JP2003279942A - 電気光学装置並びに電子機器及び投射型表示装置 - Google Patents

電気光学装置並びに電子機器及び投射型表示装置

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 電気光学装置の表面に対する粉塵の付着、あ
るいは粉塵の投影の問題を解決して高品質な画像を表示
することを可能とする。 【解決手段】 電気光学装置は、液晶（５０）を挟持し
てなるＴＦＴアレイ基板（１０）及び対向基板（２０）
と、ＴＦＴアレイ基板上に、画素電極（９ａ）と、これ
にＴＦＴを介して接続された走査線及びデータ線とを備
えている。該電気光学装置は更に、対向基板（２０）に
おける、前記液晶に対向しない側に帯電防止性材料から
なるコーティング部材（４０１）を備えている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電気光学装置及び
電子機器の技術分野に属し、特に、電子機器の一例たる
投射型表示装置のライトバルブに適用されて好適な電気
光学装置、及び、投射型表示装置それ自体の技術分野に
属するものである。
【０００２】
【背景技術】液晶表示装置等の電気光学装置としては、
例えば、マトリクス状に配列された画素電極及び該電極
の各々に接続された薄膜トランジスタ（Thin Film Tran
sistor；以下適宜、「ＴＦＴ」という。）、該ＴＦＴの
各々に接続され、行及び列方向に平行にそれぞれ設けら
れた走査線及びデータ線等を備えることによって、いわ
ゆるアクティブマトリクス駆動が可能なものが知られて
いる。
【０００３】このような電気光学装置は、例えば投射型
表示装置のライトバルブとして広く使用されている。投
射型表示装置とは、光源から発せられた光を前記ライト
バルブに導く光学系及び該ライトバルブを透過した光を
映写幕に導く光学系等を備えてなる。この際、電気光学
装置の内部では、画素毎に光の透過率が制御されること
によって、映写幕上に画像を表示することが可能とな
る。また、投射型表示装置それ自体は小型であるにもか
かわらず、前記光学系によって光の拡大を実現すること
ができるから、比較的大きなサイズの画像を表示させる
ことができる。
【０００４】さらに、このような投射型表示装置として
は、カラー表示可能なものも既に広く知られている。こ
れは、前記したライトバルブ、すなわち電気光学装置を
三つ用意するとともに、これら三つの電気光学装置に対
して、例えば赤色光、青色光及び緑色光等の独立した三
色をそれぞれ投射するとともに、これを適当なプリズム
等によって合成することで、カラー画像を得ることの可
能な装置である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来に
おける電気光学装置、とりわけ該電気光学装置をライト
バルブとして用いた投射型表示装置においては、次のよ
うな問題点があった。すなわち、上述の投射型表示装置
では、ライトバルブの表面にごみや埃等（以下、単に
「粉塵」という。）が付着すると、映写幕上にその粉塵
の像もまた投影されてしまうことで、画像の品質を低下
させる可能性があったのである。
【０００６】そこで、従来においては、このような問題
点に対処するため、ライトバルブの表面に所定の厚さを
有する防塵ガラスを貼付することが行われていた。これ
により、粉塵が付着する面は該防塵ガラスの表面という
ことになり、これによって粉塵が画像上に投影されるこ
とを防止することが可能となるのである。というのも、
前記光学系等によって、光源から発せられた光はライト
バルブ中の所定の箇所（例えば、液晶層）に焦点を結ぶ
ように集光された後、拡大されるのが一般的であること
から、所定の厚さを有する防塵ガラス上に付着したごみ
等は、前記焦点から外れた位置に存在する（すなわち、
デフォーカスされる。）こととなり、これが映写幕上に
投影されるということがなくなるからである。
【０００７】しかしながら、このような防塵ガラスを用
いる解決手段にあっては、該防塵ガラスは、前記「所定
の厚さ」を有することが必須である。なぜなら、防塵ガ
ラスがこの所定の厚さよりも薄いと、上述のデフォーカ
スの効果が十分に得られなくなるからである。そして、
ここにいう「所定の厚さ」は、一般に比較的大きな値
（例えば２ｍｍ、場合により数ｍｍ程度の厚さ）とな
る。
【０００８】これは、投射型表示装置ないし電気光学装
置の小型化・高精細化が一般に望まれていることからす
ると、それに逆行する措置といわざるを得ない。例え
ば、電気光学装置の一例たる液晶表示装置においては、
液晶層を挟んで対向配置される二枚の基板間の距離、す
なわちいわゆるセルギャップが、今般、３〜５μｍない
しそれ以下という精度で製造される段階に至っているの
に、それを遥かに超える前記所定の厚さを有する防塵ガ
ラスを別途設けることは、せっかくの小型化・高精細化
を無意味なものとしてしまう。
【０００９】また、上述のような「厚い」防塵ガラスを
設けてしまうと、電気光学装置から発する熱をその外側
に放散することが困難となる点も問題となる。電気光学
装置内部に許容される以上の熱が蓄積されてしまうと、
装置全体の安定的な動作が不可能となってしまうからで
ある。このような問題は、当該電気光学装置が前記投射
型表示装置のライトバルブとして使用される際に、とり
わけ懸念される。なぜなら、投射型表示装置において
は、前記光源として比較的強力なものを使用するのが一
般的で、電気光学装置内部における蓄熱はより生じやす
い状況にあるといえるからである。
【００１０】このようなことを鑑みるに、防塵ガラスの
みでもって、粉塵の投影の問題を解決することは、十分
に好ましい解決策とはいえないことがわかる。
【００１１】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
のであり、粉塵の投影の問題を解決して高品質な画像を
表示することが可能であるとともに、その更なる小型化
を図ることができ、また、その内部に熱を蓄積させるよ
うなことなく安定的な動作が可能な電気光学装置、及び
該電気光学装置を具備してなる電子機器を提供すること
を課題とする。また、本発明は、電子機器の一例たる投
射型表示装置を提供することをも課題とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の電気光学
装置は、上記課題を解決するため、電気光学物質を挟持
してなる一対の基板と、該一対の基板のうちの一方の基
板上に、表示用電極と、該表示用電極にスイッチング素
子を介して又は直接に接続された配線とを備えた電気光
学装置であって、該電気光学装置は、前記一対の基板の
少なくとも一方における、前記電気光学物質に対向しな
い側に設けられた帯電防止性材料からなるコーティング
部材を備えてなる。
【００１３】本発明の第１の電気光学装置によれば、一
対の基板上に形成された表示用電極に配線を通じて適当
な電圧を付加することで、電気光学物質に対して電界を
印加することができ、その状態を変化させることが可能
となる。この際、前記一対の基板のうちの少なくとも一
方における、前記電気光学物質に対向しない側から、他
方におけるそれへと抜けるような光を投射することで、
画像を表示することができる。これは、電気光学物質の
状態の変化に応じて透過率が変じられていることによ
り、それに応じた階調表示が可能であることによる。
【００１４】ここで特に、本発明においては、前記一対
の基板の少なくとも一方における電気光学物質に対向し
ない側に、帯電防止性材料からなるコーティング部材を
備えている。これにより、背景技術の項で述べたような
粉塵の投影の問題を有効に解決することができる。
【００１５】これは、従来よくみられた粉塵の付着は、
通常、該粉塵が静電気を帯びていることを原因として生
じることによる。つまり、付着される側が絶縁性の高い
