JP6548057B2 - プローバ及びウェーハ剥離方法 - Google Patents
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Description
プローバ10は、プローバ本体12と、プローバ本体12に隣接されたローダ部14とから構成される。なお、図1では、ローダ部14の内部の概略構造を示すため、ローダ部14を透視して示している。
テーブル20の保持面18には、テーブル20の中心軸を中心とした環状の吸着溝19が設けられる。吸着溝19は、真空経路21を介して真空源23に接続される。真空源23によって真空経路21の空気を吸引することにより、テーブル20の保持面18に載置されたウェーハWが吸着溝19によって真空吸着されてテーブル20の保持面18に吸着保持される。また、真空経路21には、真空経路21を大気開放する電磁バルブ24が設けられ、電磁バルブ24の開閉は制御部25によって制御されている。
図1に示すローダ部14は、ロードポート44に載せられた容器46、搬送アーム48、サブチャックユニット50、及びプリアライメントユニット52等から構成される。
〈第1のウェーハ剥離方法〉
図4は、ピン28A〜28C(ピン28B、28Cは、ピン28Aの動作と同一なので不図示とする。)による第1のウェーハ剥離方法の剥離動作を時系列に示した説明図である。また、図5は、ウェーハ剥離後のピン28A〜28Cの動作を示した説明図である。図6は、図4に示した第1のウェーハ剥離方法のフローチャートである。
図8のテーブル20には、3本のピン28A〜28Cの全体にかかる荷重を検出するための、検出部の第1の荷重センサを構成する1台の荷重センサ60Dが備えられている。
図8(A)は、保持面18に対するウェーハWの真空吸着保持を解除した解除工程を示している。図8(B)は、剥離工程が終了した説明図である。
Claims (2)
- ウェーハ保持面を有するウェーハチャックと、
前記ウェーハ保持面に対して突没自在に設けられるとともに互いに離れた位置に設けられた複数のピンと、
前記複数のピンの各々に対応して設けられ、各ピンにそれぞれかかる荷重を個別に検出する複数の荷重センサと、
前記複数の荷重センサでそれぞれ検出した荷重のばらつきが閾値よりも大きい場合には、前記荷重のばらつきが前記閾値以下となるまで前記複数のピンの突出量を固定する制御部と、を有するプローバ。 - ウェーハチャックのウェーハ保持面に対して突没自在に設けられるとともに互いに離れた位置に設けられた複数のピンを、前記ウェーハ保持面から突出させることにより前記ウェーハ保持面からウェーハを剥離する剥離工程を備え、
前記剥離工程は、前記ウェーハ保持面から前記複数のピンを突出させたときに前記複数のピンにかかる荷重を検出し、前記複数のピンにそれぞれかかる荷重のばらつきが閾値よりも大きい場合には、前記荷重のばらつきが前記閾値以下となるまで前記複数のピンの突出量を固定するウェーハ剥離方法。
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