JP2003311220A - クリーンシステム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】作業停止時間を少なくできると共に処理量を増
大できる長稼動寿命のクリーンシステムを提供する。 【解決手段】 本発明のクリーンシステム３００は、清
浄化用流体を貯蔵する貯留槽３０２と、基板上のパッド
（又はリード）４０４を清浄化するためのクリーンヘッ
ド３０４と、清浄化用流体を貯留槽３０２からクリーン
ヘッド３０４へ吐出するための蠕動ポンプ以外の計量ポ
ンプ３０６とを具備する。本発明で好適に使用できる計
量ポンプは、ピストンポンプ、ギアポンプ又はダイアフ
ラムポンプである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、一般にクリーンシ
ステム、特に表示パネル上に形成されるパッド（又はリ
ード）を清浄化するクリーンシステムに関する。

【０００２】

【従来の技術】電子機器の表示パネルとして、従来、液
晶パネルやプラズマ表示パネルが知られている。一般
に、このような表示パネルは駆動装置の外部リードをガ
ラス板からなる下部パネルの端部に位置するパッド（又
はリード）に結合することによって組み立てられる。一
般的なドライバー（駆動回路）は、ＴＡＢ(テープオー
トメイティッドボンディング)法によって形成されるテ
ープキャリアパッケージ（以下、ＴＣＰという。）から
なる。

【０００３】しかし、ボンディングプロセスが行なわれ
る前に、ＴＣＰの外部リードとパネルのパッド（又はリ
ード）間の良好な電気的接触を確保するため、パネルの
パッド（又はリード）を清浄化する必要がある。従っ
て、従来の外部リードボンディング装置は、一般的に、
パネルのパッド（又はリード）を清浄化するためのクリ
ーンシステムを有する。図１に示すように、従来のクリ
ーンシステム１００は、清浄化用流体を貯留槽１０４か
ら上部クリーンヘッド１０６及び下部クリーンヘッド１
０８にそれぞれ供給するため、２つの処理ユニット１０
２を有する。

【０００４】現在、各処理ユニット１０２は、それぞ
れ、設定量の清浄化用流体の正確な供給を確実に行なう
ために、蠕動ポンプ２００（図２参照）を具備する。図
２に示すように、蠕動ポンプ２００の作動は、回転ロー
ラヘッド２０４を用いて、所定長さの屈曲自在なチュー
ブ２０２（固定流路間に配置される場合もある）を圧縮
したり絞ったりすることによって行なわれる。ローラヘ
ッド２０４が回転すると、ローラ２０６がチューブ２０
２の一部をつまみ、ローラ２０６間でチューブ２０２内
に補足されている如何なる流体も回転方向に押し出す。
この際、流量はローラヘッド２０４の回転速度と駆動力
によって決定される。

【発明が解決しようとする課題】

【０００５】しかし、このような外部リードボンディン
グ装置において、蠕動ポンプを処理ユニットとして用い
ることには、以下の問題点がある。 （ａ）蠕動ポンプの屈曲自在なチューブは作動中に摩滅
し、その結果、清浄化流体の望ましくない流量変化を生
じる。 （ｂ）摩滅したチューブを周期的に交換する必要があ
り、また、その交換に際しては、外部リードボンディン
グ装置全体を完全に停止する必要がある。 （ｃ）蠕動ポンプの機構部が容易に磨耗する。 これらの欠点は、チューブの交換や蠕動ポンプの補修に
必要な費用を増大するのみならず、作業停止時間を著し
く増大し、また、処理量の大幅な低減をもたらす。

【０００６】従って、本発明は、上述した従来技術の問
題を解決でき、又は、少なくとも低減でき、作業停止時
間を少なくできると共に処理量を増大できる長稼動寿命
のクリーンシステムを提供することを目的とする。本発
明の他の目的は、基板を、同基板上に形成されるパッド
（又はリード）と共に清浄化するため、外部リードボン
ディングプロセスにおいて用いる信頼性のあるクリーン
システムを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【０００７】上記した目的及び他の目的を達成するた
め、本発明に係るクリーンシステムは、主として、清浄
化用流体を貯留する貯留槽と、第１クリーンヘッドと、
清浄化用流体を貯留槽から第１クリーンヘッドに吐出す
る蠕動ポンプ以外の計量ポンプを具備する。本発明にお
いて好適に用いることができる計量ポンプは、吐出サイ
クル毎に同容積を吐出するための一定容積の空所を有す
ることを特徴とするピストンポンプ、ギアポンプ又はダ
イアフラムポンプである。計量ポンプは流入口と流出口
とを有する。流入口は貯留槽に接続されており、清浄化
用流体の計量ポンプへの流入を可能とする。流出口は第
１クリーンヘッドに接続されており、清浄化用流体の計
量ポンプから第1クリーンヘッドへの流入を可能とす
る。クリーンシステムは、清浄化用流体が第１クリーン
ヘッドから計量ポンプに逆流するのを防止するため、計
量ポンプと第１クリーンヘッドとの間に配置される逆止
弁を具備することもできる。

【０００８】クリーンシステムは第２クリーンヘッドを
具備することもできる。第１及び第２クリーンヘッド
は、上記した同一の計量ポンプに接続されている。クリ
ーンヘッドは、好ましくは、半製品の表面に接触して清
浄化する紐状物、例えば、不織紐状物を具備する。紐状
物を清浄化用流体によって湿らすことによって、クリー
ンヘッドは、埃、塵、その他の表面汚染物質を半製品の
表面から容易に拭き取ることができる。

【０００９】本発明に係るクリーンシステムは、従来の
蠕動ポンプを、ピストンポンプや、ギアポンプや、ダイ
アフラムポンプのような計量ポンプによって置換するも
のである。ピストンポンプ、ギアポンプ又はダイアフラ
ムポンプの作動においては、従来の蠕動ポンプの屈曲自
在なチューブのような容易に摩滅する部品を必要としな
いので、クリーンシステムの稼動寿命を従来のクリーン
システムより長くでき、従って、作業停止時間を低減で
きると共に処理量を増大することができる。さらに、本
発明に係るクリーンシステムは、外部リードボンディン
グプロセスに用いられる既存の材料や関連する機器と十
分に共存できるものであり、かつ、それらの性能に影響
を及ぼすものではない。

【００１０】本発明は、従来の蠕動ポンプをピストンポ
ンプ、ギアポンプ又はダイアフラムポンプのような計量
ポンプによって置換することによって、長稼動寿命を有
することができるクリーンシステムを提供する。ここで
提示する解決策は、既存の装置と十分に共存できるもの
であり、かつ、それらの性能に影響を及ぼすものではな
い。

【発明の実施の形態】

【００１１】図３は、本発明の1実施例に係るクリーン
システム３００を示すブロック図である。クリーンシス
テム３００は、主として、貯留槽３０２と、クリーンヘ
ッド３０４と、計量ポンプ３０６とを具備する。貯留槽
３０２は、イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）のような
清浄化用流体を内蔵している。計量ポンプ３０６は、貯
留槽３０２からクリーンヘッド３０４に向けて清浄化用
流体を吐出する。計量ポンプ３０６は流入口３０８と流
出口３１０を有する。流入口３０８は貯留槽３０２に接
続されているので、吐出される清浄化用流体の計量ポン
プ３０６への流入が可能となる。流出口３１０はクリー
ンヘッド３０４に接続されているので、計量ポンプ３０
６から吐出される清浄化用流体のクリーンヘッド３０４
内への流入が可能となる。クリーンシステムは、計量ポ
ンプ３０６とクリーンヘッド３０４間に配置される逆止
弁３１２を具備してもよい。逆止弁３１２は、清浄化用
流体がクリーンヘッド３０４から計量ポンプ３０６に逆
流するのを防止するため、選択的に閉弁する。本発明に
係るクリーンヘッド３０４は、表示パネル４０６の上面
４０２に形成されるパッド（又はリード）４０４（１つ
のパッドのみが参照番号４０４で示されている。）を清
浄化するため好適に用いられる（図５参照）。クリーン
ヘッド３０４は、好ましくは、表示パネル４０６上のパ
ッド（又はリード）４０４を接触しながら清浄化するた
め、例えば不織紐状物からなる紐状物４００を有する。
清浄化用流体がクリーンヘッド３０４内に吐出される
と、紐状物４００は清浄化用流体によって湿らすことが
できるので、パッド（又はリード）４０４の表面から、
埃、塵、その他の表面汚染物質を簡単に拭き取ることが
できる。

【００１２】図4は、本発明の他の実施例に係るクリー
ンシステム３５０を示すブロック図である。図４に示す
ように、本発明では、さらに、表示パネル４０６の上面
４０２と対向する下面を清浄化するため、同一の計量ポ
ンプ３０６に連結されるもう一つのクリーンヘッド３１
４を設けている（図５参照）。クリーンヘッド３１４
は、クリーンヘッド３０４と実質的に同じ構造と材料を
有する。計量ポンプは、貯留槽３０２からクリーンヘッ
ド３０４とクリーンヘッド３１４の両方に清浄化用流体
を吐出する。好ましくは、クリーンシステム３５０は、
計量ポンプ３０６とクリーンヘッド３１４間に配置され
る逆止弁３１６を有する。逆止弁３１６は、清浄化用流
体がクリーンヘッド３１４から計量ポンプ３０６に逆流
するのを防止するため、選択的に閉弁する。

【００１３】本発明での使用に適する計量ポンプは、吐
出サイクル毎に同容積を吐出する一定容積の空所を有す
ることを特徴とするピストンポンプ、ギアポンプ、又は
ダイアフラムポンプである。ピストンポンプはユニット
を通して液体を移動させるために往復動プランジャを用
いる。ピストンポンプは剛性ピストン組立体からなり、
このような構成によって、ピストンポンプは、計量ポン
プとして最高の圧力と精度を有することができる。ギア
ポンプは、２つ又は３つの回転するギアの歯の間に介在
する流体を移送することによって作動する。ギアポンプ
は１回転当り多くの小さな空所を移動させるので、ピス
トンポンプほど頻繁に脈動しない。ダイアフラムポンプ
は、屈曲自在なダイアフラムを脈動させることによっ
て、ストローク毎に液体を移動させる。ポンプ作用は、
ダイアフラム（図示せず）によって流体から保護されて
いる往復動ピストン（図示せず）によってさらに増大す
る。ダイアフラムは、ソレノイドによって機械的に、又
は、ピストンとダイアフラム間に供給される油圧流体に
よって作動される。好ましくは、本発明に係る計量ポン
プ３０６は、稼動部品を最少化できる観点から、ソレノ
イド駆動のダイアフラムポンプとする。好適なソレノイ
ド駆動のダイアフラムポンプとして、ProMinent Dosie
rtechnik GmbH製のポンプ（商標Beta）が市販されてい
る。このポンプは電気信号によって進退し、２位置４方
向電気ソレノイド弁からなる空気弁を有し、空気弁は単
一の操作子とスプリング復帰機構を有する。電力を付与
すると、弁スプールが移動して空気で空気室の圧力を昇
圧する。電気信号を解除すると、スプリング復帰機構
が、弁スプールを、昇圧された空気室を降圧すると共に
同空気室と対向する空気室を昇圧する位置まで移動させ
る。ポンプは、電力を交互に付加、解除することによっ
て往復動する。電気信号の供給が速くなれば、ポンプも
より速く作動する。

【００１４】本発明に係るクリーンシステムは、以下の
工程を有する外部リードボンディングプロセスに、特に
好適に用いられる。まず、図６に示すように、表示パネ
ル４０６のパッド（又はリード）４０４を、本発明に係
るクリーンシステム３００によって清浄化する。その
後、本来的に接着性のある異方性導電テープ５００（図
６参照）を、パッド（又はリード）４０４上の表示パネ
ル４０６に取り付ける。次に、テープキャリアパッケー
ジ（ＴＣＰ）５０２を表示パネル４０６上に配置する。
ＴＣＰ５０２は、一般的に、フィルム５０４と、フィル
ム５０４に結合されるドライバーチップ５０６と、フィ
ルム５０４上に形成される（例えば、貼り付けられる）
複数の外部リード５０８とを具備する。ここで、２つの
近接する外部リード５０８間には微小な間隙が設けられ
ている。この工程で、ＴＣＰ５０２の外部リード５０８
は、表示パネル４０６のパッド（又はリード）４０４と
整合する。最後に、テープキャリアパッケージの外部リ
ード５０８を、例えば、熱圧着工具によってパッド（又
はリード）４０４に結合する。

【００１５】本発明に係るクリーンシステムは、従来の
蠕動ポンプを、ピストンポンプや、ギアポンプや、ダイ
アフラムポンプのような計量ポンプによって置換するも
のである。ピストンポンプや、ギアポンプや、ダイアフ
ラムポンプを作動するに際し、従来の蠕動ポンプの屈曲
チューブのような容易に摩滅する構成要素を必要としな
いので、クリーンシステムの稼動寿命を従来のクリーン
システムより長くでき、従って稼動停止時間を低減でき
ると共に処理量を増大できる。さらに、本発明に係るク
リーンシステムは、外部リードボンディングプロセスに
用いられている既存の材料及び関連機器と十分に共存で
きるものであり、かつ、それらの性能に影響を及ぼすも
のではない。

【００１６】以上、本発明を好ましい実施例を参照して
説明してきたが、多くのほかの変容例や変形例を、以下
に請求される本発明の要旨及び範囲から逸脱することな
く行なえることが、理解できるであろう。

【００１７】

【発明の効果】本発明により、作業停止時間を少なくで
きると共に処理量を増大できる長稼動寿命のクリーンシ
ステムを提供することができる。さらに、基板を、同基
板上に形成されるパッド（又はリード）と共に清浄化す
るため、外部リードボンディングプロセスにおいて用い
る信頼性のあるクリーンシステムを提供することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来のクリーンシステムを示すブロック図であ
る。

【図２】図１に示すクリーンシステムで用いられる蠕動
ポンプの概略側面図である。

【図３】本発明の一実施例に係るクリーンシステムを示
すブロック図である。

【図４】本発明の他の実施例に係るクリーンシステムを
示すブロック図である。

【図５】表示パネル上のパッド（又はリード）を清浄化
するために用いられる図３のクリーンシステムのクリー
ンヘッドを示す図である。

【図６】図５の表示パネルに結合されるテープキャリア
パッケージの拡大斜視図である。

【符号の説明】

３００：クリーンシステム ３０２：貯留槽 ３０４：クリーンヘッド ３０６：計量ポンプ ３０８：流入口 ３１０：流出口 ３１２：逆止弁 ４００：紐状物 ４０２：上面 ４０４：パッド（又はリード） ４０６：表示パネル ５０４：フィルム ５０６：ドライバーチップ ５０８：外部リード

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】基板上の第1表面上に形成される少なくと
   も１つのパッドを有する前記基板を清浄化するシステム
   であって、 清浄化用流体を貯蔵する貯留槽と、 前記基板上の前記パッドを清浄化するための第1クリー
   ンヘッドと、 前記清浄化用流体を前記貯留槽から前記クリーンヘッド
   へ吐出するための蠕動ポンプ以外の計量ポンプと、 を具備するシステム。
2. 【請求項２】前記計量ポンプが、 前記貯留槽に接続され、前記吐出すべき清浄化用流体の
   前記計量ポンプへの流入を可能とする流入口と、 前記第１クリーンヘッドに接続され、前記吐出すべき清
   浄化用流体の前記計量ポンプから前記クリーンヘッドへ
   の流入を可能にする流出口と、 を具備することを特徴とするクレーム１記載のシステ
   ム。
3. 【請求項３】前記システムはさらに前記計量ポンプと前
   記第1クリーンヘッドとの間に配置される第1逆止弁を具
   備し、該逆止弁は、前記清浄化用流体が前記第1クリー
   ンヘッドから前記計量ポンプに逆流するのを防止するた
   め選択的に閉弁することを特徴とするクレーム１記載の
   システム。
4. 【請求項４】前記クリーンヘッドが、前記清浄化用流体
   を担持し、前記基板上の前記パッドと接触して清浄化す
   る紐状物を有することを特徴とするクレーム１記載のシ
   ステム。
5. 【請求項５】前記紐状物は不織紐状物であることを特徴
   とするクレーム４記載のシステム。
6. 【請求項６】前記計量ポンプはピストンポンプであるこ
   とを特徴とするクレーム１記載のシステム。
7. 【請求項７】前記計量ポンプはギアポンプであることを
   特徴とするクレーム１記載のシステム。
8. 【請求項８】前記計量ポンプはダイアフラムポンプであ
   ることを特徴とするクレーム１記載のシステム。
9. 【請求項９】前記計量ポンプはソレノイド駆動のダイア
   フラムポンプであることを特徴とするクレーム１記載の
   システム。
10. 【請求項１０】前記システムはさらに、 前記計量ポンプに接続され、前記第1表面と対向する前
    記基板の第２表面を清浄化する第２クリーンヘッドと、 前記計量ポンプと前記第２クリーンヘッドとの間に配置
    され、前記清浄化用流体が前記第２クリーンヘッドから
    前記計量ポンプに逆流するのを防止するため選択的に閉
    弁する逆止弁と、 を具備することを特徴とするクレーム１記載のシステ
    ム。
11. 【請求項１１】前記各クリーンヘッドが、前記清浄化用
    流体を担持し、前記基板の前記第１表面又は前記第２表
    面と接触して清浄化する紐状物を有することを特徴とす
    るクレーム１０記載のシステム。
12. 【請求項１２】前記紐状物は不織紐状物であることを特
    徴とするクレーム１０記載のシステム。