JP2003248966A

JP2003248966A - 可撓性記録ディスク

Info

Publication number: JP2003248966A
Application number: JP2002048100A
Authority: JP
Inventors: Nobuaki Onaki; 伸晃小名木; Yasutomo Aman; 康知阿萬; Shiyouzou Murata; 省蔵村田
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 2002-02-25
Filing date: 2002-02-25
Publication date: 2003-09-05

Abstract

(57)【要約】【課題】回転駆動時における回転軸方向の振れが空気
流の圧力差によって安定化される可撓性記録ディスクに
おいて、静止時の反りが小さい構造にする。【解決手段】成形後の記録面１３側において転写層１
２は引張り応力，記録層１３は圧縮応力，オーバーコー
ト１４が引張り応力の膜になるため、反対面のオーバー
コート１５を厚めなものとすることにより、フレキシブ
ル基板１１の両面における残留応力を、互いに同じ大き
さ、かつ同じ向きとしてバランスさせる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、可撓性を有する光
ディスクなどの可撓性記録ディスクに係り、特に記録／
再生時の回転駆動時における回転軸方向の振れが空気流
の圧力差によって安定化される可撓性記録ディスクに関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、テレビ放送のデジタル化が始まる
など、大容量のデジタルデータを記録することが光ディ
スクに求められている。光ディスクの高密度化のための
手法のうち、基本的な方法は記録／再生のための光のス
ポット径を小さくすることである。

【０００３】このため、記録／再生のために用いられる
光の波長を短く、かつ対物レンズの開口数ＮＡを大きく
することが有効である。光の波長についてはＣＤ（comp
actdisk）では近赤外光の７８０ｎｍ、ＤＶＤ（digital
versatile disk）では赤色光の６５０ｎｍ近傍の波長
が用いられている。最近、青紫光の半導体レーザが開発
され、今後は４００ｎｍ近傍のレーザ光が使用されると
予想される。

【０００４】また、対物レンズについては、ＣＤ用はＮ
Ａ０．５未満であったが、ＤＶＤ用はＮＡ０．６程度で
ある。今後、さらに開口数（ＮＡ）を大きくしてＮＡ
０．７以上とすることが求められる。しかし、対物レン
ズのＮＡを大きくすること、および光の波長を短くする
ことは、光を絞るときに収差の影響が大きくなることで
もある。したがって、光ディスクのチルトやデフォーカ
スに対するマージンが減ることになる。また、ＮＡを大
きくすることによって焦点深度が小さくなるため、フォ
ーカスサーボ精度を上げなくてはならない。

【０００５】さらに、高ＮＡの対物レンズを使用するこ
とによって、対物レンズと光ディスクの記録面との距離
が小さくなってしまうため、光ディスクの面ぶれを小さ
くしておかないと、始動時のフォーカスサーボを引き込
む直前、対物レンズと光ディスクとが衝突することがあ
り、ピックアップの故障の原因となる。

【０００６】短波長，高ＮＡの大容量光ディスクとし
て、例えばＯＰＬＵＳＥ（ｖｏｌ．２０Ｎｏ．２）
の１８３ページに示されているように、ＣＤと同程度に
厚く剛性の大きい基板に記録膜を成膜し、記録／再生用
の光を基板を通さずに、薄いカバー層内を通して記録膜
に対して記録／再生する構成のシステムが提案されてい
る。

【０００７】また、例えば特開平７−１０５６５７号公
報,特開平１０−３０８０５９号公報に記載されている
ように、平面をもつ安定化板上で可撓性を有する光ディ
スクを回転させて、光ディスクにおける面ぶれを安定化
させる方法が知られている。

【０００８】また、本発明者らは、特願２００１−２２
８９４３号により、フレキシブル基板に記録膜を形成し
たディスクにおいて、記録面の裏面側をガイドで空気安
定化して面ぶれを数μm以下とし、高ＮＡレンズを用い
た光ディスクシステムを提案した。

