JP2003124155A - 切削装置 - Google Patents

切削装置

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JP2003124155A
JP2003124155A JP2001315751A JP2001315751A JP2003124155A JP 2003124155 A JP2003124155 A JP 2003124155A JP 2001315751 A JP2001315751 A JP 2001315751A JP 2001315751 A JP2001315751 A JP 2001315751A JP 2003124155 A JP2003124155 A JP 2003124155A
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cutting
moving
spindle
guide rail
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Takayuki Kabasawa
孝行 椛澤
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Disco Corp
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Disco Abrasive Systems Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 チャックテーブルに保持された被加工物の切
削すべき領域を検出するアライメントを容易に行えると
ともに、切削方向を９０度変更する際に被加工物を載置
し直す必要がなく、被加工物の表面と直角な面に対して
傾斜して切断することができる切削装置を提供する。 【解決手段】 切削装置は、被加工物を保持するチャッ
クテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工
物に切削加工を施す切削ブレードを装着する回転スピン
ル備えたスピンドルユニットと、該スピンドルユニット
を切り込み方向に移動可能に支持するスピンドルユニッ
ト支持機構とを具備している。スピンドルユニット支持
機構は、被加工移動基台と、該移動基台に設けられ所定
の曲率半径を有する案内レールと、該案内レールに沿っ
て移動可能に配設されスピンドルユニットを装着するス
ピンドルユニット支持部材と、該スピンドルユニット支
持部材を該案内レールに沿って移動調節する角度調整機
構とを具備している。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエーハ等
の被加工物を切削する切削装置、更に詳しくは被加工物
をその表面と直角な面に対して傾斜角度をもって切断す
ることができる切削装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、半導体デバイスの製造において
は、略円盤状の半導体ウエーハの表面が格子状に配列さ
れたストリートといわれる切断ラインによって複数個の
矩形領域に区画されており、この矩形領域の各々に所定
の回路パターンが施される。このようにして各々回路パ
ターンが施された複数個の矩形領域が個々に切断分離さ
れて、所謂半導体チップを形成する。半導体ウエーハの
切断は、一般にダイシング装置とよばれる精密切削装置
によって施される。
【０００３】上述した切削装置は、スピンドルハウジン
グと、該スピンドルハウジングに回転可能に支持された
回転スピンドルと、該回転スピンドルの先端に装着され
た切削ブレードとを備えたスピンドルユニットを具備
し、切削ブレードを高速回転しつつチャックテーブル上
に保持された被加工物を相対移動することによって、所
定の切断ラインに沿って切削する。このような切削装置
においては、一般に切削ブレードがチャックテーブルの
被加工物保持面に対して垂直に配置されており、従っ
て、被加工物の切断面は分割された半導体チップの表面
および裏面と直角に形成される。
【０００４】しかるに、矩形状に形成された半導体チッ
プとしてのガラスダイオードを半導体デバイスに組み付
ける工程においては、ガラスダイオードの切断面が上下
方向とならないように注意する必要がある。即ち、上述
したように半導体チップの切断面が表面と直角に形成さ
れている場合には、切断面が上下方向に向いて載置され
易い。このような問題を解消するために、半導体チップ
の切断面を表面と直角な面に対して傾斜して構成する半
導体チップが提案されている。
【０００５】上述したように半導体チップを表面と直角
な面に対して傾斜して切断するためには、チャックテー
ブルの被加工物保持面に対して切削ブレードを傾斜した
関係に配置する必要がある。チャックテーブルの被加工
物保持面に対して切削ブレードを傾斜した関係に配置す
る技術として、チャックテーブルに傾斜治具を介在して
被加工物を保持する方法が用いられている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】而して、上述したチャ
ックテーブルに傾斜治具を介在して被加工物を保持する
方法によると、被加工物が傾斜して保持されていること
から、切削すべき領域を検出するアライメントが難しく
なるという問題がある。また、チャックテーブルに傾斜
治具を介在して被加工物を保持する方法においては、切
削方向を９０度変更する際には傾斜治具に対して被加工
物を載置し直す必要があり、その作業が面倒であるとと
もに生産性を低下する原因となる。
【０００７】本発明は上記事実に鑑みてなされたもので
あり、その主たる技術課題は、チャックテーブルに保持
された被加工物の切削すべき領域を検出するアライメン
トを容易に行えるとともに、切削方向を９０度変更する
