JP2004148436A - 電子部品搬送ヘッド、及び電子部品実装装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】突出部(押圧部)811により電極部11aを吸着保持された電子部品1の他端部側を、シリンダ82aに連結された吸着パッド82bで吸着するとともに、その吸着の高さ位置を調節できるように構成されている。
吸着パッド82bの高さ位置調整によって、突出部811は電極部11aの面がガラス基板(基板)4の面と平行になるように吸着保持することができるので、
基板4との間の位置決め精度良く、接続部材を介した接続実装を行なうことができる。
【選択図】 図4
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマディスプレイや液晶表示パネル等のフラットパネルディスプレイを製造するのに好適な電子部品搬送ヘッド、及びその電子部品搬送ヘッドを用いた電子部品実装装置の改良に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、プラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイを製造するための電子部品実装装置として、細長いフィルム状に形成されたいわゆるフィルム電子部品(以下、単に電子部品という)をガラス基板等の基板上に接続実装する電子部品実装装置が知られている(例えば、特許文献1参照。)。
【0003】
このような電子部品実装装置は、図8に示したように、電子部品1が供給載置されたトレイ2と、このトレイ2に載置された電子部品1を吸着保持する搬送ヘッド3と、この搬送ヘッド3を図示矢印Xで示す方向(X方向)に搬送移動して、吸着された電子部品1を実装対象のガラス基板4上まで搬送する搬送機構5とから構成されている。
【0004】
搬送機構5は、ガイドレール51と、このガイドレール51に案内されてトレイ2とガラス基板4との間を往復動する搬送ロボット52と、この搬送ロボット52に取付けられたシリンダ53とで構成され、搬送ヘッド3は、シリンダ53の図示矢印Zで示す方向(Z方向)に上下動する作動ロッド53aの下端部に取付けられている。
【0005】
図9に拡大して示したように、電子部品1を吸着保持する搬送ヘッド3は、ヘッド本体31と2個の吸着パッド32,32とからなり、ヘッド本体31は、ヒータ31aを内蔵して下方に突出し、押圧部を形成した突出部311と、この突出部311の上端部で横方向に延設した延在部312とから構成されている。
【0006】
突出部311の下部底面、すなわち当接面311aには、長円状の凹部内に複数個の吸引孔を配置した吸着部311bが形成されている。
【0007】
また、電子部品1は、フィルム状の薄いFPC(Flexible Printed Circuit)11を間にICチップ12及びアルミニウム製の放熱板13を両面に接続した積層体からなり、フレキシブルなFPC11の一端部には、ガラス基板4に接続される電極部11aが設けられている。なお、電極部11aに形成されたリード線は、図示しないがICチップ12の各電極に対応接続されている。
【0008】
電子部品1の電極部11aは、搬送ヘッドの吸着部311bにより着脱自在に吸着保持されるとともに、ICチップ12や放熱板13が配置されたFPC11の長手方向の他端部側も、延在部312の長手方向に沿い間隔をなして設けられた2個の吸着パッド32,32により同様に着脱自在に吸着保持される。
【0009】
なお、図9において、符号31b及び符号32a,32aは、それぞれ吸着部311bや各吸着パッド32,32と不図示の各対応する真空ポンプとの間を連結する吸気管を示したものである。また、符号6は、電子部品1及びガラス基板4に付された位置決め用のマークを撮影する撮像カメラを示したもので、ガラス基板4位置まで搬送された電子部品1は、その撮像カメラ6により撮影され、その撮影画像に基づく位置合わせ操作を経た後、押圧・加熱により、電子部品1の電極部11aはガラス基板4に実装される。なお、電子部品1の押圧実装に際し、ガラス基板4の下面側はバックアップ7により支持される。
【0010】
【特許文献1】
特開2000−77898号公報(第3−4頁、図1、図5)
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、従来の電子部品実装装置に採用される電子部品搬送ヘッドは、当接面311aにおいて一端部の電極部11aを吸着するとともに、長手方向に設けた複数個の吸着パッド32,32により他端部側の放熱板13等を吸着して、フィルム状に長尺な電子部品1を搬送するように構成されている。
【0012】
しかしながら、電子部品1がガラス基板4の縁部に適切に接続搭載されるためには、電極部11aの外側近傍に形成された位置決め用のマークの撮像画面に基づく、高精度な位置合わせが要求されるから、少なくともフィルム状の電極部11aにおける変形は回避され、平坦性が確保される必要がある。電極部11aにおいて、反りや垂れ等の変形を修正し平坦な面を確保するには、当接面311aに強大な吸着力が要求される。
【0013】
また、突出部311が電極部11aを押圧し、ガラス基板4面に異方性導電膜等の接続部材を介して確実に接続実装するためには、電極部11aが形成された領域をカバーする広さの平坦な押圧面が当接面311aに形成されている必要がある。
【0014】
しかしながら、当接面311aにおいて、電極部11aの変形を修正するために強大な吸着力を有する吸着部311bを形成することと、必要な押圧面積を得るために広い平坦部を確保することとは、構造上相反する。従って、従来の電子部品搬送ヘッドは、電極部11aに垂れ等の変形があると、図10に示したように、その変形を修正しきれず電極部11aが垂れ下がってしまう恐れを有しており、このような場合には、位置決め用のマーク撮影に基づく位置合わせ精度や、押圧による接続実装操作の精度が低下してしまう。このような精度の低下は、微細化により電極ピッチがますます狭まる傾向にある中では軽視できない問題とされ改善が望まれていた。
【0015】
そこで、本発明は、搬送ヘッドの押圧部における押圧面積を縮小させることなく、電子部品を押圧部に平行となるように保持し、基板との間の位置合わせを適正に行い、電子部品を確実に基板に接続実装可能な電子部品搬送ヘッド及びその電子部品搬送ヘッドを用いた電子部品実装装置を提供することを目的とする。
【0016】
【課題を解決するための手段】
本発明の電子部品搬送ヘッドは、電子部品の一端部を吸着保持する押圧部と、この押圧部に吸着保持された前記電子部品の他端部側を、押圧部とは高さ位置を異にして吸着保持可能に構成された吸着保持部とを具備することを特徴とする。
【0017】
また、本発明の電子部品実装装置は、基板を載置したステージと、前記基板上に実装される電子部品を吸着保持する上記本発明の電子部品搬送ヘッドと、この電子部品搬送ヘッドに吸着保持された前記電子部品を前記基板に実装するために、電子部品搬送ヘッドを搬送移動する搬送機構とを具備することを特徴とする。
【0018】
このように、本発明による電子部品搬送ヘッド及び電子部品実装装置によれば、吸着保持部が押圧部とは高さ位置を異にして電子部品の他端部側を吸着保持可能に構成されたので、吸着保持部の高さ位置を変えることによって、変形した電子部品の一端部を押圧部の面に平行となるように吸着保持、あるいは電子部品を矯正した吸着保持を行なうことができ、適正な押圧面積のもとで電子部品を基板に高精度に接続実装することができる。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、本発明による電子部品搬送ヘッド、及びその電子部品搬送ヘッドを用いた電子部品実装装置の一実施の形態を図1ないし図7を参照して詳細説明する。なお、図8ないし図10に示した従来の構成と同一構成には同一符号を付して、詳細な説明は省略する。
【0020】
図1は、本発明による電子部品搬送ヘッドを適用した電子部品実装装置の第1の実施の形態を示す正面図、図2は図1に示した装置の平面図である。
【0021】
すなわち、図1及び図2に示したように、電子部品実装装置は、長尺な電子部品1を吸着保持して基板、すなわち例えばガラス基板4の所定縁部に圧着する搬送ヘッド8と、その搬送ヘッド8を電子部品1の供給先からガラス基板4位置まで移動させる搬送機構5とを備えている。
【0022】
搬送機構5は、図1あるいは図2に示すように、搬送ヘッド8を矢印Zで示す方向(Z方向)に上下動可能に取付けたシリンダ53と、電子部品1とガラス基板4との間の位置合わせのためにシリンダ53を旋回(θ)方向に回動可能なθ方向回動部54と、このθ方向回動部54を図示Yで示す方向(Y方向)に移動し得るガイドレール51とで構成されている。
【0023】
なお、この実施の形態では、搬送機構5が電子部品1を吸着保持した搬送ヘッド8をガラス基板4位置まで搬送するのに先立ち、電子部品1は、取り出し機構9によりトレイ2から吸着して取り出され、Y方向に搬送移動されて供給先である中間ステージ(ステージ)10上に載置される。
【0024】
取り出し機構9は、図1に示すように、電子部品1を吸着する吸着ノズル91との吸着ノズル91を矢印Z(上下)方向に移動させるZ方向移動機構92と、そのZ方向移動機構92とともに吸着ノズル91をY方向に移動可能なY方向移動機構93とから構成される。
【0025】
また、中間ステージ10は、電子部品1を載置する載置台101と、載置台101を水平面内でY方向と直交するX方向に移動可能なX方向移動機構102とを備えている。
【0026】
一方、電子部品1が異方性導電膜等の接続部材を介して接続実装されるガラス基板4は、X−Y−θ方向に移動可能な基板テーブル41上に載置され、撮像カメラ6による位置決め用のマークの撮影画像に基づく、電子部品1(電極部11a)とガラス基板4との間の位置合わせが行なわれる。なお、その位置合わせに際し、撮像カメラ6による電子部品1及びガラス基板4に形成された各位置決め用のマークの撮影では、Z方向に移動可能なバックアップツール7が図1に示す位置からY方向右側に移動して、撮像カメラ6の視野から退避するように構成されている。
【0027】
図3の拡大斜視図に示したように、搬送ヘッド8は、突出部811と延在部812とからなるヘッド本体81と、延在部812の長手方向に沿い間隔をなして取付けられた第1の吸着保持部821及び第2の吸着保持部822からなる2個の吸着保持部とから構成されている。
【0028】
ヘッド本体81の突出部811は、ヒータ81aを内蔵して押圧部を形成するとともに、図4(a)の正面図、及び図4(a)のA−A矢視断面を示した図4(b)にも示したように、先端部の当接面811aに吸着部811bが構成され、その吸着部811bは長円状の凹部内に複数個の吸引孔が配置されて電極部11aを吸着し、前記第1及び第2の吸着保持部821,822とともに長尺な電子部品1を保持する。
【0029】
なお、搬送ヘッド8は、中間ステージ10上に載置された電子部品1に対し、図3及び図4(a)に示すように、突出部811の縁に電子部品1の電極部11aの前縁が揃うように吸着保持されるのが望ましい。
【0030】
次に、第1及び第2の吸着保持部821,822の延在部812における取付け構造を説明する。
【0031】
すなわち、図3及び図4(a)及び図4(b)に示すように、延在部812の長手方向に間隔をなして設けられた2個の貫通孔812a,812aに、第1及び第2の吸着保持部821,822がそれぞれ対応挿入され、挿入された第1及び第2の吸着保持部821,822は、延在部812の長手方向に径大な貫通孔812a,812a内に向けて、水平面内でその長手方向に直交して突設された支軸812bに支持されつつ、軸(支軸812b)回りに回動可能に取付けられている。
【0032】
いずれも共通した構成からなる第1及び第2の吸着保持部821,822は、前記支軸812bに回動自在に支持されたシリンダ82aを備え、その作動ロッド82aaの下端部には蛇腹状に形成された吸着パッド82bがその吸着面を下方に向けて取付けられている。
【0033】
従って、電子部品1を吸着した吸着パッド82bは、シリンダ82aの作動によりその高さ位置が調節される。
【0034】
なお、図3等において、符号81c及び符号82cは、吸着部811b及び各吸着パッド82bと不図示の各真空ポンプとの間をそれぞれ連結する吸気管を示したものである。
【0035】
さらに、図4(a)及び図4(b)にも示すように、シリンダ82aは、延在部812の貫通孔812a内にあって支軸812bに回動自在に軸支されるが、そのシリンダ82aの外側面と対向する各貫通孔812aの長手方向の内側壁面には、それぞれ対向して吸引動作可能な一対の電磁石83,83が取付け固定されている。
【0036】
対向する一対の電磁石83,83がON状態では、互いに吸引し、各シリンダ82aは、支軸812b回りの回動が抑制され鉛直方向(Z方向)に安定する。
【0037】
すなわち、各一対の電磁石83(計4個)における不図示のスイッチのON/OFF切替え操作により、各シリンダ82a,82aは鉛直(Z)方向に向けて安定する姿勢固定動作と、支軸812b回りに回動自在な動作との切替えが行なわれる。
【0038】
従って、例えば図3に示したように、電極部11a部分が下方に反った状態の電子部品1が中間ステージ10上に供給載置されているとき、電磁石83のON操作により姿勢固定状態の各シリンダ82a,82aは、シリンダ53の操作によりヘッド本体81とともに降下して、電子部品1を吸着保持する。
【0039】
電子部品1を吸着保持した吸着パッド82b,82b及びヘッド本体81が、電子部品1を上方に持ち上げるとき、電磁石83をOFFにして回動可能にするとともに、図4(a)に示したように、変形した電極部11aの面が、突出部811の当接面811aの向きと平行一致するように、各吸着パッド82b,82bの高さ位置調整が各シリンダ82a,82aによって調整制御される。
【0040】
これにより、電極部11aにおける反り等の変形に拘わらず、その変形した電極部11aの面が当接面811aの面と一致した状態でガラス基板4上に搬送されるので、電極部11a近傍の位置決め用のマークはガラス基板4に形成された位置決め用のマークとともに、撮像カメラ6により適正に撮影され、正確な位置合わせ操作が行なわれる。
【0041】
上記説明のように、この第1の実施の形態の電子部品搬送ヘッドによれば、押圧部である突出部811で電極部11aを吸着保持された電子部品1は、吸着保持部821,822における吸着パッド82a,82aの高さ位置調整により、電極部11aの面が基板面と平行するように吸着保持されるので、当接面811aにおける必要な押圧面積を確保して、異方性導電膜等の接続部材を介した確実な接続実装が可能である。
【0042】
なお、上記第1の実施の形態において、第1及び第2の2個の吸着保持部821,822を設けたが、個数は1個でもあるいは3個以上設けるようにしても良い。
【0043】
また、吸着保持部821,822の支軸812bを中心とした回動動作のロック及びロック解除の機構に電磁石83を用いたが、例えば延在部812に、貫通孔812a内に向けて突出自在な棒状のストッパを組み込み、そのストッパにより吸着保持部821,822の回動を必要に応じて阻止し得るように構成しても良い。
【0044】
上記第1の実施の形態では、電子部品1の変形が電極部11aにおいて、先端部が長手方向で下方に向けて反った場合を例に説明したが、電子部品1よっては、図5に示したように、電極部11aにおいて幅方向の両側が下方に湾曲変形していることがある。
【0045】
電極部11aにおける幅方向での変形に対し、図6に示したように、長手方向の中間部分を押し付けるように抑えつつ、他端部側を上方向に持ち上げることによって、一端部側の電極部11aにおける幅方向への湾曲変形を矯正することができる。
【0046】
そこで、図7は、図5に示した電極部11aにおける幅方向の変形に対し、図6に示した変形修正の動作原理を適用し、電極部11aが当接面811aに適正に吸着された状態となるように構成した本発明による電子部品実装装置の第2の実施の形態の要部、すなわち電子部品搬送ヘッドを示したものである。
【0047】
すなわち、本発明の第2の実施の形態による電子部品実装装置に用いられた電子部品搬送ヘッドは、上記第1の実施の形態とは相違して、第1の吸着保持部821の吸着パッド82bによる電子部品1の吸着高さ位置を、当接面811a及び中間位置の第2の吸着保持部822における吸着高さ位置よりも高くなるように、各シリンダ82a,82aを調整制御するものである。
【0048】
従って、図7に示した構成により、搬送ヘッド8は、図5に示したような電極部11aにおける幅方向での湾曲が修正されて、電極部11aが当接面811aに面接触するように吸着保持されるので、この第2の実施の形態によっても、撮像カメラ6による電子部品1とガラス基板4との間の位置合わせを適切かつ円滑に行なうことができ、電子部品1の確実な接続実装が行なえる。
【0049】
なお、この第2の実施の形態において、搬送ヘッド8の突出部811において、もしも電極部11aの接続実装に必要かつ十分な押圧面積が得られるように平坦部が形成され、しかも吸着保持部821における吸着パッド82bの高さ位置にもかかわらず、当接面811aにおいて電極部11aが脱落しないようであれば、第2の吸着保持部822を省略することができる。
【0050】
いずれにしても、本発明による電子部品搬送ヘッド及びその電子部品搬送ヘッドを使用した電子部品実装装置によれば、押圧部に保持された電子部品の他端部を、吸着保持部が押圧部とは高さ位置を異にして吸着保持可能に構成されたので、押圧部に吸着保持された電子部品の電極部がたとえ反り等により変形していたとしても、異方性導電膜等の接続部材を介した電子部品の基板への接続実装を、適切かつ高精度に行なうことができる。
【0051】
【発明の効果】
本発明の電子部品搬送ヘッド及び電子部品実装装置は、フィルム電子部品に反り等の形状変形があったとしても、実装対象である基板面に平行となるように吸着保持できるので、電極部に対する押圧面積を減少させることなくかつ高精度な接続実装を可能としたものであり、実用に際して得られる効果大である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による電子部品搬送ヘッドを適用した電子部品実装装置の第1の実施の形態を示す正面図である。
【図2】図1に示した装置の平面図である。
【図3】図1に示した搬送ヘッドの要部拡大斜視図である。
【図4】図4(a)は図3に示した搬送ヘッドの正面図、図4(b)は図4(a)のA−A矢視断面図である。
【図5】図1に示した装置の電子部品搬送ヘッドに吸着される電子部品の斜視図である。