材料からなる場合においては、当該材料と粉塵との間に
静電気力が作用することによって、その付着が極めて生
じやすいのである。しかるに、本発明においては、上述
したように、帯電防止性材料からなるコーティング部材
を備えていることから、静電気を帯びた粉塵がその表面
に付着することを未然に防止することが可能となるので
ある。
【００１６】したがって、本発明に係る電気光学装置に
よれば、粉塵の像が投影されるなどといった事態を未然
に防止することが可能であり、高品質な画像を表示する
ことが可能となるのである。しかも、このようなことが
可能となるのは、電気光学装置に対する粉塵の付着それ
自体を未然に防ぐことによっている。このことは、従来
の発想（例えば、デフォーカスする等）とは一線を画し
ている。
【００１７】また、このようなことから、本発明におい
ては、従来用いられていた防塵ガラスを必ずしも設ける
必要がなくなるから、その分のコストを削減することが
できるし、電気光学装置の小型化をも実現することがで
きる。また、電気光学装置の内部に蓄えられていく熱を
外部に放散することも容易となる。本発明に係るこれら
の作用効果は、従来の防塵ガラスが、既に述べたように
一般に肉厚のものが利用されることが多かったことから
して、特筆できる。
【００１８】なお、「帯電性防止材料からなるコーティ
ング部材」の、より具体的な態様としては、該コーティ
ング部材の全体が帯電性防止材料からなる場合を含む
他、例えば、該コーティング部材の表面に帯電性防止材
料からなる粉末を塗布するような形態等も含む。
【００１９】また、本発明にいう「表示用電極」として
は、一対の基板のうちの一方の基板上においては、マト
リクス状に配列された画素電極が、その他方の基板上に
おいては、その全面に形成された対向電極（共通電極）
が、それぞれ該当すると考えることができ、「スイッチ
ング素子」とは、ＴＦＴ、あるいは薄膜ダイオード（Ｔ
ＦＤ）が該当すると考えることができる。これによれ
ば、アクティブマトリクス駆動が可能となる。
【００２０】さらに、「表示用電極」の別の例として
は、一対の基板それぞれの上に形成され、相互に交差す
る関係にあるストライプ状の電極が、それに該当すると
考えることもできる。これによれば、パッシブマトリク
ス駆動が可能となる。
【００２１】本発明の第１の電気光学装置の一態様で
は、前記コーティング部材は、前記一対の基板のうちの
他方の基板上に備えられている。
【００２２】この態様によれば、コーティング部材は、
例えば上述のアクティブマトリクス駆動が可能な電気光
学装置において、そのいわゆる対向基板上に形成される
こととなるから、典型的には、光の入射側に配置される
こととなる。したがって、本態様によれば、光の入射側
に関する粉塵の付着を防止することが可能となる。
【００２３】この態様では特に、前記コーティング部材
は、前記他方の基板上に形成された防塵ガラス上に備え
られているようにするとよい。
【００２４】このような構成によれば、本発明に係るコ
ーティング部材のほか、従来用いられてきた防塵ガラス
をも併せもつ。したがって、本態様では、コーティング
部材による粉塵付着防止作用を期待することができると
ともに、仮に粉塵が付着したとしても、上述したデフォ
ーカス効果の恩恵にも与ることが可能となって、粉塵の
投影に関する問題はより発生しにくい状況となり、上述
にも増して高品質な画像を表示することが可能となる。
【００２５】ここで、本態様にいう「防塵ガラス」は、
基本的に、従来用いられてきたそれと同様の材料ないし
構成としてよいが、その厚さは、従来のそれに比べて、
より小さくすることが可能である。なぜなら、本態様で
は、コーティング部材が設けられているからである。し
たがって、本態様においても、上述したような、電気光
学装置の製造コスト削減若しくはその小型化、あるいは
該電気光学装置の内部の熱の放散等を、それ相応に実現
することができる。
【００２６】なお、このような事情から、本態様では、
粉塵の投影防止に係る作用効果と、電気光学装置の小型
化、あるいは熱の放散に係る作用効果とは、トレードオ
フの関係にあると考えられる。つまり、防塵ガラスの厚
さを大きくすれば、前者の作用効果はより確実になる
が、後者の作用効果は弱くなり、該厚さを小さくすれ
ば、その逆となる。本態様の防塵ガラスの厚さは、この
ような事情を勘案して決せられることになる。より具体
的には、理論的、経験的、実験的又はシミュレーション
等によって適宜決定すればよい。
【００２７】本発明の第１の電気光学装置の他の態様で
は、前記コーティング部材は、無反射コートの少なくと
も一部を構成する。
【００２８】この態様によれば、通常、電気光学物質の
外側の構成要素として貼着されてなる無反射コートの少
なくとも一部に、前述のコーティング部材が含まれてな
るのであるから、装置構成全体の簡略化・効率化を図る
ことができる。
【００２９】なお、この無反射コートとは、例えば空気
とガラス基板との間というように、屈折率が変じる界面
に置かれる部材で、該界面における光の反射を可及的に
生じさせることなく、空気からガラス基板、あるいはガ
ラス基板から空気という光の導入を効率的に行うための
光学要素である。本態様において、この無反射コートの
具体的な態様として、一般的に知られている種々の構成
を採ることが可能である。
【００３０】また、本態様では、無反射コートの「少な
くとも一部」がコーティング部材であればよいから、場
合によっては、無反射コートの全部がコーティング部材
であるような場合、すなわち該無反射コート全体がコー
ティング部材の役割を担いうる、というような構成とし
てもよい。
【００３１】さらに、本態様をより具体的にいえば、無
反射コートが導電性材料からなる場合とか、あるいは無
反射コートが帯電防止性材料からなる場合等を考えるこ
とができる。
【００３２】この態様では特に、前記無反射コートは、
多層構造を有するようにするとよい。
【００３３】このような構成によれば、コーティング部
材を、多層構造中の任意の一層として、あるいは二層以
上に設けることが可能となる。
【００３４】より具体的な態様としては、例えば、光の
入射側から順に、例えば、ＺｒＯ２、ＩＴＯ等からなる
コーティング部材、ＳｉＯ２及びＺｒＯ２というような
四層からなる構成を採用することが可能である。
【００３５】なお、一般的には、光入射側を最上層とす
ると、その最上層の一つ前の層において、本発明に係る
コーティング部材を含んでいる方が好ましいといえる
（上述の具体的態様はその一例である。）。このような
場合には、無反射コート本来の機能とコーティング部材
が発揮すべき機能との協調的な調和が図れるからであ
る。
【００３６】本発明の第１の電気光学装置の他の態様で
は、前記コーティング部材は、透明導電性材料からな
る。
【００３７】この態様によれば、コーティング部材が透
明材料であるから、電気光学装置全体としての透明性な
いしその透過率を損なうことなく、粉塵の付着を防止す
るコーティング部材を構成することが可能となる。
【００３８】なお、本態様にいう「透明導電性材料」と
して、具体的には、ＩＴＯ（IndiumTin Oxide）やＩＺ
Ｏ（Indium Zinc Oxide）等が考えられる。
【００３９】この態様では特に、前記透明導電性材料か
らなる前記コーティング部材は、グランド電位とされて
いるようにするとよい。このような構成によれば、粉塵
付着防止作用を、より確実に発揮させることができるか
らである。また、コーティング部材を浮遊電位としてお
くと、無用な容量カップリングを生じさせる可能性があ
るなど、電気光学装置の動作にとって好ましくない影響
を及ぼす可能性があるが、本態様では、そのような心配
をする必要もない。
【００４０】本発明の第１の電気光学装置の他の態様で
は、当該電気光学装置から離間して設けられた光学要素
を更に備え、前記コーティング部材は、前記光学要素に
設けられている。
