JP2004125172A - 液体搬送装置 - Google Patents
液体搬送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004125172A JP2004125172A JP2003309901A JP2003309901A JP2004125172A JP 2004125172 A JP2004125172 A JP 2004125172A JP 2003309901 A JP2003309901 A JP 2003309901A JP 2003309901 A JP2003309901 A JP 2003309901A JP 2004125172 A JP2004125172 A JP 2004125172A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow path
- variable member
- liquid
- stable state
- transfer device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K99/0001—Microvalves
- F16K99/0034—Operating means specially adapted for microvalves
- F16K99/0042—Electric operating means therefor
- F16K99/0044—Electric operating means therefor using thermo-electric means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J19/0093—Microreactors, e.g. miniaturised or microfabricated reactors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
- B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
- B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
- B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
- B01L3/50273—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by the means or forces applied to move the fluids
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K11/00—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves
- F16K11/02—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves with all movable sealing faces moving as one unit
- F16K11/04—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves with all movable sealing faces moving as one unit comprising only lift valves
- F16K11/044—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves with all movable sealing faces moving as one unit comprising only lift valves with movable valve members positioned between valve seats
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/44—Mechanical actuating means
- F16K31/56—Mechanical actuating means without stable intermediate position, e.g. with snap action
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K99/0001—Microvalves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K99/0001—Microvalves
- F16K99/0003—Constructional types of microvalves; Details of the cutting-off member
- F16K99/0015—Diaphragm or membrane valves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K99/0001—Microvalves
- F16K99/0034—Operating means specially adapted for microvalves
- F16K99/0055—Operating means specially adapted for microvalves actuated by fluids
- F16K99/0057—Operating means specially adapted for microvalves actuated by fluids the fluid being the circulating fluid itself, e.g. check valves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K99/0001—Microvalves
- F16K99/0034—Operating means specially adapted for microvalves
- F16K99/0055—Operating means specially adapted for microvalves actuated by fluids
- F16K99/0061—Operating means specially adapted for microvalves actuated by fluids actuated by an expanding gas or liquid volume
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J2219/00781—Aspects relating to microreactors
- B01J2219/00783—Laminate assemblies, i.e. the reactor comprising a stack of plates
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J2219/00781—Aspects relating to microreactors
- B01J2219/00873—Heat exchange
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J2219/00781—Aspects relating to microreactors
