JP2003146624A - オゾン濃度制御装置 - Google Patents
オゾン濃度制御装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 安定稼動を通知する機能を持つオゾンセン
サ、一定信号発生器および切換器を用いることなく、稼
動直後から安定した制御をすることのできるオゾン濃度
制御装置を得る。 【解決手段】 空気中のオゾン濃度を測定し、濃度測定
値に対応した濃度測定信号を出力するオゾンセンサと、
オゾン濃度の目標値に対応した濃度設定信号を出力する
オゾン濃度設定器と、濃度測定信号と濃度設定信号との
濃度偏差に対応した濃度偏差信号を出力する加算器と、
濃度偏差信号に基づいて濃度測定値が目標値と同値にな
るように濃度調節値を算出するＰＩ調節器と、濃度調節
値に基づくオゾン発生量に対応した発生値を検出する発
生量検出器と、発生値が濃度調節値と同値になるように
電流調節値を算出する電流調節器と、電流調節値に基づ
いてオゾン発生量に対応した発生値を出力するオゾン発
生量調節器と、発生値に基づいて前記空気中にオゾンを
発生するオゾン発生器とを備えた。
サ、一定信号発生器および切換器を用いることなく、稼
動直後から安定した制御をすることのできるオゾン濃度
制御装置を得る。 【解決手段】 空気中のオゾン濃度を測定し、濃度測定
値に対応した濃度測定信号を出力するオゾンセンサと、
オゾン濃度の目標値に対応した濃度設定信号を出力する
オゾン濃度設定器と、濃度測定信号と濃度設定信号との
濃度偏差に対応した濃度偏差信号を出力する加算器と、
濃度偏差信号に基づいて濃度測定値が目標値と同値にな
るように濃度調節値を算出するＰＩ調節器と、濃度調節
値に基づくオゾン発生量に対応した発生値を検出する発
生量検出器と、発生値が濃度調節値と同値になるように
電流調節値を算出する電流調節器と、電流調節値に基づ
いてオゾン発生量に対応した発生値を出力するオゾン発
生量調節器と、発生値に基づいて前記空気中にオゾンを
発生するオゾン発生器とを備えた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、オゾンを発生さ
せて空気中のオゾン濃度を制御するオゾン濃度制御装置
に関するものである。
せて空気中のオゾン濃度を制御するオゾン濃度制御装置
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、オゾンの殺菌、脱臭効果が注目さ
れており、様々な分野でオゾン発生装置が利用されてい
る。
れており、様々な分野でオゾン発生装置が利用されてい
る。
【０００３】例えば、特開平２−２３８３５１号公報に
記載されている従来装置は、エアコン内にオゾンを発生
させ、エアコン内などの除菌、脱臭を行う。また、空気
中のオゾン濃度が一定になるようにオゾンの発生量を制
御している。
記載されている従来装置は、エアコン内にオゾンを発生
させ、エアコン内などの除菌、脱臭を行う。また、空気
中のオゾン濃度が一定になるようにオゾンの発生量を制
御している。
【０００４】オゾン濃度を一定に制御することのできる
従来のオゾン濃度制御装置は、図３のように構成されて
いる。
従来のオゾン濃度制御装置は、図３のように構成されて
いる。
【０００５】図３において、従来のオゾン濃度制御装置
は、オゾンセンサ１と、オゾン濃度設定器２と、加算器
３と、ＰＩ調節器４と、切換器２１と、一定信号発生器
２２と、オゾン発生量調節器８とから構成されている。
は、オゾンセンサ１と、オゾン濃度設定器２と、加算器
３と、ＰＩ調節器４と、切換器２１と、一定信号発生器
２２と、オゾン発生量調節器８とから構成されている。
【０００６】オゾンセンサ１で検出された濃度測定値お
よびオゾン濃度設定器２で設定された目標値は、加算器
３を経由し、ＰＩ調整器４において、フィードバックさ
れた前回の濃度調節値（帰還信号）との偏差が無くなる
ようオゾン濃度を調節される。
よびオゾン濃度設定器２で設定された目標値は、加算器
３を経由し、ＰＩ調整器４において、フィードバックさ
れた前回の濃度調節値（帰還信号）との偏差が無くなる
ようオゾン濃度を調節される。
【０００７】オゾン発生量調整器８においては、ＰＩ調
整器４からの出力信号に基づいて、オゾン発生器（図示
せず）で発生させるオゾンの発生量を調整する。
整器４からの出力信号に基づいて、オゾン発生器（図示
せず）で発生させるオゾンの発生量を調整する。
【０００８】一方、オゾンセンサ１の稼動直後において
は、動作が不安定なので、切換器２１により、オゾン発
生量調整器８への入力をＰＩ調整器４から一定信号発生
器２２に切換え、オゾン発生量調整器８の入力信号を一
定信号発生器２２からの出力信号とする。
は、動作が不安定なので、切換器２１により、オゾン発
生量調整器８への入力をＰＩ調整器４から一定信号発生
器２２に切換え、オゾン発生量調整器８の入力信号を一
定信号発生器２２からの出力信号とする。
【０００９】一定信号発生器２２においては、一定のオ
ゾン発生量に対応する信号が送信される。切換器２１に
おいて一定信号発生器２２からの信号のみを入力させる
と、オゾン発生器９は一定量のオゾンを発生させる。
ゾン発生量に対応する信号が送信される。切換器２１に
おいて一定信号発生器２２からの信号のみを入力させる
と、オゾン発生器９は一定量のオゾンを発生させる。
【００１０】稼動から所定時間が経過すると、切換器２
１は、オゾン発生量調整器８への入力を一定信号発生器
２２からＰＩ調整器４に切換えて、濃度測量値と目標値
との比較でのオゾン濃度制御を行う。
１は、オゾン発生量調整器８への入力を一定信号発生器
２２からＰＩ調整器４に切換えて、濃度測量値と目標値
との比較でのオゾン濃度制御を行う。
【００１１】切換器２１の入力切換方法は、稼動から所
定時間を予測して、その予測時間をタイマーに設定する
方法や、オゾンセンサ１が安定して測定が行えるように
なった時点で信号を送ることができるオゾンセンサ１を
使用する方法などが用いられている。
定時間を予測して、その予測時間をタイマーに設定する
方法や、オゾンセンサ１が安定して測定が行えるように
なった時点で信号を送ることができるオゾンセンサ１を
使用する方法などが用いられている。
【００１２】なお、このような入力信号の切換は、稼動
直後のみならず、オゾンセンサ１などに不具合が生じた
場合などにも行われている。
直後のみならず、オゾンセンサ１などに不具合が生じた
場合などにも行われている。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】従来のオゾン濃度調整
システムは以上のように、タイマーに設定するオゾンセ
ンサの安定稼動までの所定時間は、オゾンセンサの電源
の確立時間や、動作特性を見越して十分長い時間を設定
しなければならないという問題点があった。
システムは以上のように、タイマーに設定するオゾンセ
ンサの安定稼動までの所定時間は、オゾンセンサの電源
の確立時間や、動作特性を見越して十分長い時間を設定
しなければならないという問題点があった。
【００１４】また、この発明は、安定稼動を知らせるオ
ゾンセンサが高価であるという問題点があった。
ゾンセンサが高価であるという問題点があった。
【００１５】また、この発明は、一定信号発生器からの
入力切換直後において、一定信号発生器が指示するオゾ
ン発生量と、濃度測量値と目標値との比較により指示す
るオゾン発生量とは大きな差がある場合があり、オゾン
濃度制御装置を内蔵する装置自体に大きな擾乱をもたら
すという問題点があった。
入力切換直後において、一定信号発生器が指示するオゾ
ン発生量と、濃度測量値と目標値との比較により指示す
るオゾン発生量とは大きな差がある場合があり、オゾン
濃度制御装置を内蔵する装置自体に大きな擾乱をもたら
すという問題点があった。
【００１６】この発明は上記のような問題点を解決する
ためになされたもので、安定稼動を通知する機能を持つ
オゾンセンサ、一定信号発生器および切換器を用いるこ
となく、稼動直後から安定した制御をすることのできる
オゾン濃度制御装置を得ることを目的とする。
ためになされたもので、安定稼動を通知する機能を持つ
オゾンセンサ、一定信号発生器および切換器を用いるこ
となく、稼動直後から安定した制御をすることのできる
オゾン濃度制御装置を得ることを目的とする。
【００１７】また、この発明は、オゾンセンサやオゾン
濃度設定器の稼働中に発生した異常を検出して、異常発
生前のオゾン発生量を保つことのできるオゾン濃度制御
装置を得ることを目的とする。
濃度設定器の稼働中に発生した異常を検出して、異常発
生前のオゾン発生量を保つことのできるオゾン濃度制御
装置を得ることを目的とする。
【００１８】
【課題を解決するための手段】この発明に係るオゾン濃
度制御装置は、空気中のオゾン濃度を測定し、濃度測定
値に対応した濃度測定信号を出力するオゾンセンサと、
オゾン濃度の目標値に対応した濃度設定信号を出力する
オゾン濃度設定器と、濃度測定信号と濃度設定信号との
濃度偏差に対応した濃度偏差信号を出力する加算器と、
濃度偏差信号に基づいて濃度測定値が目標値と同値にな
るように濃度調節値を算出するＰＩ調節器と、濃度調節
値に基づくオゾン発生量に対応した発生値を検出する発
生量検出器と、発生値が濃度調節値と同値になるように
電流調節値を算出する電流調節器と、電流調節値に基づ
いてオゾン発生量に対応した発生値を出力するオゾン発
生量調節器と、発生値に基づいて空気中にオゾンを発生
するオゾン発生器とを備えたものである。
度制御装置は、空気中のオゾン濃度を測定し、濃度測定
値に対応した濃度測定信号を出力するオゾンセンサと、