【００４１】この態様によれば、電気光学装置の外側の
構成として通常設けられる、偏光板又は位相差板等の光
学要素が、当該電気光学装置から離間して設けられ、か
つ、該光学要素には前記コーティング部材が設けられて
いることになる。これにより、次のような作用効果が奏
されることになる。
【００４２】すなわち、前記した偏光板又は位相差板等
もまた、画像構成に寄与する光を透過させる光学要素の
一つであることからすると、該光学要素の表面等に粉塵
等が付着するのであっては、粉塵の投影の問題を有効に
解消することができないことになる。しかるに、本態様
においては、コーティング部材もまた、当該偏光板又は
当該位相差板等に対して貼着されてなる構成等を採るこ
とが可能となるから、偏光板又は位相差板等の表面につ
いても、それに対する粉塵の付着という事象を発生させ
ないようにし、ひいては粉塵の画像上への投影という問
題をより有効に解消することが可能となるのである。
【００４３】このような作用効果は、本態様にいう光学
要素に平行光を投射する場合において特に有効である。
平行光では、光学要素が分離されていたとしても、デフ
ォーカス効果が十分には発揮されないからである。
【００４４】なお、本態様においては、電気光学装置か
ら離間してコーティング部材を設けるとしても、これと
併せて、電気光学装置を構成する一方の基板又は他方の
基板の少なくとも一の上に直接的に貼付されるコーティ
ング部材を別に備える形態としても何ら問題はない。す
なわち、例えば、電気光学装置の両面に貼着されたコー
ティング部材と、上述の偏光板又は位相差板等の両面に
貼着されたコーティング部材との両者が存在する（この
場合、都合４つのコーティング部材が存在することにな
る）ような形態としてもよい。むろん場合によっては、
離間して設けられた光学要素のみにコーティング部材が
設けられる形態としてもよいことは勿論である。
【００４５】また、上述のように、偏光板又は位相差板
等を電気光学装置とは離間して設ける形態によると、そ
れ自体に基づく次のような作用効果も得られる。
【００４６】すなわち、もし、偏光板又は位相差板等の
光学要素を、電気光学装置を構成する一方の基板又は他
方の基板面に直接的に貼付するような形態をとると、該
光学要素内に比較的大きなピンホール等が存在する場
合、粉塵の投影の問題と同様にして、ピンホール等の投
影問題が生じてしまう。しかるに、本態様においては、
そのような懸念が殆どないのである。なぜなら、偏光板
又は位相差板等は、電気光学装置から「離間」して設け
られおり、その分のデフォーカス効果が期待されるから
である。このことは、複数の光学要素を設ける場合にあ
って、これらを適当な接着剤等により貼着する場合にも
同様に当てはまる。当該接着剤等に粉塵が混入すると、
上述と同様に、その接着剤中の粉塵が投影されるという
問題が発生する可能性があるからである。
【００４７】以上により結局、本態様によれば、当該偏
光板又は当該位相差板等の光学要素に関する設計ルール
を緩和することが可能となるのである。つまり、比較的
大きなピンホール等が当該光学要素内に存在したとして
も、また、複数の光学要素間（例えば、偏光板及び位相
差板間）に粉塵が混入したとしても、上記デフォーカス
効果によって、それらが画像上に投影されることはない
のである。よって、本態様によれば、全体的に安価な電
気光学装置を提供することが可能となる。本発明の第１
の電気光学装置の他の態様では、前記コーティング部材
の電気抵抗値は、１０１２〔Ω〕以下である。
【００４８】この態様によれば、コーティング部材の電
気抵抗値は、帯電防止領域、導電性領域及び導体領域の
いずれかに属することとなるから、上述したような粉塵
付着防止作用をより確実に期待することができる。
【００４９】本発明の第２の電気光学装置は、上記課題
を解決するために、電気光学物質を挟持してなる一対の
基板と、該一対の基板のうちの一方の基板上に、表示用
電極と、該表示用電極にスイッチング素子を介して又は
直接に接続された配線とを備えた電気光学装置であっ
て、該電気光学装置は、前記一対の基板の少なくとも一
方における、前記電気光学物質に対向しない側の、その
少なくとも表面において界面活性剤を含むコーティング
部材を備えてなる。
【００５０】本発明の第２の電気光学装置によれば、上
述の本発明の第１の電気光学装置と同様に、電気光学物
質に対する電界印加、それにより引き起こされる該電気
光学物質の状態変化を通じて、画像を表示することが可
能となる。
【００５１】ここで本発明においては特に、前記一対の
基板の少なくとも一方における、前記電気光学物質に対
向しない側の、その少なくとも表面において界面活性剤
を含むコーティング部材を備えている。ここで、界面活
性剤とは、プラスイオンのアニオン系、マイナスイオン
のカチオン系に大別することができるが、本発明ではど
ちらを使用するようにしてもよい。いずれにしても、本
発明によれば、この界面活性剤の作用により、粉塵の付
着を未然に防止することが可能となる。これは、前述し
たように、該粉塵の付着が、多くの場合、静電気力を起
因として生じるからに他ならない。したがって、本発明
に係る電気光学装置によっても、粉塵の像が投影される
などといった事態を未然に防止することが可能であり、
高品質な画像を表示することが可能となるのである。
【００５２】本発明の電子機器は、上記課題を解決する
ため、上述した本発明の第１又は第２の電気光学装置
（ただし、その各種態様を含む。）を具備してなる。
【００５３】本発明の電子機器によれば、上述した本発
明の電気光学装置を具備してなるから、粉塵の投影の問
題について殆ど心配することのない、高品質な画像を表
示することの可能な、液晶テレビ、携帯電話、電子手
帳、ワードプロセッサ、ビューファインダ型又はモニタ
直視型のビデオテープレコーダ、ワークステーション、
テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネル等の各種電子機
器を実現することができる。
【００５４】本発明の投射型表示装置は、上記課題を解
決するため、上述した本発明の第１又は第２の電気光学
装置（ただし、その各種態様を含む。）からなるライト
バルブと、該ライトバルブに投射光を入射する光源と、
該ライトバルブから出射した前記投射光を投射する光学
系と、前記ライトバルブに対する送風を行う送風ファン
とを備えている。
【００５５】本発明の投射型表示装置によれば、光源か
ら発せられた光は、ライトバルブとしての電気光学装置
に投射され、該電気光学装置を出射した後、これを光学
系によって拡大することで、比較的大きな画像を映写幕
等の上に表示することが可能となる。また、本発明で
は、前記ライトバルブに対する送風を行う送風ファンが
備えられている。この送風ファンによれば、ライトバル
ブの冷却が可能となる。
【００５６】そして本発明では特に、この送風ファンに
関して次のような作用効果が奏される。すなわち、本発
明における投射型表示装置では、ライトバルブが上述の
本発明の電気光学装置からなることから、既に述べたよ
うに、防塵ガラスの設置不要、あるいはその厚さの減少
に起因して、該ライトバルブからの熱の放散が容易なの
である。したがって、本発明に係る送風ファンには、特
段に大きな出力を持つことが要求されない。そうでなく
ても十分な冷却が行いうるからである。
【００５７】したがって、本発明によれば、送風ファン
に必要となる消費電力の削減が可能となり、また、出力
を低下させてもよいことから、ファンによるいわゆる風
きり音を小さくすることが可能となり、静穏化した投射
型表示装置を提供することが可能となるのである。
【００５８】また、本発明に係る送風ファンによれば、
ライトバルブの表面に付着しそうな粉塵を、その付着前
に吹き飛ばすことが可能となる。特に、本発明に係るラ
イトバルブは、上述した本発明の電気光学装置を具備し