- B01J2219/00891—Feeding or evacuation
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J2219/00781—Aspects relating to microreactors
- B01J2219/00925—Irradiation
- B01J2219/00934—Electromagnetic waves
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2400/00—Moving or stopping fluids
- B01L2400/04—Moving fluids with specific forces or mechanical means
- B01L2400/0403—Moving fluids with specific forces or mechanical means specific forces
- B01L2400/043—Moving fluids with specific forces or mechanical means specific forces magnetic forces
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2400/00—Moving or stopping fluids
- B01L2400/04—Moving fluids with specific forces or mechanical means
- B01L2400/0403—Moving fluids with specific forces or mechanical means specific forces
- B01L2400/0442—Moving fluids with specific forces or mechanical means specific forces thermal energy, e.g. vaporisation, bubble jet
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2400/00—Moving or stopping fluids
- B01L2400/04—Moving fluids with specific forces or mechanical means
- B01L2400/0475—Moving fluids with specific forces or mechanical means specific mechanical means and fluid pressure
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2400/00—Moving or stopping fluids
- B01L2400/06—Valves, specific forms thereof
- B01L2400/0633—Valves, specific forms thereof with moving parts
- B01L2400/0638—Valves, specific forms thereof with moving parts membrane valves, flap valves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K99/0001—Microvalves
- F16K2099/0069—Bistable microvalves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K2099/0073—Fabrication methods specifically adapted for microvalves
- F16K2099/0074—Fabrication methods specifically adapted for microvalves using photolithography, e.g. etching
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K2099/0073—Fabrication methods specifically adapted for microvalves
- F16K2099/008—Multi-layer fabrications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K2099/0082—Microvalves adapted for a particular use
- F16K2099/0084—Chemistry or biology, e.g. "lab-on-a-chip" technology
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N35/00—Automatic analysis not limited to methods or materials provided for in any single one of groups G01N1/00 - G01N33/00; Handling materials therefor
- G01N35/10—Devices for transferring samples or any liquids to, in, or from, the analysis apparatus, e.g. suction devices, injection devices
- G01N2035/1027—General features of the devices
- G01N2035/1034—Transferring microquantities of liquid
- G01N2035/1041—Ink-jet like dispensers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N35/00—Automatic analysis not limited to methods or materials provided for in any single one of groups G01N1/00 - G01N33/00; Handling materials therefor
- G01N35/10—Devices for transferring samples or any liquids to, in, or from, the analysis apparatus, e.g. suction devices, injection devices
- G01N35/1009—Characterised by arrangements for controlling the aspiration or dispense of liquids
- G01N35/1016—Control of the volume dispensed or introduced
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/2496—Self-proportioning or correlating systems
- Y10T137/2559—Self-controlled branched flow systems