オゾン濃度の目標値に対応した濃度設定信号を出力する
オゾン濃度設定器と、濃度測定信号と濃度設定信号との
濃度偏差に対応した濃度偏差信号を出力する加算器と、
濃度偏差信号に基づいて濃度測定値が目標値と同値にな
るように濃度調節値を算出するＰＩ調節器と、濃度調節
値に基づくオゾン発生量に対応した発生値を検出する発
生量検出器と、発生値が濃度調節値と同値になるように
電流調節値を算出する電流調節器と、電流調節値に基づ
いてオゾン発生量に対応した発生値を出力するオゾン発
生量調節器と、発生値に基づいて空気中にオゾンを発生
するオゾン発生器とを備えたものである。
【００１９】また、この発明に係るオゾン濃度制御装置
は、濃度調節値の上限値に基づいて濃度調節値の大きさ
を制限する可変リミッタ回路と、上限値を設定するため
の制御信号を出力する可変リミッタ制御回路とを備えた
ものである。
は、濃度調節値の上限値に基づいて濃度調節値の大きさ
を制限する可変リミッタ回路と、上限値を設定するため
の制御信号を出力する可変リミッタ制御回路とを備えた
ものである。
【００２０】また、この発明に係るオゾン濃度制御装置
は、濃度調節値および目標値に基づいて、オゾンセンサ
およびオゾン濃度設定器の少なくとも一方の異常を検出
し、異常検出信号を出力する異常検出回路と、所定周期
で濃度調節値の平均値を算出する移動平均回路とを備
え、可変リミッタ制御回路は、異常検出信号に応答し
て、平均値を上限値に設定するための制御信号を出力す
るものである。
は、濃度調節値および目標値に基づいて、オゾンセンサ
およびオゾン濃度設定器の少なくとも一方の異常を検出
し、異常検出信号を出力する異常検出回路と、所定周期
で濃度調節値の平均値を算出する移動平均回路とを備
え、可変リミッタ制御回路は、異常検出信号に応答し
て、平均値を上限値に設定するための制御信号を出力す
るものである。
【００２１】また、この発明に係るオゾン濃度制御装置
の異常検出回路は、濃度測定値と目標値との濃度偏差が
所定値を超えた場合にオゾンセンサの異常を検出し、異
常検出信号を出力するものである。
の異常検出回路は、濃度測定値と目標値との濃度偏差が
所定値を超えた場合にオゾンセンサの異常を検出し、異
常検出信号を出力するものである。
【００２２】さらに、この発明に係るオゾン濃度制御装
置の移動平均回路は、所定周期で濃度調節値を蓄積し、
所定時点での濃度調節値の集合の平均値を算出するもの
である。
置の移動平均回路は、所定周期で濃度調節値を蓄積し、
所定時点での濃度調節値の集合の平均値を算出するもの
である。
【００２３】
【発明の実施の形態】実施の形態１．以下、図面を参照
しながら、この発明の実施の形態１について詳細に説明
する。図１はこの発明の実施の形態１を示すブロック構
成図である。
しながら、この発明の実施の形態１について詳細に説明
する。図１はこの発明の実施の形態１を示すブロック構
成図である。
【００２４】図１において、オゾン濃度制御装置は、オ
ゾンセンサ１と、オゾン濃度設定器２と、加算器３と、
ＰＩ調節器４と、可変リミッタ回路５と、可変リミッタ
制御回路６と、電流調節器７と、オゾン発生量調節器８
と、発生量検出器９と、オゾン発生器１０とを備えてい
る。
ゾンセンサ１と、オゾン濃度設定器２と、加算器３と、
ＰＩ調節器４と、可変リミッタ回路５と、可変リミッタ
制御回路６と、電流調節器７と、オゾン発生量調節器８
と、発生量検出器９と、オゾン発生器１０とを備えてい
る。
【００２５】オゾンセンサ１とオゾン濃度設定器２との
出力端は、加算器３と異常検出回路１１とに接続され
る。
出力端は、加算器３と異常検出回路１１とに接続され
る。
【００２６】また、加算器３の出力端は、ＰＩ調節器４
に接続され、ＰＩ調節器４と可変リミッタ制御回路６と
の出力端は、可変リミッタ回路５に接続される。
に接続され、ＰＩ調節器４と可変リミッタ制御回路６と
の出力端は、可変リミッタ回路５に接続される。
【００２７】また、可変リミッタ回路５の出力端は、電
流調節器７に接続され、電流調節器７の出力端は、オゾ
ン発生量調節器８に接続される。
流調節器７に接続され、電流調節器７の出力端は、オゾ
ン発生量調節器８に接続される。
【００２８】また、オゾン発生量調節器８の出力端は、
発生量検出器９に接続され、発生量検出器９の出力端
は、電流調節器７とオゾン発生器１０とに接続される。
発生量検出器９に接続され、発生量検出器９の出力端
は、電流調節器７とオゾン発生器１０とに接続される。
【００２９】最後に、オゾン発生器１０の出力端は、オ
ゾンセンサ１に接続される。以上のような接続関係から
オゾン濃度制御装置が構成される。
ゾンセンサ１に接続される。以上のような接続関係から
オゾン濃度制御装置が構成される。
【００３０】次に、図１を参照しながら、この実施の形
態１による動作について説明する。
態１による動作について説明する。