てなるから、これのみでも相当程度に高い確度で粉塵の
付着が生じないことに加え、前記送風ファンによれば、
このような作用効果をより確実ならしめることが可能と
なるのである。
【００５９】したがって、本発明に係る投射型表示装置
によれば、より高品質な画像を表示することが可能とな
る。
【００６０】本発明のこのような作用及び他の利得は次
に説明する実施の形態から明らかにされる。
【００６１】
【発明の実施の形態】以下では、本発明の実施の形態に
ついて図を参照しつつ説明する。以下の実施形態は、本
発明の電気光学装置を液晶装置に適用したものである。
【００６２】（第１実施形態）まず、第１実施形態に係
る電気光学装置の全体構成を、図１乃至図３を参照して
説明する。なお、図１は、ＴＦＴアレイ基板をその上に
形成された各構成要素とともに対向基板２０の側からみ
た平面図であり、図２は、図１のＨ−Ｈ´断面図であ
る。また、図３は、図２において符号ＣＲを付した円内
部分を拡大した断面図である。なお、図３においては、
各層・各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとする
ため、該各層・各部材ごとに縮尺を異ならしめてある。
【００６３】図１及び図２において、第１実施形態に係
る電気光学装置では、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板
２０とが対向配置されている。ＴＦＴアレイ基板１０と
対向基板２０との間には、液晶５０が封入されており、
ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０とは、画像表示領
域１０ａの周囲に位置するシール領域に設けられたシー
ル材５２により相互に接着されている。
【００６４】ここで、液晶５０は、例えば一種又は数種
類のネマテッィク液晶を混合した液晶からなり、後述す
る一対の配向膜間で、所定の配向状態をとるものであ
る。
【００６５】また、画像表示領域１０ａは、ＴＦＴアレ
イ基板１０上において、マトリクス状に配列された画素
電極９ａ、該画素電極９ａの各々に接続されたＴＦＴ、
該ＴＦＴに接続された走査線及びデータ線（いずれにつ
いても、図８乃至図１０を参照して後述する。）等が設
けられた領域、あるいは該領域に対向し且つ対向基板２
０上において対向電極２１が設けられた領域のことであ
り、図１においてロの字状を有する額縁遮光膜５３によ
って規定される領域のことである。
【００６６】この画像表示領域１０ａでは、図１の紙面
に向かってこちら側から向こう側に至る（すなわち、対
向基板２０側からＴＦＴアレイ基板１０側に至る）光の
透過が可能とされており、画像の表示に寄与することと
なる。なお、光の透過が可能とされるのは、前記の画素
電極９ａ又はその一部、あるいは対向電極２１が透明材
料からなるとともに、該画素電極９ａの各々に対する電
界の印加によって前記液晶５０の状態が変更を受けるこ
とによる。また、画素電極９ａの一つ及び前記ＴＦＴの
一つを少なくとも含むものを一単位として、一画素が定
義される。
【００６７】さらに、シール材５２は、図１に示すよう
に、画像表示領域１０ａの周囲を囲むように、平面的に
みて、「ロ」の字状に設けられている。ただし、ＴＦＴ
アレイ基板１０と対向基板２０とによって挟まれた間隙
内に液晶を導入するために、前記ロの字状の一部におい
ては、図１の下方に示すように、切り欠きが形成されて
液晶注入口５２ａが設けられている。また、完成された
電気光学装置においては、液晶注入口５２ａが存在する
部分に対応して、前記間隙に導入された液晶５０が外部
に漏れることのないようにするため、例えば紫外線硬化
型アクリル系樹脂からなる封止材５４が設けられてい
る。
【００６８】このようなシール材５２を構成する材料と
しては、例えば、紫外線硬化樹脂、熱硬化樹脂等を挙げ
ることができる。ＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２
０を貼り合わせるにあたっては、適当な圧力をかけて両
基板１０及び２０を圧着するとともに、シール材が紫外
線硬化樹脂からなるのであれば該シール材に対して紫外
線を照射することにより、また、熱硬化樹脂からなるの
であれば加熱を行うこと等により、硬化させられてい
る。
【００６９】また、このシール材５２中には、両基板１
０及び２０に挟まれた間隙の間隔、すなわちセルギャッ
プを所定値とするため、スペーサの一種たるギャップ材
（不図示）が散布されている。このギャップ材は、例え
ばグラスファイバ、あるいはガラスビーズ等からなり、
略球状の形状を有しているのが一般的である。
【００７０】また、図２において、ＴＦＴアレイ基板１
０上には、画素スイッチング用のＴＦＴや走査線、デー
タ線等の配線が形成された後の画素電極９ａ上に、配向
膜１６が形成されている。他方、対向基板２０上には、
画素電極９ａが形成される領域にほぼ対応する開口領域
を規定するため格子状に配された上側遮光膜２３が、及
び、該上側遮光膜２３上にＩＴＯ等の透明材料からなる
対向電極２１が形成され、さらにその上側に塗布・焼成
・ラビング処理等が施された配向膜２２が形成されてい
る。
【００７１】そして、第１実施形態では特に、図２及び
その一部拡大図たる図３に示すように、対向基板２０に
おける液晶５０に対向しない側（図３中、上側）に、該
対向基板２０の方からみて、ＡＲ（Anti Reflection；
無反射）コート５００、偏光板７０１及びコーティング
部材４０１が順次設けられている。
【００７２】このうち、ＡＲコート５００は、例えばジ
ルコニア（ＺｒＯ２）、シリカ（ＳｉＯ２）等の単層、
あるいは複数層からなる。例えば、ジルコニア、シリ
カ、ジルコニア、シリカという４層構造としたり、これ
に続けて、更にジルコニア、シリカを繰り返して、より
多層の構造を有するようにしてもよい。これにより、例
えば、空気層（図３中上方）から対向基板２０内（図３
中下方）という異なる屈折率を有する部材間において、
無用な反射によるロスを避けることが可能となり、当該
部材間にわたる効率的な導光が可能となる。また、偏光
板７０１は、液晶５０に入射させるべき光を適当な偏光
状態とする。これにより、液晶５０の配向状態を適当に
定めることで、該偏光状態と該配向状態とが一定の関係
にある場合には、偏光光たる入射光がほぼ完全に透過す
る状態となり、そこから連続的に、該入射光がほぼ完全
に遮蔽される状態に至るまでの調整を行うことが可能と
なる。
【００７３】そして、第１実施形態において特徴的なコ
ーティング部材４０１は、透明導電性材料の一例たるＩ
ＴＯからなる。また、このコーティング部材４０１は、
その少なくとも一部において電気的な配線が接続され
て、グランド電位に落とされている。
【００７４】以上のような構成のほか、図１乃至図３に
おいては、シール材５２の外側の領域に、後述するデー
タ線に画像信号を所定のタイミングで供給することによ
り該データ線を駆動するデータ線駆動回路１０１及び外
部回路接続端子１０２がＴＦＴアレイ基板１０の一辺に
沿って設けられている一方、後述する走査線に走査信号
を所定のタイミングで供給することにより該走査線を駆
動する走査線駆動回路１０４が、この一辺に隣接する二
辺に沿って設けられている。なお、走査線に供給される
走査信号遅延が問題にならないのならば、走査線駆動回
路１０４は片側だけでもよいことは言うまでもない。ま
た、データ線駆動回路１０１を画像表示領域１０ａの辺
に沿って両側に配列してもよい。
【００７５】ＴＦＴアレイ基板１０の残る一辺には、画
像表示領域１０ａの両側に設けられた走査線駆動回路１
０４間をつなぐための複数の配線１０５が設けられてい
る。また、対向基板２０のコーナー部の少なくとも一箇
所においては、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０と
の間で電気的に導通をとるための上下導通材１０６が設
けられている。
【００７６】なお、ＴＦＴアレイ基板１０上には、これ
らのデータ線駆動回路１０１、走査線駆動回路１０４等
に加えて、複数のデータ線６ａに画像信号を所定のタイ
ミングで印加するサンプリング回路、複数のデータ線６
ａに所定電圧レベルのプリチャージ信号を画像信号に先
行して各々供給するプリチャージ回路、製造途中や出荷
時の当該電気光学装置の品質、欠陥等を検査するための
検査回路等を形成してもよい。
【００７７】以上のような構成を有する第１実施形態の
電気光学装置では、上述のコーティング部材４０１の存
在により、次のような作用効果が奏されることになる。
【００７８】まず、第１実施形態においては、透明導電
性材料の一例たるＩＴＯからなるコーティング部材４０
１を備えていたことにより、電気光学装置の最外表面
（図３中最上面）における粉塵の付着が殆ど生じない。
これは、コーティング部材４０１が、導電性を有してい
るため、帯電した粉塵が静電気力によって付着するとい
う事象の発生を、未然に防止することが可能だからであ
る。したがって、第１実施形態によれば、粉塵の投影の
問題が殆ど生ぜず、高品質な画像を表示することが可能
となる。
【００７９】また、第１実施形態の電気光学装置によれ
ば、図２及び図３に示したように、防塵ガラスを設ける
必要がない。これは、コーティング部材４０１におい
て、上述したような作用が発揮されることで、もはや粉
塵の付着について殆ど心配する必要がないからである。
したがって、第１実施形態によれば、粉塵の画像上の投
影の問題を解決するため、比較的肉厚の防塵ガラスを設
けていたことに起因する従来の不具合を被ることがな
い。すなわち第一に、防塵ガラスを設けなくてよいこと
によるコスト削減が可能である。また第二に、電気光学
装置全体の小型化を実現することができる。そして第三
に、電気光学装置の内部に蓄えられる熱を外部に放散す
ることが容易であり、電気光学装置の正確な動作を実現
することが可能となる。
【００８０】以上のように、第１実施形態によれば、上
述したような各種作用効果が奏されることになるのであ
る。
【００８１】なお、上においては、コーティング部材４
０１が、ＩＴＯからなるとしていたが、これに代えて、
透明導電性材料の別の例たるＩＺＯを使用してもよい。
また、コーティング部材４０１は、必ずしも導電性を有
する材料からなるものとする必要はなく、帯電した粉塵
の付着を防止する作用という観点からして、少なくとも
「帯電防止性材料」からなるようにしておけばよい。そ
のような材料としては種々考えられるが、より具体的に
は、該コーティング部材４０１の電気抵抗値が１０１２
〔Ω〕以下であるようなものを選択すれば、相応の粉塵
付着防止作用の発揮が期待できる。
【００８２】さらに、本発明においては、上述のような
構成に代えて又は加えて、コーティング部材の表面に界
面活性剤を含ませてもよい。このような形態であって
も、上述と略同様な作用効果が奏される。というのも、
界面活性剤には、帯電防止作用を有するもの（例えば特
に、プラスイオンのアニオン系）が知られており、これ
をコーティング部材の表面に設けることによれば、帯電
した粉塵の付着を防止する作用が期待できるからであ
る。
【００８３】加えて、図２及び図３においては、コーテ
ィング部材４０１が対向基板２０側にのみ設けられた形
態を示したが、本発明は、このような形態に限定される
ものではない。場合によっては、ＴＦＴアレイ基板１０
側にのみ、あるいはＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板
２０の両側に、コーティング部材４０１等を設けるよう
な構成としてよい。
【００８４】加えて更に、図２及び図３においては、偏
光板７０１が備えられていたが、これを必ずしも設ける
必要はない。すなわち、そのような場合においては、図
３の下から順に、対向基板２０、ＡＲコート５００及び
コーティング部材４０１という構成となる。この場合更
に、偏光板７０１を設けるのであれば、それは、電気光
学装置本体からは分離して設けるような形態としてもよ
い（後述の第４実施形態参照）。
【００８５】ちなみに、上に述べたような各種の変形形
態に関する事情は、以下で説明する各種の実施形態にお
いても、そのまま、あるいは適宜変形した上で当てはめ
ることが可能であり、そのようなものも本発明の範囲内
にあることは言うまでもない。
【００８６】（第２実施形態）以下では、本発明の第２
実施形態について、図４を参照しながら説明する。ここ
に、図４は、図３と同趣旨の図であって、同図とはその
態様が異なるものを示すものである。なお、図４におい
て示されている構成であって、図３と同一の符号が付さ
れている構成については、上記第１実施形態と同様であ
るので、その説明を省略することとする。このことは、
以下で説明する第３実施形態以降についても同様であ
る。
【００８７】第２実施形態では、上記第１実施形態と比
較して、防塵ガラス９０１が設けられている点が異な
る。すなわち、対向基板２０側から順に、防塵ガラス９
０１、ＡＲコート５００、偏光板７０１及びコーティン
グ部材４０１が設けられた構成となっている。ここで防
塵ガラス９０１は、例えば適当なガラス材料からなるも
のとすればよい。
【００８８】このような第２実施形態によれば、上述の
コーティング部材４０１による粉塵付着防止作用と相俟
って、防塵ガラス９０１によるデフォーカスに係る作用
効果をも期待することができ、粉塵の画像上の投影の問
題は、より発生しにくくなる。つまり、図４における図
中最上層において仮に粉塵が付着するようなことがあっ
ても、その位置は、焦点位置から相当程度外れているた
め、該粉塵の像が映写幕上に現れることを未然に防止す
ることが可能となるのである。
【００８９】なお、この場合における防塵ガラス９０１
の厚さは、従来に比べて、薄くすることが可能である。
例えば具体的には、従来、十分なデフォーカス効果を得
るためには、防塵ガラスの厚さとしては、２ｍｍ以上あ
ることが必要とされていたのに比べ、第２実施形態で
は、それ程の厚さは必要ないということになる。したが
って、その減ずる分に応じた電気光学装置の小型化や熱
の放散の容易性は、第２実施形態においても享受するこ
とが可能である。
【００９０】（第３実施形態）以下では、本発明の第３
実施形態について、図５を参照しながら説明する。ここ
に、図５は、図３と同趣旨の図であって、同図とはその
態様が異なるものを示すものである。
【００９１】第３実施形態では、上記第１実施形態と比
較して、ＡＲコート５０１の構成に特徴がある点で異な
る。すなわち、図５に示すように、第３実施形態に係る
ＡＲコート５０１は、４層構造となっており、図中下方
から順に、第１ジルコニア層５０２、シリカ層５０３、
ＩＴＯ層４０３及び第２ジルコニア層５０４という構造
を有している。このうち、ＩＴＯ層４０３は、本発明に
いう「コーティング部材」の一例に該当している。つま
り、第３実施形態においては、ＡＲコート５０１それ自
体が、導電性を有するようにされているのである。
【００９２】このような形態であっても、上述した第１
実施形態と略同様な作用効果が発揮されることが明白で
ある。
【００９３】なお、本発明は、上述したようなＡＲコー
ト５０１の構成のほか、その他種々の構成をとり得るこ
とは言うまでもない。例えば、ジルコニア層及びシリカ
層が交互に現れる多層構造中、その中の任意の一層又は
二層以上が、コーティング部材たるＩＴＯ層等であって
よい。ただ、一般的には、最上層の一つ前の層におい
て、本発明に係る帯電防止性材料からなるコーティング
部材を含んでいることが好ましい。このようにすると、
ＡＲコート５０１が本来有すべき反射防止作用と粉塵付
着作用とを最も効果的に発揮させることが可能となるか
らである。
【００９４】（第４実施形態）以下では、本発明の第４
