JP6752661B2 - 処理装置、検査システムおよび処理プログラム - Google Patents
処理装置、検査システムおよび処理プログラム Download PDFInfo
- Publication number
- JP6752661B2 JP6752661B2 JP2016172846A JP2016172846A JP6752661B2 JP 6752661 B2 JP6752661 B2 JP 6752661B2 JP 2016172846 A JP2016172846 A JP 2016172846A JP 2016172846 A JP2016172846 A JP 2016172846A JP 6752661 B2 JP6752661 B2 JP 6752661B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- value
- inspection
- measured
- processing
- change
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Description
2 検査装置
3 処理装置
23 処理部
101 電子部品
Pd 処理プログラム
Rm 測定値
Rf 適正値
Rp 規定値
Rr 基準値
Claims (4)
- 検査対象について測定された被測定量の測定値と当該被測定量の基準値とに基づいて当該検査対象の良否を検査する際に用いる当該基準値として予め規定された規定値を適正値に変更する変更処理を実行する処理部を備え、
前記処理部は、前記変更処理において、複数の前記検査対象について測定された各前記測定値を統計処理して算出した値を前記適正値とする処理装置であって、
前記処理部は、前記変更処理において、前記規定値と前記適正値との差分値が予め決められた閾値以上のときに当該規定値を当該適正値に変更する処理装置。 - 検査対象について測定した被測定量の測定値と当該被測定量の基準値とに基づいて当該検査対象の良否を検査する検査処理を実行する検査装置と、前記良否の検査において用いる前記基準値として予め規定された規定値を適正値に変更する変更処理を実行する処理部を有する処理装置とを備え、
前記検査装置は、複数の前記検査対象についての前記検査処理において測定した当該各検査対象の各前記測定値を前記処理装置に出力し、
前記処理部は、前記変更処理において、前記検査装置から出力された前記各測定値を統計処理して算出した値を前記適正値とする検査システムであって、
前記処理部は、前記変更処理において、前記規定値と前記適正値との差分値が予め決められた閾値以上のときに当該規定値を当該適正値に変更する検査システム。 - 検査対象について測定した被測定量の測定値と当該被測定量の基準値とに基づいて当該検査対象の良否を検査する検査処理を実行する検査装置と、前記良否の検査において用いる前記基準値として予め規定された規定値を適正値に変更する変更処理を実行する処理部を有する処理装置とを備え、
前記検査装置は、複数の前記検査対象についての前記検査処理において測定した当該各検査対象の各前記測定値を前記処理装置に出力し、
前記処理部は、前記変更処理において、前記検査装置から出力された前記各測定値を統計処理して算出した値を前記適正値とする検査システムであって、
前記検査装置は、前記変更処理の前に実行した前記検査処理についての検査済みの前記検査対象についての前記検査処理を前記適正値を用いて再実行する検査システム。 - 検査対象について測定された被測定量の測定値と当該被測定量の基準値とに基づいて当該検査対象の良否を検査する際に用いる当該基準値として予め規定された規定値を適正値に変更する変更処理を処理部に実行させる処理プログラムであって、
前記規定値と前記適正値との差分値が予め決められた閾値以上のときに、複数の前記検査対象について測定された各前記測定値を統計処理して算出した値を前記適正値とする処理を前記変更処理において前記処理部に実行させる処理プログラム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016172846A JP6752661B2 (ja) | 2016-09-05 | 2016-09-05 | 処理装置、検査システムおよび処理プログラム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016172846A JP6752661B2 (ja) | 2016-09-05 | 2016-09-05 | 処理装置、検査システムおよび処理プログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018040579A JP2018040579A (ja) | 2018-03-15 |
JP6752661B2 true JP6752661B2 (ja) | 2020-09-09 |
Family
ID=61625637
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016172846A Active JP6752661B2 (ja) | 2016-09-05 | 2016-09-05 | 処理装置、検査システムおよび処理プログラム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6752661B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7470184B2 (ja) * | 2020-04-24 | 2024-04-17 | 株式会社Fuji | 回路形成方法、および回路形成装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003294820A (ja) * | 2002-03-29 | 2003-10-15 | Agilent Technologies Japan Ltd | 測定装置、測定装置の校正方法および記録媒体 |
JP2009527903A (ja) * | 2006-02-17 | 2009-07-30 | テスト アドバンテージ, インコーポレイテッド | データ解析のための方法および装置 |
JP5191805B2 (ja) * | 2008-05-30 | 2013-05-08 | 日置電機株式会社 | 検査装置および検査方法 |
JP2012173182A (ja) * | 2011-02-23 | 2012-09-10 | Hioki Ee Corp | 検査装置および検査方法 |
-
2016
- 2016-09-05 JP JP2016172846A patent/JP6752661B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018040579A (ja) | 2018-03-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7096140B2 (en) | Test system, test method and test program for an integrated circuit by IDDQ testing | |
KR101681288B1 (ko) | 전력기기의 오차보정방법 | |
KR930007485B1 (ko) | 전자부품의 검사장치 | |
JP2007003528A5 (ja) | ||
TW200715160A (en) | Metrology tool error log analysis methodology and system | |
CN115810554A (zh) | 检测异常的方法 | |
JP6752661B2 (ja) | 処理装置、検査システムおよび処理プログラム | |
JP2012173182A (ja) | 検査装置および検査方法 | |
EP3330820A1 (en) | Calculation method for compressed air-flow rate, calculation device thereof, and storage medium | |
CN106814479B (zh) | 一种面板缺陷位置的偏移补偿方法、装置及*** | |
US11121553B2 (en) | Power system stability analysis device, stabilization apparatus, and method | |
US8195411B2 (en) | IDDQ test apparatus and test method | |
CN115544441B (zh) | 一种高温工作寿命测试中回测时间点的确定方法及装置 | |
EP3042213A1 (en) | Automated test and measurement system with magnetic field detection | |
WO2020009108A1 (ja) | 検査方法、検査システム及びプログラム | |
JP2019086460A (ja) | 処理装置、検査装置および処理方法 | |
TWI484142B (zh) | A multi-sensing element correction system, a correction method and a recording medium | |
KR20150017160A (ko) | 두께 측정 장치 및 두께 측정 방법 | |
CN103576058A (zh) | 印刷线路板的绝缘检查装置及绝缘检查方法 | |
TWI516786B (zh) | Detection and debugging of the system | |
CN109994393B (zh) | 测量点补偿值的计算方法、装置及设备 | |
JP2017187439A (ja) | 処理装置、検査装置および処理方法 | |
JP5018474B2 (ja) | 半導体デバイス試験装置及び半導体デバイス試験方法 | |
TWI536483B (zh) | 晶圓偏移預警系統與方法 | |
KR102024809B1 (ko) | 임피던스 매칭을 위한 방법 및 그 전자 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190722 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200520 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200602 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200701 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200804 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200819 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6752661 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |