JP2004266000A - 基板処理方法および基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板Wの被処理面に上方からあるいはバブリングによりオゾンガスG1,G2を供給しつつ、基板Wの被処理面に気体と温水との界面91を通過させる。気体と温水との界面直上部92においては、オゾンガスG1,G2と、界面91から蒸発する水蒸気G3とが供給され、混ざり合った直後に液滴として基板Wの被処理面へ付着することとなる。このとき、有機物に対する酸化作用をもつ水酸基(ラジカル)を高濃度で得ることができるため、また、その水酸基を温水により温められた基板Wの被処理面に対して高い反応温度で作用させることができるため、有機物の分解性能を顕著に向上させることができる。
【選択図】 図5
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体基板、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等の表面に付着した有機物の除去処理等を行う基板処理技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、基板の洗浄工程においては、基板の表面に付着したレジスト等の有機物を除去(剥離)する洗浄処理が不可欠である。図9は、このような洗浄処理を行う基板処理装置の一例を示した図である。
【0003】
図9に示す基板処理装置100は、主として、オゾン水を貯留する処理槽101と、処理槽101にオゾン水を供給するオゾン水供給ノズル102と、オゾン水を貯留した処理槽101内に基板Wを浸漬させるためのリフタ103とを備える。基板処理装置100において洗浄処理を行うときは、まずオゾン水供給ノズル102から処理槽101へオゾン水を供給し、次いで、基板Wを載置したリフタ103を下降させ、基板Wを処理槽101に貯留したオゾン水中へ浸漬する。これにより、基板W表面に付着したレジスト等の有機物は、オゾン水の酸化力によって分解・除去される。
【0004】
このような従来の基板処理装置の構成は、例えば、特許文献1に開示されている。
【0005】
【特許文献1】
特開2002−066475号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
一般に、気体の水に対する溶解度は、水の温度が低いほど高くなり、オゾン水についても同様の傾向を示す。すなわち、温度が低いほど多量のオゾンが水中に溶解し、高濃度のオゾン水を得ることができる。ところが、同じ濃度のオゾン水であれば、反応時の反応温度が高いほど、オゾン水の有機物に対する分解性能は高くなる。
【0007】
したがって、低温のオゾン水を供給した場合には、オゾン水中のオゾン濃度を高めることはできるが、反応時の温度が低くなってしまうため結果として有機物の分解性能を顕著に向上させることができない。逆に、オゾン水を高温で供給した場合には、オゾン水中のオゾン濃度が低くならざるを得ないため、やはり有機物の分解性能を顕著に向上させることはできない。
【0008】
オゾン水を用いて基板の表面に付着した有機物を除去する従来の基板処理装置では、このようなジレンマに突き当たり、基板に付着した有機物の分解性能を顕著に向上させることが困難となっている。
【0009】
本発明は、このような課題に鑑みてなされてものであり、基板に付着した有機物の分解性能を顕著に高めることができる基板処理技術を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項1に係る発明は、基板の被処理面に付着した有機物を除去する基板処理方法であって、基板の被処理面にオゾンガスの供給を行う第1工程と、前記第1工程におけるオゾンガスの供給を継続しつつ、基板の被処理面に気体と温水との界面を通過させる第2工程と、を備えることを特徴とする。
【0011】
請求項2に係る発明は、請求項1に記載の基板処理方法であって、前記第1工程におけるオゾンガスの供給は、基板の上方から基板の被処理面に向けたオゾンガスの噴射を含むことを特徴とする。
【0012】
請求項3に係る発明は、請求項1または請求項2に記載の基板処理方法であって、前記第1工程におけるオゾンガスの供給は、温水中から気泡の状態で浮上し界面から上方へ抜けるオゾンガスの供給を含むことを特徴とする。
【0013】
請求項4に係る発明は、請求項1から請求項3までのいずれかに記載の基板処理方法であって、前記第2工程においては、基板の被処理面と界面との相対的な上下移動を繰り返すことによって、被処理面が界面によって繰り返して走査されることを特徴とする。
【0014】
請求項5に係る発明は、請求項1から請求項3までのいずれかに記載の基板処理方法であって、前記第2工程は、処理槽に貯留した温水の排水により、前記処理槽に収容した基板の被処理面に気体と温水との界面を通過させることを特徴とする。
【0015】
請求項6に係る発明は、請求項1から請求項3までのいずれかに記載の基板処理方法であって、前記第2工程は、処理槽への温水の供給により、前記処理槽に収容した基板の被処理面に気体と温水との界面を通過させることを特徴とする。
【0016】
請求項7に係る発明は、請求項1から請求項3までのいずれかに記載の基板処理方法であって、前記第2工程は、処理槽に貯留した温水の排水と前記処理槽への温水の供給とを繰り返すことにより、前記処理槽に収容した基板の被処理面に気体と温水との界面を通過させることを特徴とする。
【0017】
請求項8に係る発明は、請求項5または請求項7に記載の基板処理方法であって、前記処理槽に貯留した温水の排水において、気体と温水との界面が基板の被処理面を通過した後、基板の直下部で所定の時間停止することを特徴とする。
【0018】
請求項9に係る発明は、請求項1から請求項3までのいずれかに記載の基板処理方法であって、前記第2工程は、温水からの基板の引き揚げにより基板の被処理面に気体と温水との界面を通過させることを特徴とする。
【0019】
請求項10に係る発明は、請求項1から請求項3までのいずれかに記載の基板処理方法であって、前記第2工程は、温水中への基板の浸漬により基板の被処理面に気体と温水との界面を通過させることを特徴とする。
【0020】
請求項11に係る発明は、請求項1から請求項3までのいずれかに記載の基板処理方法であって、前記第2工程は、温水からの基板の引き揚げと温水中への基板の浸漬とを繰り返すことにより、基板の被処理面に気体と温水との界面を通過させることを特徴とする。
【0021】
請求項12に係る発明は、基板の被処理面に付着した有機物を除去する基板処理装置であって、基板を収容可能であるとともに温水を貯留する処理槽と、前記処理槽に温水を供給する温水供給手段と、基板の被処理面にオゾンガスを供給するオゾンガス供給手段と、前記オゾンガス供給手段によりオゾンガスを供給した後、基板を前記処理槽内外にわたり昇降させる昇降手段と、を備えることを特徴とする。
【0022】
請求項13に係る発明は、請求項12に記載の基板処理装置であって、前記オゾンガス供給手段は、基板の上方から基板の被処理面へ向けてオゾンガスを噴射する手段を含むことを特徴とする。
【0023】
請求項14に係る発明は、請求項12または請求項13に記載の基板処理装置であって、前記オゾンガス供給手段は、前記処理槽に貯留した温水中へオゾンガスの気泡を噴出する手段を含むことを特徴とする。
【0024】
請求項15に係る発明は、請求項12から請求項14までのいずれかに記載の基板処理装置であって、前記処理槽に貯留した温水を排水する手段をさらに備えることを特徴とする。
【0025】
請求項16に係る発明は、請求項12から請求項15までのいずれかに記載の基板処理装置であって、温水は、80℃以上の温水であることを特徴とする。
【0026】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照しつつ説明する。
【0027】
<1.第1実施形態>
まず、本発明に係る基板処理装置1の要部構成について、図1および図2を参照しつつ以下に説明する。図1は、本発明に係る基板処理装置1の構成を示す正面図である。図1には併せて、基板処理装置1に付帯する配管等の構成および制御部80も概念的に示している。また、図2は、基板処理装置1の側面図である。
【0028】
この基板処理装置1は、複数の基板(以下「複数の基板」を単に「基板」という。)Wの被処理面に付着したレジスト等の有機物を純水に溶解可能な状態に分解し、水洗処理にて除去する装置である。基板処理装置1は、主として処理槽20と、処理槽20を収容するチャンバ10と、処理槽20に温水や常温の純水を供給する手段である純水供給ノズル30と、処理槽20に貯留した温水中にオゾンガスの気泡を噴出供給する手段であるバブリングノズル40と、基板Wを昇降させる手段であるリフタ50と、チャンバ10内でオゾンガスを噴射供給する手段であるオゾンガス供給ノズル60と、チャンバ10内に不活性ガスを供給する手段である不活性ガス供給ノズル70と、制御部80とを備える。
【0029】
チャンバ10は略筐体の収容器であり、その上面に基板Wの搬出入口11と、搬出入口11を開閉可能なオートカバー12とを備える。オートカバー12は、図示を省略する駆動機構によって搬出入口11を開閉することができる。オートカバー12を閉鎖したとき(図1の状態)には、チャンバ10の本体部とオートカバー12との隙間がOリング等の密閉手段によってシールされ、チャンバ10の内部は外部の雰囲気と遮断された密閉系となる。一方、オートカバー12を開放したときには、搬出入口11を経由して、基板Wをチャンバ10内に搬入することおよび基板Wをチャンバ10から外部へ搬出することができる。
【0030】
処理槽20は、チャンバ10内部に固定配置されている。処理槽20は、その内部に基板Wを収容することができる程度の大きさを有するとともに、その内部に純水を貯留することができる。
【0031】
2本の純水供給ノズル30は、処理槽20の底部内側に長手方向を略水平にして配置された中空の略円筒形状の部材であり、その円筒外周面には複数の吐出孔(図示省略)が設けられている。図1に示すように、純水供給ノズル30は、純水バルブ31を介して純水供給源33に接続されており、純水バルブ31を開放することによって、純水供給源33から純水供給ノズルへ純水を送給し、複数の吐出孔から処理槽20内部へ供給することができる。また、純水供給源33から純水バルブ31に至る経路途中にはヒータ32が設けられている。ヒータ32を作動させた場合には、純水供給源33から送給される純水はヒータ32において加熱され、温水として処理槽20内へ供給される。このとき、処理槽20内へ供給される温水の水温は、その水面から好適に水蒸気の蒸発が得られる程度であり、例えば80℃以上かつ沸点(100℃)未満であれば十分である。なお、図2においては図が煩雑となることを避けるため、純水供給ノズル30の図示を省略している。
【0032】
処理槽20の上部外側には、回収部21が設けられており、処理槽20の上端部から純水をオーバーフローさせたときは、溢れ出した純水を回収部21に回収することができる。回収部21は、排液バルブ22を介して排液ラインと接続されており、排液バルブ22を開放することによって、回収部21に流れ込んだ純水を装置外の排液ラインへと排出することができる。
【0033】
また、処理槽20の底部には排液口が設けられており、排液口は排液バルブ23を介して排液ラインと接続されている。したがって、排液バルブ23を開放することによって処理槽20内に貯留した純水を排液ラインへと排水することもできる。
【0034】
処理槽20内において基板Wを収容したときの基板Wの下方にあたる位置には、処理槽20内に貯留した温水中へオゾンガスの気泡を噴出(バブリング)するバブリングノズル40が設けられている。バブリングノズル40は、長手方向を基板の配列方向にして処理槽20の底部付近に配置された中空の円筒状部材であり、その外周面には複数の噴出口が設けられている。バブリングノズル40は、オゾンガスバルブ41を介してオゾンガス供給源42に接続されている。したがって、オゾンガスバルブ41を開放することにより、オゾンガス供給源42からバブリングノズル40へオゾンガスを送給し、噴出口からオゾンガスの気泡を噴出することができる。処理槽20内に収容したときの基板Wに向けて、基板Wの中心部にも周縁部にも均等にオゾンガスの気泡を噴出するために、バブリングノズル40は複数備えていることが望ましく、本実施形態の基板処理装置1では一例として2本のバブリングノズル40を備えている。
【0035】
また、チャンバ10の内部には、処理槽20内において基板Wを収容したときの基板Wの上方にあたる位置に、オゾンガス供給ノズル60が設けられている。
【0036】
オゾンガス供給ノズル60は、長手方向を基板Wの配列方向にして処理槽20の上方付近に配置された中空の円筒形状の部材であり、その外周面には複数の噴射口61が設けられている。複数の噴射口61は、処理槽20内に収容されている状態における基板Wの被処理面に向けられている。また、オゾンガス供給ノズル60は、オゾンガスバルブ62を介してオゾンガス供給源42に接続されている。したがって、オゾンガスバルブ62を開放することにより、オゾンガス供給源42からオゾンガス供給ノズル60へオゾンガスを送給し、噴射口61より処理槽20内に収容された状態の基板Wの被処理面に向けてオゾンガスを噴射することができる。すなわち、オゾンガス供給ノズル60によって基板Wの上方からオゾンガスの供給を行うことができる。
【0037】
チャンバ10の内部には、さらに不活性ガス供給ノズル70が設けられている。不活性ガス供給ノズル70は、長手方向を略水平方向にして配置された中空の円筒形状の部材であり、その外周面には複数の噴射口71が設けられている。不活性ガス供給ノズル70は、不活性ガスバルブ72を介して不活性ガス供給源73に接続されている。したがって、不活性ガスバルブ72を開放することにより、不活性ガス供給源73から不活性ガス供給ノズル70に窒素ガス等の不活性ガスを送給し、複数の噴射口71からチャンバ10の内部に不活性ガスを供給することができる。
【0038】
また、チャンバ10内の雰囲気は、排気バルブ13を介して排気ラインに接続されている。したがって、排気バルブ13を開放することによりチャンバ10内部の気体を装置外の排気ラインへ排気することができる。
【0039】
また、チャンバ10の内部には、リフタ50が設けられている。リフタ50は、リフタアーム51と、リフタアーム51を昇降させる昇降機構52(図2参照)と、基板Wを載置する3本の保持棒53とを備えている。3本の保持棒53のそれぞれは、その長手方向が基板Wの被処理面と垂直な方向となるようにリフタアーム51に固設されており、基板Wの外縁部と嵌合する複数の切り欠き状の保持溝(図示省略)が所定間隔に配列して設けられている。したがって、基板Wは外縁部を複数の保持溝に嵌合した起立姿勢の状態で3本の保持棒53上に保持される。このような構成により、リフタ50は基板Wを3本の保持棒53上に配列支持しつつ、処理槽20内に貯留された純水中に浸漬させた状態(図1に示す状態)と、処理槽20の上方へ引き揚げた位置との間で処理槽20の内外にわたり昇降させることができる。なお、リフタアーム51の昇降は、ボールネジを用いた送りネジ機構や、プーリとベルトを用いたベルト機構など種々の公知の機構により実現することが可能である。
【0040】
また、基板処理装置1は制御部80を備え、制御部80により基板処理装置1の一連の動作を制御することができる。図3は、基板処理装置1の制御系の構成を説明するためのブロック図である。制御部80は、昇降機構52を電気的に制御することにより、リフタ50の昇降運動を操作、調節することができる。また、制御部80は、バルブ31,41,62,72の開閉を電気的に制御することによりそれぞれノズル30,40,60,70からの純水や気体の吐出を操作、調節し、バルブ13,22,23の開閉を電気的に制御することにより、排気および排液を操作、調節することができる。制御部80はまた、駆動機構を電気的に制御することにより、オートカバー12の開閉も操作、調節することができる。
【0041】
次に、以上のような構成を備えた基板処理装置1における処理について、以下に説明する。図4は、本発明の第1実施形態における処理の流れを示すフローチャートである。なお、本実施形態では、ステップS12が本発明における第1工程に相当し、ステップS13,S14が本発明における第2工程に相当する。
【0042】
ステップS11では、基板Wを搬入し、処理槽20に温水を貯留する。具体的にはまず、オートカバー12を開放し、装置外部の搬送ロボットにより搬送されてきた基板Wを搬出入口11から装置内部へ搬入する。搬入された基板Wは、リフタ50の3本の保持棒53上へ載置され、その後、オートカバー12により搬出入口11を閉鎖し、リフタ50を下降させて基板Wを処理槽20内部に収容する。次いで、ヒータ32を作動させ、純水バルブ31を開放することにより、ヒータ32により加熱された温水を純水供給ノズル30から処理槽20内へ貯留する。これにより、基板Wは温水中に浸漬された状態となり、温水により基板Wの被処理面全体が均一に温められる。その後、純水バルブ31を閉鎖する。なお、ステップS11では、処理槽20に温水を貯留した後基板Wを浸漬する順序であっても構わない。
【0043】
ステップS12では、オゾンガスの供給を開始する。オゾンガスは、基板Wの上方と下方との2方向から基板Wの被処理面へ向けて供給する。すなわち、オゾンガスバルブ62を開放してオゾンガス供給ノズル60の噴射口61からオゾンガスの噴射を開始し、基板Wの上方からオゾンガスの供給を開始するとともに、オゾンガスバルブ41を開放して温水中のバブリングノズル40からオゾンガスの気泡の噴出を開始し、基板Wの下方からオゾンガスの供給を開始する。このオゾンガスの供給は、以下のステップS13,S14の間も継続して行われる。
【0044】
ステップS13では、温水の排水を行う。すなわち、排液バルブ23を開放することにより処理槽20の下方から処理槽20内の温水を排液ラインへ排水する。この際、温水面の下降に伴い、基板Wの被処理面に温水と気体との界面を通過させることとなる。図5は、基板Wの被処理面に温水と気体との界面91を通過させる途中の様子を示す図である。図5に示すように、ステップ13において、温水と気体との界面直上部92には、オゾンガス供給ノズル60から下方へ噴出されるオゾンガスG1と、バブリングノズル40から気泡の状態で浮上し界面91から上方へ抜けるオゾンガスG2と、界面91から蒸発する水蒸気G3とが供給され、混合される。したがって、界面直上部92においては、オゾンガスと水蒸気とが混ざり合った直後に液滴として基板Wの被処理面へ付着することとなる。このとき、有機物に対する酸化作用をもつ水酸基(ラジカル)を高濃度で得ることができるため、また、その水酸基を温水により温められた基板Wの被処理面に対して高い反応温度で作用させることができるため、有機物の分解性能を顕著に向上させることができる。オゾンガスと水蒸気とが混ざり合う領域において有機物の分解性能が高まる仕組み等については、“Novel Photoresist Stripping Technology by Using Ozone/Vaporized Water Mixture”(International Symposium on Semiconductor Manufacturing 2002予稿集)などに開示されている。このように、基板Wの被処理面に付着した有機物は、温水と気体との界面直上部92においては顕著に高い分解性能をもって純水に溶解可能な状態に分解される。そして、温水と気体との界面91の低下に伴い、その界面直上部92が基板Wの被処理面を上部から下部まで走査することとなるため、基板Wの被処理面全面にわたって有機物が高い分解性能をもって純水に溶解可能な状態に分解されることとなる。また、ステップS13では、温水と気体との界面91は、基板Wの被処理面を上部から下部まで通過させた後、図6に示すように、処理槽20から完全には排水せず、基板Wの直下部で所定の時間停止させる。温水と気体との界面91を基板Wの直下部で停止させた状態においては、基板Wの下部付近BWでは温水から蒸発する水蒸気に曝されることより被処理面の温度低下が防止され、オゾンガスと水蒸気とによる有機物の分解が継続する。
【0045】
ステップS14では、再び温水の供給を行う。すなわち、排液バルブ23を閉鎖し、純水バルブ31を開放することにより、ヒータ32により加熱された温水を純水供給ノズル30から処理槽20内へ次第に貯留する。この際、温水面の上昇に伴い、基板Wの被処理面に温水と気体との界面91をステップS14とは逆の方向に通過させることとなる。したがって、温水と気体との界面91が基板Wの被処理面を通過する途中においては、ステップS13と同様に、図5に示すような界面直上部92にオゾンガスと水蒸気とが混ざり合う領域を作ることができる。したがって、基板Wの被処理面に残存している有機物は、界面直上部92においては顕著に高い分解性能をもって純水に溶解可能な状態に分解される。そして、温水と気体との界面91の上昇に伴い界面直上部が基板Wの被処理面を下部から上部まで走査することとなるため、基板Wの被処理面全面にわたって残存している有機物が高い分解性能を持って純水に溶解可能な状態に分解されることとなる。
【0046】
その後、ステップS13とステップS14とを所定回数繰り返す。すなわち、基板Wの被処理面に未分解の有機物が残ることを防止するため、温水の排水と供給とを繰り返し行う。所定回数温水の排水と供給とを繰り返した後、オゾンガスバルブ41およびオゾンガスバルブ62を閉鎖し、バブリングノズル40およびオゾンガス供給ノズル60からのオゾンガスの供給を停止する。
【0047】
ステップS15では、水洗処理を行う。すなわち、純水バルブ31と排液バルブ22とを開放するとともにヒータ32を停止し、純水供給ノズル30から処理槽20内へ常温の純水を所定時間継続的に供給することにより、ステップS13,S14において有機物が分解されてできた水溶性の物質を基板Wの被処理面から洗い流す。このとき処理槽20の上方から溢れ出た純水は回収部21に回収され、排液ラインへと排水される。
【0048】
ステップS16では、基板Wの搬出を行う。基板Wを処理槽20内から引き揚げて搬出する前にまず、不活性ガスバルブ72を開放してチャンバ10内に窒素ガス等の不活性ガスを供給するとともに排気バルブ13を開放して、チャンバ10内に残存するオゾンや酸素等の反応性の高い気体を排気する。そして、チャンバ10内の雰囲気を十分に不活性ガスで置換した後、昇降機構52を駆動することによりリフタアーム51を上昇させ、3本の保持棒53上に載置された基板Wを処理槽20内から引き揚げる。このとき、チャンバ10内の雰囲気は不活性ガスで満たされているため、水洗処理後の基板Wの被処理面にウォーターマーク等の処理不良が発生することを抑制できる。その後、オートカバー12を開放し、搬出入口11を経由して基板Wをチャンバ10の外部に搬出するとともに外部の搬送ロボットに渡し、基板処理装置1における一連の処理が終了する。
【0049】
以上のように本発明の第1実施形態においては、温水と気体との界面直上部92における基板Wの被処理面に対してオゾンガスを供給するため、オゾンガスと水蒸気とを混合させ、有機物の分解性能を顕著に向上させることができる。そして、その温水の排水または供給を行うことにより、基板Wの被処理面全面にわたって顕著に高い分解性能をもって有機物を分解することができる。さらに、その温水の排水と供給とを繰り返すことによって、基板Wの被処理面を界面91で繰り返して走査するため、基板Wの被処理面に未分解の有機物が残ることを防止することができる。
【0050】
また、基板Wの被処理面のうち下部付近BWでは、上部付近と比較して界面91上部に曝される時間が短くなる上、オゾンガス供給ノズル60から噴射されるオゾンガスG1が到達しにくい。特に、温水と気体との界面91から水蒸気G3が盛んに蒸発している場合には、下部付近BW以外の領域においてもオゾンガスG1が水蒸気G3の蒸発による圧力に押し返され、温水と気体との界面直上部92まで十分に到達しないことがある。本実施形態では、このようにオゾンガスG1の供給が不十分となるのを補い、水蒸気の圧力に押し返されることなくオゾンガスを供給するため、バブリングノズル40から気泡の状態でオゾンガスを噴出して界面直上部92の下方からもオゾンガスG2を供給できるようにしている。また、特に基板Wの下部付近BWにおいてオゾンガスG1の供給が不十分となるのを補うため、ステップS13において温水を処理槽20から完全には排水せず、基板Wの直下部で界面91を所定の時間停止させている。
【0051】
<2.第2実施形態>
続いて、本発明の第2実施形態について以下に説明する。第1実施形態においては、基板Wの被処理面に温水と気体との界面91を上下に通過させるために、処理槽20に貯留した温水の排水と供給とを繰り返すという形態について説明したが、第2実施形態においては、基板Wを上下に昇降させることにより温水と気体との界面91を通過させる。
【0052】
第2実施形態においても、第1実施形態と同じ基板処理装置1を使用するため、装置の要部構成についての重複説明は省略する。但し、第2実施形態においては、処理槽20に貯留された温水と気体との界面91の位置は不動となるため、オゾンガス供給ノズル60の複数の噴射口61は、その界面直上部92に向けられていることが望ましい。
【0053】
第2実施形態の処理の流れについて以下に説明する。図7は、本発明の第2実施形態における処理の流れを示すフローチャートである。なお、本実施形態では、ステップS22が本発明における第1工程に相当し、ステップS23,S24が本発明における第2工程に相当する。
【0054】
ステップS21において基板Wを搬入し、処理槽20に温水を貯留し、ステップS22においてオゾンガスの供給を開始するところまでは、上述の第1実施形態のステップS11,S12と同様であるので、重複説明を省略する。
【0055】
ステップS23では、基板Wの引き揚げを行う。すなわち、昇降機構52を駆動することによりリフタアーム51を上昇させ、3本の保持棒53上に載置された基板Wを処理槽20内から引き揚げる。この際、基板Wの引き揚げに伴い、基板Wの被処理面に温水と気体との界面を通過させることとなる。したがって、ステップS23においても、第1実施形態のステップS13と同様に、図5に示すように、温水と気体との界面直上部92には、オゾンガス供給ノズル60から下方へ噴出されるオゾンガスG1と、バブリングノズル40から気泡の状態で浮上し界面91から上方へ抜けるオゾンガスG2と、界面91から蒸発する水蒸気G3とが供給され、混合される。そして、界面直上部92においては、オゾンガスと水蒸気とが混ざり合った直後に液滴として基板Wの被処理面へ付着することとなる。このとき、有機物に対する酸化作用をもつ水酸基(ラジカル)を高濃度で得ることができるため、また、その水酸基を温水により温められた直後の基板Wの被処理面に対して高い反応温度で作用させることができるため、有機物の分解性能を顕著に向上させることができる。このように、基板Wの被処理面に付着した有機物は、温水と気体との界面直上部92においては顕著に高い分解性能をもって純水に溶解可能な状態に分解される。そして、基板Wの引き揚げに伴い界面直上部92が基板Wの被処理面を上部から下部まで走査することとなるため、基板Wの被処理面全面にわたって有機物が高い分解性能をもって純水に溶解可能な状態に分解されることとなる。また、また、ステップS23では、温水中からの基板Wの引き揚げが完了した直後、その状態(基板Wと界面91との相対的な位置関係は図6と同様の状態)で所定の時間停止させる。基板Wを温水と気体との界面91の直上部で停止させた状態においては、基板Wの下部付近BWでは温水から蒸発する水蒸気に曝されることより被処理面の温度低下が防止され、オゾンガスと水蒸気とによる有機物の分解が継続する。
【0056】
ステップS24では、再び基板Wを温水中へ浸漬する。すなわち、昇降機構52を駆動することによりリフタアーム51を下降させ、3本の保持棒53上に載置された基板Wを処理槽20に貯留した温水中へと浸漬する。この際、基板Wの浸漬に伴い、基板Wの被処理面に温水と気体との界面をステップS23とは逆の方向に通過させることとなる。したがって、基板Wを温水中へ浸漬する途中においては、ステップS23と同様に、図5に示すような界面直上部92にオゾンガスと水蒸気とが混ざり合う領域を作ることができる。したがって、基板Wの被処理面に残存している有機物は、界面直上部92においては顕著に高い分解性能をもって純水に溶解可能な状態に分解される。そして、基板Wの浸漬に伴い界面直上部が基板Wの被処理面を下部から上部まで走査することとなるため、基板Wの被処理面全面にわたって残存している有機物が高い分解性能をもって純水に溶解可能な状態に分解されることとなる。
【0057】
その後、ステップS23とステップS24とを所定回数繰り返す。すなわち、基板Wの被処理面に未分解の有機物が残ることを防止するため、基板Wの引き揚げと浸漬とを繰り返し行う。所定回数基板Wの引き揚げと浸漬とを繰り返した後、オゾンガスバルブ41およびオゾンガスバルブ62を閉鎖し、バブリングノズル40およびオゾンガス供給ノズル60からのオゾンガスの供給を停止する。
【0058】
ステップS25における水洗処理と、ステップS26における基板Wの搬出は、ステップS15,S16と同様であるので、重複説明を省略する。
【0059】
以上のように本発明の第2実施形態においては、温水と気体との界面直上部92における基板Wの被処理面に対してオゾンガスを供給するため、オゾンガスと水蒸気とを混合させ、有機物の分解性能を顕著に向上させることができる。そして、その温水からの基板Wの引き揚げまたは温水中への基板Wの浸漬を行うことにより、基板Wの被処理面全面にわたって顕著に高い分解性能をもって有機物を分解することができる。さらに、その基板Wの引き揚げと浸漬とを繰り返すことによって、基板Wの被処理面を界面91で繰り返して走査するため、基板Wの被処理面に未分解の有機物が残ることを防止することができる。
【0060】
また、本実施形態においても第1実施形態と同様に、オゾンガスG1の供給が不十分となるのを補い、水蒸気の圧力に押し返されることなくオゾンガスを供給するため、バブリングノズル40から気泡の状態でオゾンガスを噴出して界面直上部92の下方からもオゾンガスG2を供給できるようにしている。
【0061】
また、基板Wの下部付近BWにおける処理時間を補うため、ステップS23において基板Wを温水から引き揚げた後、界面91の直上部で基板Wを所定の時間停止させている。
【0062】
<3.変形例>
以上、本発明の主な実施形態について説明したが、本発明は上述の例に限定されるものではない。
【0063】
例えば、上述の第1実施形態においては、ステップS13における温水の排水とステップS14における温水の供給とを繰り返し行う場合について説明したが、温水の排水と供給とを各1回ずつ行う形態であっても、温水の排水または供給のいずれかを1回のみ行う形態であっても、その排水や供給の速度を好適に設定することにより、基板Wの被処理面全面に付着した有機物を顕著に高い分解性能をもって除去することは可能である。
【0064】
また、ステップS13における温水の排水とステップS14における温水の供給とを繰り返す途中に、適宜ステップS15の水洗処理を実施する形態であってもよい。このようにすれば、有機物が分解されてできた水溶性の物質を基板Wの被処理面から除去しつつ効率よく分解処理を進行させることができる。
【0065】
同様に、上述の第2実施形態においても、ステップS23における基板Wの引き揚げとステップS24における基板Wの浸漬とを繰り返し行う場合について説明したが、基板Wの引き揚げと浸漬とを各1回ずつ行う形態であっても、基板Wの引き揚げまたは基板Wの浸漬のいずれかを1回のみ行う形態であっても、その引き揚げや浸漬の速度を好適に設定することにより、基板Wの被処理面全面に付着した有機物を顕著に高い分解性能をもって除去することは可能である。
【0066】
また、ステップS23における基板Wの引き揚げとステップS24における基板Wの浸漬とを繰り返す途中に、適宜ステップS15の水洗処理を実施する形態であってもよい。このようにすれば、有機物が分解されてできた水溶性の物質を基板Wの被処理面から除去しつつ効率よく分解処理を進行させることができる。
【0067】
また、上述の第1実施形態および第2実施形態においては、基板Wの被処理面に向けたオゾンガスの供給として、オゾンガス供給ノズル60による上方からの供給と、バブリングノズル40による下方からの供給とを併せて行う場合について説明したが、いずれか一方のみの供給であっても、その供給量や供給方向を好適に調節することにより、基板Wの被処理面に付着した有機物に対する顕著に高い分解性能を得ることは可能である。
【0068】
また、上述の第1実施形態および第2実施形態においては、予めヒータ32により加熱された温水が処理槽20内へ供給される場合について説明したが、図8に示すようなヒータ34,35を用いて、純水供給ノズル30から供給された常温の純水を処理槽20内で加熱し温水とする構成であってもよい。処理槽20内で純水を加熱するためのヒータとしては、ハロゲンランプ等の輻射熱を利用するランプ式のヒータ34や、処理槽20の底部から純水を対流加熱する浸漬式のヒータ35などを使用することが考えられる。また、純水の供給経路途中のヒータ32により加熱された温水を処理槽20に供給した上で、その後の温水の温度低下を防止するために、補助的にヒータ34,35を使用する構成であってもよい。これらの場合、本発明における温水供給手段は、処理槽20内で純水を加熱するためのヒータ34,35をも含めた手段を指すことになる。
【0069】
また、上述の第1実施形態および第2実施形態においては、チャンバ10内部の気圧については特に限定しなかったが、常圧で処理を行ってもよく、また、排気バルブ13を閉鎖することによってチャンバ10内部を高圧とし、ステップS13,S14あるいはステップS23,S24の処理を高圧で行ってもよい。高圧下においては、基板Wの被処理面に付着する液滴中へのオゾンガスの溶解を促進させることができるため、有機物の分解性能を更に高めることができる。
【0070】
【発明の効果】
以上のように、請求項1から請求項15に記載の発明によれば、温水と気体との界面直上部において基板の被処理面に対してオゾンガスを供給することができるため、オゾンガスと水蒸気とを混合させ、有機物の分解性能を顕著に向上させることができる。そして、基板の被処理面に温水と気体との界面を通過させるため、基板の被処理面全面にわたって顕著に高い分解性能をもって有機物を分解することができる。
【0071】
特に、請求項3に記載の発明によれば、温水と気体との界面直上部の下方からオゾンガスを供給することができるため、水蒸気の圧力に押し返されることなく基板の被処理面にオゾンガスを供給することができる。
【0072】
特に、請求項7に記載の発明によれば、温水の排水と供給とを繰り返すことによって、基板の被処理面に未分解の有機物が残ることを防止することができる。
【0073】
特に、請求項7に記載の発明によれば、基板の下部付近においてオゾンガスの供給が不十分となることを補うことができる。
【0074】
特に、請求項11に記載の発明によれば、基板の引き揚げと浸漬とを繰り返すことによって、基板の被処理面に未分解の有機物が残ることを防止することができる。
【0075】
特に、請求項16に記載の発明によれば、温水の水面から好適に水蒸気の蒸発を得ることができるため、基板の被処理面に付着した有機物の分解性能を更に向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る基板処理装置1の構成を示す正面図である。
【図2】基板処理装置1の側面図である。
【図3】基板処理装置1の制御系の構成を説明するためのブロック図である。
【図4】本発明の第1実施形態における処理の流れを示すフローチャートである。
【図5】基板Wの被処理面に温水と気体との界面91を通過させる途中の様子を示す図である。
【図6】温水と気体との界面91を、基板Wの被処理面の上部から下部まで通過させた後、基板Wの直下部で停止させる様子を示す図である。
【図7】本発明の第2実施形態における処理の流れを示すフローチャートである。
【図8】純水供給ノズル30から供給された常温の純水を処理槽20内で加熱し温水とするヒータ34,35を示す図である。
【図9】従来の基板処理装置の一例を示した図である。
【符号の説明】
1 基板処理装置
10 チャンバ
20 処理槽
30 純水供給ノズル
32 ヒータ
40 バブリングノズル
50 リフタ
60 オゾンガス供給ノズル
70 不活性ガス供給ノズル
80 制御部
91 界面
92 界面直上部
G1,G2 オゾンガス
G3 水蒸気
W 基板
Claims (16)
- 基板の被処理面に付着した有機物を除去する基板処理方法であって、
基板の被処理面にオゾンガスの供給を行う第1工程と、
前記第1工程におけるオゾンガスの供給を継続しつつ、基板の被処理面に気体と温水との界面を通過させる第2工程と、
を備えることを特徴とする基板処理方法。 - 請求項1に記載の基板処理方法であって、
前記第1工程におけるオゾンガスの供給は、
基板の上方から基板の被処理面に向けたオゾンガスの噴射
を含むことを特徴とする基板処理方法。 - 請求項1または請求項2に記載の基板処理方法であって、
前記第1工程におけるオゾンガスの供給は、
温水中から気泡の状態で浮上し界面から上方へ抜けるオゾンガスの供給
を含むことを特徴とする基板処理方法。 - 請求項1から請求項3までのいずれかに記載の基板処理方法であって、
前記第2工程においては、基板の被処理面と界面との相対的な上下移動を繰り返すことによって、被処理面が界面によって繰り返して走査されることを特徴とする基板処理方法。 - 請求項1から請求項3までのいずれかに記載の基板処理方法であって、
前記第2工程は、
処理槽に貯留した温水の排水により、前記処理槽に収容した基板の被処理面に気体と温水との界面を通過させることを特徴とする基板処理方法。 - 請求項1から請求項3までのいずれかに記載の基板処理方法であって、
前記第2工程は、
処理槽への温水の供給により、前記処理槽に収容した基板の被処理面に気体と温水との界面を通過させることを特徴とする基板処理方法。 - 請求項1から請求項3までのいずれかに記載の基板処理方法であって、
前記第2工程は、
処理槽に貯留した温水の排水と前記処理槽への温水の供給とを繰り返すことにより、前記処理槽に収容した基板の被処理面に気体と温水との界面を通過させることを特徴とする基板処理方法。 - 請求項5または請求項7に記載の基板処理方法であって、
前記処理槽に貯留した温水の排水において、
気体と温水との界面が基板の被処理面を通過した後、基板の直下部で所定の時間停止することを特徴とする基板処理方法。 - 請求項1から請求項3までのいずれかに記載の基板処理方法であって、
前記第2工程は、
温水からの基板の引き揚げにより基板の被処理面に気体と温水との界面を通過させることを特徴とする基板処理方法。 - 請求項1から請求項3までのいずれかに記載の基板処理方法であって、
前記第2工程は、
温水中への基板の浸漬により基板の被処理面に気体と温水との界面を通過させることを特徴とする基板処理方法。 - 請求項1から請求項3までのいずれかに記載の基板処理方法であって、
前記第2工程は、
温水からの基板の引き揚げと温水中への基板の浸漬とを繰り返すことにより、基板の被処理面に気体と温水との界面を通過させることを特徴とする基板処理方法。 - 基板の被処理面に付着した有機物を除去する基板処理装置であって、
基板を収容可能であるとともに温水を貯留する処理槽と、
前記処理槽に温水を供給する温水供給手段と、
基板の被処理面にオゾンガスを供給するオゾンガス供給手段と、
前記オゾンガス供給手段によりオゾンガスを供給した後、基板を前記処理槽内外にわたり昇降させる昇降手段と、
を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項12に記載の基板処理装置であって、
前記オゾンガス供給手段は、
基板の上方から基板の被処理面へ向けてオゾンガスを噴射する手段
を含むことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項12または請求項13に記載の基板処理装置であって、
前記オゾンガス供給手段は、
前記処理槽に貯留した温水中へオゾンガスの気泡を噴出する手段
を含むことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項12から請求項14までのいずれかに記載の基板処理装置であって、
前記処理槽に貯留した温水を排水する手段
をさらに備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項12から請求項15までのいずれかに記載の基板処理装置であって、
温水は、80℃以上の温水であることを特徴とする基板処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003053056A JP2004266000A (ja) | 2003-02-28 | 2003-02-28 | 基板処理方法および基板処理装置 |
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JP (1) | JP2004266000A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2007123198A1 (ja) * | 2006-04-20 | 2007-11-01 | Zenkyo Corporation | 基板処理装置及び基板製造方法 |
-
2003
- 2003-02-28 JP JP2003053056A patent/JP2004266000A/ja active Pending
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