JPH0614789B2 - テーブル微動方法およびこの方法を用いた微動装置 - Google Patents
テーブル微動方法およびこの方法を用いた微動装置Info
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- JPH0614789B2 JPH0614789B2 JP59130539A JP13053984A JPH0614789B2 JP H0614789 B2 JPH0614789 B2 JP H0614789B2 JP 59130539 A JP59130539 A JP 59130539A JP 13053984 A JP13053984 A JP 13053984A JP H0614789 B2 JPH0614789 B2 JP H0614789B2
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-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/101—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using intermittent driving, e.g. step motors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/20—Means for supporting or positioning the objects or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
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Description
【発明の詳細な説明】 （発明の技術分野） 本発明は、物***置を高精度、かつ高速に移動させ得る
ようにしたテーブル微動方法およびこの方法を用いた微
動装置に関する。
ようにしたテーブル微動方法およびこの方法を用いた微
動装置に関する。
近年、半導体ウェハーやマスク基板等の試料に微細パタ
ーンを形成するものとして、電子ビーム描画装置、縮小
投映型転写装置およびＸ線転写装置等が開発されている
が、この種の装置ではサブミクロン単位の精度を保持す
るために微小に駆動する微動装置が必要となる。また、
上記装置に限らず測定機器で精密な測定を行なう分野等
においても、高精度を有する微動装置が必要である。
ーンを形成するものとして、電子ビーム描画装置、縮小
投映型転写装置およびＸ線転写装置等が開発されている
が、この種の装置ではサブミクロン単位の精度を保持す
るために微小に駆動する微動装置が必要となる。また、
上記装置に限らず測定機器で精密な測定を行なう分野等
においても、高精度を有する微動装置が必要である。
微動装置としては、種々のものが提案されているが、中
でも圧電素子の伸縮を利用し、しかも大きな回転ストロ
ークを得ることができるものとして、第５図に示すよう
な圧電素子の伸縮動作としゃくとり虫の歩行原理とを用
いた微動装置が特開昭５８−１３９６８１号公報として
提案されている。
でも圧電素子の伸縮を利用し、しかも大きな回転ストロ
ークを得ることができるものとして、第５図に示すよう
な圧電素子の伸縮動作としゃくとり虫の歩行原理とを用
いた微動装置が特開昭５８−１３９６８１号公報として
提案されている。
この装置は、図示しない基台上に回転自在に支持された
可動体１を次のように構成したものである。すなわち、
円板状部材２には、その中心部を残して二分する形に外
周部から中心部に向かう２つの切欠部３，４が設けられ
ている。これによって、円板状部材２は、等価的に第１
の移動部材５と第２の移動部材６とをヒンジ７で一体的
に連結した構造となっている。切欠部３には、印加電圧
に応答して伸縮する圧電素子８が挿着されている。第１
および第２の移動部材５，６には、それぞれ各移動部材
５，６を前記基台に選択的に固定する静電チャックを構
成する電極９，10が固定されている。
可動体１を次のように構成したものである。すなわち、
円板状部材２には、その中心部を残して二分する形に外
周部から中心部に向かう２つの切欠部３，４が設けられ
ている。これによって、円板状部材２は、等価的に第１
の移動部材５と第２の移動部材６とをヒンジ７で一体的
に連結した構造となっている。切欠部３には、印加電圧
に応答して伸縮する圧電素子８が挿着されている。第１
および第２の移動部材５，６には、それぞれ各移動部材
５，６を前記基台に選択的に固定する静電チャックを構
成する電極９，10が固定されている。
このような微動装置において、第２の移動部材６を固
定、第１の移動部材５を開放にし、かつ圧電素子８に電
圧を印加すると、第５図（ａ）から同図（ｂ）に示すよ
うに、圧電素子８が伸長することによってヒンジ７が歪
み、第１の移動部材５が図中矢印の向きに移動する。次
に、この状態で第１の移動部材５を固定、第２の移動部
材６を開放状態にし、圧電素子８の印加電圧を減少させ
ると、今度は、圧電素子８が収縮してヒンジ７の歪みが
解消されるので、第２の移動部材６が図中矢印の向きに
移動する。このように、移動部材５，６が、交互に微動
することによって、第１（または第２）の移動部材５
（または６）に固定された図示しない移動テーブルを、
微動回転させることができる。
定、第１の移動部材５を開放にし、かつ圧電素子８に電
圧を印加すると、第５図（ａ）から同図（ｂ）に示すよ
うに、圧電素子８が伸長することによってヒンジ７が歪
み、第１の移動部材５が図中矢印の向きに移動する。次
に、この状態で第１の移動部材５を固定、第２の移動部
材６を開放状態にし、圧電素子８の印加電圧を減少させ
ると、今度は、圧電素子８が収縮してヒンジ７の歪みが
解消されるので、第２の移動部材６が図中矢印の向きに
移動する。このように、移動部材５，６が、交互に微動
することによって、第１（または第２）の移動部材５
（または６）に固定された図示しない移動テーブルを、
微動回転させることができる。
ところが、このような微動装置にあっては、次のような
問題があった。
問題があった。
すなわち、可動体１を高速で回転動作させるためには、
圧電素子８に印加する電圧を大きくするか、または印加
の繰返し周期を短くすることが必要である。しかしなが
ら、圧電素子は容量性負荷であるため、電圧印加の周波
数を増加させると、圧電素子８を含む負荷回路のインピ
ーダンスは低下する。したがって、これに対応させて高
電圧増幅器の出力インピーダンスも下げなければならな
い。しかしながら、一般に、高電圧で高周波数の交流信
号を安定して増幅し、低インピーダンスで出力する回路
を得ることは、応答性等の点から極めて困難である。
圧電素子８に印加する電圧を大きくするか、または印加
の繰返し周期を短くすることが必要である。しかしなが
ら、圧電素子は容量性負荷であるため、電圧印加の周波
数を増加させると、圧電素子８を含む負荷回路のインピ
ーダンスは低下する。したがって、これに対応させて高
電圧増幅器の出力インピーダンスも下げなければならな
い。しかしながら、一般に、高電圧で高周波数の交流信
号を安定して増幅し、低インピーダンスで出力する回路
を得ることは、応答性等の点から極めて困難である。
また、上記の装置では、例えば第１の移動部材５に回転
テーブルを取付けた場合、第２の移動部材６が回転して
いる間は、回転テーブルは停止していることになる。こ
のため、回転テーブルの回転は必然的に間欠的となり、
ステップ移動で回転調整を行なう場合、回転テーブルの
休止状態の存在によって、調整がしずらいという問題が
あった。
テーブルを取付けた場合、第２の移動部材６が回転して
いる間は、回転テーブルは停止していることになる。こ
のため、回転テーブルの回転は必然的に間欠的となり、
ステップ移動で回転調整を行なう場合、回転テーブルの
休止状態の存在によって、調整がしずらいという問題が
あった。
本発明は、かかる従来の問題に鑑みなされたものであ
り、その目的とするところは、圧電素子への印加電圧、
繰返し周波数を何等変えることなしに移動速度を向上さ
せることができ、しかも連続動作による移動効率の向上
化が図れるテーブル微動方法およびこの方法を用いた微
動装置を提供することにある。
り、その目的とするところは、圧電素子への印加電圧、
繰返し周波数を何等変えることなしに移動速度を向上さ
せることができ、しかも連続動作による移動効率の向上
化が図れるテーブル微動方法およびこの方法を用いた微
動装置を提供することにある。
本発明は、たとえば前述したような微動機構の２つの移
動部材が交互に移動することに着目してなされたもので
ある。すなわち、本発明に係る微動方法では、一端が第
１の移動部材に他端が第２の移動部材にそれぞれ連結さ
れた圧電素子の伸縮動作と前記第１および第２の移動部
材を交互に固定・開放させる第１および第２の固定機構
の選択動作とに基づいたしゃくとり虫の歩行原理を利用
してテーブルを間欠的に移動させる微動機構を２段従属
接続して設け、前記各微動機構の各圧電素子の伸縮動作
と前記各固定機構の各選択動作とのタイミングを、前記
従属接続してなる上段テーブルが同方向に連続的に移動
するように組み合わせ制御し、前記上段テーブルを同方
向に連続移動させるようにしている。
動部材が交互に移動することに着目してなされたもので
ある。すなわち、本発明に係る微動方法では、一端が第
１の移動部材に他端が第２の移動部材にそれぞれ連結さ
れた圧電素子の伸縮動作と前記第１および第２の移動部
材を交互に固定・開放させる第１および第２の固定機構
の選択動作とに基づいたしゃくとり虫の歩行原理を利用
してテーブルを間欠的に移動させる微動機構を２段従属
接続して設け、前記各微動機構の各圧電素子の伸縮動作
と前記各固定機構の各選択動作とのタイミングを、前記
従属接続してなる上段テーブルが同方向に連続的に移動
するように組み合わせ制御し、前記上段テーブルを同方
向に連続移動させるようにしている。
本発明によれば、下段に位置する微動機構によって上段
に位置する微動機構全体を駆動するようにしているの
で、上段に位置する微動機構のテーブルも下段に位置す
る微動機構によって移動する。この場合、下段の微動機
構による上段の微動機構全体の駆動は間欠的である。し
かし、下段の微動機構が静止しているとき、上段の微動
機構が駆動される。したがって、上段テーブルは静止す
ることがなく、連続的に移動することになる。
に位置する微動機構全体を駆動するようにしているの
で、上段に位置する微動機構のテーブルも下段に位置す
る微動機構によって移動する。この場合、下段の微動機
構による上段の微動機構全体の駆動は間欠的である。し
かし、下段の微動機構が静止しているとき、上段の微動
機構が駆動される。したがって、上段テーブルは静止す
ることがなく、連続的に移動することになる。
このように、本発明によれば、上段テーブルが静止する
時間がなくなるので、移動効率の向上化が図れ、同一距
離を移動するのに要する時間を従来の半分にすることが
できる。したがって、この場合には、圧電素子の印加電
圧や繰返し周波数を変えることなしに移動速度を従来の
２倍に向上させることができる。
時間がなくなるので、移動効率の向上化が図れ、同一距
離を移動するのに要する時間を従来の半分にすることが
できる。したがって、この場合には、圧電素子の印加電
圧や繰返し周波数を変えることなしに移動速度を従来の
２倍に向上させることができる。
また、上段テーブルを連続移動させることができるの
で、従来に較べて調整作業の容易化を図ることができ
る。
で、従来に較べて調整作業の容易化を図ることができ
る。
以下、図面を参照して本発明の一実施例について説明す
る。
る。
第１図乃至第４図は、本発明を回転微動装置に適用した
例を示すものである。
例を示すものである。
この微動装置は、第１図に示すように、基台11上に第１
の微動装置12と第２の微動機構13とを縦続的に接続して
構成されたものである。
の微動装置12と第２の微動機構13とを縦続的に接続して
構成されたものである。
第１の微動機構12と第２の微動機構13とは、全く同一の
構造となっている。つまり、微動機構12（13）は、円板
状のベース14(15)と、このベース14(15)の上面に回転支
持機構16（17）を介して回転自在に支持された円板状の
可動体18（19）と、この可動体18（19）に支柱20（21）
を介して固定された円板状の移動テーブル22（23）とで
構成されている。
構造となっている。つまり、微動機構12（13）は、円板
状のベース14(15)と、このベース14(15)の上面に回転支
持機構16（17）を介して回転自在に支持された円板状の
可動体18（19）と、この可動体18（19）に支柱20（21）
を介して固定された円板状の移動テーブル22（23）とで
構成されている。
回転支持機構12（13）は、たとえばベアリング、または
ピボットピン等からなるものであり、ベース14（15）と
可動体18（19）との間の軸方向位置を規定する。
ピボットピン等からなるものであり、ベース14（15）と
可動体18（19）との間の軸方向位置を規定する。
可動体18（19）は、次のように構成されている。すなわ
ち、第１および第２図に示すように、可動板24（25）
は、円板状部材の中心部を残して二分する形に外周部か
ら中心部に向かう２つの切欠部27，28を設け、これによ
って、等価的に第１の移動部材31（32）と第２の移動部
材33（34）とをヒンジ35（36）で一体的に連結した構造
となっている。可動板24（25）の一方の切欠部27には、
印加電圧に応答して伸縮する圧電素子37（38）が、その
伸縮方向を可動板24（25）の径方向とは直交する向きに
挿着されている。そして、第１および第２の移動部材31
（32），33（34）には、ベース14（15）と共働してそれ
ぞれ各移動部材31（32）33（34）をベース14（15）に選
択的に固定する固定機構、たとえば静電チャックを構成
する電極39，40（41，42）が固定されている。これら電
極39，40（41，42）は、それぞれ絶縁層43によって被覆
されている。
ち、第１および第２図に示すように、可動板24（25）
は、円板状部材の中心部を残して二分する形に外周部か
ら中心部に向かう２つの切欠部27，28を設け、これによ
って、等価的に第１の移動部材31（32）と第２の移動部
材33（34）とをヒンジ35（36）で一体的に連結した構造
となっている。可動板24（25）の一方の切欠部27には、
印加電圧に応答して伸縮する圧電素子37（38）が、その
伸縮方向を可動板24（25）の径方向とは直交する向きに
挿着されている。そして、第１および第２の移動部材31
（32），33（34）には、ベース14（15）と共働してそれ
ぞれ各移動部材31（32）33（34）をベース14（15）に選
択的に固定する固定機構、たとえば静電チャックを構成
する電極39，40（41，42）が固定されている。これら電
極39，40（41，42）は、それぞれ絶縁層43によって被覆
されている。
移動テーブル22は、支柱20を介して第１の移動部材33に
固定され、また移動テーブル23は、支柱21を介して第２
の移動部材34に固定されている。第１の微動機構12の移
動テーブル22の上面には、第２の微動機構13が載置され
ている。そして、第１の微動機構12の移動テーブル22と
第２の微動機構13のベース15とは、両微動機構12，13の
回転中心軸が一致するように図示しない手段で固定され
ている。
固定され、また移動テーブル23は、支柱21を介して第２
の移動部材34に固定されている。第１の微動機構12の移
動テーブル22の上面には、第２の微動機構13が載置され
ている。そして、第１の微動機構12の移動テーブル22と
第２の微動機構13のベース15とは、両微動機構12，13の
回転中心軸が一致するように図示しない手段で固定され
ている。
このように構成された回転微動装置は、次のように動作
する。
する。
すなわち、第１の微動機構12の圧電素子37には、第３図
中Ａに示すような三角波状電圧が印加される。この三角
波Ａは、図示しないパルス発生器からの基準パルスをカ
ウントして得た階段状波形となっている。また、第１の
微動機構12の電極39には、上記三角波Ａの１／２の周期
の矩形波Ｂが印加される。さらに同微動機構12の電極40
には、上記矩形波Ｂに対して180゜位相のずれた矩形波
Ｃが印加される。
中Ａに示すような三角波状電圧が印加される。この三角
波Ａは、図示しないパルス発生器からの基準パルスをカ
ウントして得た階段状波形となっている。また、第１の
微動機構12の電極39には、上記三角波Ａの１／２の周期
の矩形波Ｂが印加される。さらに同微動機構12の電極40
には、上記矩形波Ｂに対して180゜位相のずれた矩形波
Ｃが印加される。
一方、第２の微動機構13の圧電素子38には、上記三角波
Ａと同様に生成され三角波Ａとは、180゜位相のずれた
三角波状電圧Ｄが印加される。また、第２の微動機構13
の電極41には、上記三角波Ｄの１／２の周期の矩形波Ｅ
が印加される。さらに同微動機構13の電極42には、上記
矩形波Ｅに対して180゜位相のずれた矩形波Ｆが印加さ
れる。
Ａと同様に生成され三角波Ａとは、180゜位相のずれた
三角波状電圧Ｄが印加される。また、第２の微動機構13
の電極41には、上記三角波Ｄの１／２の周期の矩形波Ｅ
が印加される。さらに同微動機構13の電極42には、上記
矩形波Ｅに対して180゜位相のずれた矩形波Ｆが印加さ
れる。
いま、第３図におけるｔ０からｔ１に至る過程では、第
１の微動機構12の第１の移動部材31が固定、第２の移動
部材33が開放で、かつ圧電素子37が徐々に伸長するた
め、第２の移動部材33は、第４図中矢印の向きに回転す
る。第２の移動部材33には第２の微動機構13が固定され
ているので、これによって第２の微動機構13も回転す
る。したがって、移動テーブル23も回転する。一方、こ
の期間は、第２の微動機構13の第１の移動部材32が開
放、第２の移動部材34が固定で、かつ圧電素子38は、徐
々に収縮するので、第１の移動部材32は、第４図（ａ）
に示すように、矢印の向きに回転する。しかし、移動テ
ーブル23は、第２の移動部材に固定されているので、こ
の場合には、第２の移動機構13による駆動はなされな
い。
１の微動機構12の第１の移動部材31が固定、第２の移動
部材33が開放で、かつ圧電素子37が徐々に伸長するた
め、第２の移動部材33は、第４図中矢印の向きに回転す
る。第２の移動部材33には第２の微動機構13が固定され
ているので、これによって第２の微動機構13も回転す
る。したがって、移動テーブル23も回転する。一方、こ
の期間は、第２の微動機構13の第１の移動部材32が開
放、第２の移動部材34が固定で、かつ圧電素子38は、徐
々に収縮するので、第１の移動部材32は、第４図（ａ）
に示すように、矢印の向きに回転する。しかし、移動テ
ーブル23は、第２の移動部材に固定されているので、こ
の場合には、第２の移動機構13による駆動はなされな
い。
次にｔ１からｔ２に至る期間では、第１の微動機構12の
第１の移動部材31が開放、第２の移動部材33が固定で、
かつ圧電素子37が徐々に収縮するので、第１の移動部材
が同図（ｂ）に示すように、矢印の向きに回転する。一
方、第２の微動機構13の第１の移動部材32が固定、第２
の移動部材34が開放で、かつ圧電素子38が徐々に伸長す
るため、第２の移動部材34が図中矢印の向きに移動す
る。したがって、この場合には、第２の移動機構13によ
ってのみ、移動テーブル23が駆動される。
第１の移動部材31が開放、第２の移動部材33が固定で、
かつ圧電素子37が徐々に収縮するので、第１の移動部材
が同図（ｂ）に示すように、矢印の向きに回転する。一
方、第２の微動機構13の第１の移動部材32が固定、第２
の移動部材34が開放で、かつ圧電素子38が徐々に伸長す
るため、第２の移動部材34が図中矢印の向きに移動す
る。したがって、この場合には、第２の移動機構13によ
ってのみ、移動テーブル23が駆動される。
以下、第４図（ｃ），（ｄ）に示すように上記と同様の
動作を繰返すことによって、移動テーブル23は、連続的
に回転駆動されることになる。
動作を繰返すことによって、移動テーブル23は、連続的
に回転駆動されることになる。
このように本実施例によれば、移動テーブル23を連続動
作させることによって、圧電素子37，38への印加電圧、
繰返し周波数等を何等変えることなしに、移動テーブル
23を従来の２倍の速度で移動させることが可能となる。
作させることによって、圧電素子37，38への印加電圧、
繰返し周波数等を何等変えることなしに、移動テーブル
23を従来の２倍の速度で移動させることが可能となる。
なお、本発明は、上述した実施例に限定されるものでは
ない。たとえば、各微動機構は、それぞれ２つの圧電素
子を備え、これらを交互に伸縮させて回転駆動させるも
のであっても良い。また、本発明は、特に回転運動する
微動装置に限られず、たとえばＸ−Ｙ軸に直線運動する
微動機構にも適用可能である。要するに、本発明は、そ
の要旨を逸脱しない範囲で種々変更して実施することが
できる。
ない。たとえば、各微動機構は、それぞれ２つの圧電素
子を備え、これらを交互に伸縮させて回転駆動させるも
のであっても良い。また、本発明は、特に回転運動する
微動装置に限られず、たとえばＸ−Ｙ軸に直線運動する
微動機構にも適用可能である。要するに、本発明は、そ
の要旨を逸脱しない範囲で種々変更して実施することが
できる。
第１図乃至第４図は本発明の一実施例に係る微動装置を
示す図で、第１図は縦断面図、第２図は同装置を第１図
のＡ−Ａ線に沿って切断し矢印方向に見た図、第３図は
動作を説明するための波形図、第４図は動作を説明する
ための模式的作動図、第５図は従来の微動装置を説明す
るための図である。１ ，18，19……可動体、５，31，32……第１の移動部
材、６，33，34……第２の移動部材、８，37，38……圧
電素子、９，10，39〜42……電極、11……基台、12……
第１の微動機構、13……第２の微動機構、14，15……ベ
ース、22，23……移動テーブル。
示す図で、第１図は縦断面図、第２図は同装置を第１図
のＡ−Ａ線に沿って切断し矢印方向に見た図、第３図は
動作を説明するための波形図、第４図は動作を説明する
ための模式的作動図、第５図は従来の微動装置を説明す
るための図である。１ ，18，19……可動体、５，31，32……第１の移動部
材、６，33，34……第２の移動部材、８，37，38……圧
電素子、９，10，39〜42……電極、11……基台、12……
第１の微動機構、13……第２の微動機構、14，15……ベ
ース、22，23……移動テーブル。
Claims (2)
- 【請求項１】一端が第１の移動部材に他端が第２の移動
部材にそれぞれ連結された圧電素子に電圧を印加して伸
縮させる伸縮動作と前記第１および第２の移動部材を交
互に固定・開放させる第１および第２の固定機構の選択
動作とに基づいたしゃくとり虫の歩行原理を利用してテ
ーブルを間欠的に移動させる微動機構を２段従属接続し
て設け、 前記各微動機構の各圧電素子の伸縮動作と前記各固定機
構の前記各選択動作とのタイミングを、前記従属接続し
てなる上段テーブルが同方向に連続的に移動するように
組み合わせ制御し、前記上段テーブルを同方向に連続移
動させるようにしたことを特徴とするテーブル微動方
法。 - 【請求項２】第１のベースと、この第１のベース上に移
動可能に配置された第１および第２の移動部材を備えて
なる第１の可動体と、 一端が前記第１の移動部材に連結され、他端が前記第２
の移動部材に連結された第１の圧電素子と、 前記第１の移動部材を前記第１のベースに選択的に固定
する第１の固定機構と、 前記第２の移動部材を前記第１のベース上に選択的に固
定する第２の固定機構と、 前記第１の移動部材に支持された第２のベースと、 この第２のベース上に移動可能に配置された第３および
第４の移動部材を備えてなる第２の可動体と、 一端が前記第３の移動部材に連結され、他端が前記第４
の移動部材に連結された第２の圧電素子と、 前記第３の移動部材を前記第２のベースに選択的に固定
する第３の固定機構と、 前記第４の移動部材を前記第２のベースに選択的に固定
する第４の固定機構と、 前記第３の移動部材に支持されたテーブルと、 を備え、 前記第１の移動部材と前記第３の移動部材における移動
および停止の各動作が交互に連続して切り替わり、かつ
前記第１乃至第４の移動部材が全て同方向に移動するよ
うに、前記第１および第２の圧電素子の伸縮動作と前記
第１乃至第４の固定機構の各々の駆動動作とのタイミン
グを組み合わせ制御する手段を設けてなることを特徴と
する微動装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59130539A JPH0614789B2 (ja) | 1984-06-25 | 1984-06-25 | テーブル微動方法およびこの方法を用いた微動装置 |
| US06/702,074 US4585969A (en) | 1984-06-25 | 1985-02-15 | Precision rotary moving mechanism using piezoelectric drive elements |
| DE8585301092T DE3577495D1 (de) | 1984-06-25 | 1985-02-19 | Praezisionsbewegungsmechanismus. |
| EP85301092A EP0166499B1 (en) | 1984-06-25 | 1985-02-19 | Precision moving mechanism |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59130539A JPH0614789B2 (ja) | 1984-06-25 | 1984-06-25 | テーブル微動方法およびこの方法を用いた微動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6110971A JPS6110971A (ja) | 1986-01-18 |
| JPH0614789B2 true JPH0614789B2 (ja) | 1994-02-23 |
Family
ID=15036702
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59130539A Expired - Lifetime JPH0614789B2 (ja) | 1984-06-25 | 1984-06-25 | テーブル微動方法およびこの方法を用いた微動装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4585969A (ja) |
| EP (1) | EP0166499B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0614789B2 (ja) |
| DE (1) | DE3577495D1 (ja) |
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| EP1619468A1 (de) * | 2004-07-22 | 2006-01-25 | Leica Geosystems AG | Geodätisches Messgerät mit Piezo-Antrieb |
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| WO2010051797A2 (de) * | 2008-11-10 | 2010-05-14 | Richter, Berta | Elektrischer piezomotor-universalantrieb |
| JP2010162487A (ja) * | 2009-01-16 | 2010-07-29 | Sony Corp | 圧電振動機器システムおよび電子機器 |
| CN102141739B (zh) * | 2011-04-01 | 2013-01-16 | 清华大学 | 光刻机硅片台双台交换*** |
| CN102508414B (zh) * | 2011-11-12 | 2013-09-18 | 哈尔滨工业大学 | 一种基于转台齿轮同步调向的双工件台回转交换方法与装置 |
| KR102396865B1 (ko) * | 2021-12-08 | 2022-05-12 | 주식회사 미코세라믹스 | 정전척 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3684904A (en) * | 1969-04-24 | 1972-08-15 | Gennady Vasilievich Galutva | Device for precision displacement of a solid body |
| JPS5112497B1 (ja) * | 1971-04-21 | 1976-04-20 | ||
| JPS5315060A (en) * | 1976-07-28 | 1978-02-10 | Hitachi Ltd | Inching device |
| SU871845A1 (ru) * | 1980-02-19 | 1981-10-15 | За витель А. П. Плешко | Пъезоэлектрический вибратор |
| JPS58139681A (ja) * | 1982-02-09 | 1983-08-19 | Toshiba Corp | 回転微動機構 |
| US4455501A (en) * | 1982-02-09 | 1984-06-19 | Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha | Precision rotation mechanism |
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| JPS5976184A (ja) * | 1982-10-22 | 1984-05-01 | Hitachi Ltd | アクチユエ−タ |
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- 1984-06-25 JP JP59130539A patent/JPH0614789B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1985
- 1985-02-15 US US06/702,074 patent/US4585969A/en not_active Expired - Fee Related
- 1985-02-19 EP EP85301092A patent/EP0166499B1/en not_active Expired
- 1985-02-19 DE DE8585301092T patent/DE3577495D1/de not_active Expired - Lifetime
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|---|---|
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| EP0166499B1 (en) | 1990-05-02 |
| DE3577495D1 (de) | 1990-06-07 |
| EP0166499A3 (en) | 1987-05-13 |
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