【図6】図5に示した電子部品に関し、その反りが矯正される原理を説明した説明図である。
【図7】本発明の電子部品実装装置の第2の実施の形態における電子部品搬送ヘッドを示した要部正面図である。
【図8】従来の電子部品実装装置を示した構成図である。
【図9】図8に示した装置の搬送ヘッドを示した拡大斜視図である。
【図10】図9に示した搬送ヘッドが電子部品を吸着した状態を示した正面図である。
【符号の説明】
1 フィルム状の電子部品(電子部品)
11 FPC
11a 電極部
12 ICチップ
13 放熱板
2 トレイ(ステージ)
3 搬送ヘッド
4 ガラス基板(基板)
5 搬送機構
53 シリンダ
6 撮像カメラ
7 バックアップツール
8 搬送ヘッド
81 ヘッド本体
811 突出部(押圧部)
811a 当接面
811b 吸着部
812 延在部
812a 貫通孔
812b 支軸
81a ヒータ
821 第1の吸着保持部(吸着保持部)
822 第2の吸着保持部(吸着保持部)
82a シリンダ
82b 吸着パッド
82c 吸気管
83 電磁石
9 取り出し機構
10 中間ステージ(ステージ)
Claims (4)
- 電子部品の一端部を吸着保持する押圧部と、
この押圧部に吸着保持された前記電子部品の他端部側を、押圧部とは高さ位置を異にして吸着保持可能に構成された吸着保持部と
を具備することを特徴とする電子部品搬送ヘッド。 - 前記吸着保持部は、吸着される前記電子部品の長手方向に沿って複数個設けられたことを特徴とする請求項1に記載の電子部品搬送ヘッド。
- 前記吸着保持部は、高さ位置を可変できるように構成されたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の電子部品搬送ヘッド。
- 基板を載置したステージと、
前記基板上に実装される電子部品を吸着保持する請求項1ないし請求項3のうちのいずれか1項に記載の電子部品搬送ヘッドと、
この電子部品搬送ヘッドに吸着保持された前記電子部品を前記基板に実装するために、電子部品搬送ヘッドを搬送移動する搬送機構と
を具備することを特徴とする電子部品実装装置。
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Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006250758A (ja) * | 2005-03-11 | 2006-09-21 | Tdk Corp | 検査方法、検査装置 |
JP2008192895A (ja) * | 2007-02-06 | 2008-08-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電気部品の接続装置 |
JP4857407B1 (ja) * | 2011-02-28 | 2012-01-18 | 信越エンジニアリング株式会社 | 薄板状ワークの粘着保持方法及び薄板状ワークの粘着保持装置並びに製造システム |
WO2015033465A1 (ja) * | 2013-09-09 | 2015-03-12 | 富士機械製造株式会社 | 部品保持装置、および製造作業機 |
CN104802175A (zh) * | 2015-04-23 | 2015-07-29 | 上海大学 | 一种自动调准位置的真空吸盘机械手 |
JP2015230905A (ja) * | 2014-06-03 | 2015-12-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 剥離装置、剥離システム、剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
JP2016103566A (ja) * | 2014-11-28 | 2016-06-02 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 基板保持装置および部品圧着機 |
JP2017118004A (ja) * | 2015-12-25 | 2017-06-29 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 部品圧着装置 |
CN108357922A (zh) * | 2018-02-05 | 2018-08-03 | 浙江金康铜业有限公司 | 一种铜板材的上料移材设备及其上料移材方法 |
JP2018134688A (ja) * | 2017-02-20 | 2018-08-30 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 作業装置およびケーブル保持ツール |
