JP2004343002A - 露光装置、デバイス製造方法及びデバイス - Google Patents
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Abstract
【課題】複数のケーブル類や配管の散在配置を抑えるとともにケーブルや配管どうしの接続ミスの発生を抑えて接続作業を効率良く行うことができる露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置は、ステージ等の複数の機構部を備えており、これら複数の機構部を用いて微細パターンを感光基板P上に転写するものであって、複数の機構部それぞれに接続される複数のケーブルからなるケーブル群2〜6と、ケーブル群2〜6を保持する第1空間部10を備えた保持装置1とを備え、更に、保持装置1が流体を流通する第2空間部20を第1空間部10と一体的に備えている。
【選択図】 図1
【解決手段】露光装置は、ステージ等の複数の機構部を備えており、これら複数の機構部を用いて微細パターンを感光基板P上に転写するものであって、複数の機構部それぞれに接続される複数のケーブルからなるケーブル群2〜6と、ケーブル群2〜6を保持する第1空間部10を備えた保持装置1とを備え、更に、保持装置1が流体を流通する第2空間部20を第1空間部10と一体的に備えている。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、微細パターンを基板上に転写する露光装置、デバイス製造方法及びデバイスに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来より、半導体素子や液晶表示素子等のマイクロデバイスを製造する際にマスクを露光光で照明しマスクのパターンを感光性の基板(感光基板)上に転写する露光装置が用いられている。露光装置内には該露光装置を構成する各機構部を制御するための制御回路基板(制御回路部)や電力供給のための電力供給基板(電力供給部)が設けられているが、これら制御回路部や電力供給部(以下、これらを合わせて適宜「電気部品」と称する)は発熱するため、電気部品をハウジング部に収容しこのハウジング部内部のガスを排気することで温度調整を行っている。そのため、露光装置内には前記排気ガスを流通する配管(流路)が多数設けられている。また、露光装置内には前記電気部品からの電気信号を伝達するケーブルや、各機構部を駆動するエアシリンダや油圧シリンダ等のアクチュエータ、あるいは摺動部に設けられているエアベアリング等に対してエアや油を供給するためのケーブル(チューブ)も多数配設されている。更に、リニアモータ等の発熱する機構部を冷却するための冷媒を流通する配管(流路)も設けられている。このように、露光装置内には各種ケーブルや配管が多数設けられている。
【0003】
下記特許文献1〜5には前記ケーブルや配管を有する露光装置に関する技術が開示されている。また、下記特許文献6〜8には空調ダクトに関する技術が開示されている。
【0004】
【特許文献1】
特開平11−283900号公報
【特許文献2】
特開2000−11767号公報
【特許文献3】
特開平10−270535号公報
【特許文献4】
特開平11−30294号公報
【特許文献5】
特開平11−176723号公報
【特許文献6】
特許2546243号公報
【特許文献7】
特許2794587号公報
【特許文献8】
特開平6−34318号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、基板の大型化や処理技術の高精度化により露光装置は大型化・大重量化しており、これに伴って上記ケーブルや配管の取り回しも複雑化する傾向にある。一方で、従来において前記ケーブルや配管は散在配置されているため、敷設作業時やメンテナンス作業時においてケーブルや配管の接続ミスを誘発していた。また、ケーブルと配管とは独立して配設されているためその占有スペースが大きく、例えばシステム組立作業時やメンテナンス作業時における作業性向上の障害となっていた。また、ケーブルや配管の占有スペースが大きくなると各機構部の作動が制約を受けるという問題も生じるとともに、散在状態のケーブルや配管により外観も低下する。
【0006】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、ケーブル及び配管の散在配置を抑えるとともにケーブルや配管どうしの接続ミスの発生を抑えて接続作業を効率良く行うことができる露光装置を提供することを目的とする。また、この露光装置を用いることにより作業性良くデバイスを製造できるデバイス製造方法及びこのデバイス製造方法で製造されたデバイスを提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため本発明は、実施の形態に示す図1〜図15に対応付けした以下の構成を採用している。
本発明の露光装置(EX)は、複数の機構部(IL、MST、PL、PST、105、106など)を備え、複数の機構部を用いて微細パターンを基板(P)上に転写する露光装置において、複数の機構部それぞれに接続される複数のケーブルからなるケーブル群(2〜6)と、ケーブル群(2〜6)を保持する第1空間部(10)を備えた保持装置(1)とを備え、更に、保持装置(1)が流体を流通する第2空間部(20)を第1空間部(10)と一体的に備えたことを特徴とする。
【0008】
本発明によれば、複数のケーブルからなるケーブル群を保持する第1空間部を有する保持装置を設けたことによりケーブルの散在配置が改善される。したがって、ケーブルの接続作業や敷設作業の作業性が向上され、接続ミス等の不都合の発生を抑えることができる。更に、ケーブルの占有スペースを小さくすることができるので露光装置を構成する各機構部の作動の自由度を向上できる。また、この保持装置に例えば電気部品を収容するハウジング部内部からの排気ガスあるいは駆動装置を冷却するための冷媒といった流体を流通する第2空間部を第1空間部と一体的に設けたことにより、更なる省スペース化を実現できる。
【0009】
ここで、前記機構部は、マスクを支持するマスクステージ、感光基板を支持する基板ステージ、マスクを露光光で照明する照明光学系、及び露光光で照明されたマスクのパターンを感光基板に投影する投影光学系等を含む。更には、前記ステージを駆動するリニアモータ、マスクや感光基板を搬送する搬送系に設けられる駆動モータ、光学系の光学特性(結像特性)を調整するために前記光学系を構成する光学素子を駆動する駆動機構等の駆動装置も含む。あるいは、前記ステージの摺動部に介装されるエアベアリング、及び温度センサや位置計測センサ等の露光処理に関する状態量を検出する各種検出装置も含む。
【0010】
前記ケーブルは、前記駆動装置等の機構部に駆動力を供給する駆動力伝達ケーブル、前記駆動装置等の機構部に制御信号を伝達する制御信号伝達ケーブル、前記検出装置の信号伝達ケーブル、エアベアリングにエア(圧搾空気)を伝達する圧搾空気伝達ケーブル(チューブ)、及びマスクや基板を吸着保持するために前記ステージに接続される真空ケーブル(チューブ)等の用力ケーブルを含む。ここで、前記駆動装置が電力で駆動する場合には前記駆動力伝達ケーブルは電力伝達ケーブルであり、前記駆動装置がエアシリンダや油圧シリンダ等の作動流体で駆動する場合には前記駆動力伝達ケーブルは作動流体伝達ケーブル(チューブ)である。また、ケーブルとしては、露光装置内の発熱を伴う装置(リニアモータ等の駆動装置や制御回路基板等)に対して冷媒(冷却用流体)を供給する冷媒供給用ケーブル(チューブ)も含まれる。
【0011】
本発明のデバイス製造方法は、上記記載の露光装置を用いて、デバイスパターンを基板上に転写する工程を含むことを特徴とする。また、本発明のデバイスは、上記記載のデバイス製造方法で製造されたことを特徴とする。
本発明によれば、良好な作業性のもとでデバイスが製造されるので高性能のデバイスを提供できる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の保持装置を備えた露光装置について図面を参照しながら説明する。図1は本発明に係る保持装置の第1実施形態を示す外観斜視図であり、図2は概略構成図である。
図1及び図2において、保持装置1は複数のケーブルからなるケーブル群2〜6を保持する第1空間部10を備えている。更に、保持装置1は流体を流通する第2空間部20を第1空間部10と一体的に備えている。保持装置1は略直方体の箱状部材により形成されているとともに、第1空間部10は複数の仕切部材7により区画された複数(図1及び図2に示す例では5つ)の収納部10A〜10Eを有している。収納部10A〜10Eのそれぞれには複数のケーブルが所定本数ずつ収納される。
【0013】
第1空間部10の収納部10A〜10Eのそれぞれは所定方向(図中、X軸方向)を長手方向とし、水平面内において前記所定方向と直交する方向(Y軸方向)に並んで設けられている。収納部10A〜10Eは互いに略平行に設けられている。流体を流通する第2空間部20は第1空間部10(収納部10A)に隣接して設けられている。第2空間部20もX軸方向を長手方向とし、第1空間部10の収納部10A〜10Eに対して平行に設けられている。また、複数の収納部10A〜10Eのそれぞれ、ひいては第1空間部10は断面矩形状に形成されているとともに、第2空間部20も断面矩形状に形成されている。また、図1に示す例では、第1空間部10の収納部10A〜10Eの長手方向両端部は開放されており、第2空間部20の一端部(+X側端部)は流路であるパイプ部材21に接続されている。
【0014】
図1に示すように、保持装置1はその上面に蓋部材8を備えている。蓋部材8はヒンジ部9に回動可能に支持されており、蓋部材8を持ち上げることで第1空間部10(収納部10A〜10E)が開けられ、蓋部材8を降ろして仕切部材7で支持することにより第1空間部10(収納部10A〜10E)が閉じられる。一方、第2空間部20は断面矩形状の筒状部材により構成されている。そして、ヒンジ部9の一端は第2空間部20を形成する筒状部材の上面に接続され、ヒンジ部9の他端は蓋部材8の一部に接続されている。すなわち、第2空間部20を形成する筒状部材の上面と蓋部材8とがヒンジ部9で連結されており、蓋部材8はヒンジ部9により回動可能に支持されている。
【0015】
保持装置1の形成材料としては、合成樹脂、セラミックス、及び金属等を用いることができる。ここで、金属を用いる場合には例えばステンレス鋼等の脱ガスの少ない材料を用いることが好ましい。また、保持装置1の形成材料としてゴム等の可撓性材料を用いることにより、例えば保持装置1を屈曲させて配置できるなど、敷設作業性の自由度を向上することができる。
【0016】
本実施形態において、第1空間部10のうち複数設けられた収納部10A〜10Eのそれぞれにはケーブルが伝達する伝達媒体毎に別々に収納される。具体的には、第1の収納部10Aに収納されている複数のケーブル(ケーブル群)2は例えば露光装置を構成する各機構部に対して伝達媒体として駆動力(電力)を伝達する駆動力伝達ケーブルである。第2の収納部10Bに収納されている複数のケーブル3は各機構部に対して伝達媒体として光を伝達する光伝達ケーブル(光ファイバケーブル)である。第3の収納部10Cに収納されている複数のケーブル4は各機構部に対して制御信号を伝達する制御信号伝達ケーブルである。第4の収納部10Dに収納されているケーブル5はケーブル2とは別の電力を伝達する電力伝達ケーブルである。第5の収納部10Eに収納されているケーブル6は例えば機構部であるエアベアリングに対してエア(圧搾空気)を伝達するチューブである。
【0017】
本実施形態において、複数の収納部10A〜10Eのうち第3の収納部10Cには、この第3の収納部10Cに収納されるケーブル4を収納部10C外から絶縁する絶縁材11が設けられている。ここでは、絶縁材11はシート状部材により構成されており、収納部10Cを囲むようにこの収納部10Cを形成する壁部に取り付けられている。これにより収納部10Cに収納されているケーブル4は電気的に絶縁されて電気ノイズの影響を抑制される。また、ケーブルが例えば高電圧ケーブルである場合には周囲に対して電気ノイズの影響を与える場合もあるが、この場合もこの高電圧ケーブルを収納する収納部を囲むように絶縁材11を設けることにより周囲に対する電気的影響を抑えることができる。
【0018】
なお、ここでは第3の収納部10Cに絶縁材11が設けられている構成であるが、もちろん第3の収納部10C以外の収納部に絶縁材を設けることも可能である。更には、第1空間部10全体を囲むように絶縁材11を設けることも可能である。
【0019】
また、ここでは絶縁材11はシート状部材により構成されているが、絶縁材料を収納部を構成する壁部に塗布することで絶縁材11を形成してもよい。また、ここでは絶縁材11は電気を絶縁するものとして説明したが、熱を絶縁するものであってもよい。例えば、ケーブルが発熱を伴う装置に対して冷媒を供給するチューブである場合、このチューブを収納する収納部を囲むように熱を絶縁する絶縁材を設けることにより、チューブを流れる冷媒の温度変化を抑えることができる。あるいは、熱を絶縁する絶縁材を電力伝達ケーブルを収納する収納部に設けることもできる。例えば、電力伝達ケーブルが熱を発する場合、熱を絶縁する絶縁材を設けることにより周囲に対する熱の影響を抑えることができる。
【0020】