【０００９】図５は特願２００１−２２８９４３号の発
明の説明図であり、１は可撓性を有するシート状の光デ
ィスク、２は光ディスク１のハブ３を保持するスピンド
ルシャフト、４はスピンドルシャフト２を回転駆動する
スピンドルモータ、５は、光ディスク１に対して光ビー
ムＬａを出射して情報の書き込みを行う記録手段、およ
び光ディスク１からの反射ビームＬｂにより書き込まれ
た情報の読み取りを行う再生手段としての光ピックアッ
プ、６は光ピックアップ５に設けられた対物レンズ、７
は、光ディスク１を介して光ピックアップ５に対向設置
され、光ディスク１の面振れを防止するための安定化ガ
イド部材である。

【００１０】前記光ディスク１の基本構成は図６の断面
図に示すものであって、記録層８が光ピックアップ５の
対物レンズ６に対向し、可撓性を有するディスク基板９
が安定化ガイド部材７に対向するように、スピンドルシ
ャフト２に設けられたチャッキング部にセットされる。

【００１１】図５において、記録／再生時、前記構成の
可撓性を有する光ディスク１を、光ピックアップ５と安
定化ガイド部材７間で回転させる。回転している光ディ
スク１は、それ自体、小さいながら剛性を持ち、また回
転すると遠心力の作用により、真っ直ぐな状態になろう
とする力を持つ。したがって、光ディスク１に対して安
定化ガイド部材７を近づけて、ベルヌーイの法則に基づ
く空気流の圧力差による反発力を生成して光ディスク１
に与えることにより、光ディスク１が真っ直ぐになろう
とする力と、安定化ガイド部材７からの反発力の釣り合
いによって、大きな面ぶれ（ディスク回転軸方向の振
れ）を減少させることができる。

【００１２】図５に示すような構成例では、光ディスク
１との対向面が円弧状をなす円柱状の安定化ガイド部材
７を用いており、光ディスク１における安定化ガイド部
材７による前記空気圧の作用による面ぶれが安定する部
位Ａにおけるディスク回転方向上流側と下流側とに前記
空気圧の作用を生じさせない領域（安定化ガイド部材７
がない空間部）Ｂ，Ｃを設け、面ぶれを安定化させた部
位Ａの前後位置に光ディスク１に「逃げ」となる部分を
存在させることによって、面ぶれを安定化させた部位Ａ
における光ディスク１の反発力を小さくするようにして
いる。このようにしたことによって、空気力による安定
化力の効果が増大することになる。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】前記のように可撓性を
有するディスクにおける面振れを空気流の圧力差によっ
て安定化させる方法では、ディスクとして前記圧力差を
受けて容易に曲がり得る特性が必要となる。

【００１４】ところが、ディスクの基板となる薄いプラ
スチックフィルムに対してスパッタリング、あるいは化
学的気相成長法にて記録膜を形成したり、トラッキング
用のグルーブなどを紫外線硬化樹脂で形成したりする
と、これらの膜における残留応力によって可撓性を有す
る基板が大きく反ることがあった。記録膜の成膜温度、
あるいは紫外線硬化樹脂の硬化時における収縮の状態な
どの違いにより、ディスク全体の反りの状態は影響を受
け、まったく反らないようにディスクを製造することは
困難であった。

【００１５】特許第２９４２４３０号公報には、可撓性
を有するディスクの外周部に高剛性の部位を設けて、デ
ィスクの反りを小さくする方法が開示されている。この
方法はディスクの反りを小さくできるという利点がある
が、高剛性部を設けるためにディスクの厚みが大きくな
り、ジュークボックス型にディスクを積層して用いる場
合に小型化することに難がある。

【００１６】また、静止時にディスクが反っていても回
転時にガイドで矯正して反り、面振れを小さくすること
は可能であるが、最初から反りが小さい方がガイドでの
安定化効果は大きい。

【００１７】また、静止時の反りが大きいと、ディスク
を多数枚カートリッジに入れてジュークボックスタイプ
の装置として用いるとき、ディスクの起動時にディスク
が周辺と摺動して傷がつくおそれがある。

【００１８】特開平９−５４９８５号公報には、紫外線
硬化樹脂の硬化収縮による基板変形を２枚貼り合わせる
ことで打ち消す方法が開示されているが、可撓性を有す
るディスクを２枚の貼り合わせで作成することは、硬く
かつ厚い構成のディスクとは異なり、欠陥ができやす
く、しかも製造が難しい。

【００１９】特許第２５４３２３０号公報には、基板が
薄くなったときに高剛性の板を挟んで貼ることにより、
薄い基板における反りを小さくするようにした方法が開
示されているが、この方法では薄くはなるが、ディスク
の可撓性がなくなり、前記のような空気流の圧力差によ
る面振れ安定化ができなくなってしまう。

【００２０】本発明の目的は、回転駆動時における回転
軸方向の振れが空気流の圧力差によって安定化される可
撓性記録ディスクにおいて、静止時の反りを小さくで
き、数枚積載状態にしても載置高さを低くでき、しかも
互いに傷付けないようにできる構成の可撓性記録ディス
クを提供することにある。

【００２１】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、請求項１記載の発明は、回転駆動時における回転軸
方向の振れが空気流の圧力差によって安定化される可撓
性記録ディスクにおいて、可撓性を有するディスク基板
の片面に圧縮応力あるいは引張り応力をもつ記録膜を形
成し、他面に前記記録面と同様に圧縮応力あるいは引張
り応力をもつ保護膜を形成したことを特徴とする。

【００２２】請求項２記載の発明は、回転駆動時におけ
る回転軸方向の振れが空気流の圧力差によって安定化さ
れる可撓性記録ディスクにおいて、可撓性を有するディ
スク基板の片面に圧縮応力をもつ記録膜を形成し、他面
に引張り応力をもつ紫外線硬化樹脂からなる保護膜を形
成したことを特徴とする。

【００２３】請求項３記載の発明は、回転駆動時におけ
る回転軸方向の振れが空気流の圧力差によって安定化さ
れる可撓性記録ディスクにおいて、可撓性を有するディ
スク基板の片面に圧縮応力をもつ記録膜を形成し、他面
に圧縮応力をもつ無機膜を保護膜として形成したことを
特徴とする。

【００２４】請求項４記載の発明は、回転駆動時におけ
る回転軸方向の振れが空気流の圧力差によって安定化さ
れる可撓性記録ディスクにおいて、可撓性を有するディ
スク基板の片面に圧縮応力をもつ記録膜を形成し、他面
に圧縮応力をもつダイヤモンドライクカーボン保護膜を
形成したことを特徴とする。

【００２５】請求項５記載の発明は、請求項１〜４いず
れか１項記載の可撓性記録ディスクにおいて、ディスク
基板を平板上に静止させたときの反りが、中心部と周辺
部との高さの差Ｔとディスク半径Ｒとの比（Ｔ／Ｒ）が
０．１以下になるように設定したことを特徴とする。

【００２６】前記構成の可撓性記録ディスクによれば、
可撓性を有するディスク基板における一面にプリグルー
ブを形成する転写層および記録／再生を行う記録層を形
成し、ディスク基板の他面に無機材料の薄膜あるいは紫
外線硬化樹脂の保護膜などを形成することにより、記録
膜やグルーブ転写層が形成されたディスク基板には基板
と膜の間に残留応力が発生するため、記録膜あるいはグ
ルーブ転写層が形成される面とは反対面に、前記残留応
力と同じ応力が発生するような膜を形成することにより
前記２面における応力をバランスさせることにより、反
りの発生を小さくすることができる。また、従来のよう
にディスク基板の一部を厚くするなどの補強構造が不要
であるためディスクが厚くならず、ディスクを積層した
ときに全体の厚さが高くなることがない。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施形態に
ついて図面を参照しながら説明する。

