JP2004342205A - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】Co及びPtを含有する合金磁性材料からなる記録層5を備えた垂直磁気記録媒体の記録層5の下に突起の平均間隔が3〜10nmで、且つ、表面粗さRa が0.5nm以下である微細な凹凸を有する凹凸制御層3を設ける。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は垂直磁気記録媒体に関するものであり、特に、高記録密度のハードディスク装置に用いられる垂直磁気記録媒体の低ノイズ化及び高保磁力化を実現するための積層構造に特徴のある垂直磁気記録媒体に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、磁気記録再生装置の大容量化は急速に進んでおり、大容量化に伴って磁気記録媒体の記録密度を高めるために、垂直記録が注目を集めている。
【0003】
この様な垂直磁気記録媒体においては、記録層としてCo−Pt合金を用いることが研究されており、プロセスにもよるが10〜40at%程度のPt組成においてCo−Pt合金は2×106 erg/cc以上の結晶磁気異方性(Ku)を有する目的に適した材料である。
【0004】
さらに、これを低ノイズな媒体とするには連続膜ではなくなんらかの方法で磁性粒同士を磁気的に孤立化させる必要がある。
【0005】
そのため、
▲1▼Co−PtにCrを添加してCrの粒界偏析を利用する方法(例えば、特許文献1参照)、
▲2▼Co−Ptを微量のO2 を含んだAr雰囲気中で形成し、粒界の酸素析出を利用する方法(例えば、特許文献2或いは特許文献3参照)、
などが提案されている。
【0006】
【特許文献1】
特開2002−269718号公報
【特許文献2】
特開2000−268340号公報
【特許文献3】
特開2000−057569号公報
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
上記の▲2▼の方法は特に加熱を必要としないため、量産などを考えるとコストを含め有利な点が多いが、本発明者等の検討結果によると以下の課題がある。
即ち、
a.O2 混合比を上げるとクラスタサイズを低減できるが、過度に混合するとHC (保磁力)を劣化させる。
b.Cr偏析に比べ粒同士を分離する効果が小さい。
【0008】
したがって、上記の▲2▼の方法で十分に低ノイズかつHC が高い媒体を作製するには、酸素析出を利用しつつもそれと並行して別の方法で粒同士の磁気的孤立を補うことが必要と考える。
【0009】
そこで、本発明者は、酸化物或いは窒化物を用いた凹凸制御層を中間層、或いは、下地層として設けることが低ノイズ化に有効であることを発見した(別途、出願準備中)。
【0010】
即ち、酸化物或いは窒化物からなる凹凸制御層をCo/Pd多層膜或いはCo/Pt多層膜からなる記録層の下に挿入して凹凸を形成し、その凹凸により記録層にも凹凸が導入され、その凹凸が磁壁のピニングサイトとなって、磁気的なクラスタサイズを減少させるためと考えられる。
【0011】
なお、凹凸制御層だけでは、記録層の配向性が必ずしも十分ではなく、媒体ノイズの低減が必ずしも充分ではないという問題がある。
【0012】
したがって、本発明は、保磁力を劣化させることなく磁気的なクラスタサイズを低減するとともに、記録層の配向性を高めて低ノイズ化することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】
図1は本発明の原理的構成の説明図であり、この図1を参照して本発明における課題を解決するための手段を説明する。
なお、図における符号1は、ガラス基板等の非磁性基板である。
図1参照
上記目的を達成するため、本発明は、Co及びPtを含有する合金磁性材料からなる記録層5を備えた垂直磁気記録媒体において、記録層5の下に突起の平均間隔が3〜10nmで、且つ、表面粗さRa が0.5nm以下である微細な凹凸を有する凹凸制御層3を設けたことを特徴とする。
【0014】
このように、Co−Cr−Pt−O等のCo及びPtを含有するhcp(六方晶最密)構造を有する合金磁性材料からなる記録層5を用いた場合にも、凹凸制御層3を挿入することで、磁性粒間の磁気相互作用が一層低減でき、高保磁力化が可能になる。
【0015】
なお、凹凸制御層3の凹凸が磁壁のピニングサイトとなって、磁気的なクラスタサイズを減少させているので、突起の平均間隔が10nmを超えるとクラスタサイズが大きくなりすぎ、一方、3nm未満の場合には非磁性基板11の表面粗さとあまり差がなくなり、凹凸制御層3を設ける意味がなくなる。
【0016】
この場合の凹凸制御層3としては、SiOx 等の酸化物或いはSiNx 等の窒化物のいずれかが好適である。
【0017】
また、凹凸制御層3と記録層5との間に配向制御層4を設けることが望ましく、配向制御層4を設けることによって、垂直配向を維持することができ、媒体ノイズを低減することができる。
【0018】
この場合の配向制御層4は、Co−Cr−Pt−O等のCo及びPtを含有するhcp構造を有する合金磁性材料と同じhcp構造を有する必要があり、Ru、Ru−Cr合金膜、Co−Cr合金膜、或いは、Ru−Co合金膜が望ましい。
【0019】
また、垂直磁気記録媒体としては軟磁気特性を有する裏打層2を少なくとも1層以上有することが望ましく、特に、多層化することによってさらなる低ノイズ化が可能になる。
【0020】
上述の構成の垂直磁気記録媒体を製造する場合には、凹凸制御層3を形成する際には、酸素或いは窒素を含むNe、Ar、Kr、Xeのいずれか1つのプロセスガス雰囲気中で反応性スパッタ法によって凹凸制御層3を形成すれば良い。
【0021】
特に、反応性スパッタ工程におけるプロセスガス圧を1Pa以上とすることにより、突起の平均間隔が3〜10nmで、且つ、表面粗さRa が0.5nm以下である微細な凹凸を有する凹凸制御層3を再現性良く形成することができる。
【0022】
【発明の実施の形態】
ここで、図2及び図3を参照して、本発明の第1の実施の形態の垂直磁気記録媒体を説明するが、まず、図2を参照して、本発明の第1の実施の形態の垂直磁気記録媒体の製造工程を説明する。
図2(a)参照
まず、直径が2.5インチ(≒6cm)のガラス基板11上にDCマグネトロンスパッタ装置を用いて、厚さが、例えば、200nmのCoZrNb裏打層12を形成する。
【0023】
図2(b)参照
引き続いて、多結晶Siをターゲットとし、プロセスガスとしてO2 とArの2系統のガスを用いて、O2 ガスとArガスの分圧比が1:100のプロセスガス圧を4.0Paとし、室温において反応性スパッタによりCoZrNb裏打層12上に厚さが、例えば、2nmのSiOx 凹凸制御層13を設ける。
【0024】
図2(c)参照
引き続いて、厚さが、例えば、3nmのRu配向制御層14をスパッタ法により成膜したのち、ターゲットとしてCoCrPtを用いてO2 雰囲気中で厚さが、例えば、20nmのCo−Cr−Pt−O記録層15を成膜する。
【0025】
図2(d)参照
次いで、Co−Cr−Pt−O記録層15上にスパッタ法により厚さが、例えば、4nmのDLCからなる保護膜16を順次堆積させたのち、保護膜16上にパーフルオロカーボンからなる潤滑材17を設けることによって、垂直磁気記録媒体の基本構造が完成する。
【0026】
図3参照
図3は、得られた垂直磁気記録媒体における媒体ノイズNm の線記録密度依存性の説明図であり、比較のために、SiOx 凹凸制御層を設けずに5nmのRu配向制御層のみを設けた例を併せて示している。
ここでは、磁気ヘッドとして、リードコア幅0.3μmでライトコア幅0.5μmのSPT(単磁極型)ヘッドを用い、ディスク回転数6500rpm,半径位置20mm,Yaw angle 0°の条件で測定した。
【0027】
図から明らかなように、SiOx 凹凸制御層を設けた場合に、Ru配向制御層のみの場合に比べて媒体ノイズNm 〔μVrms〕を、10〜30%低くすることができ、また、線記録密度〔kFCI〕の増大とともに低減率が大きくなることが分かる。
【0028】
また、この垂直磁気記録媒体のSiOx 凹凸制御層13の表面粗さRa を測定したところ、Ra ≒0.4nmであり、ガラス基板11の表面粗さRa ≒0.2nmに対して適度に粗くなっており、この粗さがCo−Cr−Pt−O記録層15の磁性粒間の磁気相互作用に影響し、媒体ノイズNm が低減できたと考えられる。
【0029】
次に、図4及び図5を参照して、配向制御層の膜厚依存性に関する本発明の第2の実施の形態を説明するが、配向制御層の構成以外は上記の第1の実施の形態と同様であるので製造工程の説明は省略する。
【0030】
図4参照
図4は、本発明の第2の実施の形態の垂直磁気記録媒体の概念的断面図であり、この第2の実施の形態においては、配向制御層として、厚さが1nmのTa配向制御層21と、厚さが0〜3nmのRu80Co20配向制御層22とを設けたものである。
【0031】
即ち、直径が2.5インチ(≒6cm)のガラス基板11上に厚さが200nmのCoZrNb裏打層12、厚さが2nmのSiOx 凹凸制御層13、厚さが1nmのTa配向制御層21、厚さが0〜3nmのRu80Co20配向制御層22、厚さが20nmのCo−Cr−Pt−O記録層15、厚さが4nmのDLCからなる保護膜16、及び、パーフルオロカーボンからなる潤滑材17を順次設けたものである。
但し、Ru80Co20配向制御層22の膜厚が0nmの場合には、Ta配向制御層21の膜厚も0nmである。
この場合、RuにCoを加えた配向制御層を用いることによって、Co−Cr−Pt−O記録層15との格子定数の整合を図っている。
【0032】
図5参照
図5は、Kerrループより求めた保磁力Hc のRu80Co20配向制御層の膜厚依存性の説明図であり、Ru80Co20配向制御層の膜厚増大に伴い、保磁力HC が増大し、配向制御膜を設けない場合に比べてTa配向制御層21上に設けるRu80Co20配向制御層22の膜厚を3nmとすることで保磁力HC を大幅に向上することができた。
【0033】
次に、図6及び図7を参照して、凹凸制御層の製造条件依存性に関する本発明の第3の実施の形態を説明するが、凹凸制御層の製造条件を振った以外は上記の第1の実施の形態と同様であるので構造の説明は省略する。
【0034】
この本発明の第3の実施の形態の説明においては、SiOx 凹凸制御層13の形成工程において、多結晶Siをターゲットとし、プロセスガスとしてO2 とArの2系統のガスを用いて、O2 ガスとArガスの分圧比が1:100のプロセスガス圧を0.5〜6Paで振って、室温において反応性スパッタによりCoZrNb裏打層12上に厚さが、例えば、2nmのSiOx 凹凸制御層13を形成した。
【0035】
図6参照
図6は、本発明の第3の実施の形態の垂直磁気記録媒体の保磁力Hc のプロセスガス圧依存性の説明図であり、プロセスガス圧の増大とともに、保磁力Hc が向上し、プロセスガス圧を0.5Pa→2Paとすることで、保磁力Hc は2.1〔kOe〕向上した。
【0036】
図7参照
図7は、本発明の第3の実施の形態の垂直磁気記録媒体の媒体SN比(S/Nm )のプロセスガス圧依存性の説明図であり、ここでは、200kFCIの線記録密度におけるS/Nm の変化を示している。
図から明らかなように、プロセスガス圧を0.5Pa→2Paとすることで、S/Nm は6.9dBもの向上が可能となった。
【0037】
これは、凹凸制御層の表面粗さRa が、プロセスガス圧に依存することを意味しており、プロセスガス圧を1Pa以上とすることによって、凹凸制御層の表面粗さRa を0.5nm以下にすることができる。
また、この時の凹凸の突起の平均間隔は10nm以下となる。
【0038】
以上、本発明の各実施の形態を説明したが、本発明は各実施の形態に記載した構成及び条件に限られるものではなく、各種の変更が可能である。
例えば、上記の各実施の形態においては、基板としてガラス基板を用いているが、ガラス基板としては例えば、結晶化ガラス基板或いは強化ガラス基板を用いれば良い。
【0039】
さらに、本発明はガラス基板に限られるものではなく、非磁性基板であれば良く、例えば、Al−Mg合金基板等の金属基板を用いても良いものである。
【0040】
また、上記の各実施の形態においては、凹凸制御層としてSiOx を用いているが、SiOx に限られるものではなく、SiNx 等の窒化膜を用いても良いものであり、この場合には、多結晶Siをターゲットとし、プロセスガスとしてN2 とArの2系統のガスを用いた反応性スパッタ法により成膜すれば良い。
【0041】
また、上記の各実施の形態においては、配向制御層としてRu或いはRu80Co20を用いているが、これらの材料に限られるものではなく、記録層の結晶構造と同じhcp構造の金属であれば良く、Ru−Cr或いはCo−Crを用いても良いものであり、その場合の組成比はRu−Coの場合を含めて、配向制御層の上に設ける記録層の格子定数に応じて格子不整合を少なくするように適宜決定すれば良い。
【0042】
また、上記の各実施の形態においては、記録層としてCo−Cr−Pt−Oを用いているが、Co−Cr−Pt−Oに限られるものではなく、少なくともCo及びPtを含む合金磁性材料であれば良く、Co−Pt、或いは、Co−Pt−O等を用いても良いものである。
【0043】
また、上記の各実施の形態においては、プロセスガスを構成する不活性ガスとしてArを用いているが、Arに限られるものではなく、Ne、Kr、或いは、Xe等の他の希ガスを用いても良いものである。
【0044】
ここで、再び図1を参照して、改めて本発明の詳細な特徴を説明する。
再び、図1参照
(付記1) Co及びPtを含有する合金磁性材料からなる記録層5を備えた垂直磁気記録媒体において、前記記録層5の下に突起の平均間隔が3〜10nmで、且つ、表面粗さRa が0.5nm以下である微細な凹凸を有する凹凸制御層3を設けたことを特徴とする垂直磁気記録媒体。
(付記2) 上記凹凸制御層3が、酸化物或いは窒化物のいずれかからなることを特徴とする付記1記載の垂直磁気記録媒体。
(付記3) 上記凹凸制御層3と上記記録層5との間に配向制御層4を設けたことを特徴とする付記1または2に記載の垂直磁気記録媒体。
(付記4) 上記配向制御層4の膜厚を、1nm以上としたことを特徴とする付記3記載の垂直磁気記録媒体。
(付記5) 上記配向制御層4が、Ru、Ru−Cr、Co−Cr、或いは、Ru−Coのうちのいずれか1つからなることを特徴とする付記3または4に記載の垂直磁気記録媒体。
(付記6) 上記垂直磁気記録媒体が、軟磁気特性を有する裏打層2を少なくとも1 層以上有することを特徴とする付記1乃至5のいずれか1に記載の垂直磁気記録媒体。
(付記7) Co及びPtを含有する合金磁性材料からなる記録層5を備えた垂直磁気記録媒体の製造方法において、少なくとも前記記録層5を成長する前に、酸素或いは窒素を含むNe、Ar、Kr、Xeのいずれか1つのプロセスガス雰囲気中で反応性スパッタ法によって、突起の平均間隔が3〜10nmで、且つ、表面粗さRa が0.5nm以下である微細な凹凸を有する酸化物或いは窒化物からなる凹凸制御層3を形成することを特徴とする垂直磁気記録媒体の製造方法。
(付記8) 上記反応性スパッタ工程における上記プロセスガス圧を、1Pa以上とすることを特徴とする付記7記載の垂直磁気記録媒体の製造方法。
【0045】
【発明の効果】
本発明によれば、Co−Pt系合金磁性材料からなる記録層の下に凹凸制御層を設けているのでCo−Pt系合金磁性材料からなる記録層の場合にも保磁力Hc を劣化することなく磁気的なクラスタサイズを小さくすることができ、また、記録層と凹凸制御層との間に配向制御層を設けることにより垂直配向を維持して媒体ノイズNm を低減することができ、ひいては、高密度記録磁気記録再生装置の実現に寄与するところが大きい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の原理的構成の説明図である。
【図2】本発明の第1の実施の形態の垂直磁気記録媒体の製造工程の説明図である。
【図3】本発明の第1の実施の形態の垂直磁気記録媒体における媒体ノイズNm の線記録密度依存性の説明図である。
【図4】本発明の第2の実施の形態の垂直磁気記録媒体の概念的断面図である。
【図5】垂直磁気記録媒体の保磁力Hc のRu80Co20配向制御層の膜厚依存性の説明図である。
【図6】垂直磁気記録媒体の保磁力Hc のプロセスガス圧依存性の説明図である。
【図7】垂直磁気記録媒体のS/Nm のプロセスガス圧依存性の説明図である。
【符号の説明】
1 非磁性基板
2 裏打層
3 凹凸制御層
4 配向制御層
5 記録層
11 ガラス基板
12 CoZrNb裏打層
13 SiOx 凹凸制御層
14 Ru配向制御層
15 Co−Cr−Pt−O記録層
16 保護層
17 潤滑材
21 Ta配向制御層
22 Ru80Co20配向制御層
Claims (5)
- Co及びPtを含有する合金磁性材料からなる記録層を備えた垂直磁気記録媒体において、前記記録層の下に突起の平均間隔が3〜10nmで、且つ、表面粗さRa が0.5nm以下である微細な凹凸を有する凹凸制御層を設けたことを特徴とする垂直磁気記録媒体。
- 上記凹凸制御層が、酸化物或いは窒化物のいずれかからなることを特徴とする請求項1記載の垂直磁気記録媒体。
- 上記凹凸制御層と上記記録層との間に配向制御層を設けたことを特徴とする請求項1または2に記載の垂直磁気記録媒体。
- 上記配向制御層が、Ru、Ru−Cr、Co−Cr、或いは、Ru−Coのうちのいずれか1つからなることを特徴とする請求項3記載の垂直磁気記録媒体。
- 上記垂直磁気記録媒体が、軟磁気特性を有する裏打層を少なくとも1 層以上有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の垂直磁気記録媒体。
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