JPH11326413A - ネットワ―ク・アナライザにおける測定誤差補正方法 - Google Patents

ネットワ―ク・アナライザにおける測定誤差補正方法

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JPH11326413A
JPH11326413A JP11098739A JP9873999A JPH11326413A JP H11326413 A JPH11326413 A JP H11326413A JP 11098739 A JP11098739 A JP 11098739A JP 9873999 A JP9873999 A JP 9873999A JP H11326413 A JPH11326413 A JP H11326413A
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reflection
measurement
port
source port
test set
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JP11098739A
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David V Blackham
デビッド・ブイ・ブラックハム
Jason Chodora
ジェイソン・チョドラ
Joel P Dunsmore
ジョエル・ピー・ダンスモア
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R27/00Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
    • G01R27/28Measuring attenuation, gain, phase shift or derived characteristics of electric four pole networks, i.e. two-port networks; Measuring transient response

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】ベクトル・ネットワーク・アナライザの測定確
度を向上させることのできる方法を提供する。 【解決手段】本発明の一実施例によれば、等しい順方向
伝送係数S21と逆方向伝送係数S12とを有するフィルタ
などの可逆性デバイスに対する反射測定誤差を低減し、
ベクトル・ネットワーク・アナライザの測定確度を向上
させる誤差補正方法が提供される。伝送/反射(T/
R)テスト・セットの信号源ポートが較正され、既知の
電気長のインピーダンス整合スルーライン標準が、T/
Rテスト・セットの信号源ポートと負荷ポートとの間に
結合されている間に、反射測定が実施される。反射測定
は、T/Rテスト・セットの負荷ポートの反射測定値を
得るため、スルーライン標準の電気長に関して補正され
る。次に、DUTの伝送特性及び反射特性が測定され
る。DUTの可逆性及び負荷ポートの反射測定を利用し
て、DUTの実際の入力反射係数が導出される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ベクトル・ネット
ワーク・アナライザに関するものであり、とりわけ、ベ
クトル・ネットワーク・アナライザのテスト・セットに
おけるインピーダンス不整合によって生じる可逆性デバ
イスの反射測定の誤差を補正するための方法に関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】高周波伝送/反射(T/R)テスト・セ
ットを組み込んだベクトル・ネットワーク・アナライザ
(VNA)は、さまざまな被測定デバイス(DUT)の
伝送及び反射特性を求めるために利用される。VNAの
測定確度は、T/Rテスト・セットの信号源ポートのイ
ンピーダンスと負荷ポートのインピーダンスとが所定の
特性インピーダンスに、より緊密に整合するにつれて、
一般に向上する。あいにく、T/Rテスト・セット内に
おいて使用される電子ハードウェアの制限によって、信
号源ポート及び負荷ポートにおけるインピーダンス不整
合が引き起こされ、これによって測定の不確実性が増
し、測定確度が劣化する。測定誤差の1つは、マルチポ
ートDUTの反射測定中に生じる。例えば、2ポートD
UTの出力ポートが、T/Rテスト・セットの負荷ポー
トに接続されている場合、測定された反射係数は、DU
Tの反射特性とT/Rテスト・ポートの負荷ポートのイ
ンピーダンスとの両方の関数である。負荷ポート・イン
ピーダンスと所定の特性インピーダンスとの不整合性が
増すにつれて、反射測定の誤差も増大する。この反射測
定誤差は、挿入損失が小さくVNAの負荷ポートからの
反射を吸収しないケーブルまたはフィルタのようなDU