【００２８】図１は本発明の第１実施形態を説明するた
めの可撓性光ディスクの構成を示す断面図であり、フレ
キシブル基板（ディスク基板）１１である厚さ６０μ
ｍ，直径１２０ｍｍの円盤状ポリエチレンテレフタレー
ト（ＰＥＴ）フィルム上に、紫外線硬化樹脂（大日本イ
ンキ製ＳＤ３１８）を用いて、厚さ１５μｍのグルーブ
転写層１２を形成した。これはＮｉスタンパ上に紫外線
硬化樹脂を滴下し、その上にＰＥＴフィルムを貼り合わ
せて紫外線で硬化させ、その後，ＰＥＴフィルムをスタ
ンパから剥離して製作した。０．７μｍピッチでグルー
ブを形成し、ランドとグルーブの比率は１：１、かつグ
ルーブ深さは４５ｎｍである。

【００２９】このフィルムをインラインスパッタ装置
（製品名アネルバＩＬＣ３１０５）のスパッタトレイの
基板ホルダに装着し、４層からなる記録膜１３をスパッ
タ成膜した。スパッタガスは全て純アルゴンであって、
ターゲット直径は２００ｍｍである。また混合体は、そ
れぞれの組成の合金または燒結体のターゲットを用い
た。

【００３０】スパッタ時のトレイへのフレキシブル基板
１１の装着は、直径１２０ｍｍにカットしたフレキシブ
ル基板１１を同じサイズのガラス板に載せ，外周をマス
クで押さえて取り付けた。したがって、スパッタ中はシ
ートは強制的に平面に保持される。

【００３１】記録層１３の成膜（４層）は，まず、転写
された紫外線硬化樹脂のグルーブの上に反射放熱層とし
てＡｇ膜を３０ｎｍ形成した。スパッタ圧力は０．３Ｐ
ａ、かつスパッタ電力は０．５ｋＷ／ＤＣとした。

【００３２】次に、断熱保護膜として、ＺｒＯ₂−Ｙ₂Ｏ
₃−ＳｉＯ₂混合膜を６ｎｍ形成した。スパッタ圧力は
０．１５Ｐａ、かつスパッタ電力は１．５ｋＷ／ＲＦと
した。

【００３３】次に、相変化型記録層として、ＡｇＩｎＳ
ｂＴｅＧｅ膜を１０ｎｍ形成した。スパッタ圧力は０．
１Ｐａ、かつスパッタ電力は０．３ｋＷ／ＤＣとした。

【００３４】次に、上部保護膜として、ＺｎＳ−ＺｒＯ
₂−Ｙ₂Ｏ₃混合膜を３０ｎｍ形成した。スパッタ圧力は
０．１５Ｐａ、スパッタ電力は１．５ｋＷ／ＲＦとし
た。

【００３５】その後、ディスクをスパッタ装置から取り
出して、この記録層１３の上に、紫外線硬化樹脂（大日
本インキ製ＰＥＡ３００）を３μｍスピンコートし、紫
外線照射して硬化させ、オーバーコート（保護膜）１４
とした。

【００３６】最後に、このフレキシブル基板１１のスパ
ッタ膜の反対面を、紫外線硬化樹脂（大日本インキ製Ｓ
Ｄ３１８）にて２０μｍスピンコートして、紫外線を照
射して硬化させ、オーバーコート（保護膜）１５とし
た。

【００３７】このディスクを、大口径レーザを用いた初
期化装置でＡｇＩｎＳｂＴｅＧｅ記録層を溶融し、結晶
化させた。

【００３８】（表１）にこのディスクがＰＥＴシートの
状態から紫外線硬化樹脂でのグルーブ転写，成膜，反対
面の紫外線硬化樹脂コートと工程を経るにしたがって、
静止状態での反りがどのように変化したかを示す。反り
は、平板上に記録膜を下にディスクを載置し、反って捲
くり上がった最上点の高さとディスク直径の比で表し
た。反りなしであれば，この比は０になり、理想は０で
ある。