JP2019140384A (ja) * | 2018-02-09 | 2019-08-22 | 株式会社Fuji | 押さえ機能を備える部品実装機 |
CN113479646A (zh) * | 2021-06-11 | 2021-10-08 | 中国建材国际工程集团有限公司 | 一种平板玻璃的自适应垂直堆垛机 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6609293B2 (ja) | 2017-08-30 | 2019-11-20 | 平田機工株式会社 | 保持ノズル、保持ヘッド及び移載装置 |
-
2002
- 2002-10-30 JP JP2002316237A patent/JP3943481B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006250758A (ja) * | 2005-03-11 | 2006-09-21 | Tdk Corp | 検査方法、検査装置 |
JP2008192895A (ja) * | 2007-02-06 | 2008-08-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電気部品の接続装置 |
US7950140B2 (en) * | 2007-02-06 | 2011-05-31 | Panasonic Corporation | Connection device for electric components |
JP4857407B1 (ja) * | 2011-02-28 | 2012-01-18 | 信越エンジニアリング株式会社 | 薄板状ワークの粘着保持方法及び薄板状ワークの粘着保持装置並びに製造システム |
WO2012117509A1 (ja) * | 2011-02-28 | 2012-09-07 | 信越エンジニアリング株式会社 | 薄板状ワークの粘着保持方法及び薄板状ワークの粘着保持装置並びに製造システム |
WO2015033465A1 (ja) * | 2013-09-09 | 2015-03-12 | 富士機械製造株式会社 | 部品保持装置、および製造作業機 |
JPWO2015033465A1 (ja) * | 2013-09-09 | 2017-03-02 | 富士機械製造株式会社 | 部品保持装置、および製造作業機 |
JP2015230905A (ja) * | 2014-06-03 | 2015-12-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 剥離装置、剥離システム、剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
JP2016103566A (ja) * | 2014-11-28 | 2016-06-02 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 基板保持装置および部品圧着機 |
CN104802175A (zh) * | 2015-04-23 | 2015-07-29 | 上海大学 | 一种自动调准位置的真空吸盘机械手 |
JP2017118004A (ja) * | 2015-12-25 | 2017-06-29 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 部品圧着装置 |
JP2018134688A (ja) * | 2017-02-20 | 2018-08-30 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 作業装置およびケーブル保持ツール |
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CN108357922A (zh) * | 2018-02-05 | 2018-08-03 | 浙江金康铜业有限公司 | 一种铜板材的上料移材设备及其上料移材方法 |
JP2019140384A (ja) * | 2018-02-09 | 2019-08-22 | 株式会社Fuji | 押さえ機能を備える部品実装機 |
CN113479646A (zh) * | 2021-06-11 | 2021-10-08 | 中国建材国际工程集团有限公司 | 一种平板玻璃的自适应垂直堆垛机 |
CN113479646B (zh) * | 2021-06-11 | 2022-11-18 | 中国建材国际工程集团有限公司 | 一种平板玻璃的自适应垂直堆垛机 |
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