Tにとって最も重要なことである。VNAにおける反射
測定誤差を低減するための第1の既知の方法は、順方向
及び逆方向の伝送及び反射測定の両方を含めた、DUT
の2ポートの全特性化に依存する。この2ポート特性化
に基づいて、反射測定誤差に対して数学的補正を施すた
めにさまざまな既知のベクトル誤差補正技法を用いるこ
とができる。しかし、T/Rテスト・セットを利用する
場合に、既知のベクトル誤差補正技法を適用するために
は、DUTの接続ポートを信号源ポート及び負荷ポート
に対して物理的に逆にして、DUTの完全な2ポート特
性化が得られるようにしなければならない。接続ポート
を逆にするのは、時間の浪費であり、DUTの動作を乱
すことになる。反射測定誤差を低減するための第2の既
知の方法には、反射測定を実施する前に、DUTの出力
ポートに整合負荷を接続することが必要になる。整合負
荷の接続は、やはり時間を浪費し、DUTの動作を乱す
ことになる。測定時間を短縮しDUTを乱す原因を減少
させようとして、インピーダンス不整合による反射測定
誤差を補正しなければ、VNAの反射測定の確度が犠牲
になる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、ベク
トル・ネットワーク・アナライザの測定確度を向上させ
ることのできる方法を提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】ベクトル・ネットワーク
・アナライザによって試験される、フィルタ、スイッ
チ、ケーブル、結合器、減衰器、及び、その他の受動デ
バイスといった広範囲にわたるクラスのデバイスは可逆
性であって、等しい順方向伝送係数S21と逆方向伝送係
数S12とを備えている。本発明の望ましい実施態様によ
る誤差補正方法では、可逆性デバイスに関する反射測定
誤差を低減することによって、ベクトル・ネットワーク
・アナライザの測定確度を向上させる。伝送/反射(T
/R)テスト・セットの負荷ポートにおけるインピーダ
ンス不整合による誤差は、VNAの測定速度に影響を及
ぼすことなく、補正される。T/Rテスト・セットの信
号源ポートが較正され、既知の電気長のインピーダンス
整合スルーライン標準が、T/Rテスト・セットの信号
源ポートと負荷ポートとの間に結合されている間に、反
射測定が実施される。反射測定は、T/Rテスト・セッ
トの負荷ポートの反射測定値を得るため、スルーライン
標準の電気長に関して補正される。次に、DUTの伝送
特性及び反射特性が測定される。DUTの可逆性及び負
荷ポートの反射測定を利用して、DUTの実際の入力反
射係数が導出される。
【0005】
【発明の実施の形態】図1〜3には、本発明の望ましい
実施態様に従って構成された誤差補正方法に用いられる
伝送/反射(T/R)テスト・セットのフローグラフが
示されている。T/Rテスト・セットは、被測定デバイ
ス(DUT)の特性を明らかにするため、ベクトル・ネ
ットワーク・アナライザ(VNA)に用いられる。T/
Rテスト・セットの信号源ポート1と負荷ポート2にお
けるインピーダンス不整合によって、DUTの測定に測
定の不確実性が導入される。この測定の不確実性は、補
正または補償されないと、VNAによって実施される測
定の確度を劣化させることになる。図1には、本発明の
望ましい実施態様に従って伝送・反射(T/R)テスト
・セットの信号源ポートに較正を施すために利用される
T/Rテスト・セットのフローグラフが示されている。
T/Rテスト・セットによれば、VNAは、DUTの順
方向の伝送係数S21及び反射係数S11の大きさ及び位相
測定を含むベクトル測定を実施することが可能になる。
VNAのT/Rテスト・セットにおいて、信号源ポート
1は、信号a1を送信して、信号b1を受信し、負荷ポー
ト2は、信号b2を受信する。VNAの信号源ポート1
の較正は、信号源ポート1に接続されたオープン、ショ
ート、及び、整合負荷といった3つの較正標準のそれぞ
れを用いて反射測定を行うことによって実施される。実
際の信号源整合ΓSは、図1のフローグラフから求めら
れる関係に従って、較正標準の反射測定値から導出され
る: ΓM=b1/a1=D+TRΓA/(1−ΓAΓS) ここで、Dは信号源ポート1の指向性であり、TRは信
号源ポート1の反射トラッキング、ΓAは用いられる特
定の較正標準の実際の反射係数、ΓMは、D、TR、及
び、信号源整合ΓSの影響を含む、信号源ポート1の測
定された反射係数である。測定された反射係数ΓMの誤
差に対する3つの要因は、指向性D、反射トラッキング
R、及び、信号源整合ΓSである。これらの誤差要因
は、3つの較正標準の反射測定結果として特性が明らか
にされる。オープン、ショート、及び、整合負荷のよう
な3つの較正標準は、それぞれ、特定の較正標準に固有
の既知の反射係数ΓAを備えている。ΓMの式を用いる
