JP2004273459A - 対象を照射するための粒子−光学装置 - Google Patents

Abstract

【課題】簡単な方式で且つ低い製造コストでスマートディスクを組み込むことを可能にし、安定性を改善する。
【解決手段】制御手段、並びに圧電位置アクチュエータ２５と圧電力センサ３５との少なくとも１つの組み合わせ２３、３０であって、それらのアクチュエータとセンサは直列に位置付けされ、これにより、少なくとも１つのセンサからの少なくとも１つの入力信号に基づいて、制御手段はセンサに関連する少なくともそのアクチュエータのために制御信号を生成する、組み合わせからさらに構成され、少なくとも１つの組み合わせの直列に位置付けされるアクチュエータとセンサとはハウジングと基準体との間に位置付けされ、ハウジングの支持位置に接して基準体の支持が１つの組み合わせにより生じる。
【選択図】図３

Description

本発明は、粒子のビームを用いて対象を照射するための粒子−光学装置に関するものであって、ハウジング内に対象を位置付けるための位置付け手段を備えるハウジングであって、基準体に関して少なくとも１つの自由度において対象担体に保持される対象を操作するための対象担体をもつ（操作されることができる）運動学的システムとハウジングの支持部分により支持される基準体から構成される、ハウジングから構成され、その装置は、圧電位置アクチュエータおよび圧電力センサの少なくとも１つの組み合わせと制御手段からさらに構成され、それらのアクチュエータおよびセンサは直列に位置付けされ、これにより、制御手段（少なくとも１つのセンサからの少なくとも１つの入力信号に依存する状態）が前記センサに関連する少なくともそのアクチュエータのために制御信号を生成する、粒子−光学装置に関する。

直列に位置付けされた圧電位置アクチュエータおよび圧電力センサの組み合わせは技術文献において周知であり、用語として“スマートディスク”を用いてしばしば表される。あらゆるスマートディスクにおいては、制御システムのための入力信号として力センサから（電圧信号の形態で）の出力信号を受け取り、それに対する反応として、付随するアクチュエータのために制御信号を生成する制御システムが存在する。それ故、アクチュエータの操作は、例えば、現象が対向する小振動の状態で通常利用されることができる、小さい振動に関連する加速力によりもたらされるような、センサにより観測される力に対向することを目的とする。制御ユニットにより生成される制御信号と制御ユニットにより受け取られる入力信号との間に存在する関係はまた、用語として“コントローラトランスファ”を用いて表され、特定の周波数依存性特性と特定の振幅係数（また、用語として、“利得”を用いて表される）を伴う。

冒頭のパラグラフにおける粒子−光学装置は、欧州特許出願公開第１２２５４８２Ａ１号明細書（特許文献１）に開示されている。前記文献は、半導体集積回路を処理するために紫外線（ＵＶ）、電子またはイオンのビームを用いるリソグラフィ装置について記載している。このために、粒子のビームを生成して、ウェーハの好ましい位置に粒子のビームをフォーカシングするためのレンズをもつ光学システムが用いられる。光学（またはさらに具体的にいうとそれらのレンズ）は、３つのレンズ支持部により水平のメインプレートにおいて支持されている。各々のレンズ支持は一対のスマートディスクから構成される。メインプレートは、一般に１Ｈｚのオーダーの固有振動数をもつ空気バネおよびダンパにより固定部に接続されているとみなされることができる。レンズ群の下には、前記空気ばねおよびダンパの弾性によりもたらされるマインプレートの振動に追随することを目的とする、水平方向とさらに垂直方向にウェーハを操作することができるウェーハテーブル、により支持されるウェーハが置かれる。このために、正確なフォーカシングを実現するために、マインプレートとウェーハとの間の垂直方向の距離が一定に保たれることを確実にする制御回路の一部からなる、１つまたはそれ以上の干渉計が備えられる。

レンズは、代表的には、５０乃至１５０Ｈｚの範囲内の第１固有振動数を有する。それ故、レンズの共振は、例えば、装置の周囲の機器により生成される床振動または環境の音響ノイズの結果として生じ得る。結局、そのような振動は難状況に導き、これにより、粒子ビームの位置付けの正確度および／またはウェーハにおける粒子ビームのフォーカシングはもはや適切ではなくなる。（レンズの６つの自由度に対応する総数６つを有する）スマートディスクを採用することにより、このような共振からもたらされる振動は、ウェーハにおける粒子ビームのフォーカシングの改善された正確度を実現することができる結果として、実際に減衰される。
欧州特許出願公開第１２２５４８２Ａ１号明細書

本発明は粒子−光学装置を提供することを目的とし、これにより、照射される対象と粒子ビームの相互位置に影響を及ぼす共振であって、その対象の固有振動数が７５Ｈｚと１０００Ｈｚとの間の範囲にある、共振は、減衰される。さらに具体的な参照として電子顕微鏡、特に走査電子顕微鏡を第１の例として挙げ、そのために、位置付け手段は、代表的には、欧州特許出願公開第１２２５４８２Ａ１号明細書（特許文献１）に従った装置に関する位置付け手段とは異なる構成を有し、その結果、これらの位置付け手段はまた、実質的に異なり、より複雑であり、振動を支配する挙動を示す。このコンテキストにおいて、電子顕微鏡における試料は電子ビームに対して垂直な平面において操作できる必要があるばかりでなく、欧州特許出願公開第１２２５４８２Ａ１号明細書（特許文献１）に従ったウェーハが電子ビームに平行な方向において操作される範囲より著しく大きい範囲に対して、このビームに平行な方向においてもまた操作できる必要がある。さらに、電子顕微鏡における位置決め手段は、例えば、実質的に６０°の傾斜範囲であって、その端部に位置決め手段は適切なガイド手段を備える、傾斜範囲により試料を傾斜させるために適切であることが要求される。この結果として、電子顕微鏡の場合における位置決め手段の固有スティフネスは、しばしば、欧州特許出願公開第１２２５４８２Ａ１号明細書に従った装置の場合に達成されることができるスティフネスに比べて著しく小さい。さらに、電子顕微鏡の位置決め手段についてなされる安定性の要求は欧州特許出願公開第１２２５４８２Ａ１号明細書に従った装置の場合における匹敵する要求より大きいことは、一般的事実である。

本発明は電子顕微鏡におけるアプリケーションに特に適するが、それに限定されるものではなく、例えば、欧州特許出願公開第１２２５４８２Ａ１号明細書に記載されている種類のような粒子−光学装置の他の種類の場合にもまた、適用されることができる。

本発明のさらに好ましい実施形態において、本発明は、特に、振動を減衰する目的でスマートディスクにより提供される可能性を好ましく利用すること、および簡単な方式で且つ低い製造コストでスマートディスクを組み込むことを可能にすることを目標とする。

この目標のために、本発明に従った粒子−光学装置は、少なくとも１組の組み合わせである直列配列されたアクチュエータおよびセンサがハウジングと基準体との間に位置付けされ、ハウジングの支持部分に接する基準体の支持が前記少なくとも１組の組み合わせを介してなされることを、第１例における特徴とする。本発明は、特定の種類の粒子−光学装置について、対象におけるビームの位置決めおよびフォーカシングの正確度に関する決定因子が、位置付け手段の共振挙動によるような光学の共振挙動によりそれ程決定されず、そのような共振振動の非常に有利な減衰が本発明に従った特徴的な対策により達成できることが、この方式において認識される。一般に、好ましくは、少なくとも３組の直列配列のアクチュエータおよびセンサの組み合わせが、本発明に従った装置の場合に、提供される。また、本発明のために、安定性の改善を達成することができる。

直列配列のアクチュエータおよびセンサ自体の構成の限定されたスティフネスにできるだけ直面しないようにするために、その結果として、外部力の影響の下で、位置決め手段が比較的低い周波数において好ましくない共振に至ることとなり、その結果として、位置決めおよびフォーカシングに関して不正確度および安定性の減少が生じることとなり、好ましくは、少なくとも３組の組み合わせが、基準体の外周縁近傍に位置付けられる。

このコンテキストにおいては、また、少なくとも３組の組み合わせが基準体の３つの角部分近傍に位置付けられることは好ましい。

一般に、位置付け手段の画像撹乱共振が２つの直行する方向において生じ、少なくとも３組の組み合わせの位置の間における２つの接続ラインは互いに直角に交わる。

本発明のより有利で好ましい実施形態に従って、支持部材はハウジングと基準体との間に位置付けされ、その支持部材により、前記少なくとも１つの圧電位置アクチュエータと圧電力センサとの組み合わせによる支持を補助して、ハウジングの指示位置に接する基準体の支持が生じ、これにより、支持部材の数および圧電位置アクチュエータと圧電力センサとの組み合わせの数の合計は少なくとも４である。以下で明らかにするが、前記少なくとも１つの組み合わせの直列に位置付けされたアクチュエータおよびセンサと前記少なくとも１つの支持部材が、ハウジングと基準体との間に位置付けされておらず、欧州特許出願公開第１２２５４８２Ａ１号明細書に従った装置の場合のようにメインプレートとレンズとの間のような、能動的制振がスマートディスクにより起こることが意図される他の構成体の間に位置付けされる場合、そのような実施形態はまた、大きい優位性を与えることができる。３つの位置の変わりに４つの位置においてハウジングの支持位置に接して基準体を支持することの大きい優位性は、このような方法において、前記少なくとも４つの指示位置が基準体の４つの角ポイント（存在している範囲で）にある場合は必ず、基準体のスティフネス挙動が著しく優位であり、その結果、位置付け手段の固有振動数（抑制／制振される）の増加が生じ、そして基準体の変形が殆ど不利にならないという事実にある。

