JP2003305955A - 光記録媒体及び記録方法 - Google Patents

光記録媒体及び記録方法

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JP2003305955A JP2002113269A JP2002113269A JP2003305955A JP 2003305955 A JP2003305955 A JP 2003305955A JP 2002113269 A JP2002113269 A JP 2002113269A JP 2002113269 A JP2002113269 A JP 2002113269A JP 2003305955 A JP2003305955 A JP 2003305955A
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肇 譲原
Mikiko Abe
美樹子 安部
Koji Deguchi
浩司 出口
Masato Harigai
眞人 針谷
Yuji Miura
裕司 三浦
Eiko Suzuki
栄子 鈴木
Hiroko Tashiro
浩子 田代
Miki Mizutani
未来 水谷
Yoshiyuki Kageyama
喜之 影山
Kazunori Ito
和典 伊藤
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Ricoh Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 記録線速度が3.5m/sから最大で約20
m/sという幅広い線速度、特にDVDの2倍速〜5倍
速(7.0〜17.5m/s)で高密度記録できる相変
化型光記録媒体、更には初期結晶化が容易で繰り返し特
性と保存特性に優れた相変化型光記録媒体、及びその記
録方法の提供。 【解決手段】 電磁波を照射することにより、結晶相と
非晶質相の可逆的相変化を起す相変化記録材料を記録層
の主成分とする光記録媒体において、該記録材料が、組
成式XαGeβMnγSbδTeε(式中、XはGa及
び/又はSn、α、β、γ、δ、εは原子%、α+β+
γ+δ+ε=100)で表わされ、各成分量が、0≦α
≦5、1≦β≦5、1≦γ≦10、65≦δ<80、1
5≦ε≦25、α≦γという要件を満足するものである
ことを特徴とする光記録媒体。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ビームを照射す
ることにより記録層材料に光学的な変化を生じさせて情
報の記録、再生を行ない、かつ書き換えが可能な相変化
型光記録媒体及びその記録方法に関する。
【0002】
【従来技術】レーザビーム照射による情報の記録、再
生、消去可能な光情報記録媒体の一つとして、結晶−非
結晶相間、又は、結晶−結晶相間の転移を利用する、い
わゆる相変化型光記録媒体が良く知られている。この記
録媒体は、単一ビームによるオーバーライトが可能であ
り、ドライブ側の光学系もより単純で済むため、コンピ
ュータ関連や映像・音響に関する記録媒体として応用さ
れている。その記録材料としては、GeTe、GeTe
Se、GeTeS、GeSeS、GeSeSb、GeA
sSe、InTe、SeTe、SeAs、Ge−Te−
(Sn、Au、Pd)、GeTeSeSb、GeTeS
b、Ag−In−Sb−Te等がある。特にAg−In
−Sb−Teは、高感度でアモルファス部分の輪郭が明
確な特徴を有し、マークエッジ記録用の記録層として開
発されている。例えば特開平3−231889号公報に
は、IをI族元素、IIIをIII族元素、VをV族元素、VI
をVI族元素として、I・(III1−γVγ)・VI型の一
般組成式で表わされる記録層が開示されている。しか
し、このような記録層では繰り返し記録特性に課題があ
る。また、特開平4−191089号公報に開示された
情報記録媒体に使用されている記録層による場合には、
消去比の向上及び高速記録は達成されるが、繰り返し記
録特性に課題がある。
【0003】また、特開平4−232779号公報に開
示された情報記録媒体に使用されている記録層の未記録
部分(結晶化部分)の構造は、安定相(AgSbT
)と該安定相の周囲に存在するアモルファス相とが
混在したものとなっている。このため、繰り返し記録特
性は向上するものの、結晶化部に微細な結晶粒界が存在
することになり、ノイズ発生の原因となる。これは、記
録再生波長が780nm程度のレーザ光を使用するCD
−RW(Compact Disk−Rewritab
le)等のように比較的低い記録密度を有する光記録媒
体の記録特性には重大な悪影響を与えないが、680n
m以下のレーザ光を使用し、記録密度がCD−RWの約
4倍であるDVD(Digtal Versatile
Disk)−RAMや更に高密度なDVD−RW等の
高密度記録を実現する上では障害となる。更に繰り返し
記録特性においても問題が残っている。また、特開平4
−267192号公報に使用されている記録層の結晶化
部分の構造は、一様なアモルファス相から相分離したA
gSbTeとその他の相(安定相又はアモルファス
相)との混相状態である。そして、その他の相がアモル
ファス相である場合には、前述した特開平4−2327
79号公報の情報記録媒体と同様な問題点があり、その
他の相が安定結晶相である場合には、良好な記録特性が
得られないという課題がある。
【0004】また、特開平1−277338号公報に
は、記録材料として(SbxTe1−x)My組成式の
ものが開示されている。ここで、Mは、Ag,Al,A
s,Al,Bi,Cu,Ga,Ge,In,Pb,P
t,Se,Si,Sn及びZnから選ばれる少なくとも
1種の元素で、組成範囲は0.4≦x<0.7、かつ、
y≦0.2である。この組成範囲の構造はSbTe
をベースとしたものである。ただ、この構造の記録層の
場合、yが0.7以上の領域で、繰り返し記録特性に問
題があった。また、特開平1−303643号公報で開
示された情報記録媒体では単一なγ相が得られ良好な繰
り返し特性が得られたとしているが、このγ相がどのよ
うな結晶構造をしているのかについては言及しておら
ず、今後の高線速高密度対応の記録媒体を実現する上で
問題を有する。また、特開2000−79761号公報
には、SbTe共晶組成近傍の記録層が開示されてい
る。ここで開示されている記録層は、Sb相とSb
相が相分離することを利用している。ここでは、S
bが0.5以上0.7以下となっており、高線速記録に
は対応していない。
【0005】更に、結晶、非晶質相の可逆的相変化を用
いた記録媒体は、書き換え可能な記録媒体(CD−RW
など)として世界的に普及している。そして、CD−R
Wにおいては、普及と共に高速記録化が進んでおり相変
化記録媒体も高速記録が必須となっている。高速記録、
即ち高い線速度で記録する場合、記録密度が高くなると
共に、レーザー光の発光パルスの基準クロックが短くな
る。そのため、マーク(非晶質相)を形成するために、
より低い線速度で記録する場合に比べて、1つの光パル
スの光照射(加熱)時間及び冷却に必要なより低いパワ
ーを照射(或いは、パワーを照射しない場合もある)す
る時間が共に短くなる。更に、LD(レーザーダイオー
ド)を用いた光記録においては、LDの立ち上がり時
間、立下がり時間が限られているために、一つの光パル
スにおいて、加熱と冷却をし、マークを形成することが
難しくなってくる。そのため、より高い記録パワーを照
射すれば、加熱は可能となるが、記録パワーの限界があ
る。また、加熱後、急冷するため、冷却時間をある程度
とる必要があるが長くできない。基準クロック内で、加
熱と冷却を制御し、所定の長さのマークをより高い線速
度で記録することが困難になってくる。
【0006】その一方で、相変化記録層の記録材料及び
媒体構成の最適化も必要である。高速記録で、繰り返し
記録特性を確保するためには結晶化速度をより速くし
て、消去比を高くするため、記録層材料及び各構成元素
の組成比の最適化を行う必要がある。しかし、あまり結
晶化速度を速くすると非晶質相が形成し難くなる。この
場合、媒体構成を急冷構造にすれば良いが、記録パワー
も必要になる。Ag−In−Sb−Te系、Sb−Te
共晶系は、あまりSb量を多くすることで結晶化速度は
速くできるが、非晶質相が形成し難い上に、マークの高
温環境下の保存性が悪くなる。また、媒体構成により急
冷構造とした場合、感度不足の問題がある。高速記録に
より、繰り返し記録特性を劣化させる原因に短時間で、
高温に加熱し、冷却を繰り返すため、記録層だけでな
く、記録層と反射層の間にある上部保護層の劣化、即ち
構成元素が記録膜中に拡散したり、保護層が熱衝撃によ
りクラックを発生することが挙げられる。高速化に伴
い、記録層材料、保護層材料、反射層材料の検討が必要
である。また、上記理由により、記録方法の検討も必要
である。
【0007】これまでに知られている高線速記録に対応
した記録層材料として、特開2000−313170号
公報に開示されたものがある。即ち、式〔(SbxTe
1−x)yGe1−y〕zM1−zにおいて、MがIn
及び/又はGaとしたものであって、CD線速の約7倍
の線速度であり、特にGeInSbTeの4元素からな
る記録材料が好ましいとしている。しかし、Inはあま
り多く入れると、線速度は速くなるが再生光パワーが高
くなると再生劣化を伴うこと、繰り返し特性が悪くなる
ため、あまりより高速にすることが不可能になる。一
方、記録方法において、高密度かつ高線速記録に伴うパ
ルスの立ち上がり、立ち下がり時間が加熱パルスの時間
程度になった場合の問題を解決する手段として、特開平
9−134525号公報がある。一つの光パルスの加
熱、冷却時間を基準クロックと同じかそれ以上とし、そ
の分所定のマーク長とするためにパルスの数を減じて、
記録感度の向上、変調度の向上を図るものである。これ
ら従来技術は、主として書き換え可能な(Rewrit
able)CD系に適用したものであり、より高密度、
高線速記録に適用しても、十分な特性が得られない。こ
の技術を高線速記録に適用した技術として、国際公開W
O0072316号公報があるが、これも十分とは言え
ず、より適用性が高くマージンの広い方法を見出す必要
がある。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、記録線速度
が3.5m/sから最大で約20m/sという幅広い線