実施形態について、図６を参照しながら説明する。ここ
に、図６は、図３と同趣旨の図であって、同図とはその
態様が異なるものを示すものである。
【００９５】第４実施形態は、上記第３実施形態の変形
形態である。すなわち、図６においては、図５に示した
ような、コーティング部材４０４ａを含むＡＲコート５
０１Ａ及びコーティング部材４０４ｂを含むＡＲコート
５０１Ｂ、並びに、これら二枚のＡＲコート５０１Ａ及
び５０１Ｂに挟持された偏光板７０１（以下、これらの
一体を「分離光学要素」という。）が、対向基板２０の
表面からは離間して設置されている。このような形態で
あると、当該分離光学要素においてコーティング部材４
０４ａ及び４０４ｂによる粉塵付着防止作用が発揮され
る他、防塵ガラスを設けなくても、分離光学要素は、電
気光学装置本体から「離間」されて設置されているので
あるから、所定のデフォーカス効果を得ることが可能と
なる。
【００９６】したがって、第４実施形態においても、粉
塵の画像上への投影の問題は殆ど生じることがなく、高
品質な画像を表示することが可能となる。
【００９７】なお、図６においては、分離光学要素中に
含まれるコーティング部材４０４ａ及び４０４ｂが存在
する他、電気光学装置それ自体についても対向基板２０
上にコーティング部材４０４ｃが存在している。このコ
ーティング部材４０４ｃもまた、第３実施形態で示した
ように、ＡＲコート５０１Ｃの一部を構成しているもの
である。本発明においては、このように、電気光学装置
とは離隔してコーティング部材を設ける形態にあって
も、当該電気光学装置に貼着してなるコーティング部材
を設けるような形態としても何ら問題はない。むしろ粉
塵の投影の問題の解消という点からすれば、より好まし
い形態であるといえる。
【００９８】また、上述では、分離光学要素は、ＡＲコ
ート５０１Ａ及び５０１Ｂ並びに偏光板７０１から構成
されていたが、本発明は、そのような形態に限定される
ものではない。例えば、図６に示す構成要素に加え、位
相差板等を追加する場合も考えられる。
【００９９】さらに、図６においては、第３実施形態の
変形形態のみを示したが、第２乃至第４実施形態につい
ても、図６と同様に、「離隔」した分離光学要素を設け
る構成としてよいことは勿論である。
【０１００】（第５実施形態）以下では、本発明の第５
実施形態について、図７を参照しながら説明する。第５
実施形態は、上述した各種の実施形態に係る電気光学装
置を、電子機器の一例たる投射型表示装置に適用した場
合に関するものであり、図７は、その投射型表示装置の
一例たるカラー液晶プロジェクタを示す図式的断面図で
ある。
【０１０１】図７において、第５実施形態における投射
型表示装置の一例たる液晶プロジェクタ１１００は、駆
動回路がＴＦＴアレイ基板上に搭載された液晶装置を含
む液晶モジュールを３個用意し、それぞれＲＧＢ用のラ
イトバルブ１００Ｒ、１００Ｇ及び１００Ｂとして用い
たプロジェクタとして構成されている。ここに、これら
三つのライトバルブ１００Ｒ、１００Ｇ及び１００Ｂと
して、上記各種実施形態に係る電気光学装置が使用され
ている。
【０１０２】液晶プロジェクタ１１００では、メタルハ
ライドランプ等の白色光源のランプユニット１１０２か
ら投射光が発せられると、３枚のミラー１１０６及び２
枚のダイクロックミラー１１０８によって、ＲＧＢの三
原色に対応する光成分Ｒ、Ｇ及びＢに分けられ、各色に
対応するライトバルブ１００Ｒ、１００Ｇ及び１００Ｂ
にそれぞれ導かれる。この際特に、Ｂ光は、長い光路に
よる光損失を防ぐために、入射レンズ１１２２、リレー
レンズ１１２３及び出射レンズ１１２４からなるリレー
レンズ系１１２１を介して導かれる。そして、ライトバ
ルブ１００Ｒ、１００Ｇ及び１００Ｂによりそれぞれ変
調された三原色に対応する光成分は、ダイクロックプリ
ズム１１１２により再度合成された後、投射レンズ１１
１４を介してスクリーン１１２０にカラー画像として投
射される。
【０１０３】また、この投射型カラー表示装置では、ラ
イトバルブ１００Ｒ、１００Ｇ及び１００Ｂに対する送
風を行う送風ファン１１４１が装着されている。この送
風ファン１１４１は、ランプユニット１１０２から発せ
られる強力な光を主な原因とする、ライトバルブ１００
Ｒ、１００Ｇ及び１００Ｂにおける熱の蓄積を緩和する
目的を有している。なお、上述した各種構成は、全体的
に、モールド１１５１内に収容されてなる。
【０１０４】このような構成となる第５実施形態におい
ては、まず、上述した各種実施形態に係る電気光学装置
が、上記ライトバルブ１００Ｒ、１００Ｇ及び１００Ｂ
に適用されていることから、該ライトバルブ１００Ｒ、
１００Ｇ及び１００Ｂにおいて、上述と略同様の粉塵付
着防止に係る作用効果が奏されることになる。特に、第
５実施形態では、図７に示すように、ダイクロックプリ
ズム１１１２における光合成の後、投射レンズ１１１４
による拡大表示が行われているから、粉塵付着が発生し
ないということにより享受される作用効果はとりわけ大
きい。
【０１０５】また、前記ライトバルブ１００Ｒ、１００
Ｇ及び１００Ｂが、上記各種実施形態に係る電気光学装
置からなるということは、該ライトバルブ１００Ｒ、１
００Ｇ及び１００Ｂにおいて、防塵ガラスの省略ないし
その厚さ減少による熱の放散が効率的に行われることを
意味するから、第５実施形態では、送風ファン１１４１
が特段に大きな出力をもつ必要がない。したがって、従
来に比べて、消費電力を小さく、また、静穏化した投射
型カラー表示装置を提供することが可能となる。なお、
送風ファン１１４１の存在によって、ライトバルブ１０
０Ｒ、１００Ｇ及び１００Ｂに付着しそうな粉塵等は、
いわば吹き飛ばされることになるから、送風ファン１１
４１が設けられるということは、その点においても好ま
しい効果を生む。
【０１０６】なお、上述においては、電子機器の一例と
して投射型表示装置に適用した例を説明したが、本発明
はこのような形態に限定されるものではなく、既に述べ
たように、電子機器の別の例としての、携帯電話やパー
ソナルコンピュータ等の液晶表示装置に適用可能である
ことは言うまでない。
【０１０７】（電気光学装置内のより詳細な構成）以下
では、上述では触れることのできなかった電気光学装置
の内部の構成、すなわちＴＦＴ、画素電極、走査線及び
データ線等の構成、あるいはこれらの動作等について、
まとめて説明する。
【０１０８】まず、本発明の実施形態における電気光学
装置の画素部における構成について、図８から図１０を
参照して説明する。ここに、図８は、電気光学装置の画
像表示領域を構成するマトリクス状に形成された複数の
画素における各種素子、配線等の等価回路である。ま
た、図９は、データ線、走査線、画素電極等が形成され
たＴＦＴアレイ基板の相隣接する複数の画素群の平面図
であり、図１０は、図９のＡ−Ａ´断面図である。な
お、図１０においては、各層・各部材を図面上で認識可
能な程度の大きさとするため、該各層・各部材ごとに縮
尺を異ならしめてある。
【０１０９】図８において、本実施形態における電気光
学装置の画像表示領域を構成するマトリクス状に形成さ
れた複数の画素には、それぞれ、画素電極９ａと当該画
素電極９ａをスイッチング制御するためのＴＦＴ３０と
が形成されており、画像信号が供給されるデータ線６ａ
が当該ＴＦＴ３０のソースに電気的に接続されている。
データ線６ａに書き込む画像信号Ｓ１、Ｓ２、…、Ｓｎ
は、この順に線順次に供給しても構わないし、相隣接す
る複数のデータ線６ａ同士に対して、グループ毎に供給
するようにしてもよい。
【０１１０】また、ＴＦＴ３０のゲートに走査線３ａが
電気的に接続されており、所定のタイミングで、走査線
３ａにパルス的に走査信号Ｇ１、Ｇ２、…、Ｇｍを、こ
の順に線順次で印加するように構成されている。画素電
極９ａは、ＴＦＴ３０のドレインに電気的に接続されて
おり、スイッチング素子であるＴＦＴ３０を一定期間だ
けそのスイッチを閉じることにより、データ線６ａから
供給される画像信号Ｓ１、Ｓ２、…、Ｓｎを所定のタイ
ミングで書き込む。
【０１１１】画素電極９ａを介して電気光学物質の一例
としての液晶に書き込まれた所定レベルの画像信号Ｓ
１、Ｓ２、…、Ｓｎは、対向基板に形成された対向電極
との間で一定期間保持される。液晶は、印加される電圧
レベルにより分子集合の配向や秩序が変化することによ
り、光を変調し、階調表示を可能とする。ノーマリーホ
ワイトモードであれば、各画素の単位で印加された電圧
に応じて入射光に対する透過率が減少し、ノーマリーブ
ラックモードであれば、各画素の単位で印加された電圧
に応じて入射光に対する透過率が増加され、全体として
電気光学装置からは画像信号に応じたコントラストをも
つ光が出射する。
【０１１２】ここで保持された画像信号がリークするの
を防ぐために、画素電極９ａと対向電極との間に形成さ
れる液晶容量と並列に蓄積容量７０を付加する。この蓄
積容量７０は、走査線３ａに並んで設けられ、固定電位
側容量電極を含むとともに定電位に固定された容量線３
００を含んでいる。
【０１１３】以下では、上記データ線６ａ、走査線３
ａ、ＴＦＴ３０等による、上述のような回路動作が実現
される電気光学装置の、より現実的な構成について、図
９及び図１０を参照して説明する。なお、図１０におい
ては、図２乃至図６に示したようなコーティング部材等
の図示は省略している。
【０１１４】まず、本実施形態に係る電気光学装置は、
図９のＡ−Ａ´線断面図たる図１０に示すように、透明
なＴＦＴアレイ基板１０と、これに対向配置される透明
な対向基板２０とを備えている。ＴＦＴアレイ基板１０
は、例えば、石英基板、ガラス基板、シリコン基板から
なり、対向基板２０は、例えばガラス基板や石英基板か
らなる。
【０１１５】図１０に示すように、ＴＦＴアレイ基板１
０には、画素電極９ａが設けられており、その上側に
は、配向膜１６が設けられている。画素電極９ａは、例
えばＩＴＯ（Indium Tin Oxide）膜等の透明導電性膜か
らなる。他方、対向基板２０には、その全面に渡って対
向電極２１が設けられており、その下側には、配向膜２
２が設けられている。このうち対向電極２１もまた、上
述の画素電極９ａと同様に、例えばＩＴＯ膜等の透明導
電性膜からなる。
【０１１６】一方、図９において、前記画素電極９ａ
は、ＴＦＴアレイ基板１０上に、マトリクス状に複数設
けられており（点線部９ａ´により輪郭が示されてい
る）、画素電極９ａの縦横の境界に各々沿ってデータ線
６ａ及び走査線３ａが設けられている。また、走査線３
ａは、半導体層１ａのうち図中右上がりの斜線領域で示
したチャネル領域１ａ´に対向するように配置されてお
り、走査線３ａはゲート電極として機能する。すなわ
ち、走査線３ａとデータ線６ａとの交差する箇所にはそ
れぞれ、チャネル領域１ａ´に走査線３ａの本線部がゲ
ート電極として対向配置された画素スイッチング用のＴ
ＦＴ３０が設けられている。
【０１１７】ＴＦＴ３０は、図１０に示すように、ＬＤ
Ｄ（Lightly Doped Drain）構造を有しており、その構
成要素としては、上述したようにゲート電極として機能
する走査線３ａ、例えばポリシリコン膜からなり走査線
３ａからの電界によりチャネルが形成される半導体層１
ａのチャネル領域１ａ´、走査線３ａと半導体層１ａと
を絶縁するゲート絶縁膜を含む絶縁膜２、半導体層１ａ
における低濃度ソース領域１ｂ及び低濃度ドレイン領域
１ｃ並びに高濃度ソース領域１ｄ及び高濃度ドレイン領
域１ｅを備えている。
【０１１８】なお、ＴＦＴ３０は、好ましくは図１０に
示したようにＬＤＤ構造をもつが、低濃度ソース領域１
ｂ及び低濃度ドレイン領域１ｃに不純物の打ち込みを行
わないオフセット構造をもってよいし、走査線３ａの一
部からなるゲート電極をマスクとして高濃度で不純物を
打ち込み、自己整合的に高濃度ソース領域及び高濃度ド
レイン領域を形成するセルフアライン型のＴＦＴであっ
てもよい。また、本実施形態では、画素スイッチング用
ＴＦＴ３０のゲート電極を、高濃度ソース領域１ｄ及び
高濃度ドレイン領域１ｅ間に１個のみ配置したシングル
ゲート構造としたが、これらの間に２個以上のゲート電
極を配置してもよい。さらに、ＴＦＴ３０を構成する半
導体層１ａは非単結晶層でも単結晶層でも構わない。単
結晶層の形成には、貼り合わせ法等の公知の方法を用い
ることができる。半導体層１ａを単結晶層とすること
で、特に周辺回路の高性能化を図ることができる。
【０１１９】一方、図１０においては、蓄積容量７０
が、ＴＦＴ３０の高濃度ドレイン領域１ｅ及び画素電極
９ａに接続された画素電位側容量電極としての中継層７
１と、固定電位側容量電極としての容量線３００の一部
とが、誘電体膜７５を介して対向配置されることにより
形成されている。この蓄積容量７０によれば、画素電極
９ａにおける電位保持特性を顕著に高めることが可能と
なる。
【０１２０】中継層７１は、導電性の膜からなり画素電
位側容量電極として機能する。ただし、中継層７１は、
後に述べる容量線３００と同様に、金属又は合金を含む
単一層膜又は多層膜から構成してもよい。中継層７１
は、画素電位側容量電極としての機能のほか、コンタク
トホール８３及び８５を介して、画素電極９ａとＴＦＴ
３０の高濃度ドレイン領域１ｅとを中継接続する機能を
もつ。 容量線３００は、例えば金属又は合金を含む導
電膜からなり固定電位側容量電極として機能する。この
容量線３００は、平面的に見ると、図９に示すように、
走査線３ａの形成領域に重ねて形成されている。より具
体的には容量線３００は、走査線３ａに沿って延びる本
線部と、図中、データ線６ａと交差する各個所からデー
タ線６ａに沿って上方に夫々突出した突出部と、コンタ
クトホール８５に対応する個所が僅かに括れた括れ部と
を備えている。このうち突出部は、走査線３ａ上の領域
及びデータ線６ａ下の領域を利用して、蓄積容量７０の
形成領域の増大に貢献する。
【０１２１】このような容量線３００は、好ましくは高
融点金属を含む導電性遮光膜からなり、蓄積容量７０の
固定電位側容量電極としての機能のほか、ＴＦＴ３０の
上側において入射光からＴＦＴ３０を遮光する遮光層と
しての機能をもつ。また、容量線３００は、好ましく
は、画素電極９ａが配置された画像表示領域１０ａから
その周囲に延設され、定電位源と電気的に接続されて、
固定電位とされる。 誘電体膜７５は、図１０に示すよ
うに、例えば膜厚５〜２００ｎｍ程度の比較的薄いＨＴ
Ｏ（High Temperature Oxide）膜、ＬＴＯ（Low Temper
ature Oxide）膜等の酸化シリコン膜、あるいは窒化シ
リコン膜等から構成される。 図９及び図１０において
は、上記のほか、ＴＦＴ３０の下側に、下側遮光膜１１
ａが設けられている。下側遮光膜１１ａは、格子状にパ
ターニングされており、これにより各画素の開口領域を
規定している。なお、開口領域の規定は、開口領域の規
定は、図９中のデータ線６ａと、これに交差するよう形
成された容量線３００とによっても、なされている。ま
た、下側遮光膜１１ａについても、前述の容量線３００
の場合と同様に、その電位変動がＴＦＴ３０に対して悪
影響を及ぼすことを避けるために、画像表示領域からそ
の周囲に延設して定電位源に接続するとよい。
【０１２２】また、ＴＦＴ３０下には、下地絶縁膜１２
が設けられている。下地絶縁膜１２は、下側遮光膜１１
ａからＴＦＴ３０を層間絶縁する機能のほか、ＴＦＴア
レイ基板１０の全面に形成されることにより、ＴＦＴア
レイ基板１０の表面研磨時における荒れや、洗浄後に残
る汚れ等で画素スイッチング用のＴＦＴ３０の特性変化
を防止する機能を有する。
【０１２３】加えて、走査線３ａ上には、高濃度ソース
領域１ｄへ通じるコンタクトホール８１及び高濃度ドレ
イン領域１ｅへ通じるコンタクトホール８３がそれぞれ