本実施形態において、ケーブル2〜5のそれぞれの一端部は、露光装置を構成する各機構部を制御するための制御回路基板(制御回路部)、各機構部に対して電力を供給するための電力供給基板(電力供給部)、前記電力や制御信号を中継する中継基板(中継部)、及び電力や制御信号の増幅を行うアンプ基板(アンプ部)といった各種電力制御基板(以下、これら電力制御基板を合わせて適宜「電気部品31」と称する)に接続されている。電気部品31はハウジング部30に収容され、ハウジング部30の一部にはコネクタ部32が設けられており、ケーブル2〜5の一端部はハウジング部30のコネクタ部32を介して電気部品31に接続されている。また、図2に示すように、エアを伝達するチューブであるケーブル6の一端部は圧搾空気供給装置33に接続されている。
【0021】
一方、ケーブル2〜5のそれぞれの他端部は露光装置を構成する複数の機構部のそれぞれに接続される。例えば、マスクステージや基板ステージの駆動装置であるリニアモータ、マスクや基板を搬送する搬送系用駆動モータ、温度センサ、照明光学系や投影光学系を構成する光学素子を駆動する駆動機構等に接続される。また、エアを伝達するチューブであるケーブル6の他端部は、例えばマスクステージや基板ステージの摺動部に介装されるエアベアリング、エアを作動流体とするエアシリンダ等のアクチュエータに接続される。また、チューブ6で冷媒(液体)を伝達する際にはチューブ6の一端部は冷媒供給装置に接続され、他端部は発熱を伴う装置(ステージを駆動するリニアモータ等)に接続される。更に、液体(油)を作動流体とする油圧シリンダ等のアクチュエータに対して液体をチューブ6で伝達するようにしてもよい。
【0022】
第2空間部20の一端部はパイプ部材21を介してハウジング部30内部に接続されている。パイプ部材21の一端部はハウジング部30の一部に形成された開口部34に配置され、他端部は第2空間部20の一端部に接続されている。また、第2空間部20の内部にはファン装置22が設けられている。一方、第2空間部20の他端部は露光装置外部に接続されている。そして、ハウジング部30内部のガスはパイプ部材21及び第2空間部20を流通した後、外部に排気される。ファン装置22を駆動することでハウジング部30内部のガスが円滑に排気される。ここで、ハウジング部30に収容されている電気部品31は発熱する発熱源である。すなわち、第2空間部20の一端部は発熱源である電気部品31周りのガスを吸引する開口部(吸引口)34に連通している構成であって、ハウジング部30内部のガスを排気することにより電気部品31を冷却することができる。そして、ファン装置22が駆動されることにより電気部品31は効果的に冷却される。
【0023】
図3は本発明の保持装置1を備えた露光装置EXの概略構成図である。図3において、露光装置EXは、マスクMを支持するマスクステージMSTと、感光基板Pを支持する基板ステージPSTと、光源を有し、マスクステージMSTに支持されているマスクMを露光光ELで照明する照明光学系ILと、露光光ELで照明されたマスクMのパターンを基板ステージPSTに支持されている感光基板P上に投影する投影光学系PLと、露光装置EXの動作を統括制御する制御装置CONTとを備えている。更に、露光装置EXは、マスクステージMST及び投影光学系PLを支持するメインフレーム(架台)100と、メインフレーム100の上面に固定され、照明光学系ILを支持する支持コラム(架台)101とを備えている。メインフレーム100は床面に水平に載置されたベースプレート102上に設置されており、このメインフレーム100の上部側及び下部側には内側に向けて突出する段部100A及び100Bがそれぞれ形成されている。
【0024】
照明光学系ILはマスクステージMSTに支持されているマスクMを露光光ELで照明するものであり、照明光学系ILより射出される露光光ELとしては、例えば水銀ランプから射出される紫外域の輝線(g線、h線、i線)及びKrFエキシマレーザ光(波長248nm)等の遠紫外光(DUV光)や、ArFエキシマレーザ光(波長193nm)及びF2 レーザ光(波長157nm)等の真空紫外光(VUV光)などが用いられる。また、照明光学系ILは、例えばマスクMに対する露光光ELの照明領域を設定するための可変開口部を有するブラインド部等といった機構部を有している。
【0025】
マスクステージMSTはマスク定盤103上に設けられており、マスク定盤103はメインフレーム100の段部100Aに防振ユニット104を介してほぼ水平に支持されている。マスクステージMSTの底面には非接触ベアリングである複数のエアベアリング105が設けられており、マスクステージMSTはエアベアリング105によりマスク定盤103に対して所定のクリアランスを介して浮上支持されている。なお、マスクステージMST及びマスク定盤103の中央部にはマスクMのパターン像が通過する開口部が形成されている。また、露光装置EXは、エアベアリング105によりマスク定盤103に対して非接触支持されているマスクステージMSTを移動するリニアモータ(機構部、駆動装置)106と、マスクステージMSTの位置を検出するレーザ干渉計(機構部、検出装置)とを備えている。また、マスクステージMSTにはマスクMを真空吸着保持するための吸着機構部が設けられている。
【0026】
投影光学系PLは複数の光学素子により構成され、これら光学素子は鏡筒で支持されている。投影光学系PLの鏡筒の外周にはこの鏡筒に一体化されたフランジ部107が設けられている。そして、投影光学系PLはメインフレーム100の段部100Bに防振ユニット108を介してほぼ水平に支持された鏡筒定盤109にフランジ部107を係合している。また、投影光学系PLは複数の光学素子のうちの所定の光学素子を駆動することにより結像特性を調整する結像特性調整装置(機構部、駆動装置)を備えている。なお、各光学素子間の圧力を調整することで結像特性を調整することもできる。
【0027】
基板ステージPSTは基板定盤110上に設けられており、基板定盤110はベースプレート102の上方に防振ユニット111を介してほぼ水平に支持されている。基板ステージPSTの底面には非接触ベアリングである複数のエアベアリング112が設けられており、基板ステージPSTはエアベアリング111により基板定盤110に対して所定のクリアランスを介して浮上支持されている。また、露光装置EXは、基板ステージMSTを図中、Y軸方向に案内しつつ移動自在に支持するガイドステージ113と、ガイドステージ113に設けられ、基板ステージPSTをY軸方向に移動するリニアモータ(機構部、駆動装置)114と、ガイドステージ113をX軸方向に移動可能な一対のリニアモータ(機構部、駆動装置)115、115と、基板ステージPSTの位置を検出するレーザ干渉計(機構部、検出装置)116とを備えている。また、基板ステージPSTは感光基板Pを真空吸着保持するための吸着機構部を備えた基板ホルダPHを有している。
【0028】
そして、図3において、本実施形態に係る保持装置1が、メインフレーム100の段部100A、鏡筒定盤109、及びベースプレート102のそれぞれに設置されている。なお、保持装置1の設置位置は露光処理動作に影響を与えない位置、すなわち各機構部の作動に制約を与えない位置であれば任意の位置に設置可能であり、例えばマスクステージMSTや基板ステージPST近傍であってもよい。
【0029】
そして、保持装置1の第1空間部10(収納部10A〜10E)に収納されているケーブル2〜5の他端部が、上記リニアモータ106、114、及び115や、結像特性調整装置等の機構部に接続されている。例えば、第3の収納部10Cに収納されている制御信号伝達ケーブル群4のうち、ケーブル4A(図2参照)がマスクステージMSTのリニアモータ106に接続され、ケーブル4Bが基板ステージPSTのリニアモータ114に接続され、ケーブル4Cが結像特性調整装置に接続される。また、第5の収納部10Eに収納されている圧搾空気伝達用ケーブル群6のうち、ケーブル6AがマスクステージMSTのエアベアリング105に接続され、ケーブル6Bが基板ステージPSTのエアベアリング112に接続され、ケーブル6Cが例えばアライメント光学系の光路上に設けられたエアシリンダからなるシャッタ駆動機構に接続される。
【0030】
次に、複数のケーブル2〜6を配設する手順について説明する。まず、メインフレーム100の段部100Aやベースプレート102、あるいは鏡筒定盤109等の所定の位置に保持装置1が取り付けられる。次いで、ケーブル2〜6が伝達媒体毎に各収納部10A〜10Eのそれぞれに収納される。ケーブル2〜6を各収納部10A〜10Eに収納する際には、蓋部材8を持ち上げて各収納部10A〜10Eの上部を開放した状態で収納する。そして、ケーブル2〜6を各収納部10A〜10Eに配置して蓋部材8を降ろすことにより、ケーブル2〜6のぞれぞれは各収納部10A〜10Eに保持される。
【0031】
ここで、ケーブル2(3〜6)を収納部10A(10B〜10E)に収納する際には、図4(a)に示すように、ケーブル2を収納部10Aの底部に載置するだけでもよいし、図4(b)に示すように、結束部材12を用いて複数のケーブル2を結束するようにしてもよい。このとき、結束部材12を収納部10Aの底部に接着固定してもよいし、固定せずに載置する構成であってもよい。また、図4(a)のように結束部材12を用いない場合において、ケーブル2を収納部10Aの底部に接着固定してもよい。
【0032】
そして、ケーブル2〜6が収納部10A〜10Eに収納されたら、各ケーブル2〜6の一端部が電気部品31や圧搾空気供給装置33に接続されるとともに、他端部が露光装置EXの各機構部に接続される。更に、第2空間部20の一端部と発熱源である電機部品31を収容したハウジング部30の開口部34とがパイプ部材21を介して接続される。そして、第2空間部20に設けられたファン装置22が駆動することにより、ハウジング部30内部のガスが露光装置EX外部に排気される。
【0033】
以上説明したように、複数のケーブルからなるケーブル群を保持する第1空間部10を有する保持装置1を設けたことにより、複数のケーブルの散在配置が改善される。したがって、ケーブルの接続作業時等における接続ミスの発生を抑えて良好な作業性が実現されるとともに、良好なケーブル敷設作業性を得ることができる。
【0034】
また、本実施形態では、第1空間部10は複数の収納部10A〜10Eを有しており、ケーブルは伝達媒体毎に複数の収納部10A〜10Eに別々に収納されているので、ケーブルの接続作業時における接続ミスの発生を更に確実に抑制することができる。
【0035】
また、ケーブルを保持する保持装置1を設けたことにより、ケーブルの占有スペースを小さくすることができるので、露光装置EXを構成する各機構部の作動の自由度を向上することができる。
【0036】
そして、従来では、ハウジング部30内部からの排気ガスを流通する配管の占有スペースも大きく問題であったが、保持装置1に、電気部品31を収容するハウジング部30内部からの排気ガスを流通する第2空間部20を第1空間部10と一体的に設けたことにより、更なる省スペース化を実現できる。
【0037】
収納部10A〜10Eはケーブル2〜6を保持可能な保持空間部であるので、結束部材12を用いなくても収納されたケーブルを良好に保持できる。したがって、ケーブルを収納部に配置するだけでケーブルを散在させずに位置決めできるので、良好な敷設作業性を得ることができる。
【0038】
収納部(第1空間部)を囲むように絶縁材11を設けたことにより、ケーブルに対する電気や熱の影響を抑えることができるので、ケーブルは電気や熱の影響を抑えられた状態で伝達媒体を良好に伝達できる。したがって、伝達媒体(電力や冷媒)を伝達された機構部は所望の機能を良好に発揮できる。
【0039】
なお、本実施形態では、第2空間部20の一端部は発熱源である電気部品31周りの気体を吸引する吸引口である開口部34にパイプ部材21を介して連通されているが、発塵源周りの気体を吸引する吸引口に連通されていてもよい。この場合、第2空間部20には発塵源周りの気体が流通する。
【0040】
本実施形態では、図1に示すように第1空間部10を開閉する蓋部材8が設けられている構成であるが、第2空間20を開閉する蓋部材8が設けられていてもよい。また、図1に示す例では複数の収納部10A〜10Eのそれぞれは1つの蓋部材8により開閉される構成であるが、複数の収納部10A〜10Eのそれぞれに対応するように蓋部材8を複数設け、収納部10A〜10Eのそれぞれを個別に開閉するようにしてもよい。
【0041】
一方、蓋部材8を設けない構成とすることも可能である。この場合、ケーブル2〜6を収納部10A〜10Eのそれぞれに収納する際には、図1に示したように、収納部10A〜10Eの長手方向両端部に設けられた開口部よりケーブルを挿入すればよい。一方、本実施形態のように蓋部材8を設けることにより、ケーブルを収納部に収納する際の収納動作や、図4(b)を参照して説明したように複数のケーブルを結束する結束動作の作業性を向上することができる。
【0042】
なお、本実施形態では、収納部10A〜10E(第1空間部10)及び第2空間部20のそれぞれは断面矩形状(4角形)に形成されているように説明したが、例えば断面円形状であってもよいし六角形や八角形等の多角形状であってもよい。一方、第1空間部10や第2空間部20を断面矩形状にしたことにより、保持装置1全体の占有スペースを小さくすることができる。更に、第1空間部10や第2空間部20を断面矩形状にして保持装置1全体を略直方体状にしたことにより、保持装置1の上面を平面にすることができるのでこの平面部分に他の装置を設置できる等、保持装置1の上面を有効活用することができる。