速度、特にDVDの2倍速〜5倍速(7.0〜17.5
m/s)で高密度記録できる相変化型光記録媒体、更に
は初期結晶化が容易で繰り返し特性と保存特性に優れた
相変化型光記録媒体、及びその記録方法の提供を目的と
する。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記課題は、次の1)〜
27)の発明(以下、本発明1〜27という)によって
解決される。 1) 電磁波を照射することにより、結晶相と非晶質相
の可逆的相変化を起す相変化記録材料を記録層の主成分
とする光記録媒体において、該記録材料が、組成式Xα
GeβMnγSbδTeε(式中、XはGa及び/又は
Sn、α、β、γ、δ、εは原子%、α+β+γ+δ+
ε=100)で表され、各成分量が次の要件を満足する
ものであることを特徴とする光記録媒体。 0≦α≦5 1≦β≦5 1≦γ≦10 65≦δ<80 15≦ε≦25 α≦γ 2) 記録層の、昇温速度10℃/分における結晶化温
度が150〜220℃であることを特徴とする1)記載
の光記録媒体。 3) 基板上に少なくとも下部保護層、記録層、上部保
護層、反射層を有し、該反射層がAg又はAgを95%
以上含む合金からなることを特徴とする1)又は2)記
載の光記録媒体。 4) Ag合金が、AgxCuyNi100−x−y
(x、yは原子%、x≧95、0<y≦5、100−x
−y>0)であることを特徴とする3)記載の光記録媒
体。 5) 上部保護層がZnS、ZrO、Y及びS
iOの混合物からなることを特徴とする4)記載の光
記録媒体。 6) 上部保護層がイオウを含む場合において、上部保
護層と反射層の間に上部第2保護層を設けたことを特徴
とする3)〜5)の何れかに記載の光記録媒体。 7) 上部第2保護層がSi、SiC、又はこれらを主
成分とする材料からなることを特徴とする6)記載の光
記録媒体。 8) 上部第2保護層がZrOとYの混合物、
MgO及びTiOxを主成分とする材料からなることを
特徴とする6)記載の光記録媒体。 9) 上部第2保護層の膜厚が2〜10nmであること
を特徴とする6)〜8)の何れかに記載の光記録媒体。 10)電磁波を照射することにより、結晶相と非晶質相
の可逆的相変化を起す相変化記録材料を記録層の主成分
とする光記録媒体において、該記録材料が、組成式Ge
κGaλMnμSbνTeξ(κ、λ、μ、ν、ξは原
子%、κ+λ+μ+ν+ξ=100)で表され、各成分
量が次の要件を満足するものであることを特徴とする光
記録媒体。 1≦κ≦5 1≦λ≦5 1≦μ≦10 65≦ν≦81 13≦ξ≦24 11) 記録層の結晶相の構造が、統計的なNaCl型
構造、即ちNaサイトとClサイトに、記録層を構成す
るどの原子も入ることができる乱れを有することを特徴
とする10)記載の光記録媒体。 12) 記録層の結晶相の構造である統計的なNaCl
型構造が歪んでいることを特徴とする10)記載の光記
録媒体。 13) 記録層の、昇温速度10℃/分での結晶化温度
が150〜200℃であることを特徴とする9)〜1
2)の何れかに記載の光記録媒体。 14) 記録層の融点が530〜560℃であることを
特徴とする9)〜13)の何れかに記載の光記録媒体。
【0010】15) 電磁波を照射することにより、結
晶相と非晶質相の可逆的相変化を起す相変化記録材料を
記録層の主成分とする光記録媒体において、該記録材料
が、組成式AφDχSbψTeω(式中、Aは、Ge、
B及びCから選ばれた少なくとも1種の元素、DはTe
に対するイオン結合性の割合が5〜28%の範囲にある
元素、φ、χ、ψ、ωは原子%、φ+χ+ψ+ω=10
0)で表され、各成分量が次の要件を満足するものであ
ることを特徴とする光記録媒体。 2≦φ≦8 3≦χ≦10 60≦ψ≦80 15≦ω≦30 16) 前記D元素が、Al、Ga、Zn、Mn、T
a、Zr、Y、Mg、Ca、Br及びClから選ばれた
ものであることを特徴とする15)記載の光記録媒体。 17) 情報の消去を行う際の結晶化時間が100ナノ
秒以下であることを特徴とする15)又は16)記載の
光記録媒体。 18) 7〜17.5m/sの記録線速度で記録可能で
あることを特徴とする1)〜17)の何れかに記載の光
記録媒体。
【0011】19) 所定の長さの記録マークの時間の
長さがnT(nは2以上の整数、Tは基準クロック)で
あり、該マークを、先頭部の加熱パルスと冷却パルス、
中間部の加熱パルスと冷却パルス、及び、後端部の加熱
パルスと冷却パルスからなるマルチパルスの光を照射し
て記録する方法において、加熱パルス時間をOPi、冷
却パルス時間をFPi(iはパルス一個の加熱パルス部
と冷却パルス部を一組のパルス部とした場合のその数
m)とした場合に、先頭部の加熱、冷却パルス時間がO
P1、FP1、後端部の加熱、冷却パルス時間がOP
m、FPm、一個ないし複数個からなる中間部の加熱、
冷却パルス時間がOPj、FPj(j=2、……、m−
1)で表されるパルス列において、 (i)記録マーク長nが、n=2L(Lは2以上の整
数)の場合、 パルスの数m=L (ii)記録マーク長nが、n=2L+1(Lは1以上の
整数)の場合、 パルスの数m=L であり、各パルス部の長さOPi+FPi(i=1、…
…、m)が基準クロックTの2倍を基本とすることを特
徴とする光記録媒体の記録方法。 20) 先頭部の加熱パルスの開始位置及び/又は後端
部の冷却パルスの終了位置を、基準クロックに比例した
変化量で制御し、各マーク長毎にそれを制御することを
特徴とする19)記載の光記録媒体の記録方法。 21) 先頭部の加熱パルス時間、中間部の加熱パルス
時間、後端部の加熱パルス時間を、基準クロックに比例
した時間と一定時間の和で決まる時間で制御し、各マー
ク長毎にそれを制御することを特徴とする19)又は2
0)記載の光記録媒体の記録方法。 22) 後端部の冷却パルス時間が2.5ナノ秒以上で
あることを特徴とする19)〜21)の何れかに記載の
光記録媒体の記録方法。 23) 中間部の加熱パルス時間の開始位置が、記録マ
ーク長がn=2L+1(Lは1以上の整数)の場合にお
いて、n=2Lの場合より遅れて開始され、その遅れが
0.5Tを基本とすることを特徴とする19)〜22)
の何れかに記載の光記録媒体の記録方法。 24) 加熱パルス時間内に照射する記録パワーPw、
冷却パルス時間内に照射するボトムパワーPb、消去す
るための消去パワーPeが、Pw>Pe>Pbであり、
Pbが再生パワーPrに対し、Pb≦Prであり、記録
線速度に応じて、異なるボトムパワーPbを照射するこ
とを特徴とする19)〜23)の何れかに記載の光記録
媒体の記録方法。 25) 後端部の冷却パルスの後に補正パルス部を設
け、そのパワーPcが、Pe>Pc>Pbを満足し、か
つ補正パルス時間が、各記録マーク毎に異なることを特
徴とする19)〜24)の何れかに記載の光記録媒体の
記録方法。 26) 後端部の冷却パルスの後に補正パルス部を設
け、そのパワーPcが、Pc<Peを満足し、かつ補正
パルス時間が、各記録マーク毎に異なることを特徴とす
る19)〜24)の何れかに記載の光記録媒体の記録方
法。 27) 一定の線密度で、記録半径位置によらず一定の
記録線速度で、その速度における一定の基準クロックで
記録する方法、或いは内周から外周にかけて半径位置に
より連続的に線速度が変化し、それに伴い基準クロック
が連続的に変化する方法の何れかの記録方法において、
19)〜26)の何れかに記載の記録方法を適用するこ
とを特徴とする光記録媒体の記録方法。
【0012】以下、上記本発明について詳しく説明す
る。図1は、本発明の光記録媒体の基本的構成例を示す
もので、基板1上に、下部保護層2、記録層3、上部保
護層4、反射層5を有する。相変化記録層には、記録特
性が良いためSb70Te30付近の共晶組成を基本と
した、AgInSbTe系、及びAgInSbTeGe
系材料が用いられてきた。しかし、これらの材料の場
合、SbのTeに対する比率が大きくなるほど結晶化速
度が大きくなるし、Sb量が80原子%前後を越えてく
ると結晶化速度は大きくなるが、保存特性が悪くなり、
しかも記録マークを形成し難くなるなど、実用上の課題
が残されている。これに対し、本発明者らは、鋭意検討
の結果、次の第一〜第三発明に係る記録材料を用いるこ
とにより諸々の課題が解決できることを見出した。
【0013】まず、本願第一発明では、記録材料の主成
分として、組成式XαGeβMnγSbδTeε(式
中、XはGa及び/又はSn、α、β、γ、δ、εは原
子%、α+β+γ+δ+ε=100)で表わされる材料
を用いる。ここで、主成分とは記録材料全体の99重量
%以上を占めることを意味し、0≦α≦5、1≦β≦
5、1≦γ≦10、65≦δ<80、15≦ε≦25、
α≦γである。高線速記録に対応するため、Sb量δ
は、65≦δ<80とする必要がある。また、Te量ε
は、15≦ε≦25が良い。Geは、結晶化速度は遅い
が、記録したマークの高温環境下での保存性を向上させ
るのに必須の元素である。特にGe−Te間の結合エネ
ルギーが大きく、しかもGe添加量が増加する程、結晶
化温度が高くなるので保存性が良い。しかし、あまり多
く入れると、結晶化温度は更に高くなるものの、結晶化
速度が遅くなるので添加量には限度がある。従って、G
e量βは、1≦β≦5とする。
【0014】従来用いられているAgは、記録マークを
安定化させるが、結晶化温度を高くする作用はあまり期
待できない。また、入れ過ぎると、結晶化速度を下げて
しまうため、結局あまり多く入れることはできない。ま
た、Inは、結晶化速度を上げると共に結晶化温度を上
げるので、保存性は向上するが、偏析し易く、繰り返し
オーバーライト特性の劣化と再生光パワーに対する劣化
が起きる。従って、DVD2倍速以上の高線速記録に対
しては、AgInSbTeGe系、及びAgInSbT
e系材料を見直す必要があるため、本発明者らは、A
g、Inに代わる元素について検討した。Inと同様の
効果がある元素としてはGaがあり、Gaは同量のIn
に比べてより結晶化速度を速くするが、結晶化温度もよ
り高くなってしまうため、あまり多く入れることはでき
ない。Geが5原子%で且つGaが6原子%以上になる
と結晶化温度が200℃を遥かに超えて250℃以上に
もなる。そのため、記録層を非晶質状態から結晶化させ
るための初期化過程において、反射率が低くなると、ト
ラック一周の反射率分布が大きくなり、記録特性、デー