- Y10T137/2564—Plural inflows
- Y10T137/2567—Alternate or successive inflows
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
- Y10T137/86493—Multi-way valve unit
- Y10T137/86879—Reciprocating valve unit
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Hematology (AREA)
- Clinical Laboratory Science (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Fluid-Driven Valves (AREA)
- Temperature-Responsive Valves (AREA)
- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
- Apparatus Associated With Microorganisms And Enzymes (AREA)
- Automatic Analysis And Handling Materials Therefor (AREA)
Abstract
【解決手段】 流路8〜10と、第一の安定状態と第二の安定状態に可変する可変部材1と、圧力発生手段2,3を有し、前記圧力発生手段が発生する圧力により可変部材1が第一の安定状態と第二の安定状態間の移動を起こし、前記可変部材1が前記流路8〜10の開閉を行うことにより、外力が加わらない状態で流路8〜10を自在に開状態及び閉状態に保持することが可能なバルブを有する液体搬送装置。
【選択図】 図1
Description
また、可動部材(片持ち梁)の弁を利用したインクジェット用のヘッドが提案されている(特許文献3参照。)。
また、磁界と電流の相互作用を利用したアクチュエータを利用した光スイッチが提案されている(非特許文献2参照。)。
一方、機械的双安定性がある素子は2つの安定構造間を遷移させるためにエネルギーの高い状態を経る必要があるため、機械的双安定性を持たない素子に比べて余分な駆動力が必要であった。
本発明は、この様な背景技術に鑑みてなされたものであり、外力が加わらない状態でバルブを自在に開状態及び閉状態に安定に保持することが可能な液体搬送装置を提供することにある。
前記可変部材は複数の可撓性を示す樹脂膜を連結してなることが好ましい。
前記可変部材は、アーチ形状の弾性体と、前記アーチ形状の弾性体の両端に位置する伸縮自在の弾性体とからなることが好ましい。
前記液体を分析するための分析用カラムと、前記液体を前記分析用カラムに導入するための加圧用液体端子とを更に有し、前記可変部材の切り替えにより、前記液体を前記廃液収容部または前記分析用カラムのいずれかに導入することが好ましい。
前記圧力発生手段が圧電素子であり、前記圧電素子により発生する流体の流れにより、前記流路を切り替えることが好ましい。
(第lの実施形態)
図1は本発明の液体搬送装置の第lの実施形態を示す概略図である。1は第一の安定状態と第二の安定状態に可変する可変部材であり、2、3は気泡を発生させる発熱体であり、4,5は発泡室、6は可変部材保持室、7は可変部材の支持台、8〜10は流路、11〜14は電極、15は流路構成部材である樹脂膜、22は厚さ0.3μmのSiN絶縁層、16は厚さ2.7μmのSiO2蓄熱層である。17は厚さ0.67mmのSi基板、18〜19は厚さ0.2μmのTa薄膜(保護層)である。20は可変部材1の他方の安定状態の位置である。また、21は発泡室前後のイナータンス調整と流入口の大きさの調整を行う調整壁である。また、23は発熱体2によって発生する気泡を示す。26は、第一の安定状態と第二の安定状態に可変する可変部材により前記流路を開閉する流路開閉手段を示す。
樹脂膜としては、例えばエポキシ樹脂のカチオン重合硬化物、または、ポリメタクリル酸、メチルメタクリレートやエチルメタクリレート等のメタクリル酸エステル、またポリメタクリロニトリル、ポリ−α−メチルスチレン、酢酸セルロース、ポリイソブチレン、ポリメチルイソブチルケトン、ポリメタクリルアミド等が挙げられる。
また、図3は本発明の液体搬送装置の実施形態のたわみ構造を有する可変部材1の立体構造を示す模式図である。同図において、可変部材の支持部間の距離31に比べ長いたわみ部分32が両端の支持部を結ぶ線を挟んだ、略対称な位置で第一の安定状態と前記第二の安定状態を持つ。
図6は本発明の液体搬送装置の第1の実施形態の流路の切り替え効果を示す説明図である。同図6は、本実施形態のマイクロバルブによって実現される流路の切り替え効果を示す図であり、図6(a)は第三の流路10から流入した液体が第一の流路8に切り替えられる経路61を示し、図6(b)は第三の流路10から流入した液体が第二の流路9に切り替えられる経路62を示す。また、経路61と62の逆の流れを利用して、2入力1出力の液体切り替え素子としても使用できる。
図7は本発明の液体搬送装置の第2の実施形態を示す説明図である。同図7は、第2の実施形態の特徴を表す図であり、本実施形態は前記可変部材が複数のたわみ構造を有する樹脂膜74および75を、樹脂の連結膜71〜73によって連結させた可変部材であることを除いて、第1の実施形態とほぼ同様である。
連結膜としては、例えば、エポキシ樹脂のカチオン重合硬化物、または、ポリメタクリル酸、メチルメタクリレートやエチルメタクリレート等のメタクリル酸エステル、またポリメタクリロニトリル、ポリ−α−メチルスチレン、酢酸セルロース、ポリイソブチレン、ポリメチルイソブチルケトン、ポリメタクリルアミド等が挙げられる。
図8は本発明の液体搬送装置の第3の実施形態を示す説明図である。同図8は、第3の実施形態の特徴を表す図であり、本実施形態は、第一の流路81と第二の流路82と第三の流路83と、前記可変部材1を保持し、前記3つの流路を接続した可変部材保持室84と前記可変部材を挟む一対の発熱体2,3を有し、該一対の発熱体の発泡によって前記可変部材が前記第一の流路の開閉を行うことを除いて、第1の実施形態とほぼ同様である。
また、本実施形態では、図11に示すように3つの流路の1つだけを選択的に開閉する弁となる。
図12は本発明の液体搬送装置の第4の実施形態を示す説明図である。同図12に示す実施形態は、試料室121と、第一の廃液室122と、第二の廃液室123と、加圧用液体端子124と、分析用カラム接続端子138と、流路と前記可変部材128〜130を有し、前記可変部材の切り替えによって、
(a)前記試料室からの液体を前記第一の廃液室に流す経路、
(b)前記試料室からの液体を前記第二の廃液室に流す経路、
(c)前記試料室からの液体を前記分析用カラム接続端子に流す経路、
を形成することを除いて、第1の実施形態及び第3の実施形態とほぼ同様である。
加圧用端子は、液体を分析用カラムに送り込むためのものであり、圧力をかけることにより、液体は、分析用カラムに導入する。
図13は本発明の液体搬送装置の第5の実施形態を示す説明図である。同図13に示す実施形態は、流路と第一の安定状態と第二の安定状態を有する一対の可変部材131および132と、該一対の可変部材で挟んだ位置に配置した気泡を発生させる発熱体133を有し、前記一方の可変部材131が前記発熱体への流れのみを許可する逆流防止機能を持ち、前記他方の可変部材132が前記発熱体からの流れのみを許可する逆流防止機能を持つことを除いて、第1の実施形態及び第3の実施形態とほぼ同様である。
