JP2004165643A - 基板アライメント装置及び基板処理装置及び基板搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ステージ100上に基板Gが載置されている状態で、高圧ガス供給源からの高圧のガスたとえばエアー(窒素ガス等でもよい)をガス供給管118および筒状支持体114内の通気路114aを介してガス吐出部116より所定の圧力つまり基板Gの重力を打ち消し、またはそれを上回る圧力で吐出させると、基板Gが支持ピン108から実質的に浮く。ガス吐出部116がホーン型に形成されているので、基板Gの下面に当たったエアーは渦流を生じることなくスムースに隙間gを通って外へ抜ける。
【選択図】 図7
Description
44 エッジリムーバ・ユニット(ER)
100 ステージ
102 アライメント機構
106 押圧部
108 支持ピン
110 浮揚部
112 吸着固定部
114 支持部材
116 ガス吐出部
120 突起部
122 下部円筒体
124 ガス案内部
126 上部円筒体
134 高圧ガス供給源
136 真空源
140 支持パッド
142 ベース部材
144 座部
150 コイルバネ
152 支持部
154 キャスタ
156 コイルバネ
160 ステージ
164 支持ピン
166 押圧ピン
170 押圧アーム
182 支持体
184 ボール部材
186 ボールベアリング
188 通気路
Claims (16)
- 被処理基板をほぼ水平に支持するために離散的に配置された複数の支持部と、
各々の前記支持部の近傍で前記基板に下から気体の圧力を加えて前記基板を実質的に浮かせる浮揚手段と、
浮き状態の前記基板を水平面内で所定の方向に押圧して位置決めする位置決め手段と
を有する基板アライメント装置。 - 前記支持部が、ピン先端に前記基板を載置するためにほぼ水平なステージ上に垂直上方を向いて取り付けられる支持ピンを有する請求項1に記載の基板アライメント装置。
- 前記浮揚手段が、前記支持ピンの周囲で前記基板の下面に向けて前記気体を所定の圧力で吐出する気体吐出部を有する請求項2に記載の基板アライメント装置。
- 前記気体吐出部が、上端に向って次第に口径が大きくなるホーン型の吐出部材を有する請求項3に記載の基板アライメント装置。
- 前記支持部が、前記基板を載置するための上面と、垂直方向に延在する貫通孔を有する支持部材を含む請求項1に記載の基板アライメント装置。
- 前記浮揚手段が、前記支持部材の貫通孔の中から前記基板の下面に向けて前記気体を所定の圧力で吐出する気体吐出部を有する請求項5に記載の基板アライメント装置。
- 前記支持部材が、ほぼ水平なステージに垂直上方を向いて固定される下部筒体と、前記気体吐出部を介して前記下部筒体の上に垂直上方を向いて変位可能に取り付けられる上部筒体とを有する請求項6に記載の基板アライメント装置。
- 前記支持部が、前記基板を載置するための上面と前記気体の圧力を受ける下面とを有するパッドと、ほぼ水平なステージ上に取り付けられ、所定の範囲内で前記パッドを垂直方向および水平方向に変位可能に支持するパッド支持手段とを含む請求項1に記載の基板アライメント装置。
- 前記浮揚手段が、前記パッドの下面に向けて前記気体を所定の圧力で吐出する気体吐出部を有する請求項8に記載の基板アライメント装置。
- 前記基板を前記支持部に真空吸着力で固定するための固定手段を有する請求項1〜9のいずれか一項に記載の基板アライメント装置。
- 前記固定手段が、前記浮揚手段と共通の気体案内部を有する請求項10に記載の基板アライメント装置。
- 被処理基板をほぼ水平に載置して支持するためにほぼ水平なステージ上に離散的に複数配置された水平方向に変位可能な支持部と、
前記支持部に載置されている前記基板を水平面内で所定の方向に押圧して位置決めする位置決め手段と
を有する基板アライメント装置。 - 前記位置決め手段が、前記基板の相対向する一対の角部を対角線方向に押圧して前記基板を位置決めする請求項1〜12のいずれか一項に記載の基板位置合わせ装置。
- 前記位置決め手段が、前記基板の一部または全部の辺の側面を当該辺と直交する方向に押圧して前記基板を位置決めする請求項1〜12のいずれか一項に記載の基板位置合わせ装置。
- 請求項1〜14のいずれか一項に記載の基板アライメント装置と、
前記基板アライメント装置によって位置合わせされた被処理基板に所定の処理を施す処理手段と
を有する基板処理装置。 - 請求項1〜14のいずれか一項に記載の基板アライメント装置と、
前記基板アライメント装置によって位置合わせされた被処理基板を所定の場所へ搬送する搬送手段と
を有する基板搬送装置。
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