【００３１】オゾンセンサ１は、空気中のオゾン濃度を
測定し、濃度測定値に対応する濃度測定信号を出力す
る。一方、オゾン濃度設定器２は、所定のオゾン濃度が
設定され、目標値に対応する濃度設定信号を出力する。
測定し、濃度測定値に対応する濃度測定信号を出力す
る。一方、オゾン濃度設定器２は、所定のオゾン濃度が
設定され、目標値に対応する濃度設定信号を出力する。
【００３２】加算器３は、濃度測定信号と濃度設定信号
とを加算し（濃度測定信号を逆極性にして加算するの
で、結果的には減算となる）、濃度測定値と目標値との
偏差（濃度偏差）に対応した濃度偏差信号を出力する。
とを加算し（濃度測定信号を逆極性にして加算するの
で、結果的には減算となる）、濃度測定値と目標値との
偏差（濃度偏差）に対応した濃度偏差信号を出力する。
【００３３】ＰＩ調節器４は、濃度測定値が目標値と同
値になるように濃度調節値を算出しながら、ＰＩ制御を
行う。
値になるように濃度調節値を算出しながら、ＰＩ制御を
行う。
【００３４】可変リミッタ回路５は、所定の上限値と、
ＰＩ調節器４からの濃度調節値とを比較して、上限値を
超える濃度調節値を上限値以下に抑制させる。また、上
限値の設定が解除されていれば、そのままの値をを出力
する。
ＰＩ調節器４からの濃度調節値とを比較して、上限値を
超える濃度調節値を上限値以下に抑制させる。また、上
限値の設定が解除されていれば、そのままの値をを出力
する。
【００３５】この上限値は、可変リミッタ制御回路６で
任意の値に設定することが可能であり、可変リミッタ制
御回路６は、任意の上限値に対応する制御信号を出力し
て可変リミッタ回路５の上限値を設定させる。また、設
定した上限値の解除をすることができる。
任意の値に設定することが可能であり、可変リミッタ制
御回路６は、任意の上限値に対応する制御信号を出力し
て可変リミッタ回路５の上限値を設定させる。また、設
定した上限値の解除をすることができる。
【００３６】電流調節器７は、可変リミッタ回路５から
の濃度調節値と後述するオゾン発生器１０が発生させる
オゾンの発生値（電流値など）とを比較し、発生値が濃
度調節値と同値になるように電流調節値を算出して、後
述するオゾン発生器１０が発生させるオゾンの発生値を
制御する。
の濃度調節値と後述するオゾン発生器１０が発生させる
オゾンの発生値（電流値など）とを比較し、発生値が濃
度調節値と同値になるように電流調節値を算出して、後
述するオゾン発生器１０が発生させるオゾンの発生値を
制御する。
【００３７】オゾン発生量調節器８は、電流調節値に基
づいて後述するオゾン発生器１０から出力するオゾンの
発生値（発生量）を算出する。したがって、オゾン発生
器１０の電源の役割をする。
づいて後述するオゾン発生器１０から出力するオゾンの
発生値（発生量）を算出する。したがって、オゾン発生
器１０の電源の役割をする。
【００３８】発生量検出器９は、オゾン発生量調節器８
からの発生値を検出する。検出された発生値は、電流調
節器での制御に利用される。
からの発生値を検出する。検出された発生値は、電流調
節器での制御に利用される。
【００３９】オゾン発生器１０は、発生値（電流値など
に応じたオゾン発生量）に応じたオゾン発生量のオゾン
を発生させる。
に応じたオゾン発生量）に応じたオゾン発生量のオゾン
を発生させる。
【００４０】以上のようにして、オゾンセンサ１で測定
する空気中のオゾン濃度がオゾン濃度設定器２で設定し
た値になるようにオゾンの発生量を調整する。
する空気中のオゾン濃度がオゾン濃度設定器２で設定し
た値になるようにオゾンの発生量を調整する。
【００４１】オゾンセンサ１の稼動直後でのオゾンセン
サ１の動作が不安定なときは、濃度測定値と目標値との
偏差を考慮し、適量のオゾンを発生させるように可変リ
ミッタ回路５の上限値を設定する。
サ１の動作が不安定なときは、濃度測定値と目標値との
偏差を考慮し、適量のオゾンを発生させるように可変リ
ミッタ回路５の上限値を設定する。
【００４２】また、オゾンセンサ１が安定稼動したとき
には、可変リミッタ制御回路６で可変リミッタ回路５の
上限値を解除することにより、ＰＩ調節器４でのオゾン
濃度の調節が可能となる。
には、可変リミッタ制御回路６で可変リミッタ回路５の
上限値を解除することにより、ＰＩ調節器４でのオゾン
濃度の調節が可能となる。
【００４３】このように、オゾンセンサ１の稼動直後で
も安定したオゾン濃度の制御をすることができる。
も安定したオゾン濃度の制御をすることができる。
【００４４】また、ＰＩ調節器４からの出力値と可変リ
ミッタ回路５の上限値との偏差が大きいと、上限値を解
除したときにオゾン濃度制御装置全体に大きな擾乱をも
たらす可能性があるので、ＰＩ調節器４の制御方式をオ
ゾンセンサ１の動作が安定するまでＰ制御で行い、安定