以上、2つの流れ136及び138により、第2の実施形態のマイクロバルブはポンプ機能を有する。
図15は本発明の液体搬送装置の第6の実施形態を示す説明図である。同図15に示す実施形態は、前記可変部材がアーチ型バネ151を一対の伸縮バネ152および153で挟持した可変部材であることを除いて、第1の実施形態及び第3の実施形態とほぼ同様である。
また、本実施形態では一対の伸縮バネ152および153により安定性とポテンシャル障壁を調整できる効果がある。
図16は本発明の液体搬送装置の第7の実施形態を示す説明図である。同図16に示す実施形態は、通電可能な前記可変部材と磁界発生手段とを有し、通電により第一の安定状態と第二の安定状態間の遷移を補助することを除いて、第1の実施形態及び第3の実施形態とほぼ同様である。
図17は、第8の実施形態の特徴を表す図であり、175a,175b,177a,177bは圧電素子に電圧を印加する電極、176a,176bは圧電材料層、171a,171bは圧力発生手段であるところの圧電素子である。
本実施形態は、圧力発生手段として、圧電素子を用いることを除いて実施例1と同様である。
2,3 発熱体
4、5 発泡室
6 可変部材保持室
7 支持台
8〜10 流路
11〜14 電極
15 流路構成部材
16 蓄熱層
17 基板
18,19 保護層
21 調整壁
22 SiN絶縁層
23 気泡
24 第二の安定状態
25 第一の安定状態
26 流路開閉手段
31 支持部間距離
32 たわみ部
71〜73 連結膜
74,75 樹脂膜
81〜83 流路
121 試料室、
122 第一の廃液室
123 第二の廃液室
124 加圧用液体端子
138 分析用カラム接続端子
125 分析用カラム
126,127 試料室
128〜130 可変部材
131,132 可変部材
133 発熱体
151 アーチ型バネ
152,153 伸縮バネ
164 永久磁石
175a,175b,177a,177b 電極
176a,176b 圧電材料層
171a,171b 圧力発生手段(圧電素子)
Claims (11)
- 液体を流すための流路と、前記流路に設けられ、圧力を発生させるための少なくとも2つの圧力発生手段と、前記圧力発生手段間に位置し、前記圧力の発生により第一の安定状態または第二の安定状態に可変である可変部材とを備え、前記可変部材を前記第一の安定状態または前記第二の安定状態とすることにより、前記流路を切り替えることを特徴とする液体搬送装置。
- 前記可変部材は可撓性を示す樹脂膜からなることを特徴とする請求項1記載の液体搬送装置。
- 前記可変部材は前記樹脂膜を複数連結してなることを特徴とする請求項2記載の液体搬送装置。
- 前記可変部材は、アーチ形状の弾性体と、前記アーチ形状の弾性体の両端に位置する伸縮自在の弾性体とからなることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の液体搬送装置。
- 磁界を発生させるための磁界発生手段を更に有し、前記可変部材は、前記磁界の発生により、前記第一の安定状態と前記第二の安定状態間の遷移を補助する手段を有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の液体搬送装置。
- 前記流路は、前記圧力発生手段を備えた第一の流路及び第二の流路と、前記第一の流路及び前記第二の流路に接続した第三の流路とからなり、前記可変部材により、前記第一の流路または前記第二の流路のいずれか一方を閉状態とすることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の液体搬送装置。
- 前記流路中の廃液を収容するための廃液収容部を更に有し、前記可変部材の切り替えにより、前記廃液を前記廃液収容部に導入することを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の液体搬送装置。
- 前記液体を分析するための分析用カラムと、前記液体を前記分析用カラムに導入するための加圧用液体端子とを更に有し、前記可変部材の切り替えにより、前記液体を前記廃液収容部または前記分析用カラムのいずれかに導入することを特徴とする請求項7記載の液体搬送装置。
- 前記圧力発生手段が発熱体であり、前記発熱体による気泡の成長と収縮により、前記流路を切り替えることを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載の液体搬送装置。
- 前記圧力発生手段が圧電素子であり、前記圧電素子により発生する流体の流れにより、前記流路を切り替えることを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載の液体搬送装置。
- 流路の切り替えを行うための可変部材からなるバルブであって、前記可変部材は、前記流路に設けられた圧力を発生させるための圧力発生手段間に位置することで、前記圧力の発生により第一の安定状態と第二の安定状態に可変であることを特徴とするバルブ。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003309901A JP3970226B2 (ja) | 2002-09-10 | 2003-09-02 | 液体微細搬送装置 |
US10/526,957 US7302970B2 (en) | 2002-09-10 | 2003-09-08 | Liquid delivery device |
AU2003258834A AU2003258834A1 (en) | 2002-09-10 | 2003-09-08 | Liquid delivery device |
PCT/JP2003/011429 WO2004025128A1 (en) | 2002-09-10 | 2003-09-08 | Liquid delivery device |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002264676 | 2002-09-10 | ||
JP2003309901A JP3970226B2 (ja) | 2002-09-10 | 2003-09-02 | 液体微細搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004125172A true JP2004125172A (ja) | 2004-04-22 |
JP3970226B2 JP3970226B2 (ja) | 2007-09-05 |
Family
ID=31996134
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003309901A Expired - Fee Related JP3970226B2 (ja) | 2002-09-10 | 2003-09-02 | 液体微細搬送装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7302970B2 (ja) |
JP (1) | JP3970226B2 (ja) |
AU (1) | AU2003258834A1 (ja) |
WO (1) | WO2004025128A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004225910A (ja) * | 2003-01-23 | 2004-08-12 | Cordis Corp | 泡で動かされる弁、弁システム、および、弁を流れる流体を制御する方法 |