【0043】
なお、本実施形態では、複数の収納部10A〜10E及び第2空間部20はY軸方向に並んで設けられている構成であるが、例えばZ軸方向に重ねるように設けてもよい。また、本実施形態では、複数の収納部10A〜10Eは仕切部材7により第1空間部10を区画することで形成されているが、断面矩形状の筒状部材からなる収納部を複数形成し、これらを任意に組み合わせることで保持装置1を形成するようにしてもよい。更に、本実施形態において、第2空間部20は保持装置1のうちY軸方向端部(−Y側)に設けられているが、保持装置1のY軸方向中央部、例えば第2の収納部10Bと第3の収納部10Cとの間に設けられてもよい。
【0044】
なお、本実施形態において、ハウジング部30内部のガスは露光装置外部に排気されるように説明したが、図2の破線で示すように、ハウジング部30内部からの排気ガスを温度調整装置23で回収し、温度調整装置23により温度調整したガスをハウジング部30内部に戻すようにしてもよい。ここで、温度調整装置23はハウジング部30内部からの排気ガスを用いずに他の流路系統のガスを回収して温度調整し、この温度調整したガスをハウジング部30に供給するようにしてもよい。
【0045】
本実施形態では説明を簡単にするために複数のケーブル2〜5の全てが1つのハウジング部30に収容されている電気部品31に接続されているように説明したが、もちろん各ケーブル2〜5のそれぞれが互いに異なるハウジング部30に収容されている電気部品31のそれぞれに接続されていてもよい。更に、ケーブル2〜5の一端部の接続先は電気部品31に限らず例えば電源装置など所定の装置(機構部)に接続されてもよい。
【0046】
なお、本実施形態において、第1空間部10の各収納部10A〜10Eや第2空間部20は略直線状の空間であるように説明したが屈曲部を有していてもよい。そして、第1及び第2空間部の直線部と屈曲部とを組み合わせることにより、ケーブルの敷設作業の自由度を向上することができる。ここで、屈曲部は略円弧状であることが好ましい。すなわち、収納部の屈曲部が直角状である場合には、この直角部でケーブルが折れ曲がったり応力集中を受けるおそれが生じる。あるいは第2空間部の屈曲部が直角状である場合にはこの直角部で流体が淀むおそれが生じる。しかしながら、屈曲部を略円弧状にすることにより、ケーブルの折れ曲がりや流体の淀みといった不都合の発生を抑えることができる。また、保持装置1をゴム等の可撓性材料により形成した場合、保持装置1の設置現場で設置環境に応じて保持装置1を屈曲させてから設置することも可能となる。
【0047】
次に、本発明の第2実施形態について図5を参照しながら説明する。ここで、以下の説明において、上述した第1実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略もしくは省略する。本実施形態の特徴部分は保持装置1の第2空間部20に液体(冷媒)が流通される点である。
【0048】
図5において、第2空間部20の一端部はパイプ部材21を介して冷媒供給装置24に接続され、一方、第2空間部20の他端部は流路25を介してリニアモータ(コイルユニット)106に接続されている。ここで、リニアモータのコイルユニット106は、複数のコイル120と、コイル120を収容するコイル用ハウジング部121と、コイル用ハウジング部121の一端部に設けられ、このコイル用ハウジング部121内部に対して冷媒を入れる入口部122と、コイル用ハウジング部121の他端部に設けられ、このコイル用ハウジング部121内部の冷媒を出す出口部123とを備えている。そして、入口部122は流路25と接続しており、出口部123は、冷媒供給装置24にその一端を接続している流路26と接続している。
【0049】
冷媒供給装置24から供給された冷媒(液体)は流路であるパイプ部材21を介して第2空間部20に送られこの第2空間部20を流通する。第2空間部20を流通した冷媒は流路25を流れた後、コイルユニット106の入口部122よりコイル用ハウジング部121内部に供給される。そして、コイル用ハウジング部121内部を冷媒が流通することにより、発熱するコイル120の熱が回収されて冷却される。熱を回収した冷媒は出口部123よりコイル用ハウジング部121外部に出され、流路26を介して冷媒供給装置24に戻される。
【0050】
すなわち、本実施形態において、冷媒供給装置24は発熱源であるコイル120(コイルユニット106)を温度調整するための温度調整装置であって、この冷媒供給装置24、流路(パイプ部材)21、第2空間部20、流路25、ハウジング部121、及び流路26により、発熱源であるコイル120周りの冷媒循環流路(液体循環流路)124が構成されている。換言すれば、第2空間部20の両端部が、コイル120周りの冷媒循環流路124の一部を構成するハウジング部121に連通した構成となっている。
【0051】
以上説明したように、第2空間部20に液体(冷媒)を流通させる構成とすることも可能であり、この第2空間部20の端部を、発熱源であるコイル120周りの液体循環経路124の一部を構成するハウジング部121に連通することで、コイル120を効果的に冷却することができる。
【0052】
なお、本実施形態では発熱源としてコイル120を例にして説明したが、もちろん、コイル以外の発熱源に対しても第2空間部20を流通した冷媒を供給可能である。更に、第2空間部20を流通する液体としては冷媒に限らず、例えば作動流体を液体とするアクチュエータに供給するための液体であってもよい。
【0053】
なお、リニアモータは、図5に示したコイルユニット106と、不図示の磁石ユニットとを備えており、本発明は、コイルユニットを固定子とし磁石ユニットを可動子としたムービングマグネット型リニアモータに適用することもできるし、コイルユニットを可動子とし磁石ユニットを固定子としたムービングコイル型リニアモータに適用することもできる。
【0054】
なお、第1、第2実施形態において、保持装置1は流体(排気ガスや冷媒)を流通する第2空間部20を1つ有する構成であるが、もちろん2つ以上の複数有していてもよい。例えば第2空間部を2つ設けた際には、一方の第2空間部で気体(排気ガス等)を流通し、他方の第2空間部で液体(冷媒等)を流通するようにしてもよい。
【0055】
次に、本発明の第3実施形態について図6を参照しながら説明する。本実施形態の特徴部分は、複数のケーブルを、ケーブルそれぞれの接続先毎に、複数の収納部に別々に収納している点である。
【0056】
図6において、複数の収納部10A〜10Dのそれぞれに収納されているケーブルは、複数の接続先毎に別々に収納されている。すなわち、第1の収納部10Aに収納されているケーブルは第1の接続先に接続され、第2の収納部10Bに収納されているケーブルは第2の接続先に接続され、第3の収納部10Cに収納されているケーブルは第3の接続先に接続され、第4の収納部10Dに収納されているケーブルは第4の接続先に接続される。例えば、複数の収納部10A〜10Dのうち第1の収納部10Aに収納されているケーブルの収納先はマスクステージMSTに設けられているリニアモータ106であり、第2の収納部10Bに収納されているケーブルの収納先はマスク搬送系用駆動モータ130であり、第3の収納部10Cに収納されているケーブルの収納先は露光装置EXの環境温度を検出する温度センサ131であり、第4の収納部10Dに収納されているケーブルの収納先はマスクステージMSTに設けられているエアベアリング105である。
【0057】
そして、第1の収納部10Aに収納されている複数のケーブルのうち、第1のケーブル2は例えばリニアモータ106に駆動力(電力)を伝達するケーブルであり、第2のケーブル3はリニアモータ106の状態量を検出した検出信号を伝達するケーブルであり、第3のケーブル4はリニアモータ106に制御信号を伝達するケーブルである。このように、第1の収納部10Aには伝達媒体は互いに異なるが接続先が同じである複数のケーブルが収納されている。同様に、第2〜第4の収納部10B〜10Dのそれぞれにも、伝達媒体は互いに異なるが接続先が同じである複数のケーブルが収納されている。なお、第4の収納部10Dには、エアベアリング105に圧搾空気を供給するチューブ6が収納されている。
【0058】
以上説明したように、接続先毎にケーブルを別々に収納したことによっても、ケーブルの接続ミスといった不都合の発生を抑えることができる。また、例えばリニアモータ106のメンテナンス作業を行いたい場合には、第1の収納部10Aに収納されているケーブル2、3、4のリニアモータ106に対する接続を解除すればよく、作業性を向上できる。
【0059】
図7は本発明の第4実施形態を示す図である。図7に示すように、第1〜第4の収納部10A〜10Dには、接続先毎に別々にケーブルが収納されている。本実施形態において、第1の収納部10Aに収納されているケーブルの接続先(第1の接続先)は基板ステージPSTであり、第2の収納部10Bに収納されているケーブルの接続先(第2の接続先)は投影光学系PLであり、第3の収納部10Cに収納されているケーブルの接続先(第3の接続先)はマスクステージMSTであり、第4の収納部10Dに収納されているケーブルの接続先(第4の接続先)は照明光学系ILである。そして、本実施形態においても、第1〜第4の収納部10A〜10Dのそれぞれには互いに異なる伝達媒体を伝達する複数のケーブルが収納されている。
【0060】
本実施形態では、複数のケーブルは、露光装置EXのメンテナンス作業に応じて複数の収納部10A〜10Dに別々に収納されている。例えば、基板ステージPSTのメンテナンス作業を行いたい場合には、第1の収納部10Aに収納されている複数のケーブル2、3、及び4と基板ステージPSTとの接続を解除してからメンテナンス作業を行えばよい。そして、メンテナンス作業が終了したら、第1の収納部10Aに収納されているケーブル2、3、及び4を基板ステージPSTに対して再び接続すればよい。このように、複数のケーブルをメンテナンス作業に応じて別々に収納することも可能であり、この場合においてもケーブルの接続ミスや接続解除ミスといった不都合の発生を抑えることができ、しかもケーブルの接続作業性及び接続解除作業性を向上することができる。
【0061】
図8は本発明の第5実施形態を示す図である。図5に示すように、第1〜第4の収納部10A〜10Dには、機構部である基板ステージPSTに対して接続される複数のケーブルがそれぞれ収納されている。基板ステージPSTは、リニアモータ、光量センサ、レーザ干渉計、及びエアベアリング等の複数の機構部により構成されており、第1の収納部10Aには電気部品の一部を構成する干渉計用制御回路基板31Aに接続されるケーブルが収納され、第2の収納部10Bにはセンサ用制御回路基板31Bに接続されるケーブルが収納され、第3の収納部10Cにはリニアモータ用制御回路基板31Cに接続されるケーブルが収納されている。また、第4の収納部10Dには圧搾空気供給装置33に接続されるケーブル(チューブ)が収納されている。そして、各制御回路基板31A、31B、及び31Cは、それぞれ独立したハウジング部30A、30B、及び30Cにそれぞれ収納されている。
【0062】
例えば、センサ用制御回路基板31Bのメンテナンス作業や交換作業を行いたい場合、ハウジング部30Bの一部を開放してセンサ用制御回路基板31Bにアクセスすることになるが、このとき、センサ用制御回路基板31Bとケーブルとの接続解除作業が行われる。あるいは、メンテナンス作業終了後はセンサ用制御回路基板31Bとケーブルとの接続作業が行われる。ここで、本実施形態のように、複数の制御回路基板(電気部品)のそれぞれに接続されるケーブル毎に収納部に収納するようにしたので、センサ用制御回路基板31Bに対するケーブルの接続・接続解除作業は第2の収納部10Bに収納されているケーブルについて行えばよいので、ケーブルの接続ミスといった不都合の発生を抑制することができる。
【0063】
図9は本発明の第6実施形態を示す図である。図9において、保持装置1は、第1空間部10を形成する壁部に、第1空間部10に保持されているケーブルに対して所定のケーブルを接続するための複数のコネクタ部(第1コネクタ部)14、15を備えているとともに、第2空間部20を形成する壁部に、第2空間部20に対して所定の空間部を接続するためのコネクタ部(第2コネクタ部)16、17を備えている。
【0064】
コネクタ部(第1コネクタ部)14、15のうち、コネクタ部14は第1空間部10を形成する壁部の一部である上壁部10T(すなわち蓋部材8)に設けられている。また、本実施形態おいて、第1空間部10(収納部10A〜10E)の長手方向両端部は側壁部10Sにより閉塞されており、コネクタ部15はこの側壁部10Sに設けられている。一方、コネクタ部(第2コネクタ部)16、17のうち、コネクタ部16は第2空間部20を形成する壁部の一部である上壁部20Tに設けられている。また、第2空間部20の長手方向両端部は側壁部20Sにより閉塞されており、コネクタ部17はこの側壁部20Sに設けられている。そして、コネクタ部14は複数の収納部10A〜10Eのそれぞれに対応した複数のコネクタ部14A〜14Eにより構成されており、同様にコネクタ部15は複数のコネクタ部15A〜15Eにより構成されている。
【0065】
第1空間部(収納部)10に保持されているケーブルはコネクタ部14、15に接続されている。ここで、第1空間部10に保持されているケーブルが電力伝達用ケーブルである場合、コネクタ部14、15は電力伝達用コネクタにより構成され、ケーブルが流体伝達用ケーブルである場合、コネクタ部14、15は流体伝達用コネクタにより構成されている。また、コネクタ部16、17は流体伝達用コネクタにより構成されており、第2空間部20に接続している。
【0066】
図10はケーブルを別部品に置換した一例を示す模式図である。図10において、バスバー50は、銅等の金属シート部5Aと絶縁シート部5Bとを複数積層したものであって全体として略棒状部材となっている。そして、金属シート部5Aの長手方向の所定位置における上端面には突出部(分岐部)5Cが設けられている。そして、この突出部5Cと上壁部10Tに設けられているコネクタ部14とが導線5Dを介して電気的に接続されている。一方、金属シート部5Aの長手方向端部5Eと側壁部10Sに設けられているコネクタ部15とが電気的に接続される。すなわち、バスバー50は複数のコネクタ部14、15のそれぞれに対して接続するための突出部(分岐部)5Cを有する構成であって、突出部5Cにおいて伝達媒体である電力を分岐することができる。
【0067】
図11はコネクタ部14〜17を有する保持装置1を用いたケーブルの接続例を示す図である。図11に示すように、第1の保持装置1の第1空間部10に保持されているケーブルは、コネクタ部15を介して中継用ケーブル(所定のケーブル)40に接続され、この中継用ケーブル40を介して第2の保持装置1’の第1空間部10に保持されているケーブルに接続されている。一方、第1の保持装置1の第2空間部20は、コネクタ部17を介して中継用パイプ部材(所定の空間部)41に接続され、この中継用パイプ部材41を介して第2の保持装置1’の第2空間部20に接続されている。
【0068】
図12は他の接続例を示す図である。図12に示すように、第1の保持装置1の第1空間部10のケーブルに接続しているコネクタ部15と、第2の保持装置1’の第1空間部10のケーブルに接続しているコネクタ部15とを直接接続することも可能である。そして、第1の保持装置1の第1空間部10に保持されているケーブルと第2の保持装置1’の第1空間部10に保持されているケーブルとが第1及び第2の保持装置1、1’のコネクタ部15、15を介して接続される。このとき、第1の保持装置1の第2空間部20に接続しているコネクタ部17と、第2の保持装置1’の第2空間部20に接続しているコネクタ部17とも直接接続される。そして、第1の保持装置1の第2空間部20と第2の保持装置1’の第2空間部20とが第1及び第2の保持装置1、1’のコネクタ部17、17を介して接続される。
【0069】
なお、例えば第2の保持装置1’の下面にコネクタ部14を設け、第1の保持装置1の上面に重ねるようにして載置することで、第1の保持装置1のコネクタ部14と第2の保持装置1’のコネクタ部14とを直接接続することも可能である。同様に、第1、第2の保持装置1、1’それぞれのコネクタ部16どうしを直接接続することも可能である。
【0070】
このように、第1、第2の保持装置1、1’のコネクタ部どうしを接続することにより、ケーブルの接続ミスといった不都合の発生をより一層確実に抑えることができる。そして、コネクタ部どうしを接続するだけといった簡易な手順で第1、第2の保持装置1、1’に保持されているケーブルどうしを接続することができ、ケーブル接続作業性を大幅に向上することができる。
【0071】
図13も他の接続例を示す図である。図13に示す例では、ハウジング部30内部に設けられている電気部品31がハウジング部30に設けられているコネクタ部32を介して中継用ケーブル41に接続されており、中継用ケーブル41の下端部は保持装置の第1空間部10に保持されているケーブルに接続するコネクタ部14に接続している。なお、保持装置1に保持されているケーブルとしては、図10を参照して説明したように分岐部を有するケーブル(バスバー)を用いることができる。そして、本実施形態では、保持装置1に対して複数(2つ)の電気部品31(ハウジング部30)が接続された構成となっている。また、ハウジング部30の開口部34はパイプ部材21を介して第1保持装置1のコネクタ部16に接続されており、ハウジング部30内部からの排気ガスはパイプ部材21及びコネクタ部16を介して第2空間部20に流通する。複数(2つ)のハウジング部30からの排気ガスは第2空間部20で集合し露光装置外部に排出される。
【0072】
図14も他の接続例を示す図である。図14において、保持装置1は所定の構造体であるメインフレーム100の段部100Aに埋設されており、ケーブルに接続するコネクタ部14と、第2空間部20に接続するコネクタ部16とが構造体100Aより露出している。そして、ハウジング部30の壁部に設けられたコネクタ部32と保持装置1のコネクタ部14とが直接接続されるとともに、ハウジング部30の壁部に設けられたコネクタ部(開口部)34と保持装置1のコネクタ部16とが直接接続される。このように、中継用ケーブルや中継用パイプ部材を用いることなく、ハウジング部30内部の電気部品31と保持装置1に保持されたケーブルとをコネクタ部32、14を介して電気的に接続可能であるとともに、ハウジング部30の内部空間と第2空間部20とをコネクタ部34、16を介して空間的に接続可能である。これにより、電気部品31を収容したハウジング部30のコネクタ部32、34と保持装置1のコネクタ部32、34とを接続するだけで、ハウジング部30に収容されている電気部品31と保持装置1に保持されているケーブルと容易に接続できるとともに、ハウジング部30内部空間と第2空間部20とを容易に接続でき、接続ミスといった不都合の発生を確実に抑えつつ接続作業性を大幅に向上することができる。そして、本実施形態では保持装置1は構造体100Aに埋設された構成であって広い平面部分を確保することができるため、この構造体100A上面に他の装置を設置できる等、構造体100A上面を有効活用できる。
【0073】
なお、上記実施形態の露光装置EXとして、マスクMと感光基板Pとを同期移動してマスクMのパターンを露光する走査型露光装置にも適用することができるし、マスクMと感光基板Pとを静止した状態でマスクMのパターンを露光し、感光基板Pを順次ステップ移動させるステップ・アンド・リピート型の露光装置にも適用することができる。
【0074】
露光装置EXの用途としては半導体製造用の露光装置に限定されることなく、例えば、角型のガラスプレートに液晶表示素子パターンを露光する液晶用の露光装置や、薄膜磁気ヘッドを製造するための露光装置にも広く適当できる。
【0075】
また、露光用照明光の光源として、超高圧水銀ランプから発生する輝線(g線(436nm)、h線(404.7nm)、i線(365nm))、KrFエキシマレーザ(248nm)、ArFエキシマレーザ(193nm)、F2 レーザ(157nm)のみならず、X線や電子線などの荷電粒子線を用いることができる。例えば、電子線を用いる場合には電子銃として、熱電子放射型のランタンヘキサボライト(LaB6 )、タンタル(Ta)を用いることができる。さらに、電子線を用いる場合は、マスクMを用いる構成としてもよいし、マスクMを用いずに直接ウエハ上にパターンを形成する構成としてもよい。また、YAGレーザや半導体レーザ等の高周波などを用いてもよい。
【0076】
投影光学系PLの倍率は縮小系のみならず等倍および拡大系のいずれでもよい。また、投影光学系PLとしては、エキシマレーザなどの遠紫外線を用いる場合は硝材として石英や蛍石などの遠紫外線を透過する材料を用い、F2 レーザやX線を用いる場合は反射屈折系または屈折系の光学系にし(マスクMも反射型タイプのものを用いる)、また電子線を用いる場合には光学系として電子レンズ及び偏向器からなる電子光学系を用いればよい。なお、電子線が通過する光路は、真空状態にすることはいうまでもない。また、投影光学系PLを用いることなく、マスクMと基板Pとを密接させてマスクMのパターンを露光するプロキシミティ露光装置にも適用可能である。
【0077】
上記実施形態のように基板ステージPSTやマスクステージMSTにリニアモータを用いる場合においてエアベアリングを用いたエア浮上型に限られず、ローレンツ力を用いた磁気浮上型を用いてもよい。また、各ステージPST、MSTは、ガイドに沿って移動するタイプでもよく、ガイドを設けないガイドレスタイプであってもよい。
【0078】
基板ステージPSTの移動により発生する反力は、特開平8−166475号公報に記載されているように、フレーム部材を用いて機械的に床(大地)に逃がしてもよい。また、マスクステージMSTの移動により発生する反力は、特開平8−330224号公報に記載されているように、フレーム部材を用いて機械的に床(大地)に逃がしてもよい。
【0079】
以上のように、本願実施形態の露光装置EXは、本願特許請求の範囲に挙げられた各構成要素を含む各種サブシステムを、所定の機械的精度、電気的精度、光学的精度を保つように、組み立てることで製造される。これら各種精度を確保するために、この組み立ての前後には、各種光学系については光学的精度を達成するための調整、各種機械系については機械的精度を達成するための調整、各種電気系については電気的精度を達成するための調整が行われる。各種サブシステムから露光装置への組み立て工程は、各種サブシステム相互の、機械的接続、電気回路の配線接続、気圧回路の配管接続等が含まれる。この各種サブシステムから露光装置への組み立て工程の前に、各サブシステム個々の組み立て工程があることはいうまでもない。各種サブシステムの露光装置への組み立て工程が終了したら、総合調整が行われ、露光装置全体としての各種精度が確保される。なお、露光装置の製造は温度及びクリーン度等が管理されたクリーンルームで行うことが望ましい。
【0080】
半導体デバイスは、図15に示すように、デバイスの機能・性能設計を行うステップ201、この設計ステップに基づいたマスク(レチクル)を製作するステップ202、デバイスの基材である基板を製造するステップ203、前述した実施形態の露光装置EXによりマスクのパターンを基板に露光する基板処理ステップ204、デバイス組み立てステップ(ダイシング工程、ボンディング工程、パッケージ工程を含む)205、検査ステップ206等を経て製造される。
【0081】
【発明の効果】
以上説明したように、複数のケーブルからなるケーブル群を保持する第1空間部を有する保持装置を設けたことにより、複数のケーブルの散在配置が改善される。したがって、ケーブルの接続作業時等における接続ミスの発生を抑えて良好な作業性が実現されるとともに、良好なケーブル敷設作業性を得ることができる。更に、ケーブルの占有スペースを小さくすることができるので、露光装置を構成する各機構部の作動の自由度を向上することができる。また、この保持装置に、流体を流通する第2空間部を第1空間部と一体的に設けたことにより更なる省スペース化が実現される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の露光装置に係る保持装置の第1実施形態を示す外観概略斜視図である。
【図2】本発明に係る保持装置の第1実施形態を示す概略構成図である。
【図3】本発明の露光装置の一実施形態を示す概略構成図である。
【図4】第1空間部に保持されたケーブルを示す斜視図である。
【図5】本発明に係る保持装置の第2実施形態を示す概略構成図である。
【図6】本発明に係る保持装置の第3実施形態を示す概略構成図である。
【図7】本発明に係る保持装置の第4実施形態を示す概略構成図である。
【図8】本発明に係る保持装置の第5実施形態を示す概略構成図である。
【図9】本発明に係る保持装置の第6実施形態を示す概略斜視図である。
【図10】ケーブルの一例を示す斜視図である。
【図11】本発明の保持装置の設置例を示す図である。
【図12】本発明の保持装置の設置例を示す図である。
【図13】本発明の保持装置の設置例を示す図である。
【図14】本発明の保持装置の設置例を示す図である。
【図15】半導体デバイスの製造工程の一例を示すフローチャート図である。
【符号の説明】
1…保持装置、 2〜6…ケーブル、ケーブル群、 8…蓋部材、
10…第1空間部、 10A〜10E…収納部、 10S…側壁部(壁部)、
10T…上壁部(壁部)、 11…絶縁材、 14、15…第1コネクタ部、
16、17…第2コネクタ部、 20…第2空間部、
20S…側壁部(壁部)、 20T…上壁部(壁部)、 22…ファン装置、
30…ハウジング部、 31…電気部品(発熱源)、
34…ハウジング部開口部(吸引口)、
106、114、115…リニアモータ(機構部)、
124…液体循環経路、 120…コイル(発熱源)、 EX…露光装置、
IL…照明光学系(機構部)、 M…マスク、
MST…マスクステージ(機構部)、 P…感光基板(基板)、
PL…投影光学系(機構部)、 PST…基板ステージ(機構部)
【発明の属する技術分野】