後（すなわち、可変リミッタ回路５の上限値の解除後）
は、ＰＩ制御で行うことにより、大きな擾乱を防止する
ことができる。
ミッタ回路５の上限値との偏差が大きいと、上限値を解
除したときにオゾン濃度制御装置全体に大きな擾乱をも
たらす可能性があるので、ＰＩ調節器４の制御方式をオ
ゾンセンサ１の動作が安定するまでＰ制御で行い、安定
後（すなわち、可変リミッタ回路５の上限値の解除後）
は、ＰＩ制御で行うことにより、大きな擾乱を防止する
ことができる。
【００４５】実施の形態２．なお、上記実施の形態１で
は、オゾンセンサ１が稼動直後の動作について説明した
が、オゾンセンサ１やオゾン濃度設定器２が稼働中に異
常が発生したときでも安定したオゾン濃度の制御ができ
るようにしてもよい。
は、オゾンセンサ１が稼動直後の動作について説明した
が、オゾンセンサ１やオゾン濃度設定器２が稼働中に異
常が発生したときでも安定したオゾン濃度の制御ができ
るようにしてもよい。
【００４６】以下、図面を参照しながら、オゾンセンサ
１やオゾン濃度設定器２の異常を検出してオゾン濃度を
制御するようにしたこの発明の実施の形態２について説
明する。図２は、この発明の実施の形態２を示すブロッ
ク構成図である。
１やオゾン濃度設定器２の異常を検出してオゾン濃度を
制御するようにしたこの発明の実施の形態２について説
明する。図２は、この発明の実施の形態２を示すブロッ
ク構成図である。
【００４７】図２において、前述（図１参照）と同様の
ものについては、同一符号を付して、詳述を省略する。
ものについては、同一符号を付して、詳述を省略する。
【００４８】図２において、オゾン濃度制御装置は、図
１に構成した要素の他に、異常検出回路１１と、移動平
均回路１２とを備えている。
１に構成した要素の他に、異常検出回路１１と、移動平
均回路１２とを備えている。
【００４９】異常検出回路１１の入力端は、オゾンセン
サ１とオゾン濃度設定器２とに接続され、出力端は、可
変リミッタ制御回路６に接続される。
サ１とオゾン濃度設定器２とに接続され、出力端は、可
変リミッタ制御回路６に接続される。
【００５０】移動平均回路１２の入力端は、ＰＩ調節器
４に接続され、出力端は、可変リミッタ制御回路６に接
続される。
４に接続され、出力端は、可変リミッタ制御回路６に接
続される。
【００５１】以上のような接続関係からオゾン濃度制御
装置が構成される。
装置が構成される。
【００５２】次に、図２を参照しながら、この実施の形
態２による動作について説明する。
態２による動作について説明する。
【００５３】異常検出回路１１は、オゾンセンサ１から
の濃度測定値およびオゾン濃度設定器からの目標値の偏
差と、所定値とを比較して、偏差が所定値を超えた場
合、オゾンセンサ１またはオゾン濃度設定器２のいずれ
かの異常と判定し、可変リミッタ制御回路６にオゾンセ
ンサ１またはオゾン濃度設定器２のいずれかが異常であ
ることを通知する。この通知は、異常が無くなるまで通
知し続ける。
の濃度測定値およびオゾン濃度設定器からの目標値の偏
差と、所定値とを比較して、偏差が所定値を超えた場
合、オゾンセンサ１またはオゾン濃度設定器２のいずれ
かの異常と判定し、可変リミッタ制御回路６にオゾンセ
ンサ１またはオゾン濃度設定器２のいずれかが異常であ
ることを通知する。この通知は、異常が無くなるまで通
知し続ける。
【００５４】一方、移動平均回路１２は、所定周期毎に
ＰＩ調節器４からの濃度調節値を蓄積し、所定時間毎に
所定の時点の濃度調節値とその前後のいくつかの濃度調
節値との集合について、平均値（移動平均値）を算出
し、可変リミッタ制御回路６に出力する。
ＰＩ調節器４からの濃度調節値を蓄積し、所定時間毎に
所定の時点の濃度調節値とその前後のいくつかの濃度調
節値との集合について、平均値（移動平均値）を算出
し、可変リミッタ制御回路６に出力する。
【００５５】平均値の中心となる濃度調節値（所定の時
点）は、ため込んだ集合について１つ定めるのではな
く、１つの集合について複数の中心を定めて複数の平均
値を算出していく。
点）は、ため込んだ集合について１つ定めるのではな
く、１つの集合について複数の中心を定めて複数の平均
値を算出していく。
【００５６】したがって、平均値の数は、ため込んだ集
合毎に算出した平均値の数よりも、この移動平均値の数
の方が多くなり、平均値はより滑らかな値（単純化され
た値）となる。
合毎に算出した平均値の数よりも、この移動平均値の数
の方が多くなり、平均値はより滑らかな値（単純化され
た値）となる。
【００５７】可変リミッタ制御回路６は、異常検出回路
１１から異常を通知されると、移動平均回路１２からの
平均値を可変リミッタ回路５の上限値に設定するように
制御信号を出力する。
１１から異常を通知されると、移動平均回路１２からの
平均値を可変リミッタ回路５の上限値に設定するように
制御信号を出力する。
【００５８】可変リミッタ回路５は、移動平均回路１２
で算出した平均値を上限値に設定し、引き続きオゾン濃
度の制御を行う。
で算出した平均値を上限値に設定し、引き続きオゾン濃
度の制御を行う。
【００５９】また、異常検出回路１１から異常の通知が
無くなると、可変リミッタ制御回路６は、可変リミッタ
回路５の上限値を解除するように制御信号を出力し、可
変リミッタ回路５は、上限値を解除して、引き続きオゾ
ン濃度の制御を行う。
無くなると、可変リミッタ制御回路６は、可変リミッタ
回路５の上限値を解除するように制御信号を出力し、可
変リミッタ回路５は、上限値を解除して、引き続きオゾ
ン濃度の制御を行う。
【００６０】このように、移動平均回路で常に所定期間
の平均値を算出しながら、異常を検出すると、その平均
値を可変リミッタ回路５の上限値に設定するので、異常
検出前の安定した値を上限値に設定でき、オゾンセンサ
１やオゾン濃度設定器２に異常が発生しても、安定した
オゾン濃度の制御を継続することができる。
の平均値を算出しながら、異常を検出すると、その平均
値を可変リミッタ回路５の上限値に設定するので、異常
検出前の安定した値を上限値に設定でき、オゾンセンサ
１やオゾン濃度設定器２に異常が発生しても、安定した
オゾン濃度の制御を継続することができる。
【００６１】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、空気
中のオゾン濃度を測定し、濃度測定値に対応した濃度測
定信号を出力するオゾンセンサと、オゾン濃度の目標値
に対応した濃度設定信号を出力するオゾン濃度設定器
と、濃度測定信号と濃度設定信号との濃度偏差に対応し
た濃度偏差信号を出力する加算器と、濃度偏差信号に基
づいて濃度測定値が前記目標値と同値になるように濃度
調節値を算出するＰＩ調節器と、濃度調節値に基づくオ
ゾン発生量に対応した発生値を検出する発生量検出器
と、発生値が濃度調節値と同値になるように電流調節値
を算出する電流調節器と、電流調節値に基づいてオゾン
発生量に対応した発生値を出力するオゾン発生量調節器
と、発生値に基づいて空気中にオゾンを発生するオゾン
発生器とを備えたので、ＰＩ調節器においてオゾン発生
量調節器からの帰還信号を入力させることなく、オゾン
濃度を制御することのできるオゾン濃度制御装置が得ら
れる効果がある。
中のオゾン濃度を測定し、濃度測定値に対応した濃度測
定信号を出力するオゾンセンサと、オゾン濃度の目標値
に対応した濃度設定信号を出力するオゾン濃度設定器
と、濃度測定信号と濃度設定信号との濃度偏差に対応し
た濃度偏差信号を出力する加算器と、濃度偏差信号に基
づいて濃度測定値が前記目標値と同値になるように濃度
調節値を算出するＰＩ調節器と、濃度調節値に基づくオ
ゾン発生量に対応した発生値を検出する発生量検出器
と、発生値が濃度調節値と同値になるように電流調節値
を算出する電流調節器と、電流調節値に基づいてオゾン
発生量に対応した発生値を出力するオゾン発生量調節器
と、発生値に基づいて空気中にオゾンを発生するオゾン
発生器とを備えたので、ＰＩ調節器においてオゾン発生
量調節器からの帰還信号を入力させることなく、オゾン
濃度を制御することのできるオゾン濃度制御装置が得ら
れる効果がある。
【００６２】また、この発明によれば、濃度調節値の上
限値に基づいて濃度調節値の大きさを制限する可変リミ
ッタ回路と、上限値を設定するための制御信号を出力す
る可変リミッタ制御回路とを備えたので、オゾンセンサ
の稼動直後の動作が不安定なときでも、安定したオゾン
濃度の制御をすることのできるオゾン濃度制御装置が得
られる効果がある。
限値に基づいて濃度調節値の大きさを制限する可変リミ
ッタ回路と、上限値を設定するための制御信号を出力す
る可変リミッタ制御回路とを備えたので、オゾンセンサ
の稼動直後の動作が不安定なときでも、安定したオゾン
濃度の制御をすることのできるオゾン濃度制御装置が得
られる効果がある。
【００６３】また、この発明によれば、濃度調節値およ
び目標値に基づいて、オゾンセンサおよびオゾン濃度設
定器の少なくとも一方の異常を検出し、異常検出信号を
出力する異常検出回路と、所定周期で濃度調節値の平均
値を算出する移動平均回路とを備え、可変リミッタ制御
回路は、異常検出信号に応答して、平均値を上限値に設
定するための制御信号を出力するので、オゾンセンサの
稼働中に異常が発生しても、安定したオゾン濃度の制御
をすることのできるオゾン濃度制御装置が得られる効果
がある。
び目標値に基づいて、オゾンセンサおよびオゾン濃度設
定器の少なくとも一方の異常を検出し、異常検出信号を
出力する異常検出回路と、所定周期で濃度調節値の平均
値を算出する移動平均回路とを備え、可変リミッタ制御
回路は、異常検出信号に応答して、平均値を上限値に設
定するための制御信号を出力するので、オゾンセンサの
稼働中に異常が発生しても、安定したオゾン濃度の制御
をすることのできるオゾン濃度制御装置が得られる効果
がある。
【００６４】また、この発明によれば、異常検出回路
は、濃度測定値と目標値との濃度偏差が所定値を超えた
場合にオゾンセンサの異常を検出し、異常検出信号を出
力するので、オゾンセンサが稼動中でも異常を検出する
ことのできるオゾン濃度制御装置が得られる効果があ
る。
は、濃度測定値と目標値との濃度偏差が所定値を超えた
場合にオゾンセンサの異常を検出し、異常検出信号を出
力するので、オゾンセンサが稼動中でも異常を検出する
ことのできるオゾン濃度制御装置が得られる効果があ
る。
【００６５】さらに、この発明によれば、移動平均回路
は、所定周期で濃度調節値を蓄積し、所定時点での濃度
調節値の集合の平均値を算出するので、オゾンセンサが
稼働中に異常が発生しても、異常検出前の平均値を制御
に利用し、安定したオゾン濃度の制御を継続することの
できるオゾン濃度制御装置が得られる効果がある。
は、所定周期で濃度調節値を蓄積し、所定時点での濃度
調節値の集合の平均値を算出するので、オゾンセンサが
稼働中に異常が発生しても、異常検出前の平均値を制御
に利用し、安定したオゾン濃度の制御を継続することの
できるオゾン濃度制御装置が得られる効果がある。
【図１】 この発明の実施の形態１を示すブロック構成
図である。
図である。
【図２】 この発明の実施の形態２を示すブロック構成
図である。
図である。
【図３】 従来のオゾン濃度制御装置を示すブロック構
成図である。
成図である。
１ オゾンセンサ、２ オゾン濃度設定器、３ 加算
器、４ ＰＩ調整器、５可変リミッタ回路、６ 可変リ
ミッタ制御回路、７ 電流調整器、８ オゾン発生量調
節器、９ 発生量検出器、１０ オゾン発生器、１１
異常検出回路、１２ 移動平均回路。
器、４ ＰＩ調整器、５可変リミッタ回路、６ 可変リ
ミッタ制御回路、７ 電流調整器、８ オゾン発生量調
節器、９ 発生量検出器、１０ オゾン発生器、１１
異常検出回路、１２ 移動平均回路。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 2G046 AA04 DC13 DC18 EB05
2G060 AA01 AB01 AE19 HC13 HC14
HC15 HD03 HE07
4C058 AA19 BB07 CC08 DD01 DD07
DD11 JJ14 JJ28
4C080 AA07 BB02 BB04 CC01 HH02
JJ01 KK02 LL01 MM08 QQ01
QQ11
4G042 BC03 CB26
Claims (5)
- 【請求項１】 空気中のオゾン濃度を測定し、濃度測定
値に対応した濃度測定信号を出力するオゾンセンサと、 オゾン濃度の目標値に対応した濃度設定信号を出力する
オゾン濃度設定器と、 前記濃度測定信号と前記濃度設定信号との濃度偏差に対
応した濃度偏差信号を出力する加算器と、 前記濃度偏差信号に基づいて前記濃度測定値が前記目標
値と同値になるように濃度調節値を算出するＰＩ調節器
と、 前記濃度調節値に基づくオゾン発生量に対応した発生値
を検出する発生量検出器と、 前記発生値が前記濃度調節値と同値になるように電流調
節値を算出する電流調節器と、 前記電流調節値に基づいて前記オゾン発生量に対応した
発生値を出力するオゾン発生量調節器と、 前記発生値に基づいて前記空気中にオゾンを発生するオ
ゾン発生器とを備えたオゾン濃度制御装置。 - 【請求項２】 前記濃度調節値の上限値に基づいて前記
濃度調節値の大きさを制限する可変リミッタ回路と、 前記上限値を設定するための制御信号を出力する可変リ
ミッタ制御回路とを備えたことを特徴とする請求項１に
記載のオゾン濃度制御装置。 - 【請求項３】 前記濃度調節値および前記目標値に基づ
いて、前記オゾンセンサおよび前記オゾン濃度設定器の
少なくとも一方の異常を検出し、異常検出信号を出力す
る異常検出回路と、 所定周期で前記濃度調節値の平均値を算出する移動平均
回路とを備え、 前記可変リミッタ制御回路は、 前記異常検出信号に応答して、前記平均値を前記上限値
に設定するための制御信号を出力することを特徴とする
請求項２に記載のオゾン濃度制御装置。 - 【請求項４】 前記異常検出回路は、 前記濃度測定値と前記目標値との濃度偏差が所定値を超
えた場合に前記オゾンセンサの異常を検出し、前記異常
検出信号を出力することを特徴とする請求項３に記載の
オゾン濃度制御装置。 - 【請求項５】 前記移動平均回路は、 所定周期で前記濃度調節値を蓄積し、所定時点での前記
濃度調節値の集合の平均値を算出することを特徴とする
請求項３に記載のオゾン濃度制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001343309A JP2003146624A (ja) | 2001-11-08 | 2001-11-08 | オゾン濃度制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001343309A JP2003146624A (ja) | 2001-11-08 | 2001-11-08 | オゾン濃度制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003146624A true JP2003146624A (ja) | 2003-05-21 |
Family
ID=19157019
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001343309A Pending JP2003146624A (ja) | 2001-11-08 | 2001-11-08 | オゾン濃度制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003146624A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8400788B2 (en) | 2006-12-20 | 2013-03-19 | Primozone Production Ab | Power supply apparatus for a capacitive load |
| CN103520750A (zh) * | 2013-10-18 | 2014-01-22 | 淄博康元医疗器械有限公司 | 三氧低温灭菌器的臭氧活化剂注入装置及方法 |
| CN103520749A (zh) * | 2013-10-18 | 2014-01-22 | 淄博康元医疗器械有限公司 | 三氧低温灭菌器的臭氧产生注入装置及方法 |
| JP2015117156A (ja) * | 2013-12-18 | 2015-06-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置及びオゾンガス濃度の異常検出方法 |
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| CN114237031A (zh) * | 2021-12-07 | 2022-03-25 | 上海康久消毒技术股份有限公司 | 空间臭氧浓度控制方法 |
| WO2022124421A1 (ja) * | 2020-12-11 | 2022-06-16 | 株式会社大柿産業 | オゾン濃度測定装置及びそれを用いたオゾン濃度監視システム |
| CN114715852A (zh) * | 2022-03-17 | 2022-07-08 | 东莞蓝创捷特佳电子有限公司 | 一种基于温湿度的臭氧发生器浓度控制方法 |
| CN114967774A (zh) * | 2022-05-11 | 2022-08-30 | 江西林博能源环保有限公司 | 一种臭氧浓度控制***及方法 |
-
2001
- 2001-11-08 JP JP2001343309A patent/JP2003146624A/ja active Pending
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US8400788B2 (en) | 2006-12-20 | 2013-03-19 | Primozone Production Ab | Power supply apparatus for a capacitive load |
| RU2559792C2 (ru) * | 2006-12-20 | 2015-08-10 | Праймозоун Продакшн Аб | Способ эксплуатации блока генерирования озона |
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| JP7187124B2 (ja) | 2020-03-12 | 2022-12-12 | 東芝三菱電機産業システム株式会社 | ガス生成方法 |
| WO2022124421A1 (ja) * | 2020-12-11 | 2022-06-16 | 株式会社大柿産業 | オゾン濃度測定装置及びそれを用いたオゾン濃度監視システム |
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| CN114237031B (zh) * | 2021-12-07 | 2024-05-10 | 上海康久消毒技术股份有限公司 | 空间臭氧浓度控制方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20040312 |