US9097248B2 (en) | 2009-07-10 | 2015-08-04 | Seiko Epson Corporation | Pulsating flow generating apparatus and method of controlling pulsating flow generating apparatus |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4136969B2 (ja) * | 2003-03-03 | 2008-08-20 | キヤノン株式会社 | 流体搬送装置 |
JP4054798B2 (ja) * | 2004-11-29 | 2008-03-05 | キヤノン株式会社 | 流体搬送方法 |
DE102009018365A1 (de) | 2009-04-23 | 2010-11-04 | Albert-Ludwigs-Universität Freiburg | Thermopneumatischer Aktor und Verfahren zum Herstellen eines solchen |
JP5473403B2 (ja) * | 2009-05-25 | 2014-04-16 | キヤノン株式会社 | 液体駆動装置 |
DE202012001202U1 (de) * | 2012-02-07 | 2012-03-15 | Bürkert Werke GmbH | Ventilstecker |
TWI583880B (zh) * | 2013-09-13 | 2017-05-21 | 拜歐菲樂Ip有限責任公司 | 用於調節管道中的流動的磁性低溫閥門、系統和方法 |
CN111235006B (zh) * | 2020-02-18 | 2020-11-20 | 北京中科生仪科技有限公司 | 一种核酸扩增微流控***用微阀驱动装置 |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2893416A (en) * | 1956-08-20 | 1959-07-07 | Hanson Equipment Company | Pressure responsive reversing valve |
US3082748A (en) * | 1960-12-16 | 1963-03-26 | Arthur C Vogel | Fluid pressure powered piston motor |
US3112768A (en) * | 1962-02-02 | 1963-12-03 | Union Tank Car Co | Multiple port valve |
US3256686A (en) * | 1964-06-03 | 1966-06-21 | Jr John E Lindberg | Method and apparatus for power transmission and actuation |
CH539210A (de) * | 1970-05-26 | 1973-07-15 | Ondrej Brychta Und Christopher | Logische Fluidikschaltung |
JPS5817910B2 (ja) | 1975-07-21 | 1983-04-09 | トヨタ自動車株式会社 | デイスクスプリングニヨル コントロ−ルバルブ |
US4114645A (en) * | 1976-08-27 | 1978-09-19 | Pauliukonis Richard S | Directional valves with thermo-electric operators |
JPS6291675A (ja) | 1985-10-15 | 1987-04-27 | Nec Corp | マイクロポンプ |
US4674526A (en) * | 1986-09-12 | 1987-06-23 | Bellofram Corporation | Switching valve |
DE4042084A1 (de) * | 1990-12-28 | 1992-07-02 | Eberspaecher J | Magnet-wegeventil zur volumenstromsteuerung |
JPH051669A (ja) | 1991-06-21 | 1993-01-08 | Seiko Epson Corp | マイクロポンプ及びマイクロバルブの製造方法 |
JPH05240371A (ja) | 1992-02-25 | 1993-09-17 | Yokogawa Electric Corp | マイクロバルブ |
US5671905A (en) * | 1995-06-21 | 1997-09-30 | Hopkins, Jr.; Dean A. | Electrochemical actuator and method of making same |
DE19523915A1 (de) * | 1995-06-30 | 1997-01-02 | Bosch Gmbh Robert | Mikroventil und Verfahren zur Herstellung eines Mikroventils |
JP3654481B2 (ja) | 1997-06-05 | 2005-06-02 | 独立行政法人理化学研究所 | 生化学反応用マイクロリアクタ |
AT410018B (de) * | 1998-02-06 | 2003-01-27 | Sticht Walter | Mehrwegventil |
WO2000032972A1 (en) * | 1998-11-30 | 2000-06-08 | The Regents Of The University Of California | Micro-electromechanical block regulating fluid flow |
US6533400B1 (en) * | 1999-09-03 | 2003-03-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid discharging method |
US6592098B2 (en) * | 2000-10-18 | 2003-07-15 | The Research Foundation Of Suny | Microvalve |
AU2002230524A1 (en) * | 2000-11-16 | 2002-05-27 | California Institute Of Technology | Apparatus and methods for conducting assays and high throughput screening |
US6828887B2 (en) | 2002-05-10 | 2004-12-07 | Jpmorgan Chase Bank | Bistable microelectromechanical system based structures, systems and methods |
JP2004069498A (ja) * | 2002-08-06 | 2004-03-04 | Canon Inc | 液体搬送装置及び液体搬送方法 |
JP4136969B2 (ja) * | 2003-03-03 | 2008-08-20 | キヤノン株式会社 | 流体搬送装置 |
-
2003