本発明は、微細パターンを基板上に転写する露光装置、デバイス製造方法及びデバイスに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来より、半導体素子や液晶表示素子等のマイクロデバイスを製造する際にマスクを露光光で照明しマスクのパターンを感光性の基板(感光基板)上に転写する露光装置が用いられている。露光装置内には該露光装置を構成する各機構部を制御するための制御回路基板(制御回路部)や電力供給のための電力供給基板(電力供給部)が設けられているが、これら制御回路部や電力供給部(以下、これらを合わせて適宜「電気部品」と称する)は発熱するため、電気部品をハウジング部に収容しこのハウジング部内部のガスを排気することで温度調整を行っている。そのため、露光装置内には前記排気ガスを流通する配管(流路)が多数設けられている。また、露光装置内には前記電気部品からの電気信号を伝達するケーブルや、各機構部を駆動するエアシリンダや油圧シリンダ等のアクチュエータ、あるいは摺動部に設けられているエアベアリング等に対してエアや油を供給するためのケーブル(チューブ)も多数配設されている。更に、リニアモータ等の発熱する機構部を冷却するための冷媒を流通する配管(流路)も設けられている。このように、露光装置内には各種ケーブルや配管が多数設けられている。
【0003】
下記特許文献1〜5には前記ケーブルや配管を有する露光装置に関する技術が開示されている。また、下記特許文献6〜8には空調ダクトに関する技術が開示されている。
【0004】
【特許文献1】
特開平11−283900号公報
【特許文献2】
特開2000−11767号公報
【特許文献3】
特開平10−270535号公報
【特許文献4】
特開平11−30294号公報
【特許文献5】
特開平11−176723号公報
【特許文献6】
特許2546243号公報
【特許文献7】
特許2794587号公報
【特許文献8】
特開平6−34318号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、基板の大型化や処理技術の高精度化により露光装置は大型化・大重量化しており、これに伴って上記ケーブルや配管の取り回しも複雑化する傾向にある。一方で、従来において前記ケーブルや配管は散在配置されているため、敷設作業時やメンテナンス作業時においてケーブルや配管の接続ミスを誘発していた。また、ケーブルと配管とは独立して配設されているためその占有スペースが大きく、例えばシステム組立作業時やメンテナンス作業時における作業性向上の障害となっていた。また、ケーブルや配管の占有スペースが大きくなると各機構部の作動が制約を受けるという問題も生じるとともに、散在状態のケーブルや配管により外観も低下する。
【0006】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、ケーブル及び配管の散在配置を抑えるとともにケーブルや配管どうしの接続ミスの発生を抑えて接続作業を効率良く行うことができる露光装置を提供することを目的とする。また、この露光装置を用いることにより作業性良くデバイスを製造できるデバイス製造方法及びこのデバイス製造方法で製造されたデバイスを提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため本発明は、実施の形態に示す図1〜図15に対応付けした以下の構成を採用している。
本発明の露光装置(EX)は、複数の機構部(IL、MST、PL、PST、105、106など)を備え、複数の機構部を用いて微細パターンを基板(P)上に転写する露光装置において、複数の機構部それぞれに接続される複数のケーブルからなるケーブル群(2〜6)と、ケーブル群(2〜6)を保持する第1空間部(10)を備えた保持装置(1)とを備え、更に、保持装置(1)が流体を流通する第2空間部(20)を第1空間部(10)と一体的に備えたことを特徴とする。
【0008】
本発明によれば、複数のケーブルからなるケーブル群を保持する第1空間部を有する保持装置を設けたことによりケーブルの散在配置が改善される。したがって、ケーブルの接続作業や敷設作業の作業性が向上され、接続ミス等の不都合の発生を抑えることができる。更に、ケーブルの占有スペースを小さくすることができるので露光装置を構成する各機構部の作動の自由度を向上できる。また、この保持装置に例えば電気部品を収容するハウジング部内部からの排気ガスあるいは駆動装置を冷却するための冷媒といった流体を流通する第2空間部を第1空間部と一体的に設けたことにより、更なる省スペース化を実現できる。
【0009】
ここで、前記機構部は、マスクを支持するマスクステージ、感光基板を支持する基板ステージ、マスクを露光光で照明する照明光学系、及び露光光で照明されたマスクのパターンを感光基板に投影する投影光学系等を含む。更には、前記ステージを駆動するリニアモータ、マスクや感光基板を搬送する搬送系に設けられる駆動モータ、光学系の光学特性(結像特性)を調整するために前記光学系を構成する光学素子を駆動する駆動機構等の駆動装置も含む。あるいは、前記ステージの摺動部に介装されるエアベアリング、及び温度センサや位置計測センサ等の露光処理に関する状態量を検出する各種検出装置も含む。
【0010】
前記ケーブルは、前記駆動装置等の機構部に駆動力を供給する駆動力伝達ケーブル、前記駆動装置等の機構部に制御信号を伝達する制御信号伝達ケーブル、前記検出装置の信号伝達ケーブル、エアベアリングにエア(圧搾空気)を伝達する圧搾空気伝達ケーブル(チューブ)、及びマスクや基板を吸着保持するために前記ステージに接続される真空ケーブル(チューブ)等の用力ケーブルを含む。ここで、前記駆動装置が電力で駆動する場合には前記駆動力伝達ケーブルは電力伝達ケーブルであり、前記駆動装置がエアシリンダや油圧シリンダ等の作動流体で駆動する場合には前記駆動力伝達ケーブルは作動流体伝達ケーブル(チューブ)である。また、ケーブルとしては、露光装置内の発熱を伴う装置(リニアモータ等の駆動装置や制御回路基板等)に対して冷媒(冷却用流体)を供給する冷媒供給用ケーブル(チューブ)も含まれる。
【0011】
本発明のデバイス製造方法は、上記記載の露光装置を用いて、デバイスパターンを基板上に転写する工程を含むことを特徴とする。また、本発明のデバイスは、上記記載のデバイス製造方法で製造されたことを特徴とする。
本発明によれば、良好な作業性のもとでデバイスが製造されるので高性能のデバイスを提供できる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の保持装置を備えた露光装置について図面を参照しながら説明する。図1は本発明に係る保持装置の第1実施形態を示す外観斜視図であり、図2は概略構成図である。
図1及び図2において、保持装置1は複数のケーブルからなるケーブル群2〜6を保持する第1空間部10を備えている。更に、保持装置1は流体を流通する第2空間部20を第1空間部10と一体的に備えている。保持装置1は略直方体の箱状部材により形成されているとともに、第1空間部10は複数の仕切部材7により区画された複数(図1及び図2に示す例では5つ)の収納部10A〜10Eを有している。収納部10A〜10Eのそれぞれには複数のケーブルが所定本数ずつ収納される。
【0013】
第1空間部10の収納部10A〜10Eのそれぞれは所定方向(図中、X軸方向)を長手方向とし、水平面内において前記所定方向と直交する方向(Y軸方向)に並んで設けられている。収納部10A〜10Eは互いに略平行に設けられている。流体を流通する第2空間部20は第1空間部10(収納部10A)に隣接して設けられている。第2空間部20もX軸方向を長手方向とし、第1空間部10の収納部10A〜10Eに対して平行に設けられている。また、複数の収納部10A〜10Eのそれぞれ、ひいては第1空間部10は断面矩形状に形成されているとともに、第2空間部20も断面矩形状に形成されている。また、図1に示す例では、第1空間部10の収納部10A〜10Eの長手方向両端部は開放されており、第2空間部20の一端部(+X側端部)は流路であるパイプ部材21に接続されている。
【0014】
図1に示すように、保持装置1はその上面に蓋部材8を備えている。蓋部材8はヒンジ部9に回動可能に支持されており、蓋部材8を持ち上げることで第1空間部10(収納部10A〜10E)が開けられ、蓋部材8を降ろして仕切部材7で支持することにより第1空間部10(収納部10A〜10E)が閉じられる。一方、第2空間部20は断面矩形状の筒状部材により構成されている。そして、ヒンジ部9の一端は第2空間部20を形成する筒状部材の上面に接続され、ヒンジ部9の他端は蓋部材8の一部に接続されている。すなわち、第2空間部20を形成する筒状部材の上面と蓋部材8とがヒンジ部9で連結されており、蓋部材8はヒンジ部9により回動可能に支持されている。
【0015】
保持装置1の形成材料としては、合成樹脂、セラミックス、及び金属等を用いることができる。ここで、金属を用いる場合には例えばステンレス鋼等の脱ガスの少ない材料を用いることが好ましい。また、保持装置1の形成材料としてゴム等の可撓性材料を用いることにより、例えば保持装置1を屈曲させて配置できるなど、敷設作業性の自由度を向上することができる。
【0016】
本実施形態において、第1空間部10のうち複数設けられた収納部10A〜10Eのそれぞれにはケーブルが伝達する伝達媒体毎に別々に収納される。具体的には、第1の収納部10Aに収納されている複数のケーブル(ケーブル群)2は例えば露光装置を構成する各機構部に対して伝達媒体として駆動力(電力)を伝達する駆動力伝達ケーブルである。第2の収納部10Bに収納されている複数のケーブル3は各機構部に対して伝達媒体として光を伝達する光伝達ケーブル(光ファイバケーブル)である。第3の収納部10Cに収納されている複数のケーブル4は各機構部に対して制御信号を伝達する制御信号伝達ケーブルである。第4の収納部10Dに収納されているケーブル5はケーブル2とは別の電力を伝達する電力伝達ケーブルである。第5の収納部10Eに収納されているケーブル6は例えば機構部であるエアベアリングに対してエア(圧搾空気)を伝達するチューブである。
【0017】
本実施形態において、複数の収納部10A〜10Eのうち第3の収納部10Cには、この第3の収納部10Cに収納されるケーブル4を収納部10C外から絶縁する絶縁材11が設けられている。ここでは、絶縁材11はシート状部材により構成されており、収納部10Cを囲むようにこの収納部10Cを形成する壁部に取り付けられている。これにより収納部10Cに収納されているケーブル4は電気的に絶縁されて電気ノイズの影響を抑制される。また、ケーブルが例えば高電圧ケーブルである場合には周囲に対して電気ノイズの影響を与える場合もあるが、この場合もこの高電圧ケーブルを収納する収納部を囲むように絶縁材11を設けることにより周囲に対する電気的影響を抑えることができる。
【0018】
なお、ここでは第3の収納部10Cに絶縁材11が設けられている構成であるが、もちろん第3の収納部10C以外の収納部に絶縁材を設けることも可能である。更には、第1空間部10全体を囲むように絶縁材11を設けることも可能である。
【0019】
また、ここでは絶縁材11はシート状部材により構成されているが、絶縁材料を収納部を構成する壁部に塗布することで絶縁材11を形成してもよい。また、ここでは絶縁材11は電気を絶縁するものとして説明したが、熱を絶縁するものであってもよい。例えば、ケーブルが発熱を伴う装置に対して冷媒を供給するチューブである場合、このチューブを収納する収納部を囲むように熱を絶縁する絶縁材を設けることにより、チューブを流れる冷媒の温度変化を抑えることができる。あるいは、熱を絶縁する絶縁材を電力伝達ケーブルを収納する収納部に設けることもできる。例えば、電力伝達ケーブルが熱を発する場合、熱を絶縁する絶縁材を設けることにより周囲に対する熱の影響を抑えることができる。
【0020】
本実施形態において、ケーブル2〜5のそれぞれの一端部は、露光装置を構成する各機構部を制御するための制御回路基板(制御回路部)、各機構部に対して電力を供給するための電力供給基板(電力供給部)、前記電力や制御信号を中継する中継基板(中継部)、及び電力や制御信号の増幅を行うアンプ基板(アンプ部)といった各種電力制御基板(以下、これら電力制御基板を合わせて適宜「電気部品31」と称する)に接続されている。電気部品31はハウジング部30に収容され、ハウジング部30の一部にはコネクタ部32が設けられており、ケーブル2〜5の一端部はハウジング部30のコネクタ部32を介して電気部品31に接続されている。また、図2に示すように、エアを伝達するチューブであるケーブル6の一端部は圧搾空気供給装置33に接続されている。
【0021】
一方、ケーブル2〜5のそれぞれの他端部は露光装置を構成する複数の機構部のそれぞれに接続される。例えば、マスクステージや基板ステージの駆動装置であるリニアモータ、マスクや基板を搬送する搬送系用駆動モータ、温度センサ、照明光学系や投影光学系を構成する光学素子を駆動する駆動機構等に接続される。また、エアを伝達するチューブであるケーブル6の他端部は、例えばマスクステージや基板ステージの摺動部に介装されるエアベアリング、エアを作動流体とするエアシリンダ等のアクチュエータに接続される。また、チューブ6で冷媒(液体)を伝達する際にはチューブ6の一端部は冷媒供給装置に接続され、他端部は発熱を伴う装置(ステージを駆動するリニアモータ等)に接続される。更に、液体(油)を作動流体とする油圧シリンダ等のアクチュエータに対して液体をチューブ6で伝達するようにしてもよい。
【0022】
第2空間部20の一端部はパイプ部材21を介してハウジング部30内部に接続されている。パイプ部材21の一端部はハウジング部30の一部に形成された開口部34に配置され、他端部は第2空間部20の一端部に接続されている。また、第2空間部20の内部にはファン装置22が設けられている。一方、第2空間部20の他端部は露光装置外部に接続されている。そして、ハウジング部30内部のガスはパイプ部材21及び第2空間部20を流通した後、外部に排気される。ファン装置22を駆動することでハウジング部30内部のガスが円滑に排気される。ここで、ハウジング部30に収容されている電気部品31は発熱する発熱源である。すなわち、第2空間部20の一端部は発熱源である電気部品31周りのガスを吸引する開口部(吸引口)34に連通している構成であって、ハウジング部30内部のガスを排気することにより電気部品31を冷却することができる。そして、ファン装置22が駆動されることにより電気部品31は効果的に冷却される。
【0023】
図3は本発明の保持装置1を備えた露光装置EXの概略構成図である。図3において、露光装置EXは、マスクMを支持するマスクステージMSTと、感光基板Pを支持する基板ステージPSTと、光源を有し、マスクステージMSTに支持されているマスクMを露光光ELで照明する照明光学系ILと、露光光ELで照明されたマスクMのパターンを基板ステージPSTに支持されている感光基板P上に投影する投影光学系PLと、露光装置EXの動作を統括制御する制御装置CONTとを備えている。更に、露光装置EXは、マスクステージMST及び投影光学系PLを支持するメインフレーム(架台)100と、メインフレーム100の上面に固定され、照明光学系ILを支持する支持コラム(架台)101とを備えている。メインフレーム100は床面に水平に載置されたベースプレート102上に設置されており、このメインフレーム100の上部側及び下部側には内側に向けて突出する段部100A及び100Bがそれぞれ形成されている。
【0024】
照明光学系ILはマスクステージMSTに支持されているマスクMを露光光ELで照明するものであり、照明光学系ILより射出される露光光ELとしては、例えば水銀ランプから射出される紫外域の輝線(g線、h線、i線)及びKrFエキシマレーザ光(波長248nm)等の遠紫外光(DUV光)や、ArFエキシマレーザ光(波長193nm)及びF2 レーザ光(波長157nm)等の真空紫外光(VUV光)などが用いられる。また、照明光学系ILは、例えばマスクMに対する露光光ELの照明領域を設定するための可変開口部を有するブラインド部等といった機構部を有している。
【0025】
マスクステージMSTはマスク定盤103上に設けられており、マスク定盤103はメインフレーム100の段部100Aに防振ユニット104を介してほぼ水平に支持されている。マスクステージMSTの底面には非接触ベアリングである複数のエアベアリング105が設けられており、マスクステージMSTはエアベアリング105によりマスク定盤103に対して所定のクリアランスを介して浮上支持されている。なお、マスクステージMST及びマスク定盤103の中央部にはマスクMのパターン像が通過する開口部が形成されている。また、露光装置EXは、エアベアリング105によりマスク定盤103に対して非接触支持されているマスクステージMSTを移動するリニアモータ(機構部、駆動装置)106と、マスクステージMSTの位置を検出するレーザ干渉計(機構部、検出装置)とを備えている。また、マスクステージMSTにはマスクMを真空吸着保持するための吸着機構部が設けられている。
【0026】
投影光学系PLは複数の光学素子により構成され、これら光学素子は鏡筒で支持されている。投影光学系PLの鏡筒の外周にはこの鏡筒に一体化されたフランジ部107が設けられている。そして、投影光学系PLはメインフレーム100の段部100Bに防振ユニット108を介してほぼ水平に支持された鏡筒定盤109にフランジ部107を係合している。また、投影光学系PLは複数の光学素子のうちの所定の光学素子を駆動することにより結像特性を調整する結像特性調整装置(機構部、駆動装置)を備えている。なお、各光学素子間の圧力を調整することで結像特性を調整することもできる。
【0027】
基板ステージPSTは基板定盤110上に設けられており、基板定盤110はベースプレート102の上方に防振ユニット111を介してほぼ水平に支持されている。基板ステージPSTの底面には非接触ベアリングである複数のエアベアリング112が設けられており、基板ステージPSTはエアベアリング111により基板定盤110に対して所定のクリアランスを介して浮上支持されている。また、露光装置EXは、基板ステージMSTを図中、Y軸方向に案内しつつ移動自在に支持するガイドステージ113と、ガイドステージ113に設けられ、基板ステージPSTをY軸方向に移動するリニアモータ(機構部、駆動装置)114と、ガイドステージ113をX軸方向に移動可能な一対のリニアモータ(機構部、駆動装置)115、115と、基板ステージPSTの位置を検出するレーザ干渉計(機構部、検出装置)116とを備えている。また、基板ステージPSTは感光基板Pを真空吸着保持するための吸着機構部を備えた基板ホルダPHを有している。
【0028】
そして、図3において、本実施形態に係る保持装置1が、メインフレーム100の段部100A、鏡筒定盤109、及びベースプレート102のそれぞれに設置されている。なお、保持装置1の設置位置は露光処理動作に影響を与えない位置、すなわち各機構部の作動に制約を与えない位置であれば任意の位置に設置可能であり、例えばマスクステージMSTや基板ステージPST近傍であってもよい。
【0029】
そして、保持装置1の第1空間部10(収納部10A〜10E)に収納されているケーブル2〜5の他端部が、上記リニアモータ106、114、及び115や、結像特性調整装置等の機構部に接続されている。例えば、第3の収納部10Cに収納されている制御信号伝達ケーブル群4のうち、ケーブル4A(図2参照)がマスクステージMSTのリニアモータ106に接続され、ケーブル4Bが基板ステージPSTのリニアモータ114に接続され、ケーブル4Cが結像特性調整装置に接続される。また、第5の収納部10Eに収納されている圧搾空気伝達用ケーブル群6のうち、ケーブル6AがマスクステージMSTのエアベアリング105に接続され、ケーブル6Bが基板ステージPSTのエアベアリング112に接続され、ケーブル6Cが例えばアライメント光学系の光路上に設けられたエアシリンダからなるシャッタ駆動機構に接続される。
【0030】
次に、複数のケーブル2〜6を配設する手順について説明する。まず、メインフレーム100の段部100Aやベースプレート102、あるいは鏡筒定盤109等の所定の位置に保持装置1が取り付けられる。次いで、ケーブル2〜6が伝達媒体毎に各収納部10A〜10Eのそれぞれに収納される。ケーブル2〜6を各収納部10A〜10Eに収納する際には、蓋部材8を持ち上げて各収納部10A〜10Eの上部を開放した状態で収納する。そして、ケーブル2〜6を各収納部10A〜10Eに配置して蓋部材8を降ろすことにより、ケーブル2〜6のぞれぞれは各収納部10A〜10Eに保持される。
【0031】
ここで、ケーブル2(3〜6)を収納部10A(10B〜10E)に収納する際には、図4(a)に示すように、ケーブル2を収納部10Aの底部に載置するだけでもよいし、図4(b)に示すように、結束部材12を用いて複数のケーブル2を結束するようにしてもよい。このとき、結束部材12を収納部10Aの底部に接着固定してもよいし、固定せずに載置する構成であってもよい。また、図4(a)のように結束部材12を用いない場合において、ケーブル2を収納部10Aの底部に接着固定してもよい。
【0032】
そして、ケーブル2〜6が収納部10A〜10Eに収納されたら、各ケーブル2〜6の一端部が電気部品31や圧搾空気供給装置33に接続されるとともに、他端部が露光装置EXの各機構部に接続される。更に、第2空間部20の一端部と発熱源である電機部品31を収容したハウジング部30の開口部34とがパイプ部材21を介して接続される。そして、第2空間部20に設けられたファン装置22が駆動することにより、ハウジング部30内部のガスが露光装置EX外部に排気される。
【0033】
以上説明したように、複数のケーブルからなるケーブル群を保持する第1空間部10を有する保持装置1を設けたことにより、複数のケーブルの散在配置が改善される。したがって、ケーブルの接続作業時等における接続ミスの発生を抑えて良好な作業性が実現されるとともに、良好なケーブル敷設作業性を得ることができる。
【0034】
また、本実施形態では、第1空間部10は複数の収納部10A〜10Eを有しており、ケーブルは伝達媒体毎に複数の収納部10A〜10Eに別々に収納されているので、ケーブルの接続作業時における接続ミスの発生を更に確実に抑制することができる。
【0035】
また、ケーブルを保持する保持装置1を設けたことにより、ケーブルの占有スペースを小さくすることができるので、露光装置EXを構成する各機構部の作動の自由度を向上することができる。
【0036】
そして、従来では、ハウジング部30内部からの排気ガスを流通する配管の占有スペースも大きく問題であったが、保持装置1に、電気部品31を収容するハウジング部30内部からの排気ガスを流通する第2空間部20を第1空間部10と一体的に設けたことにより、更なる省スペース化を実現できる。
【0037】
収納部10A〜10Eはケーブル2〜6を保持可能な保持空間部であるので、結束部材12を用いなくても収納されたケーブルを良好に保持できる。したがって、ケーブルを収納部に配置するだけでケーブルを散在させずに位置決めできるので、良好な敷設作業性を得ることができる。
【0038】
収納部(第1空間部)を囲むように絶縁材11を設けたことにより、ケーブルに対する電気や熱の影響を抑えることができるので、ケーブルは電気や熱の影響を抑えられた状態で伝達媒体を良好に伝達できる。したがって、伝達媒体(電力や冷媒)を伝達された機構部は所望の機能を良好に発揮できる。
【0039】
なお、本実施形態では、第2空間部20の一端部は発熱源である電気部品31周りの気体を吸引する吸引口である開口部34にパイプ部材21を介して連通されているが、発塵源周りの気体を吸引する吸引口に連通されていてもよい。この場合、第2空間部20には発塵源周りの気体が流通する。
【0040】
本実施形態では、図1に示すように第1空間部10を開閉する蓋部材8が設けられている構成であるが、第2空間20を開閉する蓋部材8が設けられていてもよい。また、図1に示す例では複数の収納部10A〜10Eのそれぞれは1つの蓋部材8により開閉される構成であるが、複数の収納部10A〜10Eのそれぞれに対応するように蓋部材8を複数設け、収納部10A〜10Eのそれぞれを個別に開閉するようにしてもよい。
【0041】
一方、蓋部材8を設けない構成とすることも可能である。この場合、ケーブル2〜6を収納部10A〜10Eのそれぞれに収納する際には、図1に示したように、収納部10A〜10Eの長手方向両端部に設けられた開口部よりケーブルを挿入すればよい。一方、本実施形態のように蓋部材8を設けることにより、ケーブルを収納部に収納する際の収納動作や、図4(b)を参照して説明したように複数のケーブルを結束する結束動作の作業性を向上することができる。
【0042】
なお、本実施形態では、収納部10A〜10E(第1空間部10)及び第2空間部20のそれぞれは断面矩形状(4角形)に形成されているように説明したが、例えば断面円形状であってもよいし六角形や八角形等の多角形状であってもよい。一方、第1空間部10や第2空間部20を断面矩形状にしたことにより、保持装置1全体の占有スペースを小さくすることができる。更に、第1空間部10や第2空間部20を断面矩形状にして保持装置1全体を略直方体状にしたことにより、保持装置1の上面を平面にすることができるのでこの平面部分に他の装置を設置できる等、保持装置1の上面を有効活用することができる。
【0043】
なお、本実施形態では、複数の収納部10A〜10E及び第2空間部20はY軸方向に並んで設けられている構成であるが、例えばZ軸方向に重ねるように設けてもよい。また、本実施形態では、複数の収納部10A〜10Eは仕切部材7により第1空間部10を区画することで形成されているが、断面矩形状の筒状部材からなる収納部を複数形成し、これらを任意に組み合わせることで保持装置1を形成するようにしてもよい。更に、本実施形態において、第2空間部20は保持装置1のうちY軸方向端部(−Y側)に設けられているが、保持装置1のY軸方向中央部、例えば第2の収納部10Bと第3の収納部10Cとの間に設けられてもよい。
【0044】
なお、本実施形態において、ハウジング部30内部のガスは露光装置外部に排気されるように説明したが、図2の破線で示すように、ハウジング部30内部からの排気ガスを温度調整装置23で回収し、温度調整装置23により温度調整したガスをハウジング部30内部に戻すようにしてもよい。ここで、温度調整装置23はハウジング部30内部からの排気ガスを用いずに他の流路系統のガスを回収して温度調整し、この温度調整したガスをハウジング部30に供給するようにしてもよい。
【0045】
本実施形態では説明を簡単にするために複数のケーブル2〜5の全てが1つのハウジング部30に収容されている電気部品31に接続されているように説明したが、もちろん各ケーブル2〜5のそれぞれが互いに異なるハウジング部30に収容されている電気部品31のそれぞれに接続されていてもよい。更に、ケーブル2〜5の一端部の接続先は電気部品31に限らず例えば電源装置など所定の装置(機構部)に接続されてもよい。
【0046】
なお、本実施形態において、第1空間部10の各収納部10A〜10Eや第2空間部20は略直線状の空間であるように説明したが屈曲部を有していてもよい。そして、第1及び第2空間部の直線部と屈曲部とを組み合わせることにより、ケーブルの敷設作業の自由度を向上することができる。ここで、屈曲部は略円弧状であることが好ましい。すなわち、収納部の屈曲部が直角状である場合には、この直角部でケーブルが折れ曲がったり応力集中を受けるおそれが生じる。あるいは第2空間部の屈曲部が直角状である場合にはこの直角部で流体が淀むおそれが生じる。しかしながら、屈曲部を略円弧状にすることにより、ケーブルの折れ曲がりや流体の淀みといった不都合の発生を抑えることができる。また、保持装置1をゴム等の可撓性材料により形成した場合、保持装置1の設置現場で設置環境に応じて保持装置1を屈曲させてから設置することも可能となる。
【0047】
次に、本発明の第2実施形態について図5を参照しながら説明する。ここで、以下の説明において、上述した第1実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略もしくは省略する。本実施形態の特徴部分は保持装置1の第2空間部20に液体(冷媒)が流通される点である。
【0048】
図5において、第2空間部20の一端部はパイプ部材21を介して冷媒供給装置24に接続され、一方、第2空間部20の他端部は流路25を介してリニアモータ(コイルユニット)106に接続されている。ここで、リニアモータのコイルユニット106は、複数のコイル120と、コイル120を収容するコイル用ハウジング部121と、コイル用ハウジング部121の一端部に設けられ、このコイル用ハウジング部121内部に対して冷媒を入れる入口部122と、コイル用ハウジング部121の他端部に設けられ、このコイル用ハウジング部121内部の冷媒を出す出口部123とを備えている。そして、入口部122は流路25と接続しており、出口部123は、冷媒供給装置24にその一端を接続している流路26と接続している。
【0049】
冷媒供給装置24から供給された冷媒(液体)は流路であるパイプ部材21を介して第2空間部20に送られこの第2空間部20を流通する。第2空間部20を流通した冷媒は流路25を流れた後、コイルユニット106の入口部122よりコイル用ハウジング部121内部に供給される。そして、コイル用ハウジング部121内部を冷媒が流通することにより、発熱するコイル120の熱が回収されて冷却される。熱を回収した冷媒は出口部123よりコイル用ハウジング部121外部に出され、流路26を介して冷媒供給装置24に戻される。
【0050】
すなわち、本実施形態において、冷媒供給装置24は発熱源であるコイル120(コイルユニット106)を温度調整するための温度調整装置であって、この冷媒供給装置24、流路(パイプ部材)21、第2空間部20、流路25、ハウジング部121、及び流路26により、発熱源であるコイル120周りの冷媒循環流路(液体循環流路)124が構成されている。換言すれば、第2空間部20の両端部が、コイル120周りの冷媒循環流路124の一部を構成するハウジング部121に連通した構成となっている。
【0051】
以上説明したように、第2空間部20に液体(冷媒)を流通させる構成とすることも可能であり、この第2空間部20の端部を、発熱源であるコイル120周りの液体循環経路124の一部を構成するハウジング部121に連通することで、コイル120を効果的に冷却することができる。
【0052】
なお、本実施形態では発熱源としてコイル120を例にして説明したが、もちろん、コイル以外の発熱源に対しても第2空間部20を流通した冷媒を供給可能である。更に、第2空間部20を流通する液体としては冷媒に限らず、例えば作動流体を液体とするアクチュエータに供給するための液体であってもよい。
【0053】
なお、リニアモータは、図5に示したコイルユニット106と、不図示の磁石ユニットとを備えており、本発明は、コイルユニットを固定子とし磁石ユニットを可動子としたムービングマグネット型リニアモータに適用することもできるし、コイルユニットを可動子とし磁石ユニットを固定子としたムービングコイル型リニアモータに適用することもできる。
【0054】
なお、第1、第2実施形態において、保持装置1は流体(排気ガスや冷媒)を流通する第2空間部20を1つ有する構成であるが、もちろん2つ以上の複数有していてもよい。例えば第2空間部を2つ設けた際には、一方の第2空間部で気体(排気ガス等)を流通し、他方の第2空間部で液体(冷媒等)を流通するようにしてもよい。
【0055】
次に、本発明の第3実施形態について図6を参照しながら説明する。本実施形態の特徴部分は、複数のケーブルを、ケーブルそれぞれの接続先毎に、複数の収納部に別々に収納している点である。
【0056】
図6において、複数の収納部10A〜10Dのそれぞれに収納されているケーブルは、複数の接続先毎に別々に収納されている。すなわち、第1の収納部10Aに収納されているケーブルは第1の接続先に接続され、第2の収納部10Bに収納されているケーブルは第2の接続先に接続され、第3の収納部10Cに収納されているケーブルは第3の接続先に接続され、第4の収納部10Dに収納されているケーブルは第4の接続先に接続される。例えば、複数の収納部10A〜10Dのうち第1の収納部10Aに収納されているケーブルの収納先はマスクステージMSTに設けられているリニアモータ106であり、第2の収納部10Bに収納されているケーブルの収納先はマスク搬送系用駆動モータ130であり、第3の収納部10Cに収納されているケーブルの収納先は露光装置EXの環境温度を検出する温度センサ131であり、第4の収納部10Dに収納されているケーブルの収納先はマスクステージMSTに設けられているエアベアリング105である。
【0057】
そして、第1の収納部10Aに収納されている複数のケーブルのうち、第1のケーブル2は例えばリニアモータ106に駆動力(電力)を伝達するケーブルであり、第2のケーブル3はリニアモータ106の状態量を検出した検出信号を伝達するケーブルであり、第3のケーブル4はリニアモータ106に制御信号を伝達するケーブルである。このように、第1の収納部10Aには伝達媒体は互いに異なるが接続先が同じである複数のケーブルが収納されている。同様に、第2〜第4の収納部10B〜10Dのそれぞれにも、伝達媒体は互いに異なるが接続先が同じである複数のケーブルが収納されている。なお、第4の収納部10Dには、エアベアリング105に圧搾空気を供給するチューブ6が収納されている。
【0058】
以上説明したように、接続先毎にケーブルを別々に収納したことによっても、ケーブルの接続ミスといった不都合の発生を抑えることができる。また、例えばリニアモータ106のメンテナンス作業を行いたい場合には、第1の収納部10Aに収納されているケーブル2、3、4のリニアモータ106に対する接続を解除すればよく、作業性を向上できる。
【0059】
図7は本発明の第4実施形態を示す図である。図7に示すように、第1〜第4の収納部10A〜10Dには、接続先毎に別々にケーブルが収納されている。本実施形態において、第1の収納部10Aに収納されているケーブルの接続先(第1の接続先)は基板ステージPSTであり、第2の収納部10Bに収納されているケーブルの接続先(第2の接続先)は投影光学系PLであり、第3の収納部10Cに収納されているケーブルの接続先(第3の接続先)はマスクステージMSTであり、第4の収納部10Dに収納されているケーブルの接続先(第4の接続先)は照明光学系ILである。そして、本実施形態においても、第1〜第4の収納部10A〜10Dのそれぞれには互いに異なる伝達媒体を伝達する複数のケーブルが収納されている。
【0060】
本実施形態では、複数のケーブルは、露光装置EXのメンテナンス作業に応じて複数の収納部10A〜10Dに別々に収納されている。例えば、基板ステージPSTのメンテナンス作業を行いたい場合には、第1の収納部10Aに収納されている複数のケーブル2、3、及び4と基板ステージPSTとの接続を解除してからメンテナンス作業を行えばよい。そして、メンテナンス作業が終了したら、第1の収納部10Aに収納されているケーブル2、3、及び4を基板ステージPSTに対して再び接続すればよい。このように、複数のケーブルをメンテナンス作業に応じて別々に収納することも可能であり、この場合においてもケーブルの接続ミスや接続解除ミスといった不都合の発生を抑えることができ、しかもケーブルの接続作業性及び接続解除作業性を向上することができる。
【0061】
図8は本発明の第5実施形態を示す図である。図5に示すように、第1〜第4の収納部10A〜10Dには、機構部である基板ステージPSTに対して接続される複数のケーブルがそれぞれ収納されている。基板ステージPSTは、リニアモータ、光量センサ、レーザ干渉計、及びエアベアリング等の複数の機構部により構成されており、第1の収納部10Aには電気部品の一部を構成する干渉計用制御回路基板31Aに接続されるケーブルが収納され、第2の収納部10Bにはセンサ用制御回路基板31Bに接続されるケーブルが収納され、第3の収納部10Cにはリニアモータ用制御回路基板31Cに接続されるケーブルが収納されている。また、第4の収納部10Dには圧搾空気供給装置33に接続されるケーブル(チューブ)が収納されている。そして、各制御回路基板31A、31B、及び31Cは、それぞれ独立したハウジング部30A、30B、及び30Cにそれぞれ収納されている。
【0062】
例えば、センサ用制御回路基板31Bのメンテナンス作業や交換作業を行いたい場合、ハウジング部30Bの一部を開放してセンサ用制御回路基板31Bにアクセスすることになるが、このとき、センサ用制御回路基板31Bとケーブルとの接続解除作業が行われる。あるいは、メンテナンス作業終了後はセンサ用制御回路基板31Bとケーブルとの接続作業が行われる。ここで、本実施形態のように、複数の制御回路基板(電気部品)のそれぞれに接続されるケーブル毎に収納部に収納するようにしたので、センサ用制御回路基板31Bに対するケーブルの接続・接続解除作業は第2の収納部10Bに収納されているケーブルについて行えばよいので、ケーブルの接続ミスといった不都合の発生を抑制することができる。
【0063】
図9は本発明の第6実施形態を示す図である。図9において、保持装置1は、第1空間部10を形成する壁部に、第1空間部10に保持されているケーブルに対して所定のケーブルを接続するための複数のコネクタ部(第1コネクタ部)14、15を備えているとともに、第2空間部20を形成する壁部に、第2空間部20に対して所定の空間部を接続するためのコネクタ部(第2コネクタ部)16、17を備えている。
【0064】
コネクタ部(第1コネクタ部)14、15のうち、コネクタ部14は第1空間部10を形成する壁部の一部である上壁部10T(すなわち蓋部材8)に設けられている。また、本実施形態おいて、第1空間部10(収納部10A〜10E)の長手方向両端部は側壁部10Sにより閉塞されており、コネクタ部15はこの側壁部10Sに設けられている。一方、コネクタ部(第2コネクタ部)16、17のうち、コネクタ部16は第2空間部20を形成する壁部の一部である上壁部20Tに設けられている。また、第2空間部20の長手方向両端部は側壁部20Sにより閉塞されており、コネクタ部17はこの側壁部20Sに設けられている。そして、コネクタ部14は複数の収納部10A〜10Eのそれぞれに対応した複数のコネクタ部14A〜14Eにより構成されており、同様にコネクタ部15は複数のコネクタ部15A〜15Eにより構成されている。
【0065】
第1空間部(収納部)10に保持されているケーブルはコネクタ部14、15に接続されている。ここで、第1空間部10に保持されているケーブルが電力伝達用ケーブルである場合、コネクタ部14、15は電力伝達用コネクタにより構成され、ケーブルが流体伝達用ケーブルである場合、コネクタ部14、15は流体伝達用コネクタにより構成されている。また、コネクタ部16、17は流体伝達用コネクタにより構成されており、第2空間部20に接続している。
【0066】
図10はケーブルを別部品に置換した一例を示す模式図である。図10において、バスバー50は、銅等の金属シート部5Aと絶縁シート部5Bとを複数積層したものであって全体として略棒状部材となっている。そして、金属シート部5Aの長手方向の所定位置における上端面には突出部(分岐部)5Cが設けられている。そして、この突出部5Cと上壁部10Tに設けられているコネクタ部14とが導線5Dを介して電気的に接続されている。一方、金属シート部5Aの長手方向端部5Eと側壁部10Sに設けられているコネクタ部15とが電気的に接続される。すなわち、バスバー50は複数のコネクタ部14、15のそれぞれに対して接続するための突出部(分岐部)5Cを有する構成であって、突出部5Cにおいて伝達媒体である電力を分岐することができる。
【0067】
図11はコネクタ部14〜17を有する保持装置1を用いたケーブルの接続例を示す図である。図11に示すように、第1の保持装置1の第1空間部10に保持されているケーブルは、コネクタ部15を介して中継用ケーブル(所定のケーブル)40に接続され、この中継用ケーブル40を介して第2の保持装置1’の第1空間部10に保持されているケーブルに接続されている。一方、第1の保持装置1の第2空間部20は、コネクタ部17を介して中継用パイプ部材(所定の空間部)41に接続され、この中継用パイプ部材41を介して第2の保持装置1’の第2空間部20に接続されている。
【0068】