開孔された第１層間絶縁膜４１が形成されている。
【０１２４】第１層間絶縁膜４１上には、中継層７１及
び容量線３００が形成されており、これらの上には高濃
度ソース領域１ｄへ通じるコンタクトホール８１及び中
継層７１へ通じるコンタクトホール８５がそれぞれ開孔
された第２層間絶縁膜４２が形成されている。
【０１２５】なお、本実施形態では、第１層間絶縁膜４
１に対しては、約１０００℃の焼成を行うことにより、
半導体層１ａや走査線３ａを構成するポリシリコン膜に
注入したイオンの活性化を図ってもよい。他方、第２層
間絶縁膜４２に対しては、このような焼成を行わないこ
とにより、容量線３００の界面付近に生じるストレスの
緩和を図るようにしてもよい。
【０１２６】第２層間絶縁膜４２上には、データ線６ａ
が形成されており、これらの上には中継層７１へ通じる
コンタクトホール８５が形成された第３層間絶縁膜４３
が形成されている。
【０１２７】第３層間絶縁膜４３の表面は、ＣＭＰ（Ch
emical Mechanical Polishing）処理等により平坦化さ
れており、その下方に存在する各種配線や素子等による
段差に起因する液晶層５０の配向不良を低減する。ただ
し、このように第３層間絶縁膜４３に平坦化処理を施す
のに代えて、又は加えて、ＴＦＴアレイ基板１０、下地
絶縁膜１２、第１層間絶縁膜４１及び第２層間絶縁膜４
２のうち少なくとも一つに溝を掘って、データ線６ａ等
の配線やＴＦＴ３０等を埋め込むことにより、平坦化処
理を行ってもよい。
【０１２８】本発明は、上述した実施形態に限られるも
のではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる
発明の要旨、あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可
能であり、そのような変更を伴う電気光学装置並びに電
子機器及び投射型表示装置もまた、本発明の技術的範囲
に含まれるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の実施形態の電気光学装置におけるＴ
ＦＴアレイ基板を、その上に形成された各構成要素とと
もに対向基板の側から見た平面図である。
【図２】 図１のＨ−Ｈ´断面図である。
【図３】 本発明の第１実施形態に係り、図２に示す符
号ＣＲを付した円内部分を拡大して示す断面図である。
【図４】 図３と同趣旨の図であるが、本発明の第２実
施形態に係り、同図とは防塵ガラスが設けられている点
で異なるものである。
【図５】 図３と同趣旨の図であるが、本発明の第３実
施形態に係り、同図とはＡＲコートの構造が異なるもの
である。
【図６】 図３と同趣旨の図であるが、本発明の第４実
施形態に係り、同図とはコーティング部材等が分離光学
要素の一部を構成している点で異なるものである。
【図７】 投射型表示装置の一例たるカラー液晶プロジ
ェクタの一例を示す図式的断面図である。
【図８】 本発明の実施形態の電気光学装置における画
像表示領域を構成するマトリクス状の複数の画素に設け
られた各種素子、配線等の等価回路を示す回路図であ
る。
【図９】 本発明の実施形態の電気光学装置におけるデ
ータ線、走査線、画素電極等が形成されたＴＦＴアレイ
基板の相隣接する複数の画素群の平面図である。
【図１０】 図９のＡ−Ａ´断面図である。
【符号の説明】
１０…ＴＦＴアレイ基板 ２０…対向基板 ５０…液晶 ４０１…コーティング部材 ４０３…ＩＴＯ層（「コーティング部材」の一例） ４０４、４０４ａ、４０４ｂ、４０４ｃ…（ＡＲコート
の一部を構成する）コーティング部材 ５００、５０１…ＡＲコート ５０２…第１ジルコニア層 ５０３…シリカ層 ５０４…第２ジルコニア層 ７０１…偏光板 １１００…カラー液晶プロジェクタ １００Ｒ、１００Ｇ、１００Ｂ…ライトバルブ １１４１…送風ファン
フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H088 EA12 HA01 HA04 MA01 MA20 2H090 HC05 HC16 JA06 JA07 JC07 2H091 FA50X FB07 GA01 GA16 KA10 LA02 LA07 LA16 MA07 2K103 AA01 AA05 AA11 AB07 BA03 BB03 CA67 CA75 5C058 AA08 AB01 BA35

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 電気光学物質を挟持してなる一対の基板
    と、該一対の基板のうちの一方の基板上に、表示用電極
    と、該表示用電極にスイッチング素子を介して又は直接
    に接続された配線とを備えた電気光学装置であって、 該電気光学装置は、前記一対の基板のうちの少なくとも
    一方における、前記電気光学物質に対向しない側に帯電
    防止性材料からなるコーティング部材を備えてなること
    を特徴とする電気光学装置。
  2. 【請求項２】 前記コーティング部材は、前記一対の基
    板のうちの他方の基板上に備えられていることを特徴と
    する請求項１に記載の電気光学装置。
  3. 【請求項３】 前記コーティング部材は、前記他方の基
    板上に形成された防塵ガラス上に備えられていることを
    特徴とする請求項２に記載の電気光学装置。
  4. 【請求項４】 前記コーティング部材は、無反射コート
    の少なくとも一部を構成することを特徴とする請求項１
    乃至３のいずれか一項に記載の電気光学装置。
  5. 【請求項５】 前記無反射コートは、多層構造を有する
    ことを特徴とする請求項４に記載の電気光学装置。
  6. 【請求項６】 前記コーティング部材は、透明導電性材
    料からなることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか
    一項に記載の電気光学装置。
  7. 【請求項７】 前記透明導電性材料からなる前記コーテ
    ィング部材は、グランド電位とされていることを特徴と
    する請求項６に記載の電気光学装置。
  8. 【請求項８】 当該電気光学装置から離間して設けられ
    た光学要素を更に備え、 前記コーティング部材は、前記光学要素に設けられてい
    ることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一項に記
    載の電気光学装置。
  9. 【請求項９】 前記コーティング部材の電気抵抗値は、
    １０１２〔Ω〕以下であることを特徴とする請求項１乃
    至８のいずれか一項に記載の電気光学装置。
  10. 【請求項１０】 電気光学物質を挟持してなる一対の基
    板と、該一対の基板のうちの一方の基板上に、表示用電
    極と、該表示用電極にスイッチング素子を介して又は直
    接に接続された配線とを備えた電気光学装置であって、 該電気光学装置は、前記一対の基板の少なくとも一方に
    おける、前記電気光学物質に対向しない側の、その少な
    くとも表面において界面活性剤を含むコーティング部材
    を備えてなることを特徴とする電気光学装置。
  11. 【請求項１１】 請求項１乃至１０のいずれか一項に記
    載の電気光学装置を具備してなることを特徴とする電子
    機器。
  12. 【請求項１２】 請求項１乃至１０のいずれか一項に記
    載の電気光学装置からなるライトバルブと、 該ライトバルブに投射光を入射する光源と、 該ライトバルブから出射した前記投射光を投射する光学
    系と、 前記ライトバルブに対する送風を行う送風ファンとを備
    えたことを特徴とする投射型表示装置。
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