- 2003-09-02 JP JP2003309901A patent/JP3970226B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2003-09-08 US US10/526,957 patent/US7302970B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2003-09-08 WO PCT/JP2003/011429 patent/WO2004025128A1/en active Application Filing
- 2003-09-08 AU AU2003258834A patent/AU2003258834A1/en not_active Abandoned
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004225910A (ja) * | 2003-01-23 | 2004-08-12 | Cordis Corp | 泡で動かされる弁、弁システム、および、弁を流れる流体を制御する方法 |
JP4531409B2 (ja) * | 2003-01-23 | 2010-08-25 | コーディス・コーポレイション | 泡で動かされる弁、弁システム、および、弁を流れる流体を制御する方法 |
US9097248B2 (en) | 2009-07-10 | 2015-08-04 | Seiko Epson Corporation | Pulsating flow generating apparatus and method of controlling pulsating flow generating apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7302970B2 (en) | 2007-12-04 |
AU2003258834A1 (en) | 2004-04-30 |
US20060021651A1 (en) | 2006-02-02 |
JP3970226B2 (ja) | 2007-09-05 |
WO2004025128A1 (en) | 2004-03-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101846808B1 (ko) | 미세유체 시스템 및 네트워크 | |
Lee et al. | Micromachined pre-focused M× N flow switches for continuous multi-sample injection | |
KR101776358B1 (ko) | 유체 네트워크 내의 유체 흐름의 발생 | |
Li et al. | Development of large flow rate, robust, passive micro check valves for compact piezoelectrically actuated pumps | |
TWI306490B (en) | Apparatus for driving microfluid driving the method thereof | |
JP3538777B2 (ja) | 微小化学反応装置 | |
US7431050B2 (en) | Liquid delivery device | |
JP3970226B2 (ja) | 液体微細搬送装置 | |
Ikuta et al. | Fluid drive chips containing multiple pumps and switching valves for biochemical IC family | |
Luque et al. | Integrable silicon microfluidic valve with pneumatic actuation | |
WO2013119834A1 (en) | Sealable microvalve that can be repeatedly opened and sealed | |
JP2005139901A (ja) | 回路切換えスイッチ | |
JP2004098232A (ja) | 液体搬送装置 | |
JP2004100604A (ja) | 流路切替方法および流路切替装置 | |
JP4322117B2 (ja) | 駆動デバイス | |
Wu et al. | Electrokinetically driven flow control using bare electrodes | |
KR100454460B1 (ko) | 유체 제어용 마이크로 구동장치 및 이를 이용한 마이크로유체 제어장치 | |
US20130029273A1 (en) | Fabrication Of Fluidic Features Within A Plastic Substrate | |
Akin | Integrated Biocompatible Piezoelectric Micropump System with Nanoliter Volume Precision | |
Shoji | Microfabrication technologies and micro-flow devices for chemical and bio-chemical micro flow systems | |
Swierkowski | A micromachined drop dispenser for biofluidics | |
Braff et al. | A microbubble-powered bioparticle actuator | |
Vaidya et al. | Micropumps-A literature study | |
Liu | A customer programmable microfluidic system | |
Furtado | A STUDY OF A CONTINUOUS INTEGRATED MICROFLUIDIC CIRCUIT SWITCH VALVE |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060906 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061102 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070117 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070315 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20070326 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070523 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070605 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110615 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120615 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120615 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130615 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |