CN111684337B - 光合分波器的制造方法 - Google Patents

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Abstract

包含下述工序：在具有平行的一对面的抓持工具(10a、10b)的一个面(10bp)可拆装地保持滤光器(6j)，在另一个面(10ap)可拆装地保持反射镜(7)；将在与滤光器(6j)和反射镜(7)相对的位置设置有粘接层(9)的保持块(8)以经由粘接层(9)而反映出一对面(10ap、10bp)的平行度的方式由抓持工具(10a、10b)进行抓持；对抓持有保持块(8)的抓持工具(10a、10b)进行加热；以及在抓持有保持块(8)的状态下，对抓持工具(10a、10b)进行冷却，滤光器和反射镜的平行度由抓持工具的彼此平行的一对吸附面的平行度规定。

Description

光合分波器的制造方法
技术领域
本发明涉及将波长不同的多个光信号合波或者分波的光合分波器的制造方法。
背景技术
在光传输***中，为了应对近年的急剧的通信容量的增大，广泛采用将多个波长信号束合于一根光纤，对光信号进行收发的波长复用光传输方式。在该波长复用光传输方式中，用于将波长不同的多个光信号合波而合波于一根光纤、或者将在一根光纤中进行传输的波长不同的多个光信号分波为各个波长的光学部件是光合分波器。光合分波器存在下述两种类型：光波导类型，其使波导通路具有合分波功能；以及空间耦合类型，其利用滤光器的波长透过特性而实现合分波功能。空间耦合类型的光合分波器具有小型、低光损耗的优点，因此被广泛用于波长复用光传输用收发装置(例如，参照专利文献1)。
在光传输***中，从波长复用光传输装置的信号源即多个半导体激光器分别射出波长λi(i＝0、1、2、3)的光信号，通过透镜变换为平行光，射入至光合波器。光合波器的多个滤光器具有下述波长透过特性，即，使各自所对应的光信号的波长λi透过，但对其他波长进行反射。因此，波长λi的光信号透过各自所对应的滤光器，射入至保持块，在反射镜和滤光器之间进行反射，从光合波器射出。这样，来自半导体激光器的出射光束由光合波器合波而射出。来自光合波器的出射光束由透镜聚光于光纤，通过光传输装置作为波长复用光信号进行发送。
在这里，在保持块的滤光器-反射镜粘贴面(平行的2个面)的角度或者滤光器以及反射镜的向保持块的粘贴角度产生了偏离的情况下，来自光合波器的出射光束角度产生偏离，向光纤的耦合效率降低。
专利文献1：日本特开2014－95843号公报(0024～0028段、图1)
发明内容
如上述所示，对保持块及向保持块的滤光器-反射镜粘贴要求高的角度精度。因此，保持块需要高的外形精度，存在部件成本提高这样的问题。另外，现有的光合波器是在高精度的保持块的平行的2个面将滤光器及反射镜逐个地以没有粘接剂的不均匀的方式均等地加压、密接而粘接固定来制造的。因此，量产性存在问题。并且，在波长复用光传输方式中，存在希望减小波长间隔而增加每个波段的复用数这一要求，对滤光器的透过特性(透过中心波长)也存在严格的要求，存在由于微小的制造误差而影响成品率，滤光器的部件成本提高这样的问题。
本发明就是为了解决上述这样的课题而提出的，其目的在于提供放宽组装精度、部件精度，并且量产性高的光合分波器的制造方法。
本发明所涉及的光合分波器的制造方法的特征在于，包含下述工序：在具有平行的一对面的抓持工具的一个面可拆装地保持滤光器，在另一个面可拆装地保持反射镜；以及将在与所述滤光器和所述反射镜相对的位置设置有粘接层的保持块以经由所述各粘接层而反映出所述一对面的平行度的方式由所述抓持工具进行抓持。
发明的效果
根据本发明，滤光器和反射镜的平行度是由抓持工具的平行的一对面的平行度规定的，因此能够得到无需使用高精度的保持块、量产性高的制造方法。
附图说明
图1是表示具有本发明的实施方式1所涉及的光合分波器的光传输***的结构的示意图。
图2是表示本发明的实施方式1所涉及的光合分波器的结构的斜视图。
图3是表示本发明的实施方式1所涉及的光合分波器中的将滤光器和保持块通过粘接层进行粘接的构造的剖视图。
图4是表示本发明的实施方式1所涉及的光合分波器的制造工序的流程图。
图5是用于对本发明的实施方式1所涉及的光合分波器的制造方法进行说明的剖视图。
图6是表示本发明的实施方式1所涉及的光合分波器中的将滤光器和保持块通过粘接层进行粘接的其他构造的剖视图。
图7是表示本发明的实施方式1所涉及的光合分波器中的将滤光器和保持块通过粘接层进行粘接的其他构造的剖视图。
图8是用于对本发明的实施方式2所涉及的光合分波器的制造方法进行说明的剖视图。
图9是用于对本发明的实施方式2所涉及的光合分波器中的滤光器的透过中心波长的调整方法进行说明的示意图。
具体实施方式
实施方式1.
图1是表示具有本发明的实施方式1所涉及的光合分波器3的光传输***100的结构的示意图。图2是表示光合分波器3的结构的斜视图，图2(a)是从在保持块8安装有滤光器6j侧观察的图，图2(b)是从在保持块8安装有反射镜7侧观察的图。
如图1所示，光传输***由下述部分构成：半导体激光器1i(i＝0、1、2、3)，它们射出波长λi的光信号Si；透镜2，其将从半导体激光器1i射出的光信号Si变换为平行光；光合分波器3，其将光信号Si合波而射出；透镜4，其对合波而射出的光信号Si进行聚光；以及光纤5，其对聚光后的光信号Si进行发送。光合分波器3构成为在具有平行的2个面的保持块8安装有滤光器6j(j＝0、1、2)及反射镜7。滤光器6j具有下述波长透过特性，即，使波长λi的光信号透过，但对其他波长进行反射。反射镜7对全部波长的光信号进行反射。保持块8经由粘接层9在平行的2个面的规定的位置分别粘接保持滤光器6j和反射镜7。保持块8如图2所示，在凹部8b设置有供光信号通过的中空部8a。
图3是表示将滤光器6j和保持块8通过粘接层9进行粘接的构造的剖视图。如图3所示，滤光器6j以跨越设置有中空部8a的凹部8b的方式，经由粘接层9而粘接于保持块8的平行的2个面中的一个平行面8c的规定的位置处。虽然未图示，但反射镜7也以跨越设置有中空部8a的凹部8b的方式，经由粘接层9而粘接于保持块8的平行的2个面中的另一个平行面8d的规定的位置处。
此外，光合分波器3作为光合波器及光分波器进行动作，保持块8、滤光器6j及反射镜7的结构及其制造方法完全相同，以下作为光合波器进行说明。
在光传输***100中，从波长复用光传输装置的信号源即半导体激光器1i(i＝0、1、2、3)射出波长λi的光信号Si，通过透镜2变换为平行光，射入至光合分波器3。光合分波器3的滤光器6j(j＝0、1、2)具有下述波长透过特性，即，使对应的光信号的波长λi透过，但对其他波长进行反射。因此，波长λi的光信号从滤光器6j透过，射入至保持块8，在反射镜7和滤光器6j之间进行反射，从光合分波器3射出。这样，来自半导体激光器1i的出射光束由光合分波器3合波而射出。来自光合分波器3的出射光束由透镜4聚光于光纤5，通过光传输装置作为波长复用光信号进行发送。
接下来，对本发明的实施方式1所涉及的光合分波器3的制造方法进行说明。图4是表示光合分波器3的制造工序的流程图。图5是用于对光合分波器3的制造方法进行说明的剖视图。在光合分波器3的制造时，使用图5所示的具有彼此平行的一对面10ap、10bp的抓持工具10a、10b。抓持工具10a、10b分别具有加热器17和用于将反射镜7及滤光器6j可拆装地真空吸附的吸附孔11。
首先，如图4所示，在抓持工具10a、10b各自的规定的吸附孔11处，通过真空吸附而保持反射镜7和滤光器60、61、62(步骤S401)。此时，在彼此平行的一对面10ap、10bp处吸附而配置反射镜7和滤光器60、61、62，由此反射镜7和滤光器60、61、62能够确保彼此平行的位置关系。
接下来，在抓持工具10a、10b之间，对通过涂敷等在规定的位置处预先形成有粘接层9的保持块8进行抓持(步骤S402)。此时，通过抓持工具10a、10b的彼此平行的一对面10ap、10bp，将反射镜7隔着粘接层9而推压至保持块8的平行面8d，将滤光器60、61、62隔着粘接层9而推压至保持块8的平行面8c。粘接层9例如使用热塑性粘接剂。
接下来，在通过抓持工具10a、10b抓持着保持块8的状态下，对抓持工具10a、10b所具有的加热器17进行加热，从抓持工具10a、10b向保持块8加热，由此使粘接层9即热塑性粘接剂熔融(步骤S403)。此时，并非是通过由过度的力进行的推压以仿形于保持块8的外形的方式进行粘接固定，而是通过由适当的力进行的推压，通过粘接层9的厚度而维持滤光器60、61、62和反射镜7的平行度。
最后，在通过抓持工具10a、10b抓持着保持块8的状态下进行冷却(步骤S404)。在将滤光器60、61、62和反射镜7推压至保持块8的状态下，将保持块8冷却，由此热塑性粘接剂硬化，能够在维持由抓持工具10a、10b的彼此平行的一对面10ap、10bp实现的平行度的状态下将滤光器60、61、62和反射镜7经由粘接层9进行粘接、固定。
此外，由于通过反映出抓持工具10a、10b的彼此平行的一对面10ap、10bp而将滤光器60、61、62和反射镜7粘接于保持块8，因此在滤光器60、61、62、反射镜7与保持块8的平行面8d、8c之间出现的空隙由粘接层9填满，通过粘接层9的厚度进行调整。因此，粘接层9预先涂敷得厚。
由于涂敷得厚的粘接层9，如果在将滤光器60、61、62和反射镜7推压至保持块8的状态下使粘接层9即热塑性粘接剂熔融，则多余的热塑性粘接剂会从粘接面溢出，但在保持块8的粘接面即平行面8c、8d作为热塑性粘接剂的排出构造而设置有凹部8b(参照图2、图3)，以使得不会溢出至滤光器60、61、62及反射镜7的光学有效面。另外，保持块8的信号通过部是中空的，因此即使粘接层9变厚，光损耗也不增加。
另外，在上述的光合分波器的制造方法中，通过与保持块8的过热、冷却相匹配地进行抓持工具10的过热、冷却，从而热塑性粘接剂的温度、柔软度变得更均匀，能够减少推压时的滤光器及反射镜的角度波动。
如以上所述，根据本实施方式1所涉及的光合分波器3的制造方法，包含下述工序：在具有平行的一对面的抓持工具10a、10b的一个面10bp可拆装地保持滤光器6j，在另一个面10ap可拆装地保持反射镜7；将在与滤光器6j和反射镜7相对的位置设置有粘接层9的保持块8以经由粘接层9而反映出一对面10ap、10bp的平行度的方式由抓持工具10a、10b进行抓持；对抓持有保持块8的抓持工具10a、10b进行加热；以及在抓持有保持块8的状态下，对抓持工具10a、10b进行冷却，因此滤光器和反射镜的平行度不是保持块的粘接面的平行度，而是由抓持工具的彼此平行的一对面的平行度规定的，因此无需使用高精度的保持块，能够减少部件成本。另外，能够通过抓持工具对全部滤光器和反射镜进行保持而粘接于保持块，因此量产性优异。并且，保持块的光信号通过部是中空的，因此即使粘接剂变厚，光合分波器的光损耗也不会变大。另外，在保持块的滤光器-反射镜粘接部形成有粘接剂的排出构造，因此粘接剂不会溢出至滤光器及反射镜的光学有效面而使光合分波器的光损耗变大。
此外，在上述实施方式中示出了作为粘接层而使用热塑性粘接剂的例子，但也可以使用紫外线硬化型的粘接剂。在该情况下，在粘接层的硬化时不进行加热，而是照射紫外线。
另外，在上述实施方式中作为保持块8的粘接剂的排出构造而在保持块8的滤光器及反射镜的粘接区域的中空部侧设置有作为粘接剂的积存部的凹部，但如图6所示，在保持块8的对滤光器及反射镜进行粘接的粘接区域的中空部的相反侧设置凹部，也会得到相同的效果。
并且，也可以如图7所示，保持块8由多孔质的材料构成，保持块本身成为粘接剂的排出构造，在该情况下，多余的粘接剂不断渗入至保持块内部，从而能够防止粘接剂溢出至滤光器及反射镜的光学有效面。
实施方式2.
在实施方式1中，示出了通过反映出抓持工具10a、10b的彼此平行的一对面10ap、10bp，从而规定滤光器6j和反射镜7的平行度的情况，但在实施方式2中，进一步对调整滤光器6j及反射镜7的角度的情况进行说明。
图8是用于说明本发明的实施方式2所涉及的光合分波器3的制造方法的剖视图。在该实施方式2的光合分波器3中，如图8所示，构成为在保持块8对被分割开的反射镜7k(k＝1、2、3)进行安装。在光合分波器3的制造方法中，抓持工具10a、10b在彼此平行的一对面10ap、10bp分别设置有对滤光器6j及反射镜7k的吸附角度进行微调的角度调整工具13a、13b。在光合分波器3的制造工序中，在图4的步骤S401中，在安装于抓持工具10a、10b的、预先对角度进行了微调的角度调整工具13a、13b各自的规定的吸附孔11处，通过真空吸附对反射镜71、72、73和滤光器60、61、62进行保持。在图8中，通过角度调整工具13b、13a使滤光器61和反射镜71的角度以α倾斜。关于其他结构及制造工序，与实施方式1相同，省略相同部分的说明。
通过使用该实施方式2的光合分波器3的制造方法，从而能够通过改变向滤光器的入射角而调整滤光器的透过中心波长。图9是用于说明本发明的实施方式2所涉及的光合分波器中的滤光器的透过中心波长的调整方法的示意图。
如图9所示，光信号Si示出滤光器61不倾斜的情况下的路径，光信号Siα示出使滤光器61倾斜了α的情况下的路径。由滤光器61反射后的光信号Siα相对于滤光器61没有倾斜时的光信号Si带有2α的角度而进行反射。射入至滤光器61的波长λ1的光信号S1必须与由滤光器61反射后的光信号Siα平行，因此与滤光器61不倾斜的情况相比角度改变2α，但滤光器61本身也倾斜了α，因此入射角度的变化为α。
另一方面，反射镜71以α倾斜，以将由滤光器61的倾斜产生的反射角抵消。因此，由反射镜71反射后的光信号Siα与不倾斜时的光信号Si平行。射入至滤光器60的波长λ0的光线与光信号Siα平行即与光信号Si平行，变得与不使滤光器倾斜的情况相同。能够独立地仅调整向滤光器61的入射角。
同样地，在希望对向滤光器62的入射角进行调整的情况下，通过改变对滤光器62和反射镜72进行吸附的角度调整工具的角度，从而能够对向滤光器62的入射角进行调整。另外，在希望对向滤光器60的入射角进行调整的情况下，由于没有相对的反射镜，因此仅改变对滤光器60进行吸附的角度调整工具的角度，就能够对向滤光器60的入射角进行调整。
如上所述，得到下述效果，即，通过改变角度调整工具的倾斜角，能够对向滤光器的入射角进行调整，由于在滤光器形成的电介体多层膜滤光器的膜厚等的制造波动而导致透过中心波长产生了偏离的滤光器也能够使用，能够减少滤光器的部件成本。
如以上所述，根据本实施方式2所涉及的光合分波器3的制造方法，在对滤光器6j和反射镜7进行保持的工序中，经由通过彼此平行的一对面进行抓持的抓持工具10a、10b的各面10ap、10bp和角度调整工具进行保持，因此在实施方式1的效果的基础上得到下述效果，即，能够对向滤光器的入射角进行调整，由于在滤光器形成的电介体多层膜滤光器的膜厚等的制造波动而导致透过中心波长产生了偏离的滤光器也能够使用，能够减少滤光器的部件成本。
此外，本发明能够在发明的范围内将各实施方式自由地组合，或将各实施方式适当地变形、省略。
标号的说明
3光合分波器，6j滤光器，7、7k反射镜，8保持块，9粘接层，10a、10b抓持工具，13b、13a角度调整工具。

Claims (9)

1.一种光合分波器的制造方法，其特征在于，包含下述工序：
在具有彼此平行的一对面的抓持工具的一个面可拆装地保持滤光器，在另一个面可拆装地保持反射镜；以及
将在与所述滤光器和所述反射镜相对的位置设置有粘接层的保持块，以为了反映出所述抓持工具的彼此平行的一对面的平行度，而将在所述滤光器及所述反射镜的平行面与所述保持块的平行面之间出现的空隙由所述粘接层填满的方式通过所述抓持工具进行抓持。
2.根据权利要求1所述的光合分波器的制造方法，其特征在于，
在对所述滤光器和所述反射镜进行保持的工序中，经由角度调整工具和所述抓持工具的所述各面进行保持。
3.根据权利要求1所述的光合分波器的制造方法，其特征在于，
所述粘接层由热塑性粘接剂构成，
该光合分波器的制造方法还包含下述工序：
对抓持有所述保持块的所述抓持工具进行加热；以及
在抓持有所述保持块的状态下，将所述抓持工具冷却。
4.根据权利要求2所述的光合分波器的制造方法，其特征在于，
所述粘接层由热塑性粘接剂构成，
该光合分波器的制造方法还包含下述工序：
对抓持有所述保持块的所述抓持工具进行加热；以及
在抓持有所述保持块的状态下，将所述抓持工具冷却。
5.根据权利要求1所述的光合分波器的制造方法，其特征在于，
所述粘接层由紫外线硬化型的粘接剂构成，
该光合分波器的制造方法还具有下述工序，即，在抓持有所述保持块的状态下，向所述粘接层照射紫外线。
6.根据权利要求2所述的光合分波器的制造方法，其特征在于，
所述粘接层由紫外线硬化型的粘接剂构成，
该光合分波器的制造方法还具有下述工序，即，在抓持有所述保持块的状态下，向所述粘接层照射紫外线。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的光合分波器的制造方法，其特征在于，
所述保持块的经由所述滤光器和所述反射镜的光信号的通过部是中空的。
8.根据权利要求1至6中任一项所述的光合分波器的制造方法，其特征在于，
所述保持块在将所述滤光器及所述反射镜进行粘接的区域的一部分形成有凹部。
9.根据权利要求7所述的光合分波器的制造方法，其特征在于，
所述保持块在将所述滤光器及所述反射镜进行粘接的区域的一部分形成有凹部。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3992614A4 (en) 2019-06-27 2023-06-28 HORIBA, Ltd. Analysis device
CN115104053B (zh) * 2020-02-21 2023-10-20 三菱电机株式会社 集成光模块

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63223607A (ja) * 1987-03-12 1988-09-19 Fujitsu Ltd 光合分波，分岐回路のフイルタ膜貼り付け方法
JPH06300938A (ja) * 1993-04-14 1994-10-28 Shin Etsu Chem Co Ltd 光合分波カプラの製造装置および製造方法
JPH10339825A (ja) * 1997-02-14 1998-12-22 Corning Inc 高精度の光ブロックを有する多重化装置
CN1204778A (zh) * 1997-07-05 1999-01-13 三星电子株式会社 分离光束的装置和方法及该装置的制造方法
CN1708708A (zh) * 2002-11-01 2005-12-14 欧姆龙株式会社 光合分波器和光合分波器的制造方法
JP2007163631A (ja) * 2005-12-12 2007-06-28 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光合分配器
CN103676007A (zh) * 2012-09-20 2014-03-26 诺方（哈尔滨）科技股份有限公司 粗波分复用器
CN205958795U (zh) * 2016-07-06 2017-02-15 北极光电(深圳)有限公司 一种新型集成微光学波分与复用组件
WO2017033230A1 (ja) * 2015-08-21 2017-03-02 三菱電機株式会社 光部品及び光モジュール
CN107250866A (zh) * 2015-03-05 2017-10-13 三菱电机株式会社 光合波器的制造方法以及制造装置

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004206057A (ja) * 2002-11-01 2004-07-22 Omron Corp 光合分波器及び光合分波器の製造方法
CA2616311C (en) 2005-07-22 2014-09-30 Tessera North America, Inc. Optical wavelength division coupler and associated methods
US7466502B2 (en) 2005-12-07 2008-12-16 Tessera North America, Inc. Optical wavelength division coupler and associated methods
US20120050876A1 (en) * 2010-08-30 2012-03-01 Stanley Electric Co., Ltd. Dihedral corner reflector array optical element and method for fabricating the same and display device using the same
JP5555107B2 (ja) * 2010-09-17 2014-07-23 株式会社沖データ レンズアレイ、レンズユニット、ｌｅｄヘッド、露光装置、画像形成装置、読取装置、レンズアレイの製造方法および成形型
JP2014095843A (ja) 2012-11-12 2014-05-22 Sumitomo Electric Ind Ltd 光合分波器およびその製造方法ならびに光通信モジュール
JP6337478B2 (ja) 2014-01-24 2018-06-06 株式会社ニコン 分波素子
KR20160145956A (ko) 2015-06-11 2016-12-21 주식회사 지피 파장 다중화 광수신 모듈
US9857535B2 (en) * 2015-11-03 2018-01-02 Electronics And Telecommunications Research Institute Method of packaging multichannel optical receiver module having a sub-mount with an optical block to guide incident parallel light beams and package of the same
WO2018013363A1 (en) * 2016-07-12 2018-01-18 3M Innovative Properties Company Optical stack

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63223607A (ja) * 1987-03-12 1988-09-19 Fujitsu Ltd 光合分波，分岐回路のフイルタ膜貼り付け方法
JPH06300938A (ja) * 1993-04-14 1994-10-28 Shin Etsu Chem Co Ltd 光合分波カプラの製造装置および製造方法
JPH10339825A (ja) * 1997-02-14 1998-12-22 Corning Inc 高精度の光ブロックを有する多重化装置
CN1204778A (zh) * 1997-07-05 1999-01-13 三星电子株式会社 分离光束的装置和方法及该装置的制造方法
CN1708708A (zh) * 2002-11-01 2005-12-14 欧姆龙株式会社 光合分波器和光合分波器的制造方法
JP2007163631A (ja) * 2005-12-12 2007-06-28 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光合分配器
CN103676007A (zh) * 2012-09-20 2014-03-26 诺方（哈尔滨）科技股份有限公司 粗波分复用器
CN107250866A (zh) * 2015-03-05 2017-10-13 三菱电机株式会社 光合波器的制造方法以及制造装置
WO2017033230A1 (ja) * 2015-08-21 2017-03-02 三菱電機株式会社 光部品及び光モジュール
CN205958795U (zh) * 2016-07-06 2017-02-15 北极光电(深圳)有限公司 一种新型集成微光学波分与复用组件

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