JP2004177201A - 搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧力センサが形成された検査対象ICを検査場所となる圧力容器内まで搬送し、圧力容器内で検査対象ICを接続部に押し付けてテスタと電気的に接続する搬送装置において、圧力容器の開口部を塞ぐ形状をしたデバイスガイド部材と、デバイスガイド部材に取り付けられ検査対象ICを吸着する吸着パッドとを設ける。吸着パッドが検査対象ICを吸着した状態でデバイスガイド部材が圧力容器の開口部を塞ぐと、検査対象ICは圧力容器内の検査位置に配置される。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧力センサが形成された検査対象ICを検査場所となる圧力容器内まで搬送する搬送装置に関するものである。さらに詳しくは、インデックスタイムを短く、制御をシンプルにするための改良を施した搬送装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図4及び図5は従来における搬送装置の構成例を示した図である。図4は検査対象ICを配置前の状態、図5は配置後の状態である。
図4及び図5で、加圧ポート10は凹形をなしている。加圧ポート10には蓋11がヒンジ12を介して取り付けられている。加圧ポート10、蓋11及びヒンジ12で圧力容器を構成している。加圧ポート10と蓋11の間にはパッキン101が介在している。パッキン101は、蓋11を閉めたときに圧力容器の気密性を確保する。
検査対象IC13は圧力センサが形成されたICである。検査対象IC13は吸着部14で吸着され、搬送機構(図示せず)により加圧ポート10内にある検査場所まで搬送される。
【0003】
検査対象IC13が加圧ポート10内に配置されると、図5に示すように蓋11が閉じられる。押し込み機構15は検査対象IC13を加圧ポート10に押し付ける。これによって、検査対象IC13のピン16はコンタクト電極17に押し付けられ、検査対象IC13はテスタと電気的に接続される。コンタクト電極17は弾性をもっているため、図では等価的にばねで示している。
蓋11を閉めると圧力容器が密閉状態になる。圧力発生器18は密閉された圧力容器内に既知の圧力を供給する。既知の圧力の環境下で検査対象IC13の出力値を期待値と比較して検査対象IC13の良否(パスとフェイル)を判定する。
【0004】
検査が終わると、蓋11が開けられて、吸着部14が検査済の検査対象IC13を吸着し、加圧ポート10から取り出す。そして、新たな検査対象ICが加圧ポート10に配置される。
【0005】
図6は図4及び図5の装置の搬送手順を示したフローチャートである。
フローチャートのステップ順に従って搬送動作を説明する。
(A1)「蓋開」のステップで蓋11を開く。
(A2)「プレイス」のステップで検査対象IC13を加圧ポート10内に配置する。
(A3)「蓋閉」のステップで蓋11を閉じる。
(A4)「クランプ」のステップで、押し込み機構15により検査対象IC13を加圧ポート10に押し付ける。これにより、検査対象IC13はテスタと接続される。
(A5)「加圧」のステップで圧力容器内を加圧する。
(A6)「テスト」のステップで、加圧環境下で検査対象IC13の出力値を期待値と比較して良否判定する。
(A7)「加圧解除」のステップで圧力容器内を常圧に戻す。
(A8)「クランプ解除」のステップで、押し込み機構15による検査対象IC13の押し付けを解除する。
(A9)「蓋開」のステップで蓋11を開く。
(A10)「ピックアップ」のステップで検査対象IC13を加圧ポート10から取り出す。
【0006】
【特許文献1】
特開2000−340321号公報
【0007】
【特許文献2】
特開2002−181887号公報
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上述した従来例では次の問題点があつた。
(a)圧力容器に検査対象IC13を出し入れする処理と蓋11を開閉する処理が直列処理になっているため、検査対象IC13のセットにかかる時間が長くなる。
(b)押し込み機構15で検査対象IC13を押し付けて検査対象IC13をテスタに接続する制御と、蓋11を開閉する制御が別制御になるため、制御が複雑になる。
【0009】
本発明は上述した問題点を解決するためになされたものであり、圧力容器に蓋をする部材と圧力容器に検査対象ICを出し入れする部材を兼用することによって、インデックスタイムを短く、しかも制御をシンプルにした搬送装置を実現することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明は次のとおりの構成になった搬送装置である。
【0011】
(1)圧力センサが形成された検査対象ICを検査場所となる圧力容器内まで搬送し、圧力容器内で検査対象ICを接続部に押し付けてテスタと電気的に接続する搬送装置において、
前記圧力容器の開口部を塞ぐ形状をしたデバイスガイド部材と、
このデバイスガイド部材に取り付けられ検査対象ICを吸着する吸着パッドと、
を有し、前記吸着パッドが検査対象ICを吸着した状態で前記デバイスガイド部材が圧力容器の開口部を塞ぐと、検査対象ICは圧力容器内の検査位置に配置されることを特徴とする搬送装置。
【0012】
(2)前記デバイスガイド部材を搬送する搬送手段を有し、デバイスガイド部材の搬送により圧力容器の開口部の開閉と検査対象ICの圧力容器への出し入れを並行して行うことを特徴とする(1)に記載の搬送装置。
【0013】
(3)前記デバイスガイド部材が圧力容器の開口部を塞いだときに検査対象ICに当たって検査対象ICを圧力容器に押し付ける当接部がデバイスガイド部材に形成されていることを特徴とする(1)または(2)に記載の搬送装置。
【0014】
(4)前記デバイスガイド部材をサーボモータで移動させて圧力容器に押し付け、サーボモータの出力トルクを制御することにより押付力を制御する押圧手段を有することを特徴とする(1)乃至(3)のいずれかに記載の搬送装置。
【0015】
(5)圧力容器の開口部を開閉するときのデバイスガイド部材の移動方向と、検査対象ICの圧力容器への出し入れ方向と、検査対象ICの圧力容器への押付方向が同方向であることを特徴とする(1)乃至(4)のいずれかに記載の搬送装置。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下図面を用いて本発明を詳しく説明する。
図1及び図2は本発明の一実施例を示す構成図である。これらの図で前出の図と同一のものは同一符号を付ける。図1は検査対象ICを配置前の状態を示した図、図2は配置後の状態を示した図である。
【0017】
図1及び図2で、加圧ポート30は検査対象IC13を収容する凹形状をなしている。デバイスガイド部材31は、加圧ポート30の開口部を塞ぐ形状になっている。デバイスガイド部材31は、検査対象IC13を吸着する吸着パッド32が取り付けられている。加圧ポート30とデバイスガイド部材31により圧力容器を構成している。加圧ポート30とデバイスガイド部材31の間にはパッキン33が介在している。加圧ポート30の開口部にデバイスガイド部材31が嵌め合わされたときにパッキン33により圧力容器の気密性が確保される。
コンタクトヘッド34にはデバイスガイド部材31が固定されている。搬送手段341はコンタクトヘッド34とデバイスガイド部材31を搬送する。負圧供給手段35は、コンタクトヘッド34を介してデバイスガイド部材31に負圧を供給し、吸着パッド32に検査対象IC13を吸着させる。
【0018】
真空遮断バルブ36は、開閉することにより負圧の供給路を開放したり遮断したりする。パッド回避機構37は、検査対象IC13を検査位置に搬送するまでは吸着パッド32に検査対象IC13を吸着させ、圧力容器内で検査対象IC13をテストするときは吸着パッド32を検査対象IC13から退避させる。ドッキングプレート38は、加圧ポート30の外側に配置されていて、コンタクトヘッド34と連結される。
押圧手段39は、コンタクトヘッド34とデバイスガイド部材31をサーボモータで移動させ、デバイスガイド部材31を圧力容器に押し付ける。サーボモータの出力トルクを制御することにより押付力を制御する。
【0019】
このような搬送装置において、図1に示すように、デバイスガイド部材31は吸着パッド32により検査対象IC13を吸着する。検査対象IC13を吸着した状態で、コンタクトヘッド34とデバイスガイド部材31は搬送される。
そして、図2に示すように、デバイスガイド部材31で加圧ポート30の開口部を塞ぐと、検査対象ICは圧力容器内の検査位置に配置される。デバイスガイド部材31と加圧ポート30により圧力容器は密閉状態になる。
このとき、デバイスガイド部材31に形成された当接部40が検査対象IC13に当たって検査対象IC13を加圧ポート30に押し付ける。これによって、検査対象IC13のピン16はコンタクト電極41に押し付けられ、検査対象IC13はテスタと電気的に接続される。コンタクト電極41は弾性をもっているため、図では等価的にばねで示している。
【0020】
ここで、吸着パッド32は検査対象IC13から離れて退避する。圧力発生器18は密閉された圧力容器内に既知の圧力を供給する。既知の圧力の環境下で検査対象IC13の出力値を期待値と比較して検査対象IC13の良否(パスとフェイル)を判定する。
【0021】
検査が終わると、圧力容器内の加圧が解除される。押圧手段39は検査対象IC13の押し付けを解除する。退避していた吸着パッド32が出てきて検査対象IC13を吸着する。吸着された検査対象IC13はコンタクトヘッド34及びデバイスガイド部材31とともに搬送されて加圧ポート30から取り出される。そして、新たな検査対象ICが搬送されて加圧ポート10に配置される。
加圧ポート30の開口部を開閉するときのデバイスガイド部材31の移動方向と、検査対象IC13の加圧ポート30への出し入れ方向と、検査対象IC13の加圧ポート30への押付方向が同方向になっている。図1及び図2の例では上下方向になっている。これによって、制御がシンプルになる。
【0022】
図3は図1及び図2の装置の搬送手順を示したフローチャートである。
フローチャートのステップ順に従って搬送動作を説明する。
(B1)「プレイス」のステップで、デバイスガイド部材31が加圧ポート30の開口部を塞ぐと、検査対象ICは加圧ポート30内の検査位置に配置される。
(B2)「クランプ」のステップで、押圧手段39により検査対象IC13を加圧ポート10に押し付ける。これにより、検査対象IC13はテスタと電気的に接続される。
(B3)「加圧」のステップで圧力容器内を加圧する。
(B4)「テスト」のステップで、加圧環境下で検査対象IC13の出力値を期待値と比較して良否判定する。
(B5)「加圧解除」のステップで圧力容器内を常圧に戻す。このとき真空遮断バルブ36を閉じる。
(B6)「クランプ解除」のステップで、押圧手段39による検査対象IC13の押し付けを解除する。
(B7)「ピックアップ」のステップでデバイスガイド部材31を加圧ポート30の開口部から離すと、検査対象IC13は加圧ポート10から取り出される。
【0023】
上述したように(B1)「プレイス」のステップで、加圧ポート30の開口部を塞ぐことと、検査対象ICを加圧ポート30内に入れることが並行して行われる。
また、(B7)「ピックアップ」のステップで、加圧ポート30の開口部を開くことと、検査対象IC13を加圧ポート10から取り出すことが並行して行われる。
【0024】
なお、実施例では搬送装置の例を説明したが、これに限らず自動試験装置、自動測定器等に応用してもよい。
【0025】
【発明の効果】
本発明によれば次の効果が得られる。
【0026】
請求項1及び請求項2に記載の発明では、デバイスガイド部材が圧力容器の開口部を塞ぐと、検査対象ICは圧力容器内の検査位置に配置される。このため、圧力容器の開口部を開閉することと検査対象ICを圧力容器への出し入れすることが並行して行われる。これによって、インデックスタイムを短く制御をシンプルにした搬送装置を実現できる。
【0027】
請求項3記載の発明では、デバイスガイド部材に当接部を設けたことによって、圧力容器内の検査対象ICを確実にテスタと接続できる。
【0028】
請求項4記載の発明では、サーボモータの出力トルクを制御することにより検査対象ICを押し付ける力を制御しているため、検査対象ICとテスタの間で適正なコンタクトを実現できる。
【0029】
請求項5記載の発明では、圧力容器の開口部を開閉するときのデバイスガイド部材の移動方向と、検査対象ICの圧力容器への出し入れ方向と、検査対象ICの圧力容器への押付方向が同方向である。このため、デバイスガイド部材の上下動を制御するだけで、圧力容器の開口部の開閉、検査対象ICの出し入れ、検査対象ICの押し付け代の制御を行える。これによって、制御がシンプルになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図2】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図3】本発明の動作説明図である。
【図4】従来における搬送装置の構成例を示した図である。
【図5】従来における搬送装置の構成例を示した図である。
【図6】図4及び図5の装置の動作説明図である。
【符号の説明】
13 検査対象IC
16 ピン
18 圧力発生器
30 加圧ポート
31 デバイスガイド部材
32 吸着パッド
341 搬送手段
35 負圧供給手段
39 押圧手段
40 当接部
41 コンタクト電極
Claims (5)
- 圧力センサが形成された検査対象ICを検査場所となる圧力容器内まで搬送し、圧力容器内で検査対象ICを接続部に押し付けてテスタと電気的に接続する搬送装置において、
前記圧力容器の開口部を塞ぐ形状をしたデバイスガイド部材と、
このデバイスガイド部材に取り付けられ検査対象ICを吸着する吸着パッドと、
を有し、前記吸着パッドが検査対象ICを吸着した状態で前記デバイスガイド部材が圧力容器の開口部を塞ぐと、検査対象ICは圧力容器内の検査位置に配置されることを特徴とする搬送装置。 - 前記デバイスガイド部材を搬送する搬送手段を有し、デバイスガイド部材の搬送により圧力容器の開口部の開閉と検査対象ICの圧力容器への出し入れを並行して行うことを特徴とする請求項1に記載の搬送装置。
- 前記デバイスガイド部材が圧力容器の開口部を塞いだときに検査対象ICに当たって検査対象ICを圧力容器に押し付ける当接部がデバイスガイド部材に形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の搬送装置。
- 前記デバイスガイド部材をサーボモータで移動させて圧力容器に押し付け、サーボモータの出力トルクを制御することにより押付力を制御する押圧手段を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の搬送装置。
- 圧力容器の開口部を開閉するときのデバイスガイド部材の移動方向と、検査対象ICの圧力容器への出し入れ方向と、検査対象ICの圧力容器への押付方向が同方向であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2002342044A JP2004177201A (ja) | 2002-11-26 | 2002-11-26 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2002342044A JP2004177201A (ja) | 2002-11-26 | 2002-11-26 | 搬送装置 |
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JP2004177201A true JP2004177201A (ja) | 2004-06-24 |
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JP2002342044A Pending JP2004177201A (ja) | 2002-11-26 | 2002-11-26 | 搬送装置 |
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Country | Link |
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
2002
- 2002-11-26 JP JP2002342044A patent/JP2004177201A/ja active Pending
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