【００３９】

【表１】注（＊）オーバーコート後、シートがロール状に丸まっ
てしまった。

【００４０】（表１）において、フレキシブル基板の両
側の膜応力がバランスすればよいはずであるが、薄膜の
応力測定は難しい。また、最終目的はディスクが反らな
いことであるから、そりの状態が単純に小さいというこ
とでディスクを評価した。

【００４１】ディスクの反りは普通は角度で定義する
が，可撓性光ディスクのような構造の場合，はなはだし
いときは捲くれ上がってロール状になってしまうなど、
極端な場合があり、またディスクを回転し、ピックアッ
プのレンズの動きから反りを評価する一般的な機械特性
評価装置では静止状態での反りは評価できない。回転す
ると、空気あるいは遠心力の影響を受けて状態が急速に
変化するからである。そこで、きわめて簡便ではある
が，ディスクを平板において、そのときの反って捲くり
上がった最上点の高さとディスク直径の比で反りの状態
で評価した。

【００４２】（表１）に示すように、反対面のオーバー
コート１５を形成することによって、ロール状に丸まっ
てしまうまでになったディスクをほぼ元に戻すことがで
きた。

【００４３】前記実施形態の可撓性光ディスクにおい
て、スパッタの誘電体膜および金属膜は成膜後に圧縮応
力になる。また紫外線硬化樹脂も紫外線硬化するとき収
縮するために膜には引張り応力が残留する。記録面１３
側において転写層１２は引張り応力，記録層１３は圧縮
応力，オーバーコート１４が引張り応力の膜になる。こ
こで転写層１２およびオーバーコート１４は厚さが大き
く応力が大きい。そのため、反対面のオーバーコート１
５も厚めなものとし、互いの残留応力を同じ大きさ、か
つ同じ向きとしてバランスさせた。

【００４４】このようにして、可撓性光ディスクでは、
ほぼ反りを除くことができたため、図５にて説明したよ
うなディスク駆動装置にて、支障なく記録再生を行うこ
とができた。

【００４５】図２は本発明の第２実施形態を説明するた
めの可撓性光ディスクの構成を示す断面図であり、フレ
キシブル基板（ディスク基板）２１である厚さ６０μ
ｍ，直径１２０ｍｍの円盤状ポリエチレンテレフタレー
ト（ＰＥＴ）フィルム上に、熱可塑製樹脂である塩化ビ
ニルを用いて厚さ１０μｍのグルーブ転写層２２を熱転
写法にて形成した。０．７μｍピッチでグルーブを形成
し、ランドとグルーブの比率は１：１、かつグルーブ深
さは４５ｎｍである。

【００４６】このフィルムをインラインスパッタ装置
（製品名アネルバＩＬＣ３１０５）のスパッタトレイの
基板ホルダに装着し、４層からなる記録膜２３をスパッ
タ成膜した。スパッタガスはカーボン膜以外は純アルゴ
ンであり、ターゲット直径は２００ｍｍである。また、
混合体は、それぞれの組成の合金または燒結体のターゲ
ットを用いた。

【００４７】スパッタ時のトレイへのフレキシブル基板
２１の装着は、直径１２０ｍｍにカットしたフレキシブ
ル基板２１を同じサイズのガラス板に載置し、外周をマ
スクで押さえて取り付けた。したがって、スパッタ中は
シートは強制的に平面に保持される。

【００４８】記録膜２３の成膜（４層）は、まず、転写
されたグルーブの上に反射放熱層としてＡｇ膜を４０ｎ
ｍ形成した。スパッタ圧力は０．３Ｐａ、かつスパッタ
電力は０．５ｋＷ／ＤＣとした。

【００４９】次に、断熱保護膜として、ＺｒＯ₂−Ｙ₂Ｏ
₃−ＳｉＯ₂混合膜を６ｎｍ形成した。スパッタ圧力は
０．１５Ｐａ、かつスパッタ電力は１．５ｋＷ／ＲＦと
した。

【００５０】次に、相変化型追記記録層としてＧｅＴｅ
膜を８ｎｍ形成した。スパッタ圧力は０．１Ｐａ、かつ
スパッタ電力は０．３ｋＷ／ＤＣとした。

【００５１】次に、上部保護膜としてＺｎＳ−ＺｒＯ₂
−Ｙ₂Ｏ₃混合膜を２５ｎｍ形成した。スパッタ圧力は
０．１５Ｐａ、かつスパッタ電力は１．５ｋＷ／ＲＦと
した。

【００５２】最後に、グラファイトターゲットを用い、
摺動保護膜としてカーボン保護膜２４を形成した。膜厚
は１０ｎｍとした。スパッタガスはアルゴン／４０体積
％のメタンを用いた。スパッタ圧力は０．１５Ｐａ、か
つスパッタ電力は１．０ｋＷ／ＲＦとした。

【００５３】この後、ディスクをスパッタ装置から取り
出して、フレキシブル基板２１の記録膜２３と反対側に
カーボン膜を形成した。本例では、化学的気相成長法を
用い、ダイヤモンドライクカーボン膜２５を形成した。
膜厚は３０ｎｍとした。原料ガスにはトルエンを用い
た。成膜中圧力は０．８Ｐａ、かつ投入電力は１ｋＷと
した。

【００５４】このディスクは、ＧｅＴｅの成膜直後のア
モルファス相を駆動装置側に設置されたレーザ加熱で結
晶化することにより記録する追記型ディスクである。し
たがって、記録膜２３上のカーボン保護膜２４として摺
動性は良いが、耐熱性に劣るカーボン膜を用いることが
でき、紫外線硬化樹脂は一切用いる必要がない。このた
め記録膜２３側における膜全部の応力は小さくなる。そ
のため、応力バランスのための記録膜２３とは反対側の
膜をダイヤモンドライクカーボン膜２５のみにすること
ができた。

【００５５】ダイヤモンドライクカーボンは、摺動性が
よく、また記録膜２３を含めて、全てドライ−プロセス
でディスクを形成できるために、欠陥が少なく、歩留ま
りの高いディスク製造を行うことができた。

【００５６】なお、第２実施形態の可撓性光ディスクの
完成時の反り、高さ／直径の比の評価の結果、０．０１
であって、きわめて良好な耐反り特性をもっていた。

【００５７】図３は本発明の第３実施形態を説明するた
めの可撓性光ディスクの構成を示す断面図であり、フレ
キシブル基板（ディスク基板）３１である厚さ７５μ
ｍ，直径１２０ｍｍの円盤状で熱可塑製樹脂であるポリ
プロピレンフィルム上にグルーブ転写層３２を熱転写法
にて形成した。０．７μｍピッチでグルーブを形成し，
ランドとグルーブの比率は１：１、かつグルーブ深さは
４５ｎｍである。

【００５８】このフィルムをインラインスパッタ装置
（製品名アネルバＩＬＣ３１０５）のスパッタトレイの
基板ホルダに装着し、４層からなる記録膜３３をスパッ
タ成膜した。スパッタガスは純アルゴンであり、ターゲ
ット直径は２００ｍｍである。また混合体は、それぞれ
の組成の合金または燒結体のターゲットを用いた。

【００５９】スパッタ時のトレイへのフレキシブル基板
３１の装着は、直径１２０ｍｍにカットしたフレキシブ
ル基板３１を同じサイズのガラス板に載置し、外周をマ
スクで押さえて取り付け。したがって、スパッタ中は、
フレキシブル基板３１は強制的に平面に保持される。

【００６０】記録膜３３の成膜（４層）は、まず、転写
された紫外線硬化樹脂のグルーブの上に反射放熱層とし
てＡｌ−１ｗｔ％Ｓｉ膜を３０ｎｍ形成した。スパッタ
圧力は０．２Ｐａ、かつスパッタ電力は１．５ｋＷ／Ｄ
Ｃとした。

