JP2004015830A - 固体撮像装置及びその駆動方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 一つの演算増幅器31と帰還キャパシタCfs、Cfnとを有する第1及び第2のスイッチトキャパシタ回路を備えた信号出力回路105を有し、信号読出し用トランジスタの閾値電圧を変調した状態で読み出した第1の信号を演算増幅器31の反転入力端子若しくは非反転入力端子の一方に入力して、非反転出力端子若しくは反転出力端子の一方に出力させ、光発生電荷を信号読出し用トランジスタの制御領域から掃き出した状態で読み出した第2の信号を第1の信号の入力端子と異なる非反転入力端子若しくは反転入力端子の他方に入力して、反転出力端子若しくは非反転出力端子の他方に出力させ、これにより反転出力端子及び非反転出力端子から各々他方の信号入力値を基準として差動増幅された第1の信号及び第2の信号を出力させるようにした。
【選択図】 図2
Description
また、信号読出し用トランジスタから読み出した第1及び第2の信号は所謂スイッチトキャパシタ回路を通して出力されるが、スイッチトキャパシタ回路内では演算増幅器により電荷移動が行われるため、読み出した第1及び第2の信号を記憶させるため入力側に例えば容量性負荷である複数のラインメモリを並列に並べた場合でも、スイッチトキャパシタ回路の出力側から見た寄生容量は小さくなる。このため、複数のラインメモリを並列に並べても読み出し速度はほとんど影響を受けず、かつ最大利得が得られる。
15b 第2のウエル領域
15c チャネルドープ層
16a 低濃度のソース領域
16b 高濃度のソース領域(コンタクト層)
17 不純物領域
17a 低濃度のドレイン領域
17b 高濃度のドレイン領域(コンタクト層)
18 ゲート絶縁膜
19 ゲート電極
20a、20b 垂直出力線
21a、21b VSCAN供給線
22a、22b VDD供給線
25 キャリアポケット(高濃度埋込層)
26 水平出力線
27a、27b HSCAN供給線
30a、30b 昇圧電圧供給線
31 第1の演算増幅器
32 第2の演算増幅器
101 単位画素
102 VSCAN駆動走査回路
103 VDD駆動走査回路
104 HSCAN入力走査回路
105 信号出力回路
107 映像信号出力端子
108 昇圧走査回路
111 受光ダイオード
112 光信号検出用絶縁ゲート型電界効果トランジスタ(光信号検出用MOSトランジスタ)
CK1 第1のスイッチ
CK2 第2のスイッチ
CK3 第3のスイッチ
CK4 第4のスイッチ
CK5、CK6 プリチャージスイッチ
Lms 第1のラインメモリ
Lmn 第2のラインメモリ
RSTs、RSTn リセットスイッチ
Claims (2)
- 単位画素内で光電変換によって生じた光発生電荷を信号読出し用トランジスタの制御領域に蓄積して閾値電圧を変調した状態で該信号読出し用トランジスタから第1の信号を読み出す第1のモードと、該単位画素内で光電変換によって生じた光発生電荷を該トランジスタの制御領域から掃き出した状態で該信号読出し用トランジスタから第2の信号を読み出す第2のモードと、前記第1のモードで読み出された第1の信号と、前記第2のモードで読み出された第2の信号の差の電圧を出力する信号出力回路を有する固体撮像装置において、
前記信号出力回路は、演算増幅器を有し、
該演算増幅器は、反転入力端子と、非反転入力端子と、非反転出力端子と、反転出力端子とを有しており、前記反転入力端子と非反転出力端子との間には、該演算増幅器と並列に少なくとも該演算増幅器からの出力時に第1の検出容量素子が接続され、前記非反転入力端子と反転出力端子との間には、該演算増幅器と並列に少なくとも該演算増幅器からの出力時に第2の検出容量素子が接続されており、
前記第1の信号を前記反転入力端子若しくは非反転入力端子の一方に入力して、前記非反転出力端子若しくは反転出力端子の一方に出力させ、前記第2の信号を前記第1の信号の入力端子と異なる非反転入力端子若しくは反転入力端子の他方に入力して、前記反転出力端子若しくは非反転出力端子の他方に出力させ、これにより前記反転出力端子及び非反転出力端子から各々他方の信号入力値を基準として差動増幅された第1の信号及び第2の信号を出力させるようにしたことを特徴とする固体撮像装置。 - 単位画素内で光電変換によって生じた光発生電荷を信号読出し用トランジスタの制御領域に蓄積して閾値電圧を変調した状態で該信号読出し用トランジスタから第1の信号を読み出す第1のモードと、該単位画素内で光電変換によって生じた光発生電荷を該トランジスタの制御領域から掃き出した状態で該信号読出し用トランジスタから第2の信号を読み出す第2のモードと、前記第1のモードで読み出された第1の信号と、前記第2のモードで読み出された第2の信号の差の電圧を出力する信号出力回路を有する固体撮像装置であって、
前記信号出力回路は、演算増幅器を有し、該演算増幅器は、反転入力端子と、非反転入力端子と、非反転出力端子と、反転出力端子とを有しており、前記反転入力端子と非反転出力端子との間には、該演算増幅器と並列に少なくとも該演算増幅器からの出力時に第1の検出容量素子が接続され、前記非反転入力端子と反転出力端子との間には、該演算増幅器と並列に少なくとも該演算増幅器からの出力時に第2の検出容量素子が接続されてなる固体撮像装置を用いて、
前記単位画素内で光電変換によって生じた光発生電荷を前記信号読出し用トランジスタの制御領域に蓄積した後、閾値電圧を変調した状態で、前記信号読出し用トランジスタから前記第1の信号を読み出し、
前記単位画素内で光電変換によって生じた光発生電荷を前記信号読出し用トランジスタの制御領域から掃き出した後、その状態で、前記信号読出し用トランジスタから前記第2の信号を読み出し、
前記読み出した第1の信号を前記演算増幅器の反転入力端子若しくは非反転入力端子の一方に入力して、前記演算増幅器の非反転出力端子若しくは反転出力端子の一方に出力させ、前記読み出した第2の信号を前記第1の信号の入力端子と異なる前記演算増幅器の非反転入力端子若しくは反転入力端子の他方に入力して、前記演算増幅器の反転出力端子若しくは非反転出力端子の他方に出力させ、これにより、前記反転出力端子及び非反転出力端子から各々他方の信号入力値を基準として差動増幅された第1の信号及び第2の信号を出力させることを特徴とする固体撮像装置の駆動方法。
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