図12は他の接続例を示す図である。図12に示すように、第1の保持装置1の第1空間部10のケーブルに接続しているコネクタ部15と、第2の保持装置1’の第1空間部10のケーブルに接続しているコネクタ部15とを直接接続することも可能である。そして、第1の保持装置1の第1空間部10に保持されているケーブルと第2の保持装置1’の第1空間部10に保持されているケーブルとが第1及び第2の保持装置1、1’のコネクタ部15、15を介して接続される。このとき、第1の保持装置1の第2空間部20に接続しているコネクタ部17と、第2の保持装置1’の第2空間部20に接続しているコネクタ部17とも直接接続される。そして、第1の保持装置1の第2空間部20と第2の保持装置1’の第2空間部20とが第1及び第2の保持装置1、1’のコネクタ部17、17を介して接続される。
【0069】
なお、例えば第2の保持装置1’の下面にコネクタ部14を設け、第1の保持装置1の上面に重ねるようにして載置することで、第1の保持装置1のコネクタ部14と第2の保持装置1’のコネクタ部14とを直接接続することも可能である。同様に、第1、第2の保持装置1、1’それぞれのコネクタ部16どうしを直接接続することも可能である。
【0070】
このように、第1、第2の保持装置1、1’のコネクタ部どうしを接続することにより、ケーブルの接続ミスといった不都合の発生をより一層確実に抑えることができる。そして、コネクタ部どうしを接続するだけといった簡易な手順で第1、第2の保持装置1、1’に保持されているケーブルどうしを接続することができ、ケーブル接続作業性を大幅に向上することができる。
【0071】
図13も他の接続例を示す図である。図13に示す例では、ハウジング部30内部に設けられている電気部品31がハウジング部30に設けられているコネクタ部32を介して中継用ケーブル41に接続されており、中継用ケーブル41の下端部は保持装置の第1空間部10に保持されているケーブルに接続するコネクタ部14に接続している。なお、保持装置1に保持されているケーブルとしては、図10を参照して説明したように分岐部を有するケーブル(バスバー)を用いることができる。そして、本実施形態では、保持装置1に対して複数(2つ)の電気部品31(ハウジング部30)が接続された構成となっている。また、ハウジング部30の開口部34はパイプ部材21を介して第1保持装置1のコネクタ部16に接続されており、ハウジング部30内部からの排気ガスはパイプ部材21及びコネクタ部16を介して第2空間部20に流通する。複数(2つ)のハウジング部30からの排気ガスは第2空間部20で集合し露光装置外部に排出される。
【0072】
図14も他の接続例を示す図である。図14において、保持装置1は所定の構造体であるメインフレーム100の段部100Aに埋設されており、ケーブルに接続するコネクタ部14と、第2空間部20に接続するコネクタ部16とが構造体100Aより露出している。そして、ハウジング部30の壁部に設けられたコネクタ部32と保持装置1のコネクタ部14とが直接接続されるとともに、ハウジング部30の壁部に設けられたコネクタ部(開口部)34と保持装置1のコネクタ部16とが直接接続される。このように、中継用ケーブルや中継用パイプ部材を用いることなく、ハウジング部30内部の電気部品31と保持装置1に保持されたケーブルとをコネクタ部32、14を介して電気的に接続可能であるとともに、ハウジング部30の内部空間と第2空間部20とをコネクタ部34、16を介して空間的に接続可能である。これにより、電気部品31を収容したハウジング部30のコネクタ部32、34と保持装置1のコネクタ部32、34とを接続するだけで、ハウジング部30に収容されている電気部品31と保持装置1に保持されているケーブルと容易に接続できるとともに、ハウジング部30内部空間と第2空間部20とを容易に接続でき、接続ミスといった不都合の発生を確実に抑えつつ接続作業性を大幅に向上することができる。そして、本実施形態では保持装置1は構造体100Aに埋設された構成であって広い平面部分を確保することができるため、この構造体100A上面に他の装置を設置できる等、構造体100A上面を有効活用できる。
【0073】
なお、上記実施形態の露光装置EXとして、マスクMと感光基板Pとを同期移動してマスクMのパターンを露光する走査型露光装置にも適用することができるし、マスクMと感光基板Pとを静止した状態でマスクMのパターンを露光し、感光基板Pを順次ステップ移動させるステップ・アンド・リピート型の露光装置にも適用することができる。
【0074】
露光装置EXの用途としては半導体製造用の露光装置に限定されることなく、例えば、角型のガラスプレートに液晶表示素子パターンを露光する液晶用の露光装置や、薄膜磁気ヘッドを製造するための露光装置にも広く適当できる。
【0075】
また、露光用照明光の光源として、超高圧水銀ランプから発生する輝線(g線(436nm)、h線(404.7nm)、i線(365nm))、KrFエキシマレーザ(248nm)、ArFエキシマレーザ(193nm)、F2 レーザ(157nm)のみならず、X線や電子線などの荷電粒子線を用いることができる。例えば、電子線を用いる場合には電子銃として、熱電子放射型のランタンヘキサボライト(LaB6 )、タンタル(Ta)を用いることができる。さらに、電子線を用いる場合は、マスクMを用いる構成としてもよいし、マスクMを用いずに直接ウエハ上にパターンを形成する構成としてもよい。また、YAGレーザや半導体レーザ等の高周波などを用いてもよい。
【0076】
投影光学系PLの倍率は縮小系のみならず等倍および拡大系のいずれでもよい。また、投影光学系PLとしては、エキシマレーザなどの遠紫外線を用いる場合は硝材として石英や蛍石などの遠紫外線を透過する材料を用い、F2 レーザやX線を用いる場合は反射屈折系または屈折系の光学系にし(マスクMも反射型タイプのものを用いる)、また電子線を用いる場合には光学系として電子レンズ及び偏向器からなる電子光学系を用いればよい。なお、電子線が通過する光路は、真空状態にすることはいうまでもない。また、投影光学系PLを用いることなく、マスクMと基板Pとを密接させてマスクMのパターンを露光するプロキシミティ露光装置にも適用可能である。
【0077】
上記実施形態のように基板ステージPSTやマスクステージMSTにリニアモータを用いる場合においてエアベアリングを用いたエア浮上型に限られず、ローレンツ力を用いた磁気浮上型を用いてもよい。また、各ステージPST、MSTは、ガイドに沿って移動するタイプでもよく、ガイドを設けないガイドレスタイプであってもよい。
【0078】
基板ステージPSTの移動により発生する反力は、特開平8−166475号公報に記載されているように、フレーム部材を用いて機械的に床(大地)に逃がしてもよい。また、マスクステージMSTの移動により発生する反力は、特開平8−330224号公報に記載されているように、フレーム部材を用いて機械的に床(大地)に逃がしてもよい。
【0079】
以上のように、本願実施形態の露光装置EXは、本願特許請求の範囲に挙げられた各構成要素を含む各種サブシステムを、所定の機械的精度、電気的精度、光学的精度を保つように、組み立てることで製造される。これら各種精度を確保するために、この組み立ての前後には、各種光学系については光学的精度を達成するための調整、各種機械系については機械的精度を達成するための調整、各種電気系については電気的精度を達成するための調整が行われる。各種サブシステムから露光装置への組み立て工程は、各種サブシステム相互の、機械的接続、電気回路の配線接続、気圧回路の配管接続等が含まれる。この各種サブシステムから露光装置への組み立て工程の前に、各サブシステム個々の組み立て工程があることはいうまでもない。各種サブシステムの露光装置への組み立て工程が終了したら、総合調整が行われ、露光装置全体としての各種精度が確保される。なお、露光装置の製造は温度及びクリーン度等が管理されたクリーンルームで行うことが望ましい。
【0080】
半導体デバイスは、図15に示すように、デバイスの機能・性能設計を行うステップ201、この設計ステップに基づいたマスク(レチクル)を製作するステップ202、デバイスの基材である基板を製造するステップ203、前述した実施形態の露光装置EXによりマスクのパターンを基板に露光する基板処理ステップ204、デバイス組み立てステップ(ダイシング工程、ボンディング工程、パッケージ工程を含む)205、検査ステップ206等を経て製造される。
【0081】
【発明の効果】
以上説明したように、複数のケーブルからなるケーブル群を保持する第1空間部を有する保持装置を設けたことにより、複数のケーブルの散在配置が改善される。したがって、ケーブルの接続作業時等における接続ミスの発生を抑えて良好な作業性が実現されるとともに、良好なケーブル敷設作業性を得ることができる。更に、ケーブルの占有スペースを小さくすることができるので、露光装置を構成する各機構部の作動の自由度を向上することができる。また、この保持装置に、流体を流通する第2空間部を第1空間部と一体的に設けたことにより更なる省スペース化が実現される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の露光装置に係る保持装置の第1実施形態を示す外観概略斜視図である。
【図2】本発明に係る保持装置の第1実施形態を示す概略構成図である。
【図3】本発明の露光装置の一実施形態を示す概略構成図である。
【図4】第1空間部に保持されたケーブルを示す斜視図である。
【図5】本発明に係る保持装置の第2実施形態を示す概略構成図である。
【図6】本発明に係る保持装置の第3実施形態を示す概略構成図である。
【図7】本発明に係る保持装置の第4実施形態を示す概略構成図である。
【図8】本発明に係る保持装置の第5実施形態を示す概略構成図である。
【図9】本発明に係る保持装置の第6実施形態を示す概略斜視図である。
【図10】ケーブルの一例を示す斜視図である。
【図11】本発明の保持装置の設置例を示す図である。
【図12】本発明の保持装置の設置例を示す図である。
【図13】本発明の保持装置の設置例を示す図である。
【図14】本発明の保持装置の設置例を示す図である。
【図15】半導体デバイスの製造工程の一例を示すフローチャート図である。
【符号の説明】
1…保持装置、 2〜6…ケーブル、ケーブル群、 8…蓋部材、
10…第1空間部、 10A〜10E…収納部、 10S…側壁部(壁部)、
10T…上壁部(壁部)、 11…絶縁材、 14、15…第1コネクタ部、
16、17…第2コネクタ部、 20…第2空間部、
20S…側壁部(壁部)、 20T…上壁部(壁部)、 22…ファン装置、
30…ハウジング部、 31…電気部品(発熱源)、
34…ハウジング部開口部(吸引口)、
106、114、115…リニアモータ(機構部)、
124…液体循環経路、 120…コイル(発熱源)、 EX…露光装置、
IL…照明光学系(機構部)、 M…マスク、
MST…マスクステージ(機構部)、 P…感光基板(基板)、
PL…投影光学系(機構部)、 PST…基板ステージ(機構部)
Claims (13)
- 複数の機構部を備え、前記複数の機構部を用いて微細パターンを基板上に転写する露光装置において、
前記複数の機構部それぞれに接続される複数のケーブルからなるケーブル群と、前記ケーブル群を保持する第1空間部を備えた保持装置とを備え、
更に、前記保持装置が流体を流通する第2空間部を前記第1空間部と一体的に備えたことを特徴とする露光装置。 - 前記第2空間部を流通する流体は気体であって、前記第2空間部の一端が、発熱源周りの気体又は発塵源周りの気体を吸引する吸引口に連通することを特徴とする請求項1記載の露光装置。
- 前記第2空間部が、その内部にファン装置を備えることを特徴とする請求項2記載の露光装置。
- 前記第2空間部を流通する流体は液体であって、前記第2空間部の一端が、発熱源周りの液体循環経路に連通することを特徴とする請求項1記載の露光装置。
- 前記第1空間部が、前記複数のケーブルを、前記複数のケーブルが伝達する伝達媒体毎に、別々に収納する複数の収納部を有することを特徴とする請求項1記載の露光装置。
- 前記複数の収納部のうちの少なくとも1つに、該1つの収納部に収納されるケーブルを収納部外から絶縁する絶縁材を設けることを特徴とする請求項5記載の露光装置。
- 前記第1空間部が、前記複数のケーブルを、前記複数のケーブルそれぞれの接続先毎に、別々に収納する複数の収納部を有することを特徴とする請求項1記載の露光装置。
- 前記第1空間部が、前記複数のケーブルを、前記露光装置のメンテナンス作業に応じて別々に収納する複数の収納部を有することを特徴とする請求項1記載の露光装置。
- 前記第1空間部を形成する壁部に、該第1空間部に保持されるケーブルに対して所定のケーブルを接続するための第1コネクタ部が設けられ、前記第2空間部を形成する壁部に、前記第2空間部に対して所定の空間部を接続するための第2コネクタ部が設けられることを特徴とする請求項1記載の露光装置。
- 前記保持装置は、前記第1、第2空間部を開閉する蓋部材を有することを特徴とする請求項1記載の露光装置。
- 前記第1、第2空間部のそれぞれは断面矩形状に形成されていることを特徴とする請求項1記載の露光装置。
- 請求項1〜請求項11のいずれか一項記載の露光装置を用いて、デバイスパターンを基板上に転写する工程を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
- 請求項12記載のデバイス製造方法で製造されたことを特徴とするデバイス。
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