【００６１】次に、保護膜としてＳｉ₃Ｎ₄膜を６ｎｍ形
成した。スパッタ圧力は０．１５Ｐａ、かつスパッタ電
力は１．５ｋＷ／ＲＦとした。

【００６２】次に、光磁気型記録層としてＴｂＦｅＣｏ
膜を１０ｎｍ形成した。スパッタ圧力は０．１Ｐａ、か
つスパッタ電力は０．３ｋＷ／ＤＣとした。

【００６３】次に、上部保護膜としてＺｎＳ−ＺｒＯ₂
−Ｙ₂Ｏ₃混合膜を２０ｎｍ形成した。スパッタ圧力は
０．１５Ｐａ、かつスパッタ電力は１．５ｋＷ／ＲＦと
した。

【００６４】最後に、摺動保護膜として窒化シリコン保
護膜（Ｓｉ₃Ｎ₄膜）３４を１０ｎｍ形成した。スパッタ
圧力は０．１５Ｐａ、かつスパッタ電力は１．５ｋＷ／
ＲＦとした。

【００６５】その後、ディスクをスパッタ装置から取り
出してフレキシブル基板３１の記録膜３３とは反対側に
カーボン膜を形成した。本例では化学的気相成長法を用
い、ダイヤモンドライクカーボン膜３５を形成した。膜
厚は２０ｎｍとした。原料ガスにはトルエンを用いた。
成膜中圧力は０．８Ｐａ、かつ投入電力は１ｋＷとし
た。

【００６６】第３実施形態の可撓性光ディスクは相変化
型ではないので記録温度が低く、また相変化に由来する
体積変化がないため、記録時に膜は微小な変形を生じな
い。したがって、膜変形を防止するために紫外線硬化樹
脂を一切用いる必要がない。このため、記録膜３３側に
おける膜全部の応力は小さくなる。そのため、応力バラ
ンスのためのフレキシブル基板３１における記録膜３３
とは反対側の膜をダイヤモンドライクカーボン膜３５の
みにすることができた。

【００６７】ダイヤモンドライクカーボン膜３５は摺動
性がよく、また記録膜３３を含め、すべてドライ−プロ
セスでディスクを形成できるために、欠陥が少なく、歩
留まりの高いディスク製造を行うことができた。

【００６８】なお、第３実施形態の可撓性光ディスクの
完成時の反り、高さ／直径の比の評価の結果、０．０１
であって、きわめて良好な耐反り特性をもっていた。

【００６９】図４は、前記実施形態のような可撓性光デ
ィスクを３６００ｒｐｍで、かつ図５における空気力に
よって面振れを安定させるための機構（安定化ガイド部
材７）を備えずにフリーに回転駆動させたときのディス
ク面振れ（ピーク・ツー・ピーク：ＰＰ値）の状態をレ
ーザ変位計で測定した結果を示す図である。

【００７０】フリー回転中の可撓性光ディスクは、図５
に示すような安定化ガイド部材７によって、その面振れ
を１０μｍまで抑制することができるが、回転当初の面
振れが大きいと安定化ガイド部材に当接，摺動してしま
うことがある。また、このような状態はフリー回転時に
は４００μｍを超えると生じる。

【００７１】したがって、図５に示すような安定化ガイ
ド部材７を用いて可撓性光ディスクにおける面振れを１
０μｍ以下に抑制することを保証するには、ディスクの
フリー回転時の面振れを４００μｍ以下にする必要があ
る。

【００７２】このことから、図４を考察すると、ディス
ク面振れ４００μｍを保証することができるのは、可撓
性光ディスクにおける中心部と周辺部との高さの差Ｔと
ディスク半径Ｒとの比（Ｔ／Ｒ：図５参照）が０．１以
下のときである。よって、ディスク基板を平板上に静止
させたときの反りが、中心部と周辺部との高さの差Ｔと
ディスク半径Ｒとの比（Ｔ／Ｒ）が０．１以下になるよ
うに設定すれば、各実施形態における可撓性光ディスク
を、図５に示すような安定化ガイド部材７を用いてディ
スクの状態を良好に安定化させることが可能になる。

