) | 2004-09-01 |
EP1373155A1 (de) | 2004-01-02 |
TW567175B (en) | 2003-12-21 |
US7727916B2 (en) | 2010-06-01 |
WO2002076899A1 (de) | 2002-10-03 |
DE50200669D1 (de) | 2004-08-26 |
KR20030093253A (ko) | 2003-12-06 |
DE10114581A1 (de) | 2002-10-10 |
DE10114581C2 (de) | 2003-03-27 |
KR100526747B1 (ko) | 2005-11-08 |
US20050101469A1 (en) | 2005-05-12 |
ATE271528T1 (de) | 2004-08-15 |
US20070265156A1 (en) | 2007-11-15 |
EP1373155B1 (de) | 2004-07-21 |
JP4944354B2 (ja) | 2012-05-30 |
CN1262503C (zh) | 2006-07-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4944354B2 (ja) | アルカリ金属不含のアルミノホウケイ酸塩ガラスおよびその使用方法 | |
JP5150126B2 (ja) | アルカリ金属不含のアルミノホウケイ酸塩ガラスおよびその使用 | |
US7153797B2 (en) | Alkali-free aluminoborosilicate glasses and uses thereof | |
JP4603702B2 (ja) | アルカリ金属不含のアルミノホウケイ酸塩ガラスおよびその使用 | |
JP4597389B2 (ja) | アルカリ金属不含のアルミノホウケイ酸塩ガラスおよびその使用 | |
JP3943307B2 (ja) | アルカリ非含有アルミノ硼珪酸ガラスとその用途 | |
KR100745860B1 (ko) | 무알칼리 알루미노붕규산염 유리 및 그의 이용 | |
TW499403B (en) | Alkali-free aluminoborosilicate glass | |
TWI289543B (en) | Glasses for flat panel displays | |
JP3396835B2 (ja) | アルカリ金属を含有しないアルミノ硼珪酸ガラスとその用途 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041014 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20050831 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080115 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080312 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20080530 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20080606 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20080711 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20080718 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080812 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20081010 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090105 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20090212 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20090417 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20101228 |
|
RD13 | Notification of appointment of power of sub attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7433 Effective date: 20111206 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20111206 |
|
A524 | Written submission of copy of amendment under article 19 pct |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A524 Effective date: 20120113 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120302 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4944354 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150309 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |