JP2004228446A - プリント基板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】コア基板11の主面に接続パッド6を含む下層の回路パターン16が形成され、この接続パッド6上にビアホール底強化パッド7を形成され、層間絶縁膜10にビアホール底強化パッド7に達するビアホール5が形成されている。ビアホール5の内面上および層間絶縁膜10上に電解メッキもしくは無電解メッキにより上層の回路パターン14が形成され、上層の回路パターン14の電極パッド4がビアホール5を通してビアホール底強化パッド7に接続し、保護膜9に形成された開口に露出する電極パッド4に半田バンプ3が被着され、半田バンプ3に半導体装置等の電子部品のCSP1の電極2が接続されている。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明はプリント基板に係わり、特に信頼性を強化したビア接続構造を有するプリント基板に関する。
【0002】
【従来の技術】
図6に従来技術のプリント基板を示す。ガラスエポキシ板によるコア基板11の主面に銅板をラミネートし、この銅板をフォトレジスト技術によりパターニングすることにより接続パッド6を含む下層の回路パターンを形成する。
【0003】
次に、下層の回路パターンの上にエポキシ樹脂またはポリイミド樹脂による膜厚約30μmの層間絶縁膜10を形成し、層間絶縁膜10に下層の回路パターンの接続パッド6に達するビアホール(バイアホール、Via Hole)5を形成する。
【0004】
次に、ビアホール5の内面上および層間絶縁膜上に電解メッキもしくは無電解メッキにより上層の回路パターン14を形成する。この上層の回路パターン14にはビアホール5を通して下層の回路パターンの接続パッド6に接続し、層間絶縁膜10上を延在する引き出された電極パッド4を含んでいる。
【0005】
次ぎに、全体的に被着された保護膜9に引き出し配線の電極パッド4を露出する開口を形成し、そこに半田バンプ3を形成する。
【0006】
そして、半導体装置等の電子部品のCSP(チップサイズパッケージ:Chip Size Package)1の電極2を半田バンプ3接続する
しかしながら図6に示す従来のプリント基板では、ビアホール5内で下層の回路パターンの接続パッド6に接続された上層の回路パターンの引き出し配線が層間絶縁膜10上を引き回されて、ビアホール5上から離れた位置で半田バンプ3を形成しているから、高密度化に対応することが不可能となる。
【0007】
このために図7に断面図を示し、図8に斜視図を示すように、ビアホール5上に直接半田バンプ3を形成する、いわゆるビアオンパッド構造のプリント基板が広く用いられるようになっている。
【0008】
図7、図8のプリント基板では、ガラスエポキシ板によるコア基板11の主面上に銅板をラミネートし、この銅板をフォトレジスト技術によりパターニングすることにより下層の回路パターン16を形成する。この下層の回路パターン16には接続パッド6を含んでいる。
【0009】
次ぎに、エポキシ樹脂またはポリイミド樹脂による膜厚が約30μmの層間絶縁膜10を形成し、層間絶縁膜10に下層の回路パターンの接続パッド6に達するビアホール5を形成する。
【0010】
次ぎに、ビアホール5の内面上および層間絶縁膜10上に電解メッキもしくは無電解メッキにより上層の回路パターン14を形成する。この上層の回路パターンにはビアホール5内で下層の回路パターンの接続パッド6に接続する電極パッド4を含んでいる。
【0011】
次ぎに、全体的に被着された保護膜9に電極パッド4を露出する開口を形成し、そこに電極パッド4に被着した半田バンプ3を形成する。
【0012】
そして、半導体装置等の電子部品のCSP1の電極2をビアホール上に形成されている半田バンプ3に接続する
このように半田バンプがビアホール上に形成されているビアオンパッドの構造では、接続配線の引き回しがないからプリント配線板の高密度化に対応することが可能になる。
【0013】
【特許文献1】
特開2001−223469号公報
【0014】
【発明が解決しようとする課題】
ここで、電極パッドがビアホールの周囲で層間絶縁膜の上面との接続強度を保つために、ビアホール径(図8)はビアランド径(図8)よりも小さい必要がある。
【0015】
そして、回路パターン形成時のゆがみや、ビアホール形成の誤差等を考慮すると、ビアホール径を小さくした方が量産レベルでは有利となる。
【0016】
一般的な工法を用いて基板形成を行うことを考えた場合、一般的に、ビアホール径とビアランド径はそれぞれ150μm、400μm程度であるが、ビアホール形成をレーザ等で高精度に行った場合、ビアホール径を100μm以下、ビアランド径を250μmにすることが可能である。
【0017】
そして、CSPの狭ピッチ化に伴い、さらに小径化の要望が強くなり、このようなビアオンパッド構造では、ビアランド径はそのままパッド径になるために、狭ピッチに対応するには、その小径化が不可欠となる。
【0018】
しかしながら、このビアオンパッド構造では、パッケージ、バンプ、基板の曲げ変形応力や、加熱冷却による熱膨張に起因する熱応力が、ビアホール底部に集中する場合がある。特にプリント基板は、そのコア基板は弾性に富む樹脂であり、半導体チップ等の搭載部品と比較してはるかに大きい平面積にであるから、ビア底部に基板の曲げによる変形応力が大きく作用する。
【0019】
ビアホール底部の接続強度は主にビアホール径と、ビアホール底部が接続する導体層(接続パッド)の厚みが大きく影響する。
【0020】
電極パッドの小径化、それに伴うビアホール径の小径化は、ビアホール底部の接続強度を低下させる。さらに、機器の小型、軽量化のため基板の薄型化の要望もあり、基板薄型化のために、導体層(回路パターン全体)の層厚も薄くする必要がある。
【0021】
このような、ビアホール径の小径化と導体層薄型化によって、図9に示すように応力集中位置にクラック31が入り、あるいは、図10に示すように、ビアホール底部において破断32が発生する。
【0022】
これによりビアオンパッド構造のビアホール底部の接続強度が低下し、装置の信頼性を著しく悪化させている。
【0023】
一方、回路パターン全体を厚い材料にすると、プリント基板の厚さが厚くなりすぎて好ましくない。
【0024】
さらに、回路パターン全体を厚い材料にすると、微細な回路パターンを形成するのに支障を生じる。
【0025】
したがって本発明の主な目的は、ビアオンパッド構造において、回路パターン全体を厚くすることなく、ビア底部の接続強度を強化したプリント基板を提供することである。
【0026】
【課題を解決するための手段】
本発明の特徴は、下層の回路パターンと上層の回路パターンとを層間絶縁膜に形成されたビアホールを通して接続を行うビア構造を具備するプリント基板において、前記下層の回路パターンの電極接続部上に前記ビアホール底径よりも大きい範囲で金属材料その他の導電性の材料によってビアホール底補強パッドを設け、これにより補強されたビア構造にしたプリント基板にある。
【0027】
ここで、前記ビアホール底補強パッドは前記下層の回路パターンの電極接続部よりも小さい面積で形成されていることが好ましい。
【0028】
また、前記ビアホール底補強パッドの断面形状は長方形状であることができる。あるいは、前記ビアホール底補強パッドの断面形状は台形形状であることができる。
【0029】
さらに、前記上層の回路パターの電極パッドが前記ビアホールの内部に形成され、半田バンプの下部部分が前記電極パッドを介して前記ビアホール内に入り込んでいることができる。あるいは、前記上層の回路パターの電極パッドが前記ビアホールの内部を充填して形成されていることができる。
【0030】
また、前記上層の回路パターンは一層であることができる。あるいは、前記上層の回路パターンは多層であり、それぞれの層に対応して前記ビア構造を有することができる。
【0031】
さらに、前記ビアホールの真上に半田バンプが形成されたビアオンパッドの構造になっていることが好ましい。
【0032】
【発明の実施の形態】
以下図面を参照して本発明を説明する。図1は本発明の第1の実施の形態におけるビアホール底補強パッド付ビルドアップ型のプリント基板の断面図であり、図2はその斜視図である。
【0033】
ガラスエポキシ板によるコア基板11の主面に銅板をラミネートし、この銅板をフォトレジスト技術によりパターニングすることにより接続パッド6を含む下層の回路パターン16を形成する。
【0034】
尚、下層の回路パターン16は電解メッキもしくは無電解メッキ等により形成される場合もある。
【0035】
さらに、この内層パターンである下層の回路パターン16は、ビアホール下の接続パッド6を含むパターンの意味であるから、コア基板上の1層目もしくは複数層目の層間絶縁膜上に電解メッキもしくは無電解メッキ等により形成される場合もある。
【0036】
次に、下層の回路パターン16の接続パッド6上に、ビアホール底強化パッド7を形成する。
【0037】
このビアホール底強化パッド7は、たとえば、下層の回路パターン形成後、メッキ工程等により形成することもできるし、下層の回路パターン形成用の導体膜を形成後、ビアホール底強化パッド以外の部分をエッチング等によって除去して形成してもよい。また、はんだペースト印刷や、銀ペースト塗布といった方法も考えられる。その他いずれの方法で形成しても有効である。
【0038】
また、図1および図2に示すように、ビアホール底強化パッド7は接続パッド6よりも小さい面積とすることによりその形成を容易にしている。また図1および図2に示すように、この実施の形態のビアホール底強化パッド7の縦断面形状は長方形状である。
【0039】
次ぎに、ビアホール底強化パッド7および下層の回路パターン16の上にエポキシ樹脂またはポリイミド樹脂による膜厚約30μmの層間絶縁膜10を形成し、この層間絶縁膜10にビアホール底強化パッド7に達するビアホール5を形成する。
【0040】
ここで、ビアホール底強化パッド7はビアホール5よりも大きい面積であるから、位置合わせ等による多少のばらつきが生じてもビアホール5の全底面にビアホール底強化パッド7が位置していることになる。
【0041】
次に、ビアホール5の内面上および層間絶縁膜上に電解メッキもしくは無電解メッキにより上層の回路パターン14を形成する。この上層の回路パターン14にはビアホール5を通してビアホール底強化パッド7に接続し、層間絶縁膜上を延在する引き出された電極パッド4を含んでいる。
【0042】
次ぎに、全体的に被着された保護膜9に引き出し配線の電極パッド4を露出する開口を形成し、そこに半田バンプ3を形成する。
【0043】
そして、半導体装置等の電子部品のCSP1の電極2をビアホール上に形成されている半田バンプ3に接続する
本発明のビアホール底強化パッド7について具体的数値で説明を加える。たとえば、従来よく使用されている基板構造として、接続パッド6を含む下層の回路パターン16の層厚を20μmから15μmへ薄型化すると、断面2次モーメントは断面高さの3乗に比例するから153/203 0.42倍となり、剪断強さも0.42倍に低下する。
【0044】
さらに、ビアホール底径が150μmから50μmとすれば、円周長さも約0.33倍剪断強さも0.33倍となり、両方の影響を考慮するとビア底強度は0.14倍まで低下する。
【0045】
厳密には周囲の絶縁層の影響、弾性変形等もあるため、ここまで低下するわけではないが、本実施の形態の如く、直径150μm、厚さ15μmのビアホール底強化パッド7を用いれば、ビアホール径を50μm、接続パッド6を含む下層の回路パターン16の層厚を15μmとしても、同様の計算をすれば断面2次モーメントは303/203 3.4倍、なるため、ビアホール底強度は1.1倍となり、強度低下を招くことはない。また、本発明の構造であれば、表層のパターン配線との絶縁距離が十分確保可能なため、電気特性上の問題を発生することもない。
【0046】
図3は本発明の第2の実施の形態を示す断面図である。図3において図1と同一もしくは類似箇所は同じ符号を付してあるから重複する説明は省略する。
【0047】
図3に示すように、第2の実施の形態のビアホール底強化パッド7の縦断面形状は台形形状になっている。このようにビアホール底強化パッド7を台形形状にすることにより、パッド外周での応力集中が避けられ、さらに強度を上げることができる。
【0048】
図4は本発明の第3の実施の形態を示す断面図である。図4において図1と同一もしくは類似箇所は同じ符号を付してあるから重複する説明は省略する。
【0049】
第3の実施の形態では、図4に示すように電極パッド4はビアホール5内において同心円の円形でなく、表層のパターンを避け絶縁を確保できる部分全体を厚くしているかからさらに強度を上げることができる。
【0050】
すなわち、図4のようなフィルドビア構造での適用も有効である。フィルドビア構造にビアホール底補強パッドを適用することで、ビアホール5内を電極パッド4で充填したフィルドビア12とすることによりビアホールの小径化が可能となる。このビアホールの小型化により、プリント基板のより高密度化が可能となり、さらに、フィルドビア12をメッキ等で製造する際には、メッキ時間の短縮にもつながり、生産性も向上する。
【0051】
図5は本発明の第4の実施の形態を示す断面図である。図5において図1および図4と同一もしくは類似箇所は同じ符号を付してあるから重複する説明は省略する。
【0052】
図5はスタックフィルドビア構造を示すもので、接続パッド6を含む下層の配線パターン16上に第2の層間絶縁膜20を設け、その上に中間層の回路パターン26を形成している。
【0053】
上層の回路パターン14のフィルドビア12下であって下層の回路パターンの16の接続パッド6の上の第2の層間絶縁膜20に第2のビアホール25を形成し、この第2のビアホール25を中間層の回路パターン26の電極・接続パッド24で充電することによりフィルドビア13を構成し、フィルドビア13の下に第2のビアホール25よりも大きい面積の第2のビアホール底補強パッド17を形成している。
【0054】
これにより、下層の回路パターン16の接続パッド6とその真上に位置している半田バンプ3とは、第2のビアホール底補強パッド17、フィルドビア13、ビアホール底補強パッド7およびフィルドビア12を介して電気的・機械的に接続された構造になっている。
【0055】
このように多層配線構造においても複数のビアホール下にそれぞれビアホール底補強パッドを設けているから、多層配線のプリント基板に反りが生じても各ビアホール下に断線やクラックが発生することを防止することができる。
【0056】
尚、以上の実施の形態ではビアオンパッド構造を用いて説明したが、ビアオンパッド構造でないビア構造に本発明のビアホール底補強パッドを設けることで信頼性を高めることができる。
【0057】
また以上の実施の形態では、外部側に位置する上層の電極パッドに半田バンプが接続し、この電極パッド下のビア構造にビアホール底補強パッドを設けた場合を説明したが、外部側に位置しないでたがいに積層されている内層の回路パターンどうしを接続するビア構造に本発明のビアホール底補強パッドを設けることで信頼性を高めることができる。
【0058】
さらに実施の形態ではビルドアップ基板での構造を示したが、一括して積層する構造の基板でも有効である。すなわち、一括積層を行う前の導体層(回路パターン)上に同様のビアホール底強化パッドを形成しておくことにより信頼性を高めることができる。
【0059】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、ビアホール底強化パッドによって、基板の高密度化、薄型化に伴い、ビアオンパッド構造を採用しても接続強度を十分に確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態を示す断面図である。
【図2】本発明の第1の実施の形態を示す斜視図である。
【図3】本発明の第2の実施の形態を示す断面図である。
【図4】本発明の第3の実施の形態を示す断面図である。
【図5】本発明の第4の実施の形態を示す断面図である。
【図6】従来技術を示す断面図である。
【図7】他の従来技術を示す断面図である。
【図8】他の従来技術を示す斜視図である。
【図9】他の従来技術の問題点を示す断面図である。
【図10】他の従来技術の他の問題点を示す断面図である。
【符号の説明】
1 CSP
2 電極
3 半田バンプ
4 電極パッド
5 ビアホール
6 接続パッド
7 ビアホール底強化パッド
9 保護膜
10 層間絶縁膜
11 コア基板
12 フィルドビア
13 フィルドビア
14 上層の回路パターン
16 下層の回路パターン
31 クラック
32 破断
20 第2の層間絶縁膜
26 中間層の回路パターン
25 第2のビアホール
24 電極・接続パッド
Claims (9)
- 下層の回路パターンと上層の回路パターンとを層間絶縁膜に形成されたビアホールを通して接続を行うビア構造を具備するプリント基板において、前記下層の回路パターンの接続パッド上に前記ビアホール底径よりも大きい範囲で金属材料その他の導電性の材料によってビアホール底補強パッドを設け、これにより補強されたビア構造にしたことを特徴とするプリント基板。
- 前記ビアホール底補強パッドは前記下層の回路パターンの接続パッドよりも小さい面積で形成されていることを特徴とする請求項1記載のプリント基板。
- 前記ビアホール底補強パッドの断面形状は長方形状であることを特徴とする請求項1記載のプリント基板。
- 前記ビアホール底補強パッドの断面形状は台形形状であることを特徴とする請求項1記載のプリント基板。
- 前記上層の回路パターの電極パッドが前記ビアホールの内部に形成され、半田バンプの下部部分が前記電極パッドを介して前記ビアホール内に入り込んでいることを特徴とする請求項1記載のプリント基板。
- 前記上層の回路パターの電極パッドが前記ビアホールの内部を充填して形成されていることを特徴とする請求項1記載のプリント基板。
- 前記上層の回路パターンは一層であることを特徴とする請求項1記載のプリント基板。
- 前記上層の回路パターンは多層であり、それぞれの層に対応して前記ビア構造を有することを特徴とする請求項1記載のプリント基板。
ことができる。 - 前記ビアホールの真上に半田バンプが形成されたビアオンパッドの構造になっていることを特徴とする請求項1乃至請求項8のいずれかに記載のプリント基板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003016702A JP2004228446A (ja) | 2003-01-24 | 2003-01-24 | プリント基板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003016702A JP2004228446A (ja) | 2003-01-24 | 2003-01-24 | プリント基板 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004228446A true JP2004228446A (ja) | 2004-08-12 |
Family
ID=32904074
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003016702A Pending JP2004228446A (ja) | 2003-01-24 | 2003-01-24 | プリント基板 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2004228446A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006303364A (ja) * | 2005-04-25 | 2006-11-02 | Toppan Printing Co Ltd | Bga型多層回路配線板 |
JP2007220893A (ja) * | 2006-02-16 | 2007-08-30 | Nippon Mektron Ltd | 多層回路基板およびその製造方法 |
JP2014192482A (ja) * | 2013-03-28 | 2014-10-06 | Hitachi Chemical Co Ltd | 多層配線基板及びその製造方法 |
JP2015126154A (ja) * | 2013-12-27 | 2015-07-06 | 京セラサーキットソリューションズ株式会社 | 配線基板 |
-
2003
- 2003-01-24 JP JP2003016702A patent/JP2004228446A/ja active Pending
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RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20050310 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051215 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20070117 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080417 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080430 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20080610 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080627 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080902 |