【００７３】なお、本発明は、光ディスクに限定される
ものではなく、フレキシブル基板を用いた記録媒体すべ
てに対して適用することができる。

【００７４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ディスク基板の表裏両面における残留応力のバランスを
とることにより、ディスクの反りの発生を抑制すること
ができるため、回転駆動時における回転軸方向の振れが
空気流の圧力差によって安定化される可撓性記録ディス
クにおいて、静止時の反りを小さくでき、良好な記録／
再生が行え、また、例えばディスクを数枚積載状態にし
ても載置高さを低くでき、しかも互いに傷付けないよう
にできるなどの実際的な効果が大である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態を説明するための可撓性
光ディスクの構成を示す断面図

【図２】本発明の第２実施形態を説明するための可撓性
光ディスクの構成を示す断面図

【図３】本発明の第３実施形態を説明するための可撓性
光ディスクの構成を示す断面図

【図４】可撓性光ディスクを３６００ｒｐｍで、かつ空
気力によって面振れを安定させるための機構を備えずに
フリーに回転駆動させたときのディスク面振れ（ＰＰ
値）の状態をレーザ変位計で測定した結果を示す図

【図５】特願２００１−２２８９４３号の発明の説明図

【図６】可撓性光ディスクの基本構造例を示す断面図

【符号の説明】

１光ディスク５光ピックアップ７安定化ガイド部材８記録層９ディスク基板１１，２１，３１フレキシブル基板１２，２２，３２グルーブ転写層１３，２３，３３記録膜１４，１５オーバーコート２４カーボン保護膜２５，３５ダイヤモンドライクカーボン膜３４窒化シリコン保護膜

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｇ１１Ｂ 7/0037 Ｇ１１Ｂ 7/0037 (72)発明者村田省蔵東京都大田区中馬込１丁目３番６号株式会社リコー内Ｆターム(参考） 5D029 JC01 KB01 KB20 KC09 LA02 LA12 LC11 5D090 AA02

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】回転駆動時における回転軸方向の振れが
空気流の圧力差によって安定化される可撓性記録ディス
クにおいて、可撓性を有するディスク基板の片面に圧縮応力あるいは
引張り応力をもつ記録膜を形成し、他面に前記記録面と
同様に圧縮応力あるいは引張り応力をもつ保護膜を形成
したことを特徴とする可撓性記録ディスク。
【請求項２】回転駆動時における回転軸方向の振れが
空気流の圧力差によって安定化される可撓性記録ディス
クにおいて、可撓性を有するディスク基板の片面に圧縮応力をもつ記
録膜を形成し、他面に引張り応力をもつ紫外線硬化樹脂
からなる保護膜を形成したことを特徴とする可撓性記録
ディスク。
【請求項３】回転駆動時における回転軸方向の振れが
空気流の圧力差によって安定化される可撓性記録ディス
クにおいて、可撓性を有するディスク基板の片面に圧縮応力をもつ記
録膜を形成し、他面に圧縮応力をもつ無機膜を保護膜と
して形成したことを特徴とする可撓性記録ディスク。
【請求項４】回転駆動時における回転軸方向の振れが
空気流の圧力差によって安定化される可撓性記録ディス
クにおいて、可撓性を有するディスク基板の片面に圧縮応力をもつ記
録膜を形成し、他面に圧縮応力をもつダイヤモンドライ
クカーボン保護膜を形成したことを特徴とする可撓性記
録ディスク。
【請求項５】ディスク基板を平板上に静止させたとき
の反りが、中心部と周辺部との高さの差Ｔとディスク半
径Ｒとの比（Ｔ／Ｒ）が０．１以下になるように設定し
たことを特徴とする請求項１〜４いずれか１項記載の可
撓性記録ディスク。