４つの指示位置を適用する結果として、過剰決定のシナリオが生じ、これにより、実際には３つの支持位置においてのみ支持が生じることが妨げられることとなる。従って、本発明に従った装置の組み立ての間に、少なくとも１つの支持位置が圧電アクチュエータのセンサの組み合わせの構成から成り且つ少なくとも１つの支持位置が支持部材から成る４つの支持位置は、４つの支持位置が実際に動作するように、基準体の面に正確に垂直に位置付けされる。このために、少なくとも１つの支持位置の高さが調節可能であることが好ましい。

好ましくは、前記少なくとも１つの支持部材は、少なくとも１つのさらなる圧電位置アクチュエータと圧電力センサとの組み合わせから構成され、それらの圧電位置アクチュエータと圧電力センサは直列に位置付けされ、その少なくとも１つのさらなる組み合わせは前記少なくとも１つの組み合わせを補助し、組み合わせの数とさらなる組み合わせの数の合計は少なくとも４である。このように、共振振動がさらなる組み合わせにより、またこの設定における能動部材を使用することにより制振されることができる方法に関して大きい自由度を得る。

４つの支持位置の適用に伴う過剰決定シナリオから生じる他の影響は、１つのアクチュエータを動作するとすぐ、基準体の変形の結果として、スティフネスに平行な特定の撹乱が生じる傾向がある。１つのアクチュエータの動作において、力が、ここで、全てのセンサにおいて観測され、その力は、所望されるような、位置付け手段の振動（制振される）の加速される力の結果としてセンサにより検出される力ではなく、基準体のこのゆがみ変形の結果として生じる反応力に無意図的に関連する。前記少なくとも１つの直列に位置付けされたアクチュエータおよびセンサの組み合わせに亘る平行スティフネスによりもたらされるこの挙動はまた、“アクチュエータからセンサへのクロストーク”の技術用語を用いて表される。そのような（機械的な）アクチュエータからセンサへのクロストークが大き過ぎる場合は、スマートディスクの助けを借りて振動を効果的に制振することを継続することが制御理論の観点から不可能であるというリスクが存在する。機械的クロストークを緩和するためには、制御手段は、好ましくは、それぞれ、少なくとも第１センサおよび第２センサからの少なくとも第１入力信号および第２入力信号とから第１結合入力信号に結合することを目的とする第１結合手段から構成され、これに依存して、制御手段は少なくとも第１センサと第２センサの両方に関連するそれぞれのアクチュエータのために第１共通制御信号を生成する。このように、所定のセンサからの入力信号は、関連するアクチュエータの動作に影響を及ぼすばかりでなく、他のセンサに関連するアクチュエータの動作に影響を及ぼすため、４つの支持ポイントにより規定される面が基準体の面に多かれ少なかれ対応する状態を保つためのシナリオを達成することができ、その結果として、機械的クロストークが最小化され、基準体はもはや変形せず、または、少なくとも著しく減少された程度までの変形に留められる。この優位性のある効果は、観測される力に基づいて、制御手段のために共通の入力信号を生成する共通のセンサにより第１センサと第２センサが形成される場合に、達成されることができ、その入力信号は、その後、第１共通制御信号に制御手段により変換される。

異なる方向に作用する同様の効果は、制御手段が少なくとも第２センサおよび第３センサそれぞれからの少なくとも第２入力信号および第３入力信号を第２結合入力信号に結合することを目的として第２結合手段から構成され、このことに依存して、制御手段は、少なくとも第２センサと第３センサの両方に関連するそれぞれのアクチュエータのための第２共通制御信号を生成し、そのために、制御手段は、第２アクチュエータのために第１共通制御信号と第２共通制御信号とを結合された共通制御信号に結合することを目的として第３結合手段から構成される場合に、得られることができる。そのような設定の結果として、第２アクチュエータのアクティビティは第１、第２および第３センサからもたらされる入力信号、換言すれば、これらのセンサに加えられる力に依存する。撹乱であって、基準体の変形から生じる平衡スティフネスはまた、従って、第２移動電位が第２方向に基準体の第２自由度に対応する場合に回避されることができる。しかしながら、この場合はまた、本発明の範囲内において、２つのセンサの代わりに１つの共通のセンサを使用することが可能であることに再び留意する必要がある。

より好ましい信号対ノイズ比に導く高感度のアクチュエータおよびセンサを使用することにより、第１結合手段が、それぞれ、少なくとも第１センサ、第２センサ、第３センサおよび第４センサからの少なくとも第１入力信号、第２入力信号、第３入力信号および第４入力信号を第１結合入力信号に結合するために使用され、これに依存して、制御手段は、それぞれ、第１センサ、第２センサ、第３センサおよび第４センサに関連するアクチュエータのために第１共通制御信号を生成する。

第２結合手段が、少なくとも第１センサ、第２センサ、第３センサおよび第４センサそれぞれからの少なくとも第１入力信号、第２入力信号、第３入力信号および第４入力信号を第２結合入力信号に結合するために実施され、この方法とは異なる方法で、第１結合手段は第１入力信号、第２入力信号、第３入力信号および第４入力信号を第１結合入力信号に結合し、その第２結合入力信号に依存して、制御手段が、第１センサ、第２センサ、第３センサおよび第４センサにそれぞれ関連するアクチュエータのための第２共通制御信号を生成する場合に、同様の優位性のある効果が第２方向において得られる。

一般に、基準が制御信号の上に生成される場合に、これらの制御信号は関連するアクチュエータのための入力信号としての役割を果たす必要はないが、また、関連するアクチュエータのための実際の入力信号に到達するために、例えば、他の制御信号と組み合わせる（加算するおよび／または減算する、重み付けするまたはそうしない）ことにより、適切な方法でさらに処理されることができる。

本発明の非常に優位性のある好ましい実施形態に従って、中間体が、一方の前記少なくとも１つのアクチュエータとセンサの組み合わせの直列に位置付けされたアクチュエータおよびセンサと、他方の基準体との間に備えられる。そのような場合、直列に位置付けされた少なくとも１つの組み合わせにおけるアクチュエータおよびセンサは、一方のハウジング（または、さらに詳細には、その支持部材）と、他方の中間体との間に備えられる。第１の例において、直列に位置付けされた少なくとも１つの組み合わせにおけるアクチュエータおよびセンサが、後の段階において、一般に重い重量により特徴付けられる位置付け手段を取り付ける前に、正確に取り付けられることができる結果として、これは、本発明に従った装置の種々の部品の組み立てを簡単化する。さらに、中間体は、前記少なくとも１つの組み合わせの繊細な部品を保護することができる。これらの優位性はまた、中間体が２つの（ランダムな）構成体の間に適用される場合であって、それらの間には少なくとも１つの圧電センサおよびアクチュエータの組み合わせが適用される場合に、得られる。

簡単化および比較的小さいスティフネス両方の観点から、中間体は、好ましくはプレート状であり、それ故、中間体の導入は何らかの不所望の平行スティフネスの原因にはならない。

非常に好ましいプレート状の中間体は、アルミニウムから成り且つその厚さはプレート状の中間体の主寸法の最小の１０％より小さい中間体である。この用語“主寸法”は、長さと幅により表される長方形の場合と解釈する必要があり（この場合、当然、幅は長さより小さい）、または、例えば、その直径により表されるディスク状の中間体であるが、ディスク状形状は必ずしも円形ではない場合と解釈する必要がある。

直列に位置付けされた少なくとも１つの組み合わせにおけるアクチュエータおよびセンサを互いに関して固定する目的のために、前記少なくとも１つの組み合わせを中間体とハウジングとの間に位置付けする前に、前記少なくとも１つの組み合わせに平行な中間体がハウジングに接続される場合は、優位性がある。

前記少なくとも１つの組み合わせを中間体とハウジングとの間に位置付けする前に、前記少なくとも１つの組み合わせに平行な中間体がハウジングに接続される場合、中間体について基準体を移動させることができる可能性が得られ、このことは、基準体が一部である位置付け手段により位置付けされる対象が粒子ビームの焦点に適合されることが、使用時に、確実にされるように、本発明に従った装置の取り付けにおいて必要である。特定の種類の位置付け手段の場合、このコンテキストにおいては、粒子ビームの焦点により広げるために必要とされるユーセントリック軸の位置付け手段と呼ぶ。

一方の、基準体（および、従って、位置付け手段）と、他方の、ハウジングの相対的位置付けを調整するために、本発明に従った装置は、好ましくは、調整手段を備え、それにより、基準体はプレート状の中間体に対して平行な方向に移動されることができる。

これらの調整手段は、好ましくは、基準体が３つの自由度において移動されることを可能にするように実施される。

基準体について中間鯛の好ましい小さい移動をさらに可能にする、基準体が中間体に接して支持される非常に適切な値の力は、支持される位置付け手段の総重量の２乃至２０倍の範囲内にある。