と、反射測定は、各較正標準毎に実施される。これらの
測定結果に基づいて、3つの式が得られ、誤差要因の計
算に利用される。3つの誤差要因の影響は、T/Rテス
ト・セットを用いて後続の反射測定が行われるときのた
めに、補償される。
【0006】図2には、本発明の望ましい実施態様に従
って構成された誤差補正方法に用いられるスルーライン
標準を含む、T/Rテスト・セットのフローグラフが示
されている。負荷ポート2のインピーダンス整合すなわ
ち負荷整合ΓLは、T/Rテスト・セットの信号源ポー
ト1と負荷ポート2との間にスルーライン標準を接続す
ることによって較正される。スルーライン標準の長さ
は、既知のところである。反射測定が実施され、反射測
定値ΓLMがスルーライン標準の電気長Blについて補正
されて、図2のフローグラフから求められる関係に従っ
て負荷整合ΓLが得られる: ΓL=ΓLM/e−j2Bl 信号源ポート1及び負荷ポート2が、互いに直接結合し
ている場合、電気長Blはゼロであり、負荷整合Γ
直接測定される。信号源ポート1及び負荷ポート2が直
接結合していない場合、有限電気長Blのスルーライン
標準が用いられる。スルーライン標準は、DUTの整合
よりも少なくとも10dBはうまく整合するように選択
されているので、DUTの反射測定の確度に好ましくな
い影響を及ぼすことはない。反射測定の確度は、スルー
ライン標準が信号源ポート1に接続されている間に1ポ
ート較正をさらに実施することによって、さらに向上す
る。これによって、負荷整合の直接測定が可能になり、
同時に、スルーライン標準の不整合と遅延の両方が補償
される。
【0007】図3には、DUTの測定された反射係数S
11Mを評価するため、本発明の望ましい実施態様に従っ
て利用される、DUTを含むT/Rテスト・セットのフ
ローグラフが示されている。測定された伝送係数S11M
は、DUTのSパラメータS11、S22、S21、及び、S
12、並びに、負荷整合ΓLの関数である。測定された反
射係数S11Mは、図3のフローグラフから下記のように
導き出される:
【0008】
【数1】
【0009】DUTは、可逆性デバイスのため、順方向
伝送係数S21と逆方向伝送係数S12は等しい。積S22Γ
Lが小さいと仮定すると、測定された反射S11Mから導出
される反射係数S11は、次のようになる: S11=S11M−S21 2ΓL 順方向伝送係数S21は、さまざまな既知の測定技法を利
用して、あるいは、また、1996年7月1日に出願さ
れた米国特許第5,748,000号に開示のErro
r Correction Method For T
ransmission Measurements
In Vector Network Analyze
rsを利用して求めることが可能である。T/Rテスト
・セットは、DUTの完全な2ポート較正に依存しない
ので、項S22ΓLは、残留誤差項のままであるが、項S
21 2ΓLは補正される。図4は、本発明の望ましい実施態
様に従って構成された可逆性デバイスの反射測定に関す
る誤差補正方法の流れ図100である。ステップ101
において、信号源ポート1に接続された較正標準を利用
して、反射較正が実施される。ステップ103におい
て、スルーライン標準がT/Rテスト・セットの信号源
ポート1と負荷ポート2の間に接続されている間に、反
射測定が実施される。ステップ105において、スルー
ライン標準の電気長に関して反射測定値に補正を施すこ
とによって、負荷反射係数ΓLが得られる。ステップ1
05において、信号源ポート1と負荷ポート2の間にD
UTを接続して、順方向の反射特性及び伝送特性が明ら
かにされる。次に、反射係数S11がステップ103及び
107の測定値から導出される。
【0010】図5には、本発明の望ましい実施態様に従
って構成された誤差補正方法を利用した反射測定が示さ
れている。該誤差補正方法を利用して導出された反射係
数S11が、負荷ポート2の代わりに、整合負荷を用いて
DUTを終端させる反射測定と比較して示されている。
DUTが負荷ポート2によって終端させられるが測定は
T/Rテスト・セットの負荷ポート2の負荷整合ΓL
関して補正されない、反射測定も示されている。誤差補
正方法によって、測定速度を低下させることなく、T/
Rテスト・セットにおけるインピーダンス不整合の影響
が軽減され、ベクトル・ネットワーク・アナライザによ
って実施される伝送測定の確度が向上する。誤差補正方
法は、VNA及びT/Rテスト・セット内部または外部
のソフトウェアによって実施することもできるし、ある
いは、VNAの内部ファームウェアによって実施するこ
とも可能である。以上、本発明の実施例について詳述し
たが、以下、本発明の各実施態様の例を示す。
【0011】[実施態様1]信号源ポートと負荷ポート
(2)とを有するベクトル・ネットワーク・アナライザ
における可逆性被測定デバイスの反射測定に補正を施す