タエラーの原因になることから、初期化が難しくなる。
従って、GeGaSbTe、GeInSbTe系も十分
満足できる材料ではない。
【0015】そこで、結晶化速度は速くするが、結晶化
温度を必要以上に上げない元素として、希土類、アルカ
リ土類、遷移金属元素について幅広く検討した結果、M
n、Snが効果的であることが分った。特に、Mnは、
Inと同じく結晶化速度を上げることができ、かつ、多
く入れても、オーバーライト特性を劣化させず、保存特
性も良好である。結晶化温度も上げてしまうが、添加量
に対する結晶化温度の増加量は小さい。また再生光劣化
も小さい。Snは、Mnよりも結晶化速度を速くする
が、あまり多く入れると、オーバーライト特性が悪くな
る。以上の知見から、GeMnSbTe系材料を基本と
し、Ga及び/又はSnを添加して結晶化速度を調整す
ると良いことが分かった。
【0016】Ga及び/又はSnの添加量は、上述した
ように入れ過ぎると問題があるので5原子%以内(0≦
α≦5)とし、好ましくは1〜3原子%(1≦α≦3)
とする。Mnは、結晶化速度を上げることができ、か
つ、多く入れても、オーバーライト特性を劣化させず、
保存特性も良好である。添加量に対する結晶化温度の増
加量は小さく、記録前の初期化(非晶質相から結晶相に
相変化させるプロセス)が容易であり、保存特性及び繰
り返し再生光照射に対する劣化も小さい。その添加量
は、1原子%未満では効果が顕著でなく、10原子%を
越えるとMnが固溶せず析出するため、1〜10原子%
(1≦γ≦10)とし、好ましくは3〜7原子%(3≦
γ≦7)とする。Ga及び/又はSnの添加量は、Mn
より多いと、結晶化速度を速くするものの、結晶化温度
の上昇が大きくなり、初期化が容易でなくなるため、記
録位置により記録特性がばらついたり、特性そのものが
良好でなくなること、保存特性はMnの添加により満た
されることから、Mn量を越えない(α≦γ)方が良
い。
【0017】更に、初期化が容易でかつ良好な記録特性
を有する記録層を得るためには、昇温速度10℃/分に
おける結晶化温度が150〜220℃の範囲にあること
が好ましい。150℃未満では、高温環境下で記録マー
クが消失し易くなる。また、220℃を越えると、初期
化時に一様な結晶相が形成されず、記録特性が劣化した
り、結晶成長が十分でないため必要とする反射率が得ら
れない。なお、ここでいう昇温速度10℃/分における
結晶化温度とは、示差走査熱量分析測定法により測定す
る場合の昇温速度である。本願第一発明の記録層の膜厚
は10〜25nmの範囲が好ましく、薄すぎると変調度
や反射率が小さくなり、厚すぎると記録感度や繰り返し
記録特性が悪くなる。また、本願第一発明の光記録媒体
は、反射率が下がったり変調度が小さくなると、DVD
−ROMプレーヤーでのトラッキング安定性が悪くなる
ので、DVD−ROMとの互換性をとるために、記録層
の膜厚を薄くすることはできない。
【0018】次に、本願第二発明では、記録材料の主成
分として、SbTeに種々の元素を添加した多数の記録
材料について構造解析を行うことにより見出された、組
成式GeκGaλMnμSbνTeξ(κ、λ、μ、
ν、ξは原子%、κ+λ+μ+ν+ξ=100)で表さ
れる材料を用いる。ここで、主成分とは記録材料全体の
99重量%以上を占めることを意味し、1≦κ≦5、1
≦λ≦5、1≦μ≦10、65≦ν≦81、13≦ξ≦
24である。κ>5では結晶化速度が遅くなり高線速記
録が達成できず、κ<1では添加元素の効果が現れな
い。λ>5では相分離が起り易くなり、λ<1では添加
元素の効果が現れない。μ>10では相分離が起り易
く、μ<1では顕著な効果が得られない。μ<65では
結晶化速度が遅いために高線速記録が達成できず、μ>
81では相分離が起り易い。ξ<13では相分離が起こ
り易く、ξ>24では高線速記録が達成できない。故に
上記数値範囲とする必要がある。また、同一の元素から
なる記録材料でも、製膜時のターゲット作製方法、スパ
ッタ条件、初期結晶化条件などにより、その記録層の構
造が異なり、記録媒体の信号特性、保存特性が大きく異
なることが分った。そして記録特性の良好な記録媒体の
記録層を構造解析したところ、該記録層の結晶相の構造
が、統計的なNaCl型構造、即ちNaサイトとClサ
イトに、記録層を構成するどの原子も入ることができる
乱れを有し、結晶相の構造である統計的なNaCl型構
造が歪んでいることを特徴とすることが分った。
【0019】図3は面心立方のNaCl型構造であり、
小丸のNaと大丸のClが規則性を持って各々のサイト
に位置しているものが本来のNaCl型構造である。こ
れに対し、本願第二発明の記録材料はSbとTeが組成
的に主成分となっており、NaのサイトにSbが、Cl
のサイトにTeが位置した構造を有しているが、Sb量
がTe量より多いために、TeのサイトにSbが入る乱
れた即ち秩序性が失われた構造となっている。一方、S
b、Te以外の元素は、Teと結合し易いために、G
e、Ga又はMnと結合する形で、SbサイトやTeサ
イトに入る。その結果、Sb−Te結合、Sb−Sb結
合、Te−Te結合、Te−Ge結合、Te−Ga結
合、Te−Mn結合が生じ、X線等による局所構造の解
析からSb周囲の隣接原子結合距離は、Te周囲の隣接
原子結合距離より長くなるために、局所的に歪んだ構造
となる。この歪んだ統計的なNaCl型構造が何故に相
変化記録材料として良好な特性を示すのかは解析中であ
るが、Teサイトに空孔のある規則的なNaCl型構造
の場合は、記録によるガラス化の際に、その構造の短距
離秩序性の程度が、TeサイトがSbで埋められた統計
的なNaCl型構造がガラス化して得られる構造の短距
離秩序性よりも低下するため、ガラス状態、即ち記録状
態が不安定になるものと思われる。
【0020】また、Ge、Ga、MnがTeと確実に結
合していない場合、単一な統計的なNaCl構造を得る
ことができず、SbTeを主成分とする相とGe、Ga
又はMnを主成分とする相に相分離し易いため、繰り返
し特性及び保存特性が著しく悪くなる。本願第二発明で
は、Sb量を増やし、Ga、Mnを添加することで高線
速記録を実現することができる。Gaは結晶化速度を速
くするが同時に結晶化温度を上げる。保存特性を考慮す
ると結晶化温度が上がるのは好ましいことであるが、結
晶化温度が高すぎると初期結晶化が困難になってしま
う。そこで、検討の結果、Mnを添加すると、結晶化速
度は上がるが結晶化温度は殆んど上がらないことを見出
し、MnとGaを同時に添加することにより所望の結晶
化温度を得ることに成功した。GaよりもMnの方が結
晶化速度を速くする効果が少ないため、Mnのみの添加
で17m/s記録を達成することは難しい。
【0021】更に、昇温速度を10℃/分としたときの
結晶化温度が150℃未満では保存特性が悪くなり、結
晶化温度が200℃を越えると初期結晶化が困難にな
る。また、結晶化速度が速い場合、アモルファスを得る
ためには更に速い冷却速度が必要となるため、感度不足
になり易い。しかし、本発明では、融点が530〜56
0℃の記録材料に関しては他の特性を犠牲にすることな
く感度を向上させることができることが分った。融点が
530℃未満では、保存特性及び再生光安定性が劣化
し、融点が560℃を越えると感度が悪化する。また、
本願第二発明の記録層の膜厚は、10〜100nm、好
ましくは10〜30nmである。10nmより薄いと、
光吸収能が低下し記録層としての機能を失う。一方、1
00nmより厚いと、透過光が少なくなるため干渉効果
を期待できなくなる。
【0022】次に、本発第三発明では、記録材料の主成
分として、組成式AφDχSbψTeω(式中、Aは、
Ge、B及びCから選ばれた少なくとも1種の元素、D
はTeに対するイオン結合性の割合が5〜28%の範囲
にある元素、φ、χ、ψ、ωは原子%、φ+χ+ψ+ω
=100)で表される材料を用いる。ここで、主成分と
は記録材料全体の99重量%以上を占めることを意味
し、2≦φ≦8、3≦χ≦10、60≦ψ≦80、15
≦ω≦30である。これにより高線速高密度化に対応で
き、繰返し特性と保存特性に優れた光記録媒体を提供す
ることができる。上記組成式において、φ<2では保存
特性が低下し、φ>8では結晶化温度が上昇し、初期結
晶化が困難となる。また、χ<3では高速結晶化、即ち
オーバーライト時、100ナノ秒以下での結晶化が実現
できず、χ>10では極めて結晶化し易くなり、記録が
不可能となる。線速が10m/s以上でオーバーライト
を実現するには、100ナノ秒以下で結晶化することが
必要である。また、Sb量は、ψ<60では繰り返し特
性が低下し、ψ>80では同じく繰り返し特性が低下す
る。Te量は、ω>30では100ナノ秒以内での結晶
化が実現できず、ω<15では繰り返し特性が低下す
る。
【0023】SbとTeのみからなる記録材料は、その
組成が共晶組成であるSb70Te 30のときに優れた
繰り返し特性を有するが、結晶化温度が120℃前後の
ため、長期的にみると記録マークの結晶化が進んでマー
クが消失してしまい保存特性に問題を有する。この室温
近傍における保存特性を改良するために、Teに対する
共有結合力の大きな、Ge、B及びCから選ばれた少な
くとも1種の元素を添加する。その結果、結晶化温度が
上昇し、結晶化の活性化エネルギーが大きくなるため、
室温近傍の保存特性を向上させることができる。一方、
高密度記録の実現には高線速化が必須であり、高速での
オーバーライト、即ち高速消去(高速結晶化)が必要で
ある。この高速結晶化は融点近傍において進行するの
で、高速結晶化の実現には、融点近傍における記録材料
の粘性を低下させる元素を添加すると効果的である。そ
こで、Sb−Te記録材料に、Teに対するイオン結合
性が5〜28%の範囲にある元素(Al、Ga、Zn、
Mn、Ta、Zr、Y、Mg、Ca、Br、Cl)を添
加したところ、良好な結果を得ることができた。
【0024】この点についてもう少し詳しく説明する
と、Teに対する他の元素のイオン結合性Iは、次式で
計算されることが知られている。 I=1−exp[−1/4(XTe−Xn)] (式中、XTeはTeの電気陰性度、Xnは他の元素の
電気陰性度) そして、上記高速結晶化に効果のあった元素のTeに対
するイオン結合性の割合を計算すると、Al:8.6、
Ga:6.0、Zn:6.0、Mn:8.6、Ta:
8.6、Y:18.3、Mg:18.3、Ca:26.
1、Br:11.6、Cl:18.3(数値は%であ
る)であり、イオン結合性が5〜28%の範囲にある。
この範囲外のもの、例えば、イオン結合性が59.5%
のFを添加したときは極めて結晶化し易く、レーザによ
るアモルファス化(記録化)が不可能である。一方、イ
オン結合性が5%より小さい元素、例えば、Ag:1.
0%、Pt:0.25%、Ge:2.2%を添加したと
きは、結晶化速度を遅くすることが分った。従って、好
ましいD元素は、Al、Ga、Zn、Mn、Ta、Z
r、Y、Mg、Ca、Br、Clである。また、本発第
三発明の記録層の膜厚は、10〜100nm、好ましく
は、20〜35nmである。10nmより薄いと、光吸
収能が低下し、記録層としての機能を失い、100nm
より厚いと、透過光が少なくなるため、干渉効果が期待
できなくなる。
【0025】基板の材料は、通常、ガラス、セラミック
ス又は樹脂であり、成形性、コストの点で樹脂基板が好
適である。樹脂の例としては、ポリカーボネート樹脂、
アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリスチレン樹脂、シリ
コーン樹脂、フッ素樹脂、ABS樹脂、ウレタン樹脂等
が挙げられるが、加工性、光学特性等の点でポリカーボ
ネート樹脂が好ましい。また、基板の形状は、ディスク
状、カード状、シート状などの何れであってもよい。
【0026】保護層は、必ずしも記録層の両側に設ける
必要はないが、通常耐熱層としての機能も有しているの
で、基板1がポリカーボネート樹脂のように耐熱性の低
い材料からなる場合には、少なくとも耐熱性下部保護層
を設けることが望ましい。下部保護層、上部保護層材料
としては、SiOx、ZnO、SnO、Al
TiO、In、MgO、ZrO、Ta
等の金属酸化物;Si、AlN、TiN、BN、
ZrN等の窒化物;ZnS、TaS等の硫化物;Si
C、TaC、BC、WC、TiC、ZrC等の炭化物
が挙げられる。これらの材料は、単体で用いても混合物
として用いてもよい。中でも、ZnSとSiOの混合
物が、相変化型光記録媒体において一般的に用いられて
おり、その混合比は80:20(モル比)が良い。特に
下部保護層には、ZnS・SiO(モル比80:2
0)が好ましく用いられるが、これに限定されるもので
はない。下部保護層は、耐熱保護層及び光干渉層として
の機能も有するので、これらの機能を最大限に発揮させ
るため、膜厚を20〜300nm、好ましくは35〜2
00nmとする。20nm未満の場合は、耐環境保護機
能の低下、耐熱性低下、蓄熱効果の低下を生じ、繰り返
しオーバーライト特性の劣化も大きくなる。また300
nmよりも厚くなると、スパッタ法等による製膜過程に
おいて、膜温度の上昇により膜剥離やクラックを生じた
り、記録時の感度の低下をもたらすので好ましくない。
更に、本願第一発明の場合には、膜厚範囲を45〜25
0nm、好ましくは65〜200nmとする。上限、下
限の限定理由は上記と同様である。
【0027】上部保護層は、記録、消去時の熱制御に重
要な役割を果たす。記録層を融点付近まで加熱するに
は、上部保護層の熱伝導率が低い方が蓄熱し易く、記録
層の温度を短時間に上げることができる。しかし、蓄熱
は記録マークを形成する時だけでなく、マークを消去す
る場合にも、記録層を溶融させ結晶成長させるために必
要であり、この場合の上部保護層の蓄熱は、記録消去が
完了したのち速やかに放熱させる必要がある。そのため
に反射層が光を反射するだけでなく、放熱する役割を担
っている。上部保護層は、熱伝導率が低く、比熱が小さ
く、オーバーライトにより結晶化せず、加熱と急冷の多
数回の履歴によるクラックの発生、元素の拡散などのな
いものが良い。ZnS・SiO(モル比80:20)
はこれらの条件を満たしているが、線速度が高くなるほ
ど、より短時間に加熱、急冷を行う必要がありより適切
な材料の検討が必要になる。更に、感度を上げるために
も、より熱伝導率が低く、オーバーライト時の短時間で
の加熱と急冷の繰り返しに対する耐熱衝撃性、クラック
発生の抑制等を向上させる必要がある。
【0028】ZrOは屈折率がZnS・SiO(モ
ル比80:20)とほぼ同じかそれよりも大きく、2.
0以上である。しかし、薄膜にする場合は、ターゲット
材を使用しこれをスパッタリング法により作製する。Z
rOは、良く知れられているようにバルクの結晶を作
製する際に、安定化させるためYを燒結助剤とし
て使用する。その量は、2〜10モル%であり、好まし
くは3〜6モル%である。ZrO・Y(モル比
97:3)、ZrO・SiO(モル比95:5)、
ZnS・ZrO(モル比80:20)、ZrO・T
iO(モル比50:50)、ZnS・SiO(モル
比80:20)について、バルク状態の熱伝導率(室
温)を測定したところ、順に、5.1、3.48、1
2.1、1.73、8.4(W/mK)であった。屈折
率(n)は、ZrO・SiO(モル比95:5)以
外は、すべて2以上であった。中でもZnS・ZrO
(モル比80:20)は、2.3と最も高かった。減衰
定数(k)は、ZnS・SiO(モル比80:20)
が最も小さく、ほぼ0であり、ZrOを含む系はそれ
より大きい。光学定数の結果は、波長660nmの場合
の結果である。従って薄膜にした場合は、ZnS・Si
(モル比80:20)以外はあまり膜厚を厚くする
と光吸収が大きくなり、反射率を下げる原因となる。
【0029】一方、これら上部保護層を用いて媒体を作
製し、記録後に80℃、85%RHで記録マークの保存
性を調べたところ、ZrO・Y(モル比97:
3)の場合は、マークが消滅した。しかし、ZrO
の繰り返しオーバーライト特性は良く、1000回記録
後のジッタ劣化はZnS・SiO(モル比80:2
0)より少なかった。これら検討の結果により、ZnS
・SiOにZrO・Yを添加することによ
り、保存性、繰り返しオーバーライト特性、感度がZn
S・SiO(モル比80:20)より良いことを見出
した。好ましい配合割合は、SiO5〜50モル%、
ZrO5〜50モル%であり、例えば、ZnS:Zr
:Y:SiO=72:10:3:15(モ
ル%)の場合、屈折率2.1、熱伝導率5W/mK、減
衰係数は約10−5であった。繰り返しオーバーライト
特性もZnS・SiO(モル比80:20)よりも良
く、高温高湿環境下のデータの保存性も改善された。上
部保護層もスパッタ法等により形成する。上部保護層の
膜厚は5〜50nm、好ましくは8〜20nmである。
5nm未満では記録感度や耐熱性が低下し、50nmよ
り厚くなると、温度上昇による変形、放熱性の低下によ
り繰り返しオーバーライト特性が悪くなる。更に、本願
第二発明の場合には、膜厚を10〜50nmとする。上
限、下限の限定理由は上記と同様である。
【0030】反射層には、Al、Ag、Cu、Pd、C
r、Tiなどの金属材料を用いる。反射層は、通常放熱
層としての機能も有する。膜厚は、50〜300nm、
好ましくは70〜200nmとする。膜厚が厚くなり過
ぎると放熱性は向上するが、薄膜を作製する間に媒体の
温度上昇によって基板の変形が起きてしまう。DVDの
場合は、基板の厚さがCDの半分の0.6mmであるた
めに、変形がより大きくなり易い。反射層には、従来か
らAl又はAl合金を用いてきたが、DVDの2倍速で
は、熱伝導率がより高いAgを用いることにより、特性
が向上した。即ち、線速度が速くなると冷却速度が大き
くなるが、マーク形成する際に発光パルスの加熱パルス
時間を長くする必要があった。これは基準クロックが小
さくなるため加熱不足になることによる。パワーを大き
くしていけば良いがパワーには限界がある。一方、加熱
時間を長くすると、冷却時間が短くなってしまい冷却時
間の不足が起きるため、マークが形成し難くなる。これ
は、一つの加熱と冷却のパルス時間の和が基準クロック
であり、この制約の中で変えているためである。
【0031】この問題を解決するためには、冷却効率を
上げることができるAgを用いるのが良いが、上部保護
層がS(イオウ)を含み、反射層がAgの場合、高温高
湿下ではAgSが形成され易く、これが特性劣化、欠
陥発生の原因になり問題となる。そこで、図2に示すよ
うに、反射層と上部保護層の間に上部第2保護層4′を
設けることが必要になってくる。このような上部第2保
護層の材料として、酸化物、窒化物、炭化物、金属につ
いて鋭意検討した結果、Si、SiC、ZrO・Y
、MgO、TiOxが好ましいことが分った。中で
もSi、SiC、又はこれらを主成分とする材料は、A
gとの密着性が良く、特にSiが好ましい。なお、主成
分とは、材料全体の99重量%以上を占めることを意味
する。しかし、これらの材料は光吸収が大きく反射率を
低下させるため、膜厚をあまり厚くできない。一方、Z
rO・Y、MgO及びTiOxからなる酸化物
系は、Agとの熱膨張係数の差が小さいので、膜の応力
が原因で膜が剥がれることはなく、密着性も良く透明で
あるため、反射率を下げることもない。故に、上記酸化
物系又はこれを主成分とする材料は特に好適である。な
お、主成分とは、材料全体の99重量%以上を占めるこ
とを意味する。上部第2保護層の膜厚は、2〜10nm
とする。2nmよりも薄いとAgSの形成を抑え難く
なり保存特性が悪くなる。また、10nmを越えると、
反射層との距離が大きくなるため、放熱効率が下ってし
まう。
【0032】反射層をAgにすることにより、特性が向
上すると述べたが、Agそのものの腐食性や上部保護層
との密着性を考慮すると、Ag単体でも、薄膜作製時の
スパッタリング条件を最適化し、反射層の上に環境保護
層として用いるアクリル系紫外線硬化型樹脂の硬化条
件、厚さを最適化すれば、実用上問題はない。しかし、
最適条件で作製されていなかったり、DVDのように、
記録膜のない基板を貼り合わせる前の保管条件や、基板
自身の吸湿、紫外線硬化型樹脂の吸湿により、劣化する
懸念がある。そこで、Agを95原子%以上、残りをC
u及びNiを添加した合金、AgxCuyNi100−
x−y(x、yは原子%、x≧95、0<y≦5、10
0−x−y>0)を用いることにより、信頼性が向上す
る。CuとNiの割合は、NiよりもCuが多い方が良
い。Agに対するCu及びNiの添加量が5原子%を越
えると、熱伝導率が著しく減少するため好ましくなく、
特に2原子%以下が良い。
【0033】以上のような構成の相変化型記録媒体は、
記録波長が400〜780nmの範囲で記録再生が可能
である。DVDの場合、レーザー光波長650nm、対
物レンズの開口率を0.60〜0.65、入射光のビー
ム径を1μm以下とするため、基板の厚さを0.6mm
として収差を小さくしている。マークが書き込まれる溝
部と溝部のピッチは、0.74μm、溝深さは15〜4
5nm、溝幅は0.2〜0.3μmとする。溝は、約8
20kHzの周期を持つ蛇行状溝となっている。アドレ
ス部は、この位相を反転させ、この位相変化部分を検出
し、2値化信号に変換してアドレス(番号)を読み取
る。この蛇行部の振幅は、5〜20nmである。記録線
密度は、0.267μm/bitで、(8−16)変調
方法で記録する。最短マーク長は0.4μmになる。
【0034】DVDの2倍速は、線速度7m/s(6.
98m/s)であり、基準クロック周波数は52.3M
Hz(T:19.1ナノ秒)になる。5倍速の場合は、
線速度17.5m/s、基準クロック周波数は130.
8MHz(T:7.65ナノ秒)になる。同じ記録密度
では高線速度になるほど基準クロックが短くなるが、使
用している650nmの波長を発振するLDのパルスの
立ち上がり、立下がり時間が約2ナノ秒であるため、よ
り高線速度においては基準クロックがパルスの立ち上が
り、立下がり時間に近づいてくる。そのため、記録層を
加熱、冷却するための時間が短くなるだけでなく、パル
スの立ち上がり、立下がりに要する時間を考慮すると、
実効的な加熱、冷却時間はなお一層短くなってしまう。
その結果、記録マークを所定の長さにすることができな
いだけでなく、マークの面積が小さくなり、十分な信号
特性が得られない。その対策としては、例えば加熱時間
が短くなる分、記録パワーをより高くすれば良いが、パ
ワーにも限界がある。一方、冷却時間が短くなる分、媒
体での放熱効率を高くする必要がある点についても、結
局感度が悪くなるし、より高い熱伝導率の材料を求める
にしても容易には見つけられない。従って、更に記録特
性を向上させるには記録方法を新たに考える必要があ
る。
【0035】図4に、従来の記録方法で用いてきた発光
パルスのパルス波形を示す。記録パワーPwを照射して
加熱する加熱パルス時間部OPi(i=1〜m)と、消
去パワーPe及び再生パワーPrよりも低いパワー状態
の冷却パルス時間部FPi(i=1〜m)との和が、基
本的にTとなるように、加熱パルス時間と冷却パルス時
間を調整し最適条件とした。パルスの数は、図4には記
録マーク長が5Tの場合を示している。パルスの数m
は、各マーク長とも(n−1)個であるが、mは(n−
2)の場合もある。先頭部の加熱パルスの開始位置は、
所定のマーク長となるように、またマーク端部も非晶質
相が溝の境界まで記録できるように調整する。従って、
先頭部の加熱パルス時間と冷却パルス時間の和はTを越
えることがある。中間部及び後端部の加熱パルスの開始
位置は同じである。
【0036】線速度が17.5m/sの場合、基準クロ
ックが約7.5ナノ秒になってくると、1Tの長さのマ
ークを記録する場合、加熱と冷却をこの時間内で制御し
なければならないので、各々0.5Tとしても、4ナノ
秒以下となる。パルスの立ち上がりが1.5〜2ナノ秒
であるため、発光開始から発光終了までの時間内では十
分に記録層が加熱されないし、加熱されても溝の中心部
に限られてしまい、マークの面積が小さい細長いマーク
になってしまう。また、冷却パルス時間も同じことであ
り、十分な時間が取れないとマークが記録できなくな
り、所定の長さのマークが形成し難くなる。従って、従
来の方法でも、記録ができない訳ではないが、線速度が
20m/sより速くなると、記録できなくなるか、記録
できたとしても時間のマージンが殆んど無くなり、実用
に供することはできなくなってしまう。
【0037】このような問題があるため、高密度、高線
速記録において記録マークの形成が困難になることは明
らかであり、その解決方法として、特開平9−1345
25号公報には次のような手段が開示されている。即
ち、加熱パルスと冷却パルスの和を1Tより長くとり、
パルスの数を減らし、更に3Tマークを除いて、奇数
長、偶数長で、中間部及び後端部の加熱パルス時間及び
冷却パルス時間の幅をそれぞれ定義している。即ち、奇
数マークでは、3Tのパルスは1個であり、n=5、
7、9、……とマーク長が2T長くなる毎に加熱パルス
と冷却パルスが各々1Tでその和が2Tのパルスを1個
ずつ増加させる。また偶数マークでは、4Tマークがパ
ルス2個で、マーク長が2T長くなる毎に奇数マークの
場合と同様のパルスを1個ずつ増加させる。しかし、こ
の手段ではパルス時間が限定されており、CDより密度
の高いDVDの場合の高線速度における検討が十分でな
い。そこで、本発明では、より記録特性の優れた記録方
法について検討した。
【0038】図5に、DVDの5倍速の場合における、
本発明の記録波形を示す。この図は、3Tから14Tの
マーク長を記録するための、各マーク長毎の発光パルス
波形を示しており、横軸の数値は基準クロックTに掛か
る係数であり、その意味するところは、0T〜16Tの
時間を表している。図の3Tの場合は、パルスの数が1
個で、先頭部の加熱パルスと後端部の冷却パルスのみか
らなる。記録マーク長nTの内、n=2L(Lは2以上
の整数)の場合はパルスの数m=L、n=2L+1(L
は1以上の整数)の場合はパルスの数m=Lである。し
かし、パルスの数については、5Tが3個であっても良
い。また、4T、7Tマークの後端部の冷却パルス時間
は、2.7ナノ秒であり、2.5ナノ秒以上が好まし
い。これよりも短いと、冷却時間が短か過ぎて、マーク
の後端の長さ調整が効かなくなる。先頭パルスの開始位
置は、実際に記録される記録マークの先端(先頭)位置
を基準にした場合、基本的にそこから1T遅れることが
好ましい。しかし、マーク長及びマークの先端部をより
良く制御するために別の手段を採用してもよい。
【0039】また、先頭パルスの加熱時間OP1は、
0.5T<OP1<2.0Tの範囲が良く、先頭パルス
の冷却時間FP1は、0.5T<FP1<2.0Tが良
い。中間部の加熱パルス時間OPj、及び冷却パルス時
間FPjの範囲は、0.5T<OPj<1.5T、0.
5T<FPj<1.5Tが良い。後端部の加熱パルス時
間OPmは、0.4T<OPm<1.5Tが良いが、好
ましくは、0.5T≦OPm≦1.2Tである。後端部
の冷却パルス時間FPmは、0.32T以上か2.5ナ
ノ秒以上である。これらの条件の範囲内で、図6に示す
ような各パルスについて、基準クロックに比例する時間
と一定時間に比例する時間の和で制御するか、或いは基
準クロックに比例する時間のみで制御する。この方法
は、半径位置により線速度が変わるCLV方式にも対応
でき、また連続的に基準クロックが変化する場合におい
ても、各線速度で特性を損なうことなく記録できる。
【0040】先頭部の加熱パルス開始位置を1T遅れた
位置とし、この基準位置からの変化時間をdTtop、
先頭部の加熱パルス時間の幅をTtop、中間部の加熱
パルス開始位置を3T遅れた位置とし、そのパルス時間
の幅をTmpとする。また、6T以降のマーク長に対し
て、記録マーク長nが、n=2L+1(Lは3以上の整
数)の場合、その開始位置を、Δ1遅らせる。このΔ1
は、基本的に0.5Tとする。但し、n=2Lの場合、
Δ1は0Tとなるが、これに限らなくてもよい。後端部
の加熱パルス開始位置は、基準マーク長から1T手前と
する。所定の長さのマークを記録するために、この部分
を変化させても良い。これをΔ2とする。好ましくは、
−0.5T<Δ2<0.5Tである。後端部の加熱パル
ス時間の幅をTclとする。この時間は、0.5T<T
cl<1.5Tが好ましい。後端部の冷却パルス時間
は、基準マーク長の後端を基準に、dTclとする。好
ましい幅は、−1.0T<dTcl<1.0Tである。
【0041】このような記録方法において、加熱パルス
時間に照射するLDのパワーを記録パワーPw、冷却パ
ルス時間に照射するパワーをボトムパワーPbとし、こ
れらのパワーは、全てのパルスにおいて一定とする。し
かし、先頭部のみ他の部分のパルスよりも高くするなど
しても良い。低い線速度から高い線速度までの幅広い線
速度で記録する場合、ボトムパワーPbとして、消去パ
ワーPeよりも低く、更に再生パワーPrよりも低いパ
ワーを照射するが、線速度に応じて変えても良い。線速
度が速くなると、冷却速度も速くなるため、媒体によっ
ては記録マークの後端部で所定の長さよりも長くなるこ
とがある。特に、後端部の冷却パルス時間に照射するP
bの値を再生パワーPr以下(Pb≦Pr)の範囲で高
くすると有効である。
【0042】線速度が速くなっても記録マークを所定の
長さに記録することは、以上の方法により達成される。
しかし、初期化後、最初に記録する場合は問題ないが、
オーバーライトする場合には、高線速度ほど前のマーク
の消し残りが生じ易い。これは、線速度が速くなるほ
ど、後端部のPbからPeまでのパルスの立ち上がり時
間が短く(平均2ナノ秒)、Peが低いと消去させるの
に必要な温度に到達しないためである。低い温度で消す
には加熱状態を長く保たなければならないが、十分な時
間がとれない。また、Peを高くしてやれば良いが、あ
まり高くすると、消し残りはなくなるものの、記録した
マークが再結晶化され必要なマークも消してしまう。
【0043】そこで、図7に示すように、発光パルスの
最後端部に、Pbより高いがPeよりも低い補正パワー
Pc(Pe>Pc>Pb)を照射する。照射時間tcは
1T以下が好ましい。この方法により、より高線速度で
のマーク後端部の長さを制御でき、消去パワーを高くし
ても残りのマークを消去することができる。また、Pc
をPeより高くすると(Pe<Pc)、マークを記録し
た後、短い時間で加熱するのに有効であり、結晶化速度
が遅い記録層に対して有効である。この補正パワーの照
射時間も1T以下が良い。これよりも長いと、記録マー
クを必要以上に消してしまうか、後続のマークとの間が
狭い場合に記録マークの先端を消してしまうためであ
る。Pw≦22mW、Pe≦15mW、Pb≦Pr、P
r<1mWの条件で行った。
【0044】
【実施例】以下、実施例及び比較例により本発明を具体
的に説明するが、本発明はこれらの実施例により限定さ
れるものではない。
【0045】実施例1〜15 溝ピッチ0.74μm、溝幅0.25μm、溝深さ25
nm、厚さ0.6mmのポリカーボネート製基板を用
い、この上にスパッタリング法により各層を積層して記
録媒体を作製した。まず、ZnS:SiO=80:2
0(モル%)のターゲットを用いて、膜厚68nmの下
部保護層を作製した。次に、表1の実施例1〜15の実
施例の欄に示す組成に対応する合金ターゲットを用い
て、膜厚16nmの各相変化記録層を作製した。これら
の記録層の基本組成は、GeMnSbTe、GeGaM
nSbTe、GeSnMnSbTeの何れかである。次
に、下部保護層と同じZnS:SiO=80:20
(モル%)のターゲットを用いて、膜厚10nmの上部
保護層を作製した(実施例1〜12)。別に、ZnS:
ZrO:Y:SiO=62:20:3:15
の混合物ターゲットを用いて、膜厚10nmの上部保護
層を有する媒体を作製した(実施例13〜15)。次
に、表1に示す組成の膜厚4nmの第2上部保護層を作
製した。次に、表1に示すAg又はAgCuNi合金か
らなる膜厚140nmの反射層を作製した。次に、耐環
境性を向上させるために、大日本インキ製SD318、
紫外線硬化樹脂を塗布したのち硬化させて膜厚5ミクロ
ンの保護膜を作製した。最後に、積層膜の無いもう一枚
の同一ポリカーボネート製基板を、厚さ40μmの紫外
線硬化樹脂(アクリル製、日本化薬 DVD003)に
より貼合わせて記録媒体を得た。
【0046】その後、大口径LD(トラック方向1μm
×半径方向196μm)を用い、線速度3.5m/s、
パワー850mW、ヘッドの送り速度36μm/回転で
記録層を結晶化させた。記録再生は波長657nm、対
物レンズNA0.65のピックアップヘッドを用いて、
線速度17.5m/sで記録密度が0.267μm/b
itとなるように記録した。記録データの変調方式は
(8−16)変調、記録パワーは19mW、バイアスパ
ワーは0.1mW、消去パワーは6mWとして、記録し
た。記録方法は、図4に示す従来用いられてきたパルス
波形にて行った。各マーク長のパルスの数は、(n−
1)とした。図4の各時間は、OP1=4ナノ秒、FP
1=4.3秒、OPj、OPm=3.5ナノ秒、FPj
=4.1ナノ秒、OPm=4.5ナノ秒とした。Tは、
7.6ナノ秒とした。表1に、隣接する5トラックをD
OW(ダイレクトオーバーライト)1000回記録した
場合のデータ・トゥー・クロック(d原子原子o cl
ock)ジッタ値を示したが、1回記録のジッタ(σ/
T)は、7〜8%であった。また、10回記録した後、
80℃、85%RHで300時間、高温高湿環境下に放
置したときのジッタ上昇値(%)と、25℃、95%R
Hで6時間保持し、更に40℃、95%RHで6時間保
持するというサイクルを6回繰り返した後の欠陥率を調
べた。結果を表1に示したが、欠陥率の評価基準は、1
−5以下を「○」、それ以上か目視レベルで欠陥があ
る場合を「×」とした。
【0047】比較例1〜3 記録層をAgInSbTeに代え、反射層をAlTi
(比較例1、2)、又はAg(比較例3)に代え、第2
上部保護層を設けなかった点以外は、実施例1と同様に
して記録媒体を作製した。表1に、実施例1と同様の条
件で調べたデータ・トゥー・クロックジッタ値を示した
が、1回記録のジッタ(σ/T)は、比較例1、2が9
%、比較例3が8%であった。また、実施例1と同様の
条件で測定したジッタ上昇値(%)、及び同様の条件で
調べ、同様の基準で評価した欠陥率を表1に示したが、
比較例1、2では、実施例1〜15に比べてジッタが大
幅に上昇し、比較例3では欠陥率の評価が「×」であっ
た。
【0048】実施例16 実施例4の層構成の記録媒体に対し、図5に示す方法で
記録した。図6に示す各パラメータとしては、dTto
p=±0.1T×n′、Ttop=(T/12)×n′
+0.5×m′、Tmp=(T/12)×n′+0.5
×m′、Tlp=(T/12)×n′+0.5×m′、
dTcl=0.05T×n′とした。各パラメータの
n、mの値を表2に示す。図8には、本実施例に係るジ
ッタのDOW回数依存性を示した。この場合も、隣接す
る5トラックを連続して記録した。消去パワー、記録パ
ワーの比をPe/Pw=0.36とした。記録パワーは
18mWとした。DOW1000回後において、ジッタ
10.5%、変調度72%であった。ボトムパワーPb
は0.1mWとした。
【0049】比較例4 比較例1の記録媒体を、実施例16と同じ条件で記録し
たところ、変調度は実施例16より低い63%であり、
ジッタも実施例16に比べて2%高かった。図8に、本
比較例に係るジッタのDOW回数依存性を示した。
【0050】実施例17 ボトムパワーPbを再生パワーPrと同じ0.7mWと
した点以外は、実施例16と同様にして記録した。その
結果を図9に示したが、ジッタが記録回数によらず約1
%改善された。
【0051】実施例18 実施例16、実施例17と同じ記録媒体を用い、同じ条
件で記録した。次に、図7に示すような補正パルスを、
奇数長について、Pc=8mW、tc=0.7T、偶数
長において、Pc=8mW、tc=0.5Tとしたとこ
ろ、ジッタが記録回数によらず実施例17よりも1%改
善され、9%以下になった。
【0052】
【表1】
【0053】
【表2】
【0054】実施例19〜26、比較例5〜8 トラックピッチ0.74μm、溝深さ40nm、厚さ
0.6mm、直径120mmφのポリカーボネート基板
を高温で脱水処理した後、スパッタにより下部保護層、
記録層、上部保護層、上部第2保護層、反射層を順次製
膜した(図2)。下部保護層にはZnS−SiOター
ゲットを用い、膜厚70nmとした。記録層には、所定
組成比に合成した後に粉砕し燒結した合金ターゲットを
使用し、アルゴンガス圧3×10−3Torr,RFパ
ワー300mWでスパッタし、膜厚18nmとした。上
部保護層にはZnS−SiOターゲットを用い、膜厚
15nmとした。上部第2保護層には、SiCターゲッ
トを用い、膜厚4nmとした。反射層には、Ag合金タ
ーゲットを用い、厚さ140nmとした。更に、反射層
上にアクリル系紫外線硬化樹脂からなる有機保護膜をス
ピナーによって厚さ5〜10μm塗布し、紫外線硬化さ
せた。更にこの面に、直径12cm、厚さ0.6mmの
ポリカーボネートディスクを接着シートにより貼り合わ
せ、大口径レーザ照射により記録層を初期結晶化して光
記録媒体とした。この試料を用いて、電子線回折法によ
り記録層の構造解析を行なった。また、別途記録層単膜
の試料を作成し、X線回折法により記録層の構造解析を
行なった。光記録媒体の信号特性評価には、波長656
nm、NA0.65のピックアップを用いた。記録はパ
ルス変調法を用い、記録データはEFM+変調方式によ
り、記録密度0.267μm/bit、各記録層に応じ
た最適記録線速、最適記録パワーで記録した。記録スト
ラテジもジッタが最小となるように各々最適化して使用
した。再生は全てパワー0.7mW、線速3.5m/s
で行ない、GDWDWR FORFN ジッタ(ここで
は、σを検出窓幅Twで規格化した値をジッタと呼ぶ)
を測定した。
【0055】表3に実施例19〜26、比較例5〜8で
使用した記録層組成、表4に記録層の結晶構造、記録可
能最高線速、繰り返し記録回数、結晶化温度、アーカイ
バル上昇率、初期結晶化、融点を示した。記録層の結晶
構造は、X線回折法、電子線回折法より構造解析した。
“歪んだNaCl型構造”とは、NaサイトとClサイ
トに記録層を構成するどの原子も入ることのできる乱れ
があり、NaCl型構造が歪んでいる構造のことを指
す。記録可能最高線速とは、記録ストラテジ、記録パワ
ーを実施例毎に最適化して記録した場合のジッタが10
%以下で記録可能な最高線速である。何れの場合も、記
録ストラテジを変えることにより、記録可能最高線速以
下の線速においても良好な記録は可能である。繰り返し
記録回数は、オーバーライト後のジッタが12%以下で
ある繰り返し記録回数とした。アーカイバルは、80℃
300時間保存後のσの初期値に対する増加率を示し
た。初期結晶化とは、初期化結晶化後の反射率が面内で
均一になっている場合を○とし、反射率に分布がある場
合を困難とした。また、示差走査熱量測定器により昇温
速度を10℃/分のときの結晶化温度を測定した。融点
は、示差熱熱重量同時測定器により測定した。
【0056】実施例19〜26では、記録最高線速が1
7m/s、融点530〜560℃、結晶化温度150〜
200℃になるように記録層組成を設計し、単膜及び媒
体を作製した。記録層の物性を評価した結果、実施例1
9〜26では記録層の構造は全て局所的に歪んだ結晶構
造となっており、結晶化温度及び融点は所望の値となっ
ていることが確認された。媒体特性を評価した結果、初
期結晶化後の反射率は面内で均一になっており、記録可
能最高線速17m/s以上、繰り返し記録回数は500
0回以上、アーカイバル上昇率は1.5%内に抑えられ
た。
【0057】図10に実施例19のX線回折スペクトル
を示す。このスペクトルはNaCl型の結晶構造におい
て指数付けすることができる。電子線回折ではNaCl
型結晶格子の歪みを示す回折スポットが現れた。試料の
状態によっては収束電子線回折又はナノビーム回折法を
用いた方が観察し易い。前にも述べたように、Naサイ
トとClサイトに記録層を構成するどの原子も入ること
のできる乱れがあることにより、Sb−Te結合、Sb
−Sb結合、Te−Te結合、Te−Ga結合、Te−
Ge結合、Te−Mn結合が生じ、隣接結合距離が違っ
てくるために、局所的に歪んだ構造となると思われる。
実施例20〜26でも同様な結果が得られた。
【0058】比較例5では、本発明の記録層組成より
も、Teを8原子%と少なくし、同様の評価を行なっ
た。図11にX線回折スペクトルを示す。ここでは、通
常のNaCl型結晶構造からのピーク以外に、Sbのピ
ークが現れた。この媒体の特性を評価したところ、繰り
返し記録回数が400回と少なかった。Sbに対しTe
量が非常に少ないため、Sbが析出していると思われ
る。比較例6では、Mnを0原子%とし、Ge、Ga、
Sb、Teのみの記録層を用いた。記録可能線速を17
m/sに設計するために、Gaを本発明よりも多く9原
子%添加したところ、X線回折ではGaTeのピー
クが現れた。また、この媒体の初期結晶化を行なったと
ころ、初期結晶化後の反射率が面内で均一になっていな
かった。これは、結晶化温度が240℃と高かったた
め、初期結晶化が困難であったと思われる。比較例7で
は、Geを本発明よりも多い10原子%とした。その結
果、保存特性は良いものの、Geは結晶化速度を遅くす
る効果があるため、記録可能線速17m/sは達成でき
なかった。また、Ga、Mnの添加量を多くすることに
より17m/sを達成した場合は、記録層の構造が混相
となり、繰り返し特性が悪くなった。比較例8では、G
eを0原子%とした。この場合、繰り返し特性、保存特
性が著しく悪くなった。
【0059】
【表3】
【0060】
【表4】
【0061】実施例27〜38、比較例9〜12 トラックピッチ0.7μm、溝深さ40nm、厚さ0.
6mm、直径120mmφのポリカーボネート基板上
に、表5に示す構造の記録媒体を作製するため、下部保
護層、記録層、上部保護層、反射層をスパッタ法により
順次設けた。更に反射層の上には、スピンコート法によ
り環境保護層を設けた。次に、得られた記録媒体を初期
結晶化した後、記録線速、記録パワーを11m/s(1
3mW)、13m/s(15mW)、15m/s(17
mW)として記録を行った。このときの記録レーザの波
長は635nmとし、EFMランダムパターンでオーバ
ーライトの繰り返しを行い、3T信号のジッタ値で記録
信号の評価をした。また、保存特性は、初期に記録した
記録媒体を80℃、85%温湿下で300時間保持した
後の初期記録(オーバーライト1回目)の3T信号のジ
ッタ値で評価した。結果を表6、表7に示す。
【0062】
【表5】
【0063】
【表6】
【0064】
【表7】
【0065】表6、表7から明らかなように、本願第三
発明の記録媒体において、その記録層が、Teと、Sb
と、B、C及びGeから選ばれた少なくとも1種の元素
と、これらの元素以外の元素であって、Teに対するイ
オン結合性の割合が5〜28%内にある元素のうち、A
l、Ga、Zn、Mn、Ta、Zr、Y、Mg、Ca、
Br及びClから選ばれた少なくとも1種の元素からな
る場合、高線速におけるオーバーライト特性と保存特性
が極めて良好であることが分かる。
【0066】即ち、発明の構成の材料を決められた範囲
内で使用する限り、高線速下での記録と消去が可能とな
り、長期に亘り安定した記録媒体を提供することができ
る。具体的には、比較例9のSb79Te21は極めて
保存特性が悪く、また、15m/sの高線速下ではオー
バーライトができない。これにGeを添加して保存特性
を改良したものが比較例11であるが、15m/sの高
線速下では記録ができない。このため、Znを添加して
高線速化したのが比較例12であるが、保存特性は極め
て悪い。また、比較例10のAgInSb74Te
17は、繰り返し特性が悪い。これに対し、本願第三発
明の記録材料を用いることにより、これら比較例の欠点
を解消することができる。
【0067】
【発明の効果】本発明1〜18によれば、低い線速から
高い線速まで広い線速領域で高密度記録が可能であり、
オーバーライト特性、保存特性、或いは記録感度が改善
され、更には初期結晶化が容易に行なえる、信頼性の高
い記録媒体を提供できる。また、本発明19〜26によ
れば、高密度・高線速記録に適した記録方法を提供でき
る。また、本発明27によれば、本発明19〜26をC
AV方式又はCLV方式に適用した記録方法を提供でき
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光記録媒体の基本的構成例を示す断面
図。
【図2】本発明の光記録媒体の別の構成例を示す断面
図。
【図3】本発明における歪んだ統計的NaCl型構造を
示す図。
【図4】従来の記録方法で用いてきた発光パルスのパル
ス波形を示す図。
【図5】DVDの5倍速の場合における、本発明の記録
波形を示す図。
【図6】本発明に係る各パルスの説明図。
【図7】発光パルスの最後端部に補正パワーPcを照射
する状態を説明する図。
【図8】ジッタのDOW回数依存性を示す図。
【図9】実施例17のジッタの結果を示す図。
【図10】実施例19のX線回折スペクトルを示した
図。
【図11】比較例5のX線回析スペクトルを示した図。
【符号の説明】
1 基板 2 下部保護層 3 記録層 4 上部保護層 4′ 上部第2保護層 5 反射層 T 基準クロック 1T〜14T 記録マーク長 0〜16 基準クロックTにかかる係数 Pw 記録パワー Pe 消去パワー Pb 冷却パルス時間内に照射するボトムパワー Pc 補正パルスパワー OPi 加熱パルス時間 FPi 冷却パルス時間 OP1 先頭部の加熱パルス時間 FP1 先頭部の冷却パルス時間 OPj 中間部の加熱パルス時間 FPj 中間部の冷却パルス時間 OPm 後端部の加熱パルス時間 FPm 後端部の冷却パルス時間 Ttop 先頭部の加熱パルス時間の幅 dTtop 先頭部の加熱パルス開始基準位置からの変
化時間 Tmp 中間部の加熱パルス時間の幅 Tlp 後端部の加熱パルス時間の幅(=FPm) Tcl 後端部の冷却パルス時間の幅 dTcl 後端部の冷却パルス時間 Δ1 記録マーク長nが、n=2L+1(Lは3以上の
整数)の場合に遅らせる開始位置の幅 Δ2 後端部の加熱パルス開始位置の変化させる幅 tc 照射時間