そのような力の生成のために、好ましくは、バネ手段が、基準体と中間体とを互いの方向に押し付けることを目的として備えられる。

そのようなバネ手段は、前記少なくとも１つの直列に位置付けされた圧電位置アクチュエータと圧電力センサとの組み合わせに亘る好ましくない平行スティフネスを導入する付帯リスク（既に上記したように）を再びもたらす。従って、使用されるバネ手段のスティフネスは十分小さい必要があり、そのために、２つの固有振動数の間の関係のための経験則に従って、
ｆ_{ｓｐｒｉｎｇ}＜１／３＊ｆ_ｐｏｓ
の関係が適用され、ここで、ｆ_ｐｏｓは圧縮しようとする位置付け手段の固有振動数であり、ｆ_{ｓｐｒｉｎｇ}は、何らかの組み合わせまたは支持部材がなく、基準体と位置付け手段を足した合計質量がバネ手段単独により支持される場合に現れる仮想システムにおける固有振動数である。従って、このｆ_{ｓｐｒｉｎｇ}の量は、前記バネ手段のスティフネス（その大きさは消滅される）に単純に依存し、
ｆ_{ｓｐｒｉｎｇ}＝１／２π＊√（ｃ／ｍ）
の関係に従い、ここで、“ｃ”はバネ手段のスティフネスであり、“ｍ”は位置付け手段の結合質量（基準体を含む）である。

本発明の特に好ましい実施形態にさらに従って、各々のアクチュエータは、アクチュエータの第１アクチュエータ電極と導電性接触状態にある第１アクチュエータ導電体と、アクチュエータの第２アクチュエータ電極と導電性接触状態にある第２アクチュエータ導電体との間にクランプされ、その第１アクチュエータ導電体とその第２アクチュエータ導電体は制御手段と導電性接触状態にある。アクチュエータがクランプされるそのようなアクチュエータ導電体の適用は、特に、適用される組み合わせの数が２以上のとき、その製造の間に、本発明に従って装置への前記少なくとも１つの組み合わせの結合をさらに簡単化する。

各々のセンサが、センサの第１センサ電極と導電性接触状態にある第１センサ導電体と、センサの第２センサ電極と導電性接触状態にある第２センサ導電体との間にクランプされ、その第１センサ導電体とその第２センサ導電体は制御手段と導電性接触状態にある場合、同様な優位性が適用できる。

センサおよびアクチュエータの種々の電極の可能な簡単かされた接続スキームのコンテキストにおいて、アクチュエータとセンサの組み合わせのアクチュエータまたはセンサに関連する２つの導電体の１つが、関連するアクチュエータまたはセンサの両方の電極と導電接触状態にある１つの接触ポイントを備える場合、さらに優位性がある。このように、アクチュエータまたはセンサの電極への制御手段の接続は１つの導電体によりもたらすことができ、これにより、他の導電体は前記１つの導電体に導電的に接続される。

可能な最大限まで、撹乱平行スティフネスが前記少なくとも１つの組み合わせのアクチュエータおよびセンサに亘って生じることを回避するために、関連する導電体をもつアクチュエータおよび／または関連する導電体をもつセンサが、それぞれ、関連する導電体間に、アクチュエータおよび／またはセンサをクランプする目的で牽引機構を伸ばすスルーホールを集合的に形成する共通接続孔を備えることは好ましい。アクチュエータおよび／またはセンサが関連する導電体間にクランプされる力は、原理的には、アクチュエータ、センサおよび互いについて関連する導電体を保持し且つ正確に位置付けるための力より僅かに大きい。

このコンテキストにおけるさらなる改善は、アクチュエータとセンサの組み合わせのアクチュエータおよびセンサに関連する４つの導電体の１つが、アクチュエータおよびセンサの両方の電極と導電接触状態にある４つの接触ポイントを備える場合に得られる。このように、一方で、センサから、入力信号であって、制御手段のための入力信号を送り、他方で、アクチュエータのための入力信号をもたらす制御手段からの制御信号を送る目的で、単一の多心ケーブルが、制御手段にアクチュエータおよびセンサの全ての組み合わせを接続するために用いられることができる。

また、簡単に作業を進めるためにアクチュエータとセンサの組み合わせの正確な配置および接続を可能にするアイ（ｅｙｅ）を用いて、アクチュエータとセンサの組み合わせのアクチュエータとセンサとの間に位置する導電体が、互いに向かい合う側に、互いに導電的に接続される接触ポイントを備えることは好ましい。

素尿ナ導電体であって、従って本発明に従った装置の非常に有利な実施形態は、導電体の少なくとも一部が、少なくとも１つの外面に、導電体の導電トラックまたは接触ポイント或いはアクチュエータまたはセンサの電極のどちらかとの直接的な電気接触のための少なくとも１つの孤立した導電トラックを備える場合に得られる。そのようなトラックは、アクチュエータまたはセンサの電極と導電体との間または互いの導電体の間の旧来の電気導線接続を用いることにより提供することができる。

さらに、好ましい実施形態に従って、アクチュエータとセンサの組み合わせに関連する導電体はハウジングの外側に及ぶ導電機構に導電接続される、そのような導電機構は、例えば、導電ケーブルにより形成されることができる。導電機構はハウジングの外側に延長することができるため、制御手段はまた、ハウジングの外側に備えられることができる。

図１は、走査電子顕微鏡の場合におけるアプリケーションに対するマニピュレータ１を示している。マニピュレータ１は、ベースプレート２とマニピュレーションユニット３から構成される。ベースプレート２の長さは約３００ｍｍであり、ベースプレート２は、特に図２を参照して後に説明する方式で、走査電子顕微鏡のハウジングの一部に接続される。マニピュレータ１の重さは約１７ｋｇであり、これにより、個別のマニピュレーションユニット３の重さは約７ｋｇであり、ベースプレート２の重さは約１０ｋｇである。マニピュレーションユニット３は、約１５０ｍｍのストロークの中を双方向矢印５の方向にガイド４ａ、４ｂに沿って、ベースプレート２に関して全体的に移動されることができる。マニピュレーションユニット３は、第１移動体６、回転体７、第２移動体８および試料ホルダ９から構成される。第１移動体６は、相応して形成される回転体７の外側に方向付けられたガイドリブ１０の一部が伸びるベントガイドをもつ回転体７の反対側に備えられる。第１移動体６のガイドと回転体７のガイドリブ１０ａ、１０ｂとの間の協働により、第２移動体８と試料ホルダ９と共に、回転体７が、約６０°の角度範囲を通して、ガイドおよびガイドリブ１０ａ、１０ｂのベント／アーチの中心軸について、回転させることが可能である。

前記中心軸に対して垂直にして、ガイド体１１ａ、１１ｂの方向を向く第２移動体８のガイド機構（図示せず）と協働して案内するために、第２移動体８の反対側に一対のガイド体１１ａ、１１ｂを備える。この方式においては、試料ホルダ９をもつ第２移動体８の平行移動は、約１５０ｍｍのストロークを通して、ガイド体１１ａ、１１ｂの長手方向において可能である。ディスク状形状を有する試料ホルダは、ディスク自身の中心軸について多数の回転の範囲内で回転されることができ、また、そのディスク状形状の平面に垂直方向に約３０ｍｍの範囲内の高さにおいて調節されることができる。試料ホルダは、対象である走査電子顕微鏡を用いたさらに研究される試料を支持するために適切である。

上記のような全てのガイドにより、走査電子顕微鏡において生成される電子線の焦点において試料を適切に位置付けし且つ方向合わせを行うために、５つの自由度全部において試料を操作することが可能である。マニピュレータ１のようなタイプのマニピュレータは当業者には周知であり、それについての詳細説明は、本発明の根底ストにおいては必要ではない。

図２に基づいて、走査電子顕微鏡の製造の間に、マニピュレータ１が走査電子顕微鏡のハウジングとどのように組み合わされていくかについて、さらに明らかにする。このコンテキストにおいて、図２は、本質的に概略図であることに留意されたい。図２は、マニピュレータ１のベースプレート２のみを示している。このベースプレートは、その下側の角の位置に、四角フット１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄを備えている。それらの角の位置近くであって、四角フット１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄの近くには、孔１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄがある。四角フット１３ｂ、１３ｃの近くであって、ベースプレート２の側面１５には、水平方向に方向付けられた２つのネジ孔１６ａ、１６ｂが作られている。ベースプレート２の最後尾の面１７（図２に示すような）であって、四角フット１３ｃの近くには、水平方向に方向付けられたネジ孔１６ｃが作られている。これらのネジ孔１６ａ、１６ｂ、１６ｃの先端の真上であって、上面には、ネジ孔１６ａ、１６ｂ、１６ｃに通じ、ネジ孔１６ａ、１６ｂ、１６ｃ内に伸びるネジ体を固定するために伸びるネジ１８ａ、１８ｂ、１８ｃを固定する垂直方向のネジ孔が備えられる。

走査電子顕微鏡のハウジングのベイスン状、べースン状部１９のみを図２に示すが、その部分は組み立てられた状態におけるベースプレート２の側面と裏面とを取り囲んでいる。それはそれとして、走査電子顕微鏡のハウジングは、１つの統合部分として具体化される必要はないが、それはまた、多数の強固に接合された構成要素から構成されることができる。そのコンテキストにおいて、ベイスン状部１９またはそのベース２０がハウジングの残りの部分に強固に接合される部分である場合、それは本発明のハイン以内で許容される。ベース２０において、四角フット１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄに対応するように互いに位置付けられる四角凸部２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄが備えられる。垂直ネジ孔２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄは、四角凸部２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄの中央に備えられる。

４つの四角凸部２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄの各々において、下方のプリント回路基板ディスク２４、ディスク状圧電アクチュエータ２５および上方のプリント回路基板ディスク２６より成るスタック２３が備えられる。これらのディスク状体４、２５、２６は、それらの中央にスルーホールが備えられ、それらの中に真空仕様のネジ２７が挿入され、そのネジの頭２８は上方のプリント回路基板ディスク２６に埋め込まれる。ネジ２７は、該当する凸部に対応するネジ孔の内部に回転され、その結果として、制限された範囲まで、下方のプリント回路基板ディスク２４、ディスク状圧電アクチュエータ２５および上方のプリント回路基板ディスク２６の間にクランプ力が存在する。圧電アクチュエータ２５を正確に中央に位置付けるために、中央のスルーホールにおいてセンタリング体２９がさらに備えられる。

多かれ少なかれ同等の方法で、第２スタック３０が、ベースプレート２とベース２０との間にあるカップリングプレート３１の底面に接触して、各々の第１スタックにおいて備えられる。このカップリングプレート３１は、その角の位置に、孔３２ａ、３２ｂ、３２ｃ（３２ｄは図２において見えない）を備えられる。第２スタック３０は、下方のプリント回路基板ディスク３４、圧電センサ３５および上方のプリント回路基板ディスク３６から成る。これらのディスク状体３４、３５、３６は、これらのディスク状体における中央孔と該当する孔３２ａ、３２ｂ、３２ｃ、３２ｄを通って伸びるスクリュー３３により互いに接触してクランプされる。クランピングは、カップリングプレート３１の上面においてナット３７を締め付ける結果としてなされる。ネジ３３のねじ山の先端とナット３７のねじ山の先端とが適合するために、キャビティ３８がフット１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄの下側に備えられる。圧電センサ３５の正確なセンタリングを可能にするために、圧電センサ３５の孔にセンタリング体３９が備えられている。ネジ３３の頭４０は下方のプリント回路基板ディスク３４に埋め込まれる。

ベース２０の中央近くには、３つの突起４１ａ、４１ｂ、４１ｃが備えられる。これらの突起４１ａ、４１ｂ、４１ｃの高さは、突起２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、１つのスタック２３および１つのスタック３０の和に等しく、それ故、突起４１ａ、４１ｂ、４１ｃの上面は、４つの上方のプリント回路基板ディスク３６の上面と実質的に同じ垂直方向の高さとなる。

種々のプリント回路基板ディスク、圧電センサおよび圧電アクチュエータの機能については、後にさらに説明する。組み立てを次のように進める。第１例において、スタック２３は、関連ネジ孔２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ内にネジ２７を締め付けることにより突起２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄにクランプされる。これにより、ネジ２７の場合に加えられる締め付け力は、主に、スタック２３の種々の部品を互いに正確に且つ半永久的に位置付けする役割を果たす。スタック３０は、ネジ３３／ナット３７の組み合わせを適用することにより、カップリングプレート３１の底面に接してクランプされる。続いて、カップリングプレート３１が、突起４１ａ、４１ｂ、４１ｃの上面におけるネジ孔４２ａ、４２ｂ、４２ｃ内にネジ４３ａ、４３ｂ、４３ｃを締め付けることにより突起４１ａ、４１ｂ、４１ｃの上面にネジ止めされる。このために、３つの孔４４が、突起４１ａ、４１ｂ、４１ｃに結合されるように互いに位置付けされるカップリングプレート３１の中央近くに備えられる。

組み立てプロセスの次のフェーズにおいて、マニピュレータ１がカップリングプレート３１に取り付けられ、これにより、ナット３７とネジ３３の先端が、種々のフット１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄのキャビティ内に、特定の側方の遊び量をもって伸びている。ベースプレート２が３つのフット２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄのみに支持されるのではなく、４つのフット全てに支持されることを確実にすることを目的として−その結果、好ましい静的に過剰決定された指示状況がベース２０上のベースプレート２の４つのポイントにおいて実現され、さらに図示することはしないが、フット１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄの１つは高さを調節され、これにより、ベースプレート２がカップリングプレート３１上に設置された後、必要に応じて、高さ調節がなされる。このような方法において、マニピュレータ１のベースプレート２は、孔１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄが、カップリングプレート３１における孔４７ａ、４７ｂ、４７ｃ（４７ｄは見えない）の直接上におよびベース２０におけるネジ孔４５ａ、４５ｂ、４５ｃ、４５ｄの上に、多かれ少なかれ伸ばされている。このような位置合わせされた位置付けのお陰で、ネジ体４６が、約１乃至２ｍｍのオーダーの半径方向の遊びを伴って、互いに関連する孔１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄ、孔４７ａ、４７ｂ、４７ｃ、４７ｄおよびネジ孔４５ａ、４５ｂ、４５ｃ、４５ｄを通って伸びることが可能である。これにより、ネジ体４６の最下端部は、ネジ孔４５ａ、４５ｂ、４５ｃ、４５ｄの中にしっかりネジ締めされる。各々のネジ体４６の最上端部周囲には、押圧バネ４８とワッシャ４９が適合されている。次いで、ナット５０がネジ体４６の最上端部に締め付けられ、それ故、押圧バネ４８は予め荷重を加えられ且つ４つの押圧バネ４８は共に約６００Ｎのオーダーの力で、マニピュレータ１の重量の結果として既に下方に加えられた重力に加えて、下方にベースプレート２を加圧する。上記のように、スタック２３および３０に亘る好ましくない平行スティフネスを回避するために、押圧バネ４８のスティフネスは大きすぎる必要はない。押圧バネ４８の許容スティフネスを決定するための経験則はすでに与えられており、これにより、マニピュレータ１の共振（すなわち、抑制されるべき）の典型的な固有振動数は７５乃至１０００Ｈｚの範囲内にあることに留意する必要がある。このように、一つの状況を実現することがまたでき、これにより、スタック２３および３０、または、さらに詳細には、上方のプリント回路基板ディスク２６の上面と下方のプリント回路基板ディスク３４の下面は、良好な電気接触の状態で互いに接触するように押圧される。このコンテキストにおいては、カップリングプレート３１の限定された厚さ（約１ｍｍ）とまたカップリングプレート３１が製造されるアルミニウムの機械的特性の結果として、カップリングプレート３１の曲がりスティフネスは比較的小さい。それ故、カップリングプレート３１は、カップリングプレート３１のプレート面に垂直方向にスティフネスがあるとは明らかにみなすことができず、それ故、何らかの厄介な平行スティフネスを導入しない。しかしながら、カップリングプレート３１は、プレート状の形状の結果として、カップリングプレート３１のプレート面に平行な方向にスティフネスがあり、それは、以下にさらに説明するように、水平方向にカップリングプレート３１の上方のベースプレート２を移動させることの結果として生じる横向きの力に耐えることにおいて重要である。

押圧バネ４８により生成される下向きの力の大きさとマニピュレータ１についての重力は、マニピュレータ１であって、さらに詳細には、ベースプレート２の、小さい水平方向の移動を提供することがもはや可能でないようにそれほど大きいものではない。そのような移動は、マニピュレータ１であって、さらに詳細には、スイベル（ｓｗｉｖｅｌ）体７が、回転できるアーチ状ガイドリブ１０ａおよび１０ｂの中心軸が走査電子顕微鏡の場合に生成される電子ビームに関して正確に位置付けされることを確実にするために、必要である。このような位置付けを正確に実行できるためには、マニピュレータ１は真空の環境下に置かれる必要があり、その結果、電子ビームを生成することが可能であり、これにより、この電子ビームは、この後、マニピュレータ１の正確な位置および方向がどちらであるかを観測することにおいて用いられることができる。

３つの自由度においてマニピュレータ１を移動させる目的ので、マニピュレータ１は、真空中において、走査電子顕微鏡のハウジング内に備えられる一方、２つのネジケーシング５２、５３が側面５１に備えられ、それらのケーシングの中に調整鯛４が伸ばされる。調整体は、係合部１４０であって、係合部の先端はネジ孔１６ａ、１６ｂ内に係合することを目的とするネジ部５５を設けている係合部から構成される。所定の回転位置に調整体５４を固定するために、固定ネジ１８ａ，１８ｂ、１８ｃのそれぞれの先端が係合される固定孔５６がこのネジ部５５に備えられる。フラットベンド部５７がネジ部５５の後に接して備えられ、これは、少なくともベース２０に平行な方向において、調整体５４の曲がりスティフネスが制限されることを確実にする。この平坦なフラットベンド部５７は、上記のネジ部５５と調整体５４の調整ブッシング５９内に伸びる係合部のもう１つのネジ部５８との間に備えられ、もう１つのネジ部５８と協働する内部のネジをその中心軸の周りに備えている。調整ブッシング５９は、１つの先端であってその外側にねじ山を備え、他の先端にシーリングリング６１を備えている。シーリングリング６１は、側面５１を貫いて調整体５４を設けるにも拘わらず、ハウジング内の真空を破ることはない。ネジ山６０は、ネジケーシング５２、５３の内側のネジ山と係合して協働するようになっている。ネジ山６０であって、それ故、ネジケーシング５２、５３のネジ山の速度は、調整ブッシング５９における内側のネジ山（図示せず）ともう１つのネジ部５８の速度より大きくなるように選択される。このように、特定の伝達比が実現され、その結果として、ネジケーシング５２、５３内の調整ブッシング５９を回転させることにより、ネジ部５５であって、それ故、ベースプレート２およびマニピュレータ１の非常に小さい長手方向の移動がもたらされる。また、ベースプレート２を調整するために、それと同様の方法を、ネジ孔１６ｃをまた端部に設けるハウジングのべースン状部１９の裏側に図２における側面６３の外側に備えられるネジケーシング６２の位置において、利用することが可能である。このように、走査電子顕微鏡の電子ビームに関して、ベース２０に対して平行な面の３つの自由度において、真空中で、マニピュレータ１を正確に位置付けすることが可能である。正確な位置が達成されるとすぐ、３つの調整体５４は固定され（これについては図示せず）、それ故、走査電子顕微鏡のハウジング内のマニピュレータの位置もまた固定される。

スタック２３および３０の種々のディスク状部品について、図４乃至６並びに図７乃至９にそれぞれ示している。スタック３０はその中央に圧電センサを設けている。このセンサは力を測定することができる。これらの力は、電気接触の目的で蒸着により形成された銀の層をもつ上面６４と下面６５との間の電位差を結果として得る故に、上面６４と下面６５は電極としてみなされる。この電位差の大きさは、力の大きさの測定、または、マニピュレーションユニット３の振動に対してより特異なアイ（ｅｙｅ）を用いることによるセンサに影響を及ぼす力の一時的変化の測定により得られる。電位差の測定を目的として、上方のプリント回路基板ディスク３６および下方のプリント回路基板ディスク３４は、センサ３５の上面６４および下面６５にそれぞれ備えられる。上方のプリント回路基板ディスク３６は、センサ３５の上面６４に接して置かれる環状導電性トラック６６をもつその下面に備えられる。図８ｂに示すように、突出部６７は環状トラック６６に接続し、その突出部６７がセンサ３５の外周に向かって伸びている。センサ３５の上面６４と上方のプリント回路基板ディスク３６のトラック６６との間の導電性接触が良好の場合には、上面６４の電位水準は、突出部６７の接触ポイント６８の位置における電位水準に一致する。

下方のプリント回路基板ディスクはまた、突出部７０が接触ポイント７１により接続される環状トラック６９を設けている。さらに、下方のプリント回路基板ディスクの上面の外側に、小さいトラック領域７２が備えられ、その小さいトラック領域は環状トラック６９から分離されており、センサ３５の外側の直径の外側に伸びている。接触ポイント７３は、上方のプリント回路基板ディスク３６の接触ポイント６８に電気導線７４により接続され、それ故、接触ポイント７３は、結局、センサ３５の上面６４の電位水準と同じ電位水準とみなされる。環状トラック６９はセンサ３５の下面６５に接して備えられる事実のため、接触ポイント７１はセンサ３５の下面６５と同じ電位値であるとみなされる。下方のプリント回路基板ディスク３４の下面は、互いに分離した２つの導電性トラックを備えている。トラックの１つは、接触ポイント７７を持つ突出部７６に接続する環状部７５から構成される。他のトラックは、環状部７５を実質的に取り囲むインターラプテド環状部７８から構成され、また、接触ポイント８０をもつ突出部７９を備えている。接触ポイント７１および８０は、導電性接続８１により下方のプリント回路基板ディスク３４の本体をまさに横切って、互いに接続される（図９ｃ）。類似する種類の接続は、接触ポイント７３と７７との間で実現される。この全ては１つの状況をもたらし、これにより、接触ポイント８０の電位水準はセンサ３５の下面６５の電位水準に一致する一方、接触ポイント７７の電位水準は線さ３５の上面６４の電位水準に一致する故に、接触ポイント７７と８０との間の電位差は、センサにおいて与えられる力を測定することにより得られる。

圧電アクチュエータ２５は、スタック２３の中央に備えられる。そのようなアクチュエータは、アクチュエータ２５の上面８２と下面８３との間に加えられる電位差に反応して高さ方向に拡張および／または収縮することができ、それら上面８２と下面８３は電極とみなされることができる。アクチュエータ８３と直列に接続されるセンサ３５のような、圧電センサと組み合わせることにより、能動制振システムを実現することが可能である。このシナリオにおいて、圧電センサ３５の上面６４と下面６５との間の電位差（電位差はこのセンサに与えられる力の測定である）は、入力信号としてこの電位差を処理する制御システムに伝えられ、アクチュエータ８３に対する出力信号を生成し、それに対する反応として、アクチュエータ８３は高さを変化させる。このような方法で、例えば、マニピュレーションユニットを振動される傾向にある、走査電子顕微鏡のハウジングに作用する音波の結果として生じる振動であって、その結果として、電子ビームに関する試料の安定性および必要とされる電位差の精度が十分な程度まで達成されない、振動を非常に適切に制振することが可能である。

アクチュエータ２５の上面８２と下面８３との間の電位差を加える目的で、上方のプリント回路基板ディスク２６と下方のプリント回路基板ディスク２４が反対側に備えられる。この下方のプリント回路基板ディスク２４は、接触ポイント８６が位置付けされる突出部８５をもつ環状トラック８４をその上面に備える。上方のプリント回路基板ディスク２６は、接触ポイント８９が備えられる突出部８８に接続する環状トラック８７をその下面に備える。これに加えて、環状トラック８７とは離れて備えられる小さいトラック領域９０が、上方のプリント回路基板ディスク２６の下面に位置付けられる。トラック領域９０は接触ポイント９１から構成される。トラック領域９０はアクチュエータ２５の外周の外側に位置付けられる。

上方のプリント回路基板ディスク２６の上面は、それぞれの接触ポイント９４、９５が位置付けされる２つのトラック領域９２，９３を備えている。これに加えて、２つの互いに離れたトラックを備え、それらの１つは、接触ポイント９８をもつ突出部９７に接続する環状トラック部９６から構成され、それらの他の１つは、環状トラック部９６を実質的に取り囲むインターラプテド環状トラック部９９から構成され、接触ポイント１０１をもつ突出部１００を備えている。使用中に、突出部９７をもつ環状トラック９６は、リング状トラック７５および突出部７６にそれぞれ接触して備えられ、その結果、接触ポイント９８はセンサ３５の下面の電位水準と同じ電位とみなされる。同様に、接触ポイント１０１の電位水準は、線さ３５の上面の電位水準と同じ値であるとみなされる。接触ポイント８６および９１は、電気導線１０２により互いに接続される。接続８１に相当する接続を用いることにより、接触ポイント９１は接触ポイント９４に接続される。このやり方においては、接触ポイント９４の電位水準はアクチュエータ２５の底面８３の電位水準に等しい。接触ポイント８９および９５はまた、接続８１に類似する接続を用いて互いに接続される故に、接触ポイント９５の電位水準はアクチュエータ２５の上面の電位水準に一致する。このやり方においては、アクチュエータおよびセンサの全ての関連する電位水準は、電気導線によりアクチュエータ２５およびセンサ３５のために非常に簡単な取り付けと簡単な接続の実現性を可能にする。このために、４心ケーブル１０３は、コア１０４、１０５、１０６、１０７および真空対応のクラッディング１０８を備えている。センサ３５に関する性状に従った２つのコア１０４および１０５と、アクチュエータ２５に関する性状に従った２つのコア１０６および１０７とを、１つのクラッディングにより且つ互いに近接させて動作させることにより、アクチュエータとセンサとの間においてはある程度の電気的結合の付帯リスクを被る。上記の機械的クロストークに類似して、コア１０６と１０７との間の電位差を適用することにより１つのアクチュエータの活性化が、コア１０４と１０５との間に小さい電位差を生じさせることとなり、その結果、意図されない力がセンサにおいて観測され、その力は、コア１０６と１０７との間に加えられる電位差に、無意図的に直接関係し、意図的である、マニピュレーションユニット３において振動（制振される）を加速する力のためにセンサ６５により観測される力に関係するものではない。技術用語で“電気的クロストーク”と呼ばれる、この影響を最大限回避するために、２つのコア１０４および１０５は、クラッディング１０８の先端の１つにおいて、全体的な電気システムのための適切な電気的基準の接触ポイントであって、所謂“接地ポイント”に電気的に接続される、電気的クラッディング（図示せず）内のクラッディング１０８を通して、好ましくは、共に提供される。同じやり方で、２つのコア１０６および１０７は、適切な接地ポイントに接続される同様の電気的クラッディング（図示せず）内のクラッディング１０８を通して提供される。

図２に示すように、ケーブル１０３はガス漏れのない方式で側壁５１を貫通して提供される。それに代えて、この目的のためにプラグシステムを用いることが可能である。マニピュレーションユニット３の振動を実際に軽減することを目的として、操作電子顕微鏡のハウジングの外部には、コア１０４と１０５との間の電位差の状態でセンサ３５からの出力信号を処理することができ、コア１０６と１０７との間の電位差の状態でアクチュエータ２５のために出力信号を生成することができる、制御システムがある。

話は変わるが、実施形態の説明において、下方のスタック２３に割り当てられる機能と上方のスタック３０に割り当てられる機能は限定的なものではないことに留意する必要がある。両方の機能は、原理的に全く交換可能であり、それ故、センサの機能はまた下方のスタック２３に割り当てられることができ、アクチュエータの機能はまた、上方のスタック３０に割り当てられることができる。

スタック２３および３０の個々の部分の正確な位置付けを互いに関して達成するために、非円形を用いてこれらの部分を提供することが可能であり、その結果、これらの部分を互いに関して正確な角度方向に設定することが容易になる。

原理的には、振動は、マニピュレーション３の場合に適用されるガイドの位置と方向の結果として、試料ホルダ９に垂直な方向に対する２つの本質的に互いに垂直な主方向において生じる。関連アクチュエータに伴うセンサが制御ユニットに渡す出力信号に唯一依存する制御ユニットを通じて４つの用いられるアクチュエータ２５各々を動作することのみにより、これらの振動に実際に対抗することが可能である。そのような制振方法の重要な不利点は、一貫して、アクチュエータ２５とセンサ３５との１組のみの組み合わせが１つの制御ユニットと協働する状況下にあって、ベースプレート２の不利な捩れによる変形が不可避であることである。４つのアクチュエータ２５がベースプレート２の角のポイントに備えられることを考える場合、４つのアクチュエータ２５の動作が独立している場合には、ベースプレート２は好ましくは平坦なプレートのまま保たれることが重要である。それに代えて、捩れの位置関係に取り付けられると結果的に変形し、その結果、マニピュレータ１が試料を位置付けすることができる正確度はまた、結局、不利に影響されることとなる。さらに、アクチュエータ２５が動作されるとき、力は、このとき、４つのセンサ３５全てにおいて観測され、それらの力は、ベースプレート２の捩れ変形の結果として起こる反応力に無意図的に関係し、マニピュレータユニット３の振動（制振される）を加速する力によりもたらされるようなセンサ３５により観測される力に意図的に関係するものではない。直列に位置付けられたアクチュエータ２５およびセンサ３５の４つの組み合わせ全てに亘る平行スティフネスによりもたらされる挙動はまた、“アクチュエータからセンサへのクロストーク”という専門用語を用いて表される。アクチュエータからセンサへのこの（機械的）クロストークが過度の場合には、制御理論が関与する限り、スマートディスクの助けを借りて振動を効果的に制振することを継続することは不可能となる。

この問題に対する論理的な解決方法は、アクチュエータ２５とセンサ３５の３組の組み合わせのみを適用することにあるようである。３つのポイントにおいてベースプレート２を支持するそのような手段は“静的に決定される”と呼ばれる一方、４つ（またはそれより多い）のポイントにおける支持は、本質的に静的に過剰決定されるものである。静的に決定される方式において３つのポイントでベースプレート２を支持する結果として、３つのアクチュエータ２５の独立した動作は、論理的には、ベースプレート２の（捩れ）変形をもたらすものではなく、ベースプレートが平坦な状態にあると考える場合であって、捩れた位置関係に取り付けられない場合、ある（非常に小さい）程度に傾けられるようにのみなる結果として、３つのアクチュエータ２５の（非常に小さい）制振の動きをそれ自身にもたらすこととなる。

しかしながら、ベースプレート２の捩れ変形が、ここでは、事実上、自由に可能であり、４番目の支持の存在によりさらに妨げられることなく、ベースプレート２自体の固有捩れスティフネスによってのみ制限される著しい不利点を、事実上、３つのポイントのみにおいてベースプレート２が静的に決定される支持についてのそのようなシナリオは有している。ここでの大きなリスク（すなわち、３つのポイントのみにおいてベースプレート２が静的に決定される支持）は、４つのポイント（すなわち、静的に過剰決定される方式）において、実際には、固有振動数を決定しない平行ガイドとベースプレート２により、支持がなされる場合、この捩れにより弛んだベースプレート２の捩れスティフネスが、ここでは、好ましいとされる主にマニピュレーションユニット３というより、全体としてのマニピュレータの、第１（すなわち、最小の）固有振動数、およびそれに関連する振動様式を決定することである。さらに、ベースプレートが４つのポイントにおいて支持される場合より、ベースプレート２が３つのポイントにおいて支持される場合に、摂動振動を示す動的システムの第１（すなわち、最小）固有振動数は値がより小さい。一般に、初期状態、すなわち、いずれかの制御ユニットがセンサ３５およびアクチュエータ２５のいずれかの組み合わせに対して効果を及ぼす前に、摂動振動を示す動的システムの小さい第１固有振動数は、環境の音響ノイズまたは床の振動による励振の結果として、著しく大きい振幅の振動に導く。結果的に、振動の最適な制振の次の振動の最終的な振幅は、１つまたはそれ以上の制御ユニットが効果的になった後、摂動振動を示す動的システムの第１固有振動数の値が開始するために十分大きい場合、より小さくなる。従って、４つのポイントにおいてベースプレート２を支持する上記の静的に過剰決定される方法は、非常に優先される。組み立ての間にこのような好ましい静的に過剰決定される指示についての方法を達成するためには、結果的に、上記のように、フット１３ａ、１３ｂ、１３ｃまたは１３ｄの１つの高さを調節する必要があるが、それ以上の説明は加えない。

本発明の好ましい実施形態においては、４つのポイントにおける非常に好ましい過剰決定される支持の不可避の結果である、上記のようなアクチュエータからセンサへの機械的クロストークの不利点は、各々の４つのアクチュエータ２５かまたはそれらの一部が対象であるアクチュエータ２５に伴うセンサ５により制御ユニットに発せられ且つ渡される出力信号のみに依存して動作せずに、少なくとも２つのセンサの出力信号（の合計）に依存して動作するように配列することによりアクチュエータ２５とセンサ３５の４つの組み合わせを使用する場合に克服される。このように、センサ２５の動作に互いに適合する可能性が生じ、それ故、ベースプレート２に対して４つの支持ポイントがあるにも拘わらず、ベースプレート２は捩れが導入されることなく、従って、変形しない。

上記の種々の特徴について、図１０を参照して説明する。図１０は、非常に模式的なベースプレート２の平面図を示している。黒いドットは、角のポイントにおけるアクチュエータ２５およびセンサ３５の４組の組み合わせを示している。さらに、図１０は、マニピュレーションユニット３のおおよその重心の位置１０９を示し、その重心の周囲には、 ２つの互いに直交する主振動方向を２つの曲線的な矢印１１０、１１１により示している。栓さ３５の出力信号は、上記のように、センサ３５により示された力の測定によるが、それぞれ、Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３およびＳ４により表される。それぞれのアクチュエータ２５の入力信号は、Ａ１、Ａ２、Ａ３およびＡ４により表される。関連する制御システムは３組の組み合わせユニット１１２、１１３、１１４から構成され、それらの各々は２つの入力信号に加えて１つの出力信号を生成する。さらに、制御システムは２つの制御ユニット１１５、１１６から構成され、それらは、出力信号を生成するために、所定の周波数依存特性（“制御装置転送”と呼ばれる）と振幅係数（“利得”と呼ばれる）に従って入力信号を処理する。実際には、そのような制御ユニットは、アナログ電子回路またはデジタルコンピュータとして実施されることができる。

出力信号Ｓ１およびＳ２は組み合わせユニット１１２により加え合わされる結果、制御ユニット１１５のための入力信号をして機能する出力信号ＳＸが得られる。同様の方法で、出力信号Ｓ２およびＳ３は組み合わせユニット１１３により加え合わされる結果、制御ユニット１１６のための入力信号をして機能する出力信号ＳＹが得られる。入力信号ＳＸおよびＳＹは、それぞれ出力信号ＡＸおよびＡＹを生成するために、それぞれ制御ユニット１１５、１１６により処理される。これらの信号ＡＸおよびＡＹは、アクチュエータ２５およびセンサ３５の第１の組み合わせと第３の組み合わせにそれぞれ関連するアクチュエータ２５のための入力信号Ａ１およびＡ３として使用される。信号ＡＸおよびＡＹは、組み合わせユニット１１４によりさらに加え合わされる結果、第２の組み合わせのアクチュエータのための入力信号Ａ２が得られる。このように、アクチュエータ２５のための各々の入力信号Ａ１、Ａ２、Ａ３は、関連するセンサ３５により測定される力と、隣接するセンサ３５により測定される力とに依存する。全体としては、第４の組み合わせのアクチュエータ２５およびセンサ３５は使用しないままの状態に保つことに留意することは重要である。本発明の好ましい実施形態においては、第４の組み合わせは、従って、受動的な機械的支持ポイントにより置き換え可能である。第４の組み合わせの反対側に位置付けられる第２の組み合わせのセンサ３５により測定される力は、対照的に、第１、第２および第３の組み合わせのアクチュエータの動作に影響を与えるために使用される。これに加えて、第２の組み合わせのセンサの動作は、第１、第２および第３の組み合わせの３つのセンサ全てにより測定される力に依存する。

図１０に基づく上記のような種々の信号の組み合わせは１つの状況を結果的にもたらし、これにより、矢印１１０に従う振動は第１および第２の組み合わせのアクチュエータ２５の動作の結果として制振され、これにより、ベースプレート２は、第３および第４の組み合わせの位置におけるベースプレート２の支持ポイントにより伸びる回転軸１１７に関して回転する。矢印１１１に従う振動は第２および第３の組み合わせのアクチュエータ２５の動作の結果として制振され、これにより、ベースプレート２は、第１および第４の組み合わせの位置におけるベースプレート２の支持ポイントにより拡張する回転軸１１８に関して回転する。これらの回転軸１１７、１１８のために、ベースプレート２は捩れが与えられることなく、それ故、種々のセンサ３５はそのことから結果的に得られる何らかの摂動を示すことはない。ベースプレート２は、従って、平坦のまま保たれる。

対称にすることを目的として有利であって、使用されるアクチュエータおよびセンサの高感度を達成することが可能であって、非常に有利な信号対ノイズ比に導くことができる代替の制御システムを模式的に図７および１２に示す。この制御システムにおいては、アクチュエータ２５およびセンサ３５の第４の組み合わせを使用する。図１１から導き出されることは次のような事項である。
− 組み合わせユニット１１９は出力信号Ｓ１およびＳ２に基づいて信号Ｓ１＋２を生成する。
− 組み合わせユニット１２０は出力信号Ｓ２およびＳ３に基づいて信号Ｓ２＋３を生成する。
− 組み合わせユニット１２１は出力信号Ｓ３およびＳ４に基づいて信号Ｓ３＋４を生成する。
− 組み合わせユニット１２２は出力信号Ｓ４およびＳ１に基づいて信号Ｓ４＋１を生成する。
信号Ｓ１＋２および信号Ｓ３＋４（の間の差）に基づいて、組み合わせユニット１２３は信号ＳＸを生成し、信号Ｓ２＋３および信号Ｓ４＋１（の間の差）に基づいて、組み合わせユニット１２４は信号ＳＹを生成する。信号ＳＸおよびＳＹは、信号ＡＸおよびＡＹを生成するために、制御ユニット１２５および１２６それぞれにより処理される（図１２）。信号ＡＸおよびＡＹ（の間の差）に基づいて、組み合わせユニット１２７は第１の組み合わせのアクチュエータ２５のために制御信号Ａ１を生成する。信号ＡＸおよびＡＹ（の和）に基づいて、組み合わせユニット１２８は第２の組み合わせのアクチュエータ２５のために制御信号Ａ２を生成する。信号ＡＹおよびＡＸ（の間の差）に基づいて、組み合わせユニット１２９は第３の組み合わせのアクチュエータ２５のために制御信号Ａ３を生成する。最終的に、信号ＡＸおよびＡＹ（の負の和）に基づいて、組み合わせユニット１３０の組み合わせのアクチュエータ２５のために制御信号Ａ４を生成する。

このような方法で制御システムを操作する場合、各々の制御信号Ａ１、Ａ２、Ａ３、Ａ４は、４つの組み合わせの各々のセンサ３５により測定される力に基づく。矢印１１０に従う振動は４つのアクチュエータ２５全ての動作により制振され、これにより、一方で、第１および第２の組み合わせのアクチュエータが、他方で、第３および第４の組み合わせのアクチュエータ２５は、回転軸１３１に関してベースプレート２の回転が起こる結果として、反転方式において対を成して動作する。同様な方法で、矢印１１１に従う振動は４つのアクチュエータ２５全ての動作により制振され、これにより、一方で、第１および第４の組み合わせのアクチュエータが、他方で、第２および第３の組み合わせのアクチュエータ２５は、回転軸１３２に関してベースプレート２の回転が起こる結果として、反転方式において対を成して動作する。回転軸１３１および１３２は、ベースプレート２の中央のラインに対応する。回転軸１３１、１３２も関するベースプレート２の回転運動は、ベースプレートにおいて捩れを与えることも変形により撹乱することも結果としてもたらさない。

種々の方式の全ての種類の制御システムが本発明の範囲内で使用されることができることは、等業者には明白であろう。例えば、使用される組み合わせユニットの場合に異なる重み付けを割り当てることにより、マニピュレーションユニット３の回転軸の位置を移動させることは可能であって、恐らく自由度に関して回転軸の瞬時の位置に依存している。このように、例えば、試料ホルダ９のあらゆる位置におけるマニピュレーションユニット３の重心の略真下にあるように、回転軸の交点を操作することができる。回転軸の回転はこのようにして達成することさえできる。そのような方法の場合、制御システムの正確な方式は、従って、実際には、全体的なシステムの１つまたはそれ以上のパラメータ（例えば、試料ホルダ９の位置）に依存して実行される。

走査電子顕微鏡における試料のためのマニピュレータの斜視図である。 マニピュレータと電子顕微鏡との間を接続する領域の分解斜視図である。 図２のＩＩＩ−ＩＩＩ断面を示す図である。 圧電センサの垂直横断面図である。 ５ａはプリント回路基板の平面図であり、５ｂはプリント回路基板の下方平面図であり、５ｃは５ａおよび５ｂのＩＶ−ＩＶ断面に従った、上方のプリント回路基板を示す図である。 ６ａはプリント回路基板の平面図であり、６ｂは６ａのＶＩ−ＶＩ断面に従った、下方のプリント回路基板の垂直横断面図である。 圧電アクチュエータの垂直横断面図である。 ８ａはＸ−Ｘ断面に従った、上方のプリント回路基板の断面図であり、８ｂは８ａに従ったプリント回路基板の下方平面図である ９ａはプリント回路基板の平面図であり、９ｂはプリント回路基板の下方平面図であり、９ｃは９ａおよび９ｂのＸＩＩ−ＸＩＩ断面に従った、下方のプリント回路基板の断面図である。 マニピュレータの振動を制振するための制御理論のスキームを示す図である。 センサに関する他の制御理論のスキームを示す図である。 アクチュエータのために関連する他の制御理論のスキームを示す図である。

符号の説明

１ マニピュレータ
２ ベースプレート
３ マニピュレーションユニット
４ａ、４ｂ ガイド
５ 双方向矢印
６ 第１移動体
７ 回転体
８ 第２移動体
９ 試料ホルダ
１０ａ、１０ｂ ガイドリブ
１１ａ、１１ｂ ガイド体
１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄ 四角フット
１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄ 孔
１６ａ、１６ｂ、１６ｃ、１６ｄ ネジ孔
１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、１８ｄ ネジ
１９ べースン状部
２０ ベース
２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄ 四角凸部
２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ 垂直ネジ孔
２３ スタック
２４ 下方のプリント回路基板ディスク
２５ ディスク状アクチュエータ
２６ 上方のプリント回路基板ディスク
２８ ネジの頭
２７ ネジ
２９ センタリング体
３０ 第２スタック
３１ カップリングプレート
３２ａ、３２ｂ、３２ｃ、３２ｄ 孔
３３ ネジ
３４ 下方のプリント回路基板ディスク
３５ 圧電センサ
３６ 上方のプリント回路基板ディスク
３７ ナット
３８ キャビティ
３９ センタリング体
４０ ネジの頭
４１ａ、４１ｂ、４１ｃ、４１ｄ 突起
４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄ ネジ孔
４３ａ、４３ｂ、４３ｃ、４３ｄ ネジ
４４ 孔
４５ａ、４５ｂ、４５ｃ、４５ｄ ネジ孔
４６ ネジ体
４７ａ、４７ｂ、４７ｃ、４７ｄ 孔
４８ 押圧体
４９ ワッシャ
５０ ナット
５１ 側面
５２、５３ ネジケーリング
５４ 調整体
５５ ネジ部
５６ 固定孔
５７ フラットベンド部
５８ もう１つのネジ部
５９ 調整ブッシング
６０ ネジ山
６１ シーリングリング
６２ ネジケーシング
６３ 側面
６４ センサ３５の上面
６５ センサ３５の下面
６６ 環状トラック
６７ 突出部
６８ 接触ポイント
６９ 環状トラック
７０ 突出部
７１ 接触ポイント
７２ 小さいトラック領域
７３ 接触ポイント
７４ 電気導線
７５ 環状部
７６ 突出部
７７ 接触ポイント
７８ インターラプテド環状部
７９ 突出部
８０ 接触ポイント
８１ 導電性接続
８２ アクチュエータ２５の上面
８３ アクチュエータ２５の下面
８４ 環状トラック
８５ 突出部
８６ 接触ポイント
８７ 環状トラック
８８ 突出部
８９ 接触ポイント
９０ トラック領域
９１ 接触ポイント
９２ トラック領域
９３ トラック領域
９４ 接触領域
９５ 接触領域
９６ 環状トラック部
９７ 突出部
９８ 接触ポイント
９９ 環状トラック部
１００ 突出部
１０１ 接触ポイント
１０２ 電気導線
１０３ ４心ケーブル
１０４、１０５、１０６、１０７ コア
１０８ クラッディング
１０９ 重心の位置
１１０、１１１ 曲線的な矢印
１１２、１１３、１１４ 組み合わせユニット
１１５、１１６ 制御ユニット
１１７、１１８ 回転軸
１１９、１２０、１２１、１２２ 組み合わせユニット
１２３、１２４ 組み合わせユニット
１２５、１２６ 制御ユニット
１２７、１２８、１２９，１３０ 組み合わせユニット
１３１、１３２ 回転軸

Claims (27)

1. 粒子のビームを用いて対象を照射するための粒子−光学装置であって：
   ハウジング内に対象を位置付けするための位置付け手段が位置付けされるハウジングであって、位置付け手段は、ハウジングと運動学的システムの支持位置に接して支持される基準体であって、基準体に関して少なくとも１つの自由度において対象担体に支持される対象を操作するための対象担体を用いて操作されることができる、基準体、から構成される、ハウジング；
   制御手段；並びに
   圧電位置アクチュエータと圧電力センサとの少なくとも１つの組み合わせであって、それらのアクチュエータとセンサは直列に位置付けされ、これにより、少なくとも１つのセンサからの少なくとも１つの入力信号に基づいて、制御手段は前記センサに関連する少なくともそのアクチュエータのために制御信号を生成する、組み合わせ；
   から構成され、
   前記少なくとも１つの組み合わせの直列に位置付けされるアクチュエータとセンサとはハウジングと基準体との間に位置付けされ、ハウジングの支持位置に接して基準体の支持が前記１つの組み合わせにより生じる；
   ことを特徴とする粒子−光学装置。
2. 請求項１に記載の粒子−光学装置であって、少なくとも３つの組み合わせが基準体の外周縁近くに好適に位置付けされる、ことを特徴とする粒子−光学装置。
3. 請求項１または２に記載の粒子−光学装置であって、少なくとも３つの組み合わせが基準体の少なくとも３つの角ポイント近くにそれぞれ位置付けされる、ことを特徴とする粒子−光学装置。
4. 請求項１乃至３のいずれに記載の粒子−光学装置であって、少なくとも３つの組み合わせの位置の間を繋ぐ２つのラインは互いに直角に交わる、ことを特徴とする粒子−光学装置。
5. 請求項１乃至４のいずれに記載の粒子−光学装置であって、少なくとも１つの支持部材はハウジングと基準体との間に位置付けされ、その支持部材により、前記少なくとも１つの組み合わせによる支持を補助して、ハウジングの指示位置に接する基準体の支持が生じ、これにより、支持部材の数および組み合わせの数の合計は少なくとも４である、ことを特徴とする粒子−光学装置。
6. 請求項５に記載の粒子−光学装置であって、前記少なくとも１つの支持部材は、少なくとも１つのさらなる圧電位置アクチュエータと圧電力センサとの組み合わせから構成され、それらの圧電位置アクチュエータと圧電力センサは直列に位置付けされ、その少なくとも１つのさらなる組み合わせは前記少なくとも１つの組み合わせを補助し、組み合わせの数とさらなる組み合わせの数の合計は少なくとも４である、ことを特徴とする粒子−光学装置。
7. 請求項５または６に記載の粒子−光学装置であって、制御手段は、少なくとも第１センサおよび第２センサそれぞれからの少なくとも第１入力信号および第２入力信号を第１結合入力信号に結合することを目的として第１結合手段から構成され、このことに依存して、制御手段は、少なくとも第１センサと第２センサの両方に関連するそれぞれのアクチュエータのための第１共通制御信号を生成する、ことを特徴とする粒子−光学装置。
8. 請求項７に記載の粒子−光学装置であって、制御手段は、少なくとも第２センサおよび第３センサそれぞれからの少なくとも第２入力信号および第３入力信号を第２結合入力信号に結合することを目的として第２結合手段から構成され、このことに依存して、制御手段は、少なくとも第２センサと第３センサの両方に関連するそれぞれのアクチュエータのための第２共通制御信号を生成し、そのために、制御手段は、第２アクチュエータのために第１共通制御信号と第２共通制御信号とを結合された共通制御信号に結合することを目的として第３結合手段から構成される、ことを特徴とする粒子−光学装置。
9. 請求項６および７に記載の粒子−光学装置であって、第１結合手段は、少なくとも第１センサ、第２センサ、第３センサおよび第４センサそれぞれからの少なくとも第１入力信号、第２入力信号、第３入力信号および第４入力信号を第１結合入力信号に結合するために実施され、このことに依存して、制御手段は、第１センサ、第２センサ、第３センサおよび第４センサにそれぞれ関連するアクチュエータのための第１共通制御信号を生成する、ことを特徴とする粒子−光学装置。
10. 請求項８および９に記載の粒子−光学装置であって、第２結合手段は、少なくとも第１センサ、第２センサ、第３センサおよび第４センサそれぞれからの少なくとも第１入力信号、第２入力信号、第３入力信号および第４入力信号を第２結合入力信号に結合するために実施され、この方法とは異なる方法で、第１結合手段は第１入力信号、第２入力信号、第３入力信号および第４入力信号を第１結合入力信号に結合し、その第２結合入力信号に依存して、制御手段は、第１センサ、第２センサ、第３センサおよび第４センサにそれぞれ関連するアクチュエータのための第２共通制御信号を生成する、ことを特徴とする粒子−光学装置。
11. 請求項１乃至１０のいずれに記載の粒子−光学装置であって、中間体は、一方の前記少なくとも１つの組み合わせの直列に位置付けされたアクチュエータおよびセンサと、他方の基準体との間に備えられる、ことを特徴とする粒子−光学装置。
12. 請求項１１に記載の粒子−光学装置であって、中間体はプレート状である、ことを特徴とする粒子−光学装置。
13. 請求項１２に記載の粒子−光学装置であって、プレート状の中間体はアルミニウムから成り且つその厚さはプレート状の中間体の主寸法の最小の１０％より小さい、ことを特徴とする粒子−光学装置。
14. 請求項１１乃至１３のいずれに記載の粒子−光学装置であって、中間体は、前記少なくとも１つの組み合わせに平行であって、中間体とハウジングとの間に前記少なくとも１つの組み合わせを位置付ける前にハウジングに接続される、ことを特徴とする粒子−光学装置。
15. 請求項１２乃至１４のいずれに記載の粒子−光学装置であって、基準体は、調整手段を用いてプレート状の中間体に平行な方向に移動されることができる、ことを特徴とする粒子−光学装置。
16. 請求項１５に記載の粒子−光学装置であって、調整手段は、基準体が３つの自由度において移動されることが可能であるように実施される、ことを特徴とする粒子−光学装置。
17. 請求項１１乃至１６のいずれに記載の粒子−光学装置であって、基準体は、支持される位置付け手段の総重量の２乃至１２倍の間の範囲内にある力を伴って中間体に接して支持される、ことを特徴とする粒子−光学装置。
18. 請求項１７に記載の粒子−光学装置であって、バネ手段が、基準体と中間体とを互いの方向に押し付けることを目的として備えられる、ことを特徴とする粒子−光学装置。
19. 請求項１８に記載の粒子−光学装置であって、
    ｆ_{ｓｐｒｉｎｇ}＜１／３＊ｆ_ｐｏｓ
    の関係が適用され、ここで、ｆ_ｐｏｓは圧縮しようとする位置付け手段の固有振動数であり、ｆ_{ｓｐｒｉｎｇ}は、何らかの組み合わせまたは支持部材がなく、基準体と位置付け手段を足した合計質量がバネ手段単独により支持される場合に現れる仮想システムにおける固有振動数である、ことを特徴とする粒子−光学装置。
20. 請求項１乃至１９のいずれに記載の粒子−光学装置であって、各々のアクチュエータは、アクチュエータの第１アクチュエータ電極と導電性接触状態にある第１アクチュエータ導電体と、アクチュエータの第２アクチュエータ電極と導電性接触状態にある第２アクチュエータ導電体との間にクランプされ、その第１アクチュエータ導電体とその第２アクチュエータ導電体は制御手段と導電性接触状態にある、ことを特徴とする粒子−光学装置。
21. 請求項１乃至２０のいずれに記載の粒子−光学装置であって、各々のセンサは、センサの第１センサ電極と導電性接触状態にある第１センサ導電体と、センサの第２センサ電極と導電性接触状態にある第２センサ導電体との間にクランプされ、その第１センサ導電体とその第２センサ導電体は制御手段と導電性接触状態にある、ことを特徴とする粒子−光学装置。
22. 請求項２０または２１に記載の粒子−光学装置であって、導電体に関連するアクチュエータおよび／または導電体に関連するセンサは、関連する導電体間にアクチュエータおよび／またはセンサをそれぞれクランプする目的で牽引機構が中を通って伸びるスルーホールを集合的に形成する相互接続孔を備える、ことを特徴とする粒子−光学装置。
23. 請求項２０乃至２２のいずれに記載の粒子−光学装置であって、組み合わせのアクチュエータまたはセンサに関連する２つの導電体の１つは、関連するアクチュエータまたはセンサの両方の電極と導電接触状態にある１つの接触ポイントを備える、ことを特徴とする粒子−光学装置。
24. 請求項２３に記載の粒子−光学装置であって、組み合わせのアクチュエータおよびセンサに関連する４つの導電体の１つは、アクチュエータおよびセンサの両方の電極と導電接触状態にある４つの接触ポイントを備える、ことを特徴とする粒子−光学装置。
25. 請求項２１乃至２４のいずれに記載の粒子−光学装置であって、組み合わせのアクチュエータとセンサとの間に位置する導電体は、互いに向かい合う側に、互いに導電的に接続される接触ポイントを備える、ことを特徴とする粒子−光学装置。
26. 請求項２５に記載の粒子−光学装置であって、導電体の少なくとも一部は、少なくとも１つの外面に、導電体の導電トラックまたは接触ポイント或いはアクチュエータまたはセンサの電極のどちらかとの直接的な電気接触のための少なくとも１つの孤立した導電トラックを備える、ことを特徴とする粒子−光学装置。
27. 請求項１乃至２６のいずれに記載の粒子−光学装置であって、アクチュエータとセンサの組み合わせに関連する導電体はハウジングの外側におよぶ導電機構に導電接続される、ことを特徴とする粒子−光学装置。

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