ための方法(100)であって、前記信号源ポートの反
射較正を実施するステップ(101)と、前記信号源ポ
ートと前記負荷ポートとの間に接続された、所定の電気
長を有する整合スルーライン標準を用いて、反射測定を
実施するステップ(103)と、前記スルーライン標準
の電気長に従って前記反射測定結果に補正を施し、前記
負荷ポートの反射係数を導出するステップ(105)
と、可逆性被測定デバイスが前記信号源ポートと前記負
荷ポートとの間に接続されているときに、伝送係数及び
反射係数を測定するステップ(107)と、前記信号源
ポートの反射較正に従って、測定された反射係数を補正
し、前記負荷ポートの反射係数を補正するステップ(1
09)と、を備えて成る方法。
【0012】[実施態様2]前記測定された反射係数を補
正するステップ(109)が、前記測定された伝送係数
の2乗と前記負荷の反射係数との積を減ずるステップを
含むことを特徴とする、実施態様1に記載の方法(10
0)。
【0013】[実施態様3]前記信号源ポートの反射較正
を施す前記ステップ(101)が、オープン較正標準を
用いて反射測定を実施するステップと、ショート較正標
準を用いて反射測定を実施するステップと、整合負荷較
正標準を用いて反射測定を実施するステップとを含むこ
とを特徴とする、実施態様1に記載の方法(100)。
【0014】[実施態様4]前記信号源ポートの反射較正
を施す前記ステップ(101)が、オープン較正標準を
用いて反射測定を実施するステップと、ショート較正標
準を用いて反射測定を実施するステップと、整合負荷較
正標準を用いて反射測定を実施するステップとを含むこ
とを特徴とする、実施態様2に記載の方法(100)。
【0015】
【発明の効果】以上説明したように、本発明を用いるこ
とにより、ベクトル・ネットワーク・アナライザの測定
確度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の望ましい実施態様に従って構成され
た誤差補正方法に基づいて、T/Rテスト・セットの信
号源ポートを較正するために用いられるT/Rテスト・
セットのフローグラフを示す図である。
【図2】 本発明の望ましい実施態様に従って構成され
た誤差補正方法に用いられるスルーライン標準を含むT
/Rテスト・セットのフローグラフを示す図である。
【図3】 本発明の望ましい実施態様に従って構成され
た誤差補正方法に用いられる被測定デバイスを含むT/
Rテスト・セットのフローグラフを示す図である。
【図4】 本発明の望ましい実施態様に従って構成され
た誤差補正方法の流れ図である。
【図5】 本発明の望ましい実施態様に従って構成され
た誤差補正方法を利用した反射測定結果を示す図であ
る。
【符号の説明】
1:信号源ポート 2:負荷ポート
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ジョエル・ピー・ダンスモア アメリカ合衆国カリフォルニア州セバスト ポル エリザ・アン・ウェイ3151

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】信号源ポートと負荷ポートとを有するベク
    トル・ネットワーク・アナライザにおける可逆性被測定
    デバイスの反射測定に補正を施すための方法であって、 前記信号源ポートの反射較正を実施するステップと、 前記信号源ポートと前記負荷ポートとの間に接続され
    た、所定の電気長を有する整合スルーライン標準を用い
    て、反射測定を実施するステップと、 前記スルーライン標準の電気長に従って前記反射測定結
    果に補正を施し、前記負荷ポートの反射係数を導出する
    ステップと、 可逆性被測定デバイスが前記信号源ポートと前記負荷ポ
    ートとの間に接続されているときに、伝送係数及び反射
    係数を測定するステップと、 前記信号源ポートの反射較正に従って、測定された反射
    係数を補正し、前記負荷ポートの反射係数を補正するス
    テップと、 を備えて成る方法。
JP11098739A 1998-04-24 1999-04-06 ネットワ―ク・アナライザにおける測定誤差補正方法 Pending JPH11326413A (ja)

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US066,801 1998-04-24
US09/066,801 US6060888A (en) 1998-04-24 1998-04-24 Error correction method for reflection measurements of reciprocal devices in vector network analyzers

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