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G11B 7/24 511 G11B 7/24 522A 522 534J 534 534K 534N 535G 535 535H 538E 538 B41M 5/26 X (72)発明者 出口 浩司 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 (72)発明者 針谷 眞人 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 (72)発明者 三浦 裕司 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 (72)発明者 鈴木 栄子 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 (72)発明者 田代 浩子 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 (72)発明者 水谷 未来 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 (72)発明者 影山 喜之 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 (72)発明者 伊藤 和典 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 Fターム(参考) 2H111 EA05 EA23 EA31 EA32 FA01 FA12 FA14 FA23 FA25 FA27 FA28 FB03 FB05 FB06 FB09 FB12 FB18 FB19 FB20 FB21 FB28 FB29 FB30 5D029 JA01 JB18 JC09 JC11 LA13 LA14 LA17 LB07 LB11 MA13 5D090 AA01 BB05 CC02 CC14 CC16 DD01 EE01 EE05 FF11 FF21 KK04 KK05 5D119 AA22 AA23 AA24 AA26 AA31 BA01 BB04 DA02 EC20 HA25 HA27 HA47 HA52 HA60 5D789 AA22 AA23 AA24 AA26 AA31 BA01 BB04 DA02 EC20 HA25 HA27 HA47 HA52 HA60

Claims (27)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電磁波を照射することにより、結晶相と
    非晶質相の可逆的相変化を起す相変化記録材料を記録層
    の主成分とする光記録媒体において、該記録材料が、組
    成式XαGeβMnγSbδTeε(式中、XはGa及
    び/又はSn、α、β、γ、δ、εは原子%、α+β+
    γ+δ+ε=100)で表され、各成分量が次の要件を
    満足するものであることを特徴とする光記録媒体。 0≦α≦5 1≦β≦5 1≦γ≦10 65≦δ<80 15≦ε≦25 α≦γ
  2. 【請求項2】 記録層の、昇温速度10℃/分における
    結晶化温度が150〜220℃であることを特徴とする
    請求項1記載の光記録媒体。
  3. 【請求項3】 基板上に少なくとも下部保護層、記録
    層、上部保護層、反射層を有し、該反射層がAg又はA
    gを95%以上含む合金からなることを特徴とする請求
    項1又は2記載の光記録媒体。
  4. 【請求項4】 Ag合金が、AgxCuyNi100−
    x−y(x、yは原子%、x≧95、0<y≦5、10
    0−x−y>0)であることを特徴とする請求項3記載
    の光記録媒体。
  5. 【請求項5】 上部保護層がZnS、ZrO、Y
    及びSiOの混合物からなることを特徴とする請求
    項4記載の光記録媒体。
  6. 【請求項6】 上部保護層がイオウを含む場合におい
    て、上部保護層と反射層の間に上部第2保護層を設けた
    ことを特徴とする請求項3〜5の何れかに記載の光記録
    媒体。
  7. 【請求項7】 上部第2保護層がSi、SiC、又はこ
    れらを主成分とする材料からなることを特徴とする請求
    項6記載の光記録媒体。
  8. 【請求項8】 上部第2保護層がZrOとY
    混合物、MgO及びTiOxを主成分とする材料からな
    ることを特徴とする請求項6記載の光記録媒体。
  9. 【請求項9】 上部第2保護層の膜厚が2〜10nmで
    あることを特徴とする請求項6〜8の何れかに記載の光
    記録媒体。
  10. 【請求項10】 電磁波を照射することにより、結晶相
    と非晶質相の可逆的相変化を起す相変化記録材料を記録
    層の主成分とする光記録媒体において、該記録材料が、
    組成式GeκGaλMnμSbνTeξ(κ、λ、μ、
    ν、ξは原子%、κ+λ+μ+ν+ξ=100)で表さ
    れ、各成分量が次の要件を満足するものであることを特
    徴とする光記録媒体。 1≦κ≦5 1≦λ≦5 1≦μ≦10 65≦ν≦81 13≦ξ≦24
  11. 【請求項11】 記録層の結晶相の構造が、統計的なN
    aCl型構造、即ちNaサイトとClサイトに、記録層
    を構成するどの原子も入ることができる乱れを有するこ
    とを特徴とする請求項10記載の光記録媒体。
  12. 【請求項12】 記録層の結晶相の構造である統計的な
    NaCl型構造が歪んでいることを特徴とする請求項1
    0記載の光記録媒体。
  13. 【請求項13】 記録層の、昇温速度10℃/分での結
    晶化温度が150〜200℃であることを特徴とする請
    求項9〜12の何れかに記載の光記録媒体。
  14. 【請求項14】 記録層の融点が530〜560℃であ
    ることを特徴とする請求項9〜13の何れかに記載の光
    記録媒体。
  15. 【請求項15】 電磁波を照射することにより、結晶相
    と非晶質相の可逆的相変化を起す相変化記録材料を記録
    層の主成分とする光記録媒体において、該記録材料が、
    組成式AφDχSbψTeω(式中、Aは、Ge、B及
    びCから選ばれた少なくとも1種の元素、DはTeに対
    するイオン結合性の割合が5〜28%の範囲にある元
    素、φ、χ、ψ、ωは原子%、φ+χ+ψ+ω=10
    0)で表され、各成分量が次の要件を満足するものであ
    ることを特徴とする光記録媒体。 2≦φ≦8 3≦χ≦10 60≦ψ≦80 15≦ω≦30
  16. 【請求項16】 前記D元素が、Al、Ga、Zn、M
    n、Ta、Zr、Y、Mg、Ca、Br及びClから選
    ばれたものであることを特徴とする請求項15記載の光
    記録媒体。
  17. 【請求項17】 情報の消去を行う際の結晶化時間が1
    00ナノ秒以下であることを特徴とする請求項15又は
    16記載の光記録媒体。
  18. 【請求項18】 7〜17.5m/sの記録線速度で記
    録可能であることを特徴とする請求項1〜17の何れか
    に記載の光記録媒体。
  19. 【請求項19】 所定の長さの記録マークの時間の長さ
    がnT(nは2以上の整数、Tは基準クロック)であ
    り、該マークを、先頭部の加熱パルスと冷却パルス、中
    間部の加熱パルスと冷却パルス、及び、後端部の加熱パ
    ルスと冷却パルスからなるマルチパルスの光を照射して
    記録する方法において、加熱パルス時間をOPi、冷却
    パルス時間をFPi(iはパルス一個の加熱パルス部と
    冷却パルス部を一組のパルス部とした場合のその数m)
    とした場合に、先頭部の加熱、冷却パルス時間がOP
    1、FP1、後端部の加熱、冷却パルス時間がOPm、
    FPm、一個ないし複数個からなる中間部の加熱、冷却
    パルス時間がOPj、FPj(j=2、……、m−1)
    で表されるパルス列において、 (i)記録マーク長nが、n=2L(Lは2以上の整
    数)の場合、 パルスの数m=L (ii)記録マーク長nが、n=2L+1(Lは1以上の
    整数)の場合、 パルスの数m=L であり、各パルス部の長さOPi+FPi(i=1、…
    …、m)が基準クロックTの2倍を基本とすることを特
    徴とする光記録媒体の記録方法。
  20. 【請求項20】 先頭部の加熱パルスの開始位置及び/
    又は後端部の冷却パルスの終了位置を、基準クロックに
    比例した変化量で制御し、各マーク長毎にそれを制御す
    ることを特徴とする請求項19記載の光記録媒体の記録
    方法。
  21. 【請求項21】 先頭部の加熱パルス時間、中間部の加
    熱パルス時間、後端部の加熱パルス時間を、基準クロッ
    クに比例した時間と一定時間の和で決まる時間で制御
    し、各マーク長毎にそれを制御することを特徴とする請
    求項19又は20記載の光記録媒体の記録方法。
  22. 【請求項22】 後端部の冷却パルス時間が2.5ナノ
    秒以上であることを特徴とする請求項19〜21の何れ
    かに記載の光記録媒体の記録方法。
  23. 【請求項23】 中間部の加熱パルス時間の開始位置
    が、記録マーク長がn=2L+1(Lは1以上の整数)
    の場合において、n=2Lの場合より遅れて開始され、
    その遅れが0.5Tを基本とすることを特徴とする請求
    項19〜22の何れかに記載の光記録媒体の記録方法。
  24. 【請求項24】 加熱パルス時間内に照射する記録パワ
    ーPw、冷却パルス時間内に照射するボトムパワーP
    b、消去するための消去パワーPeが、Pw>Pe>P
    bであり、Pbが再生パワーPrに対し、Pb≦Prで
    あり、記録線速度に応じて、異なるボトムパワーPbを
    照射することを特徴とする請求項19〜23の何れかに
    記載の光記録媒体の記録方法。
  25. 【請求項25】 後端部の冷却パルスの後に補正パルス
    部を設け、そのパワーPcが、Pe>Pc>Pbを満足
    し、かつ補正パルス時間が、各記録マーク毎に異なるこ
    とを特徴とする請求項19〜24の何れかに記載の光記
    録媒体の記録方法。
  26. 【請求項26】 後端部の冷却パルスの後に補正パルス
    部を設け、そのパワーPcが、Pc<Peを満足し、か
    つ補正パルス時間が、各記録マーク毎に異なることを特
    徴とする請求項19〜24の何れかに記載の光記録媒体
    の記録方法。
  27. 【請求項27】 一定の線密度で、記録半径位置によら
    ず一定の記録線速度で、その速度における一定の基準ク
    ロックで記録する方法、或いは内周から外周にかけて半
    径位置により連続的に線速度が変化し、それに伴い基準
    クロックが連続的に変化する方法の何れかの記録方法に
    おいて、請求項19〜26の何れかに記載の記録方法を
    適用することを特徴とする光記録媒体の記録方法。
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