際に被加工物を載置し直す必要がなく、被加工物の表面
と直角な面に対して傾斜して切削することができる切削
装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記主たる技術課題を解
決するため、本発明によれば、被加工物を保持する被加
工物保持面を備えたチャックテーブルと、該チャックテ
ーブルに保持された被加工物に切削加工を施す切削ブレ
ードを装着する回転スピンル備えたスピンドルユニット
と、該スピンドルユニットを該被加工物保持面に垂直な
切り込み方向に移動可能に支持するスピンドルユニット
支持機構と、を具備する切削装置において、該スピンド
ルユニット支持機構は、該被加工物保持面に垂直な切り
込み方向に移動可能に配設された移動基台と、該移動基
台の側面に設けられ所定の曲率半径を有する案内レール
と、該案内レールに沿って移動可能に配設され該スピン
ドルユニットを装着するスピンドルユニット支持部材
と、該スピンドルユニット支持部材を該案内レールに沿
って移動調節する角度調整機構と、を具備している、こ
とを特徴とする切削装置が提供される。
【０００９】上記案内レールは、曲率半径の中心が上記
回転スピンドルの切削ブレード装着部に設定されている
ことが望ましい。また、上記角度調整機構は、上記移動
基台に回動可能に支持された雄ネジロッドと、該雄ネジ
ロッドに螺合され上記スピンドルユニット支持部材と係
合する移動雌ネジブロックとを具備しており、雄ネジロ
ッドを回動し移動雌ネジブロックを雄ネジロッドに沿っ
て移動せしめことにより、移動雌ネジブロックと係合し
ているスピンドルユニット支持部材を上記案内レールに
沿って移動する。更に、上記角度調整機構は、上記移動
基台に選択的に着脱可能に装着し上記スピンドルユニッ
トを載置支持する支持面を備えた角度設定ブロックを具
備している。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明に従って構成された
切削装置の実施形態について、添付図面を参照して詳細
に説明する。
【００１１】図１には、本発明に従って構成されたダイ
シング装置としての切削装置の斜視図が示されている。
図１に示された切削装置は、略直方体状の装置ハウジン
グ１０を具備している。この装置ハウジング１０内に
は、図２に示す静止基台２と、該静止基台２に切削送り
方向である矢印Ｘで示す方向に移動可能に配設され被加
工物を保持するチャックテーブル機構３と、静止基台２
に割り出し方向である矢印Ｙで示す方向（切削送り方向
である矢印Ｘで示す方向に垂直な方向）に移動可能に配
設されたスピンドルユニット支持機構４と、該スピンド
ルユニット支持機構４によって切り込み方向である矢印
Ｚで示す方向に移動可能に支持されたスピンドルユニッ
ト６が配設されている。
【００１２】上記チャックテーブル機構３は、静止基台
２上に配設され複数個の取付けボルト３ａによって固定
された支持台３１と、該支持台３１上に矢印Ｘで示す方
向に沿って平行に配設された２本の案内レール３２、３
２と、該案内レール３２、３２上に矢印Ｘで示す方向に
移動可能に配設されたチャックテーブル３３を具備して
いる。このチャックテーブル３３は、案内レール３２、
３２上に移動可能に配設された吸着チャック支持台３３
１と、該吸着チャック支持台３３１上に装着され上面に
被加工物保持面３３２ａを備えた吸着チャック３３２を
具備しており、該吸着チャック３３２の被加工物保持面
３３２ａ上に被加工物である例えば円盤状の半導体ウエ
ーハを図示しない吸引手段によって保持するようになっ
ている。なお、チャックテーブル機構３は、チャックテ
ーブル３３を２本の案内レール３２、３２に沿って矢印
Ｘで示す方向に移動させるための駆動手段３４を具備し
ている。駆動手段３４は、上記２本の案内レール３２と
３２の間に平行に配設された雄ネジロッド３４１と、該
雄ネジロッド３４１を回転駆動するためのパルスモータ
３４２等の駆動源を含んでいる。雄ネジロッド３４１
は、その一端が上記支持台３１に固定された軸受ブロッ
ク３４３に回転自在に支持されており、その他端が上記
パルスモータ３４２の出力軸に図示しない減速装置を介
して伝動連結されている。なお、雄ネジロッド３４１
は、チャックテーブル３３を構成する吸着チャック支持
台３３１の中央部下面に突出して設けられた図示しない
雌ネジブロックに形成された貫通雌ネジ穴に螺合されて
いる。従って、パルスモータ３４２によって雄ネジロッ
ド３４１を正転および逆転駆動することにより、チャッ
クテーブル３３は案内レール３２、３２に沿って矢印Ｘ
で示す方向に移動せしめられる。
【００１３】上記スピンドルユニット支持機構４は、静
止基台２上に配設され複数個の取付けボルト４ａによっ
て固定された支持台４１と、該支持台４１上に矢印Ｙで
示す方向に沿って平行に配設された２本の案内レール４
２、４２と、該案内レール４２、４２上に矢印Ｙで示す
方向に移動可能に配設された可動支持基台４３を具備し
ている。この可動支持基台４３は、案内レール４２、４
２上に移動可能に配設された移動支持部４３１と、該移
動支持部４３１に取り付けられたスピンドル装着部４３
２とからなっている。スピンドル装着部４３２には取付
けブラケット４３３が固定されており、この取付けブラ
ケット４３３を複数個の取付けボルト４０ａによって移
動支持部４３１に締結することにより、スピンドル装着
部４３２は移動支持部４３１に取り付けられる。また、
スピンドル装着部４３２には、上記取付けブラケット４
３３を装着した面と反対側の面に矢印Ｚで示す方向に延
びる２本の案内レール４３２ａ、４３２ａが平行に設け
られている。なお、スピンドルユニット支持機構４は、
可動支持基台４３を２本の案内レール４２、４２に沿っ
て矢印Ｙで示す方向に移動させるための駆動手段４４を
具備している。駆動手段４４は、上記２本の案内レール
４２、４２の間に平行に配設された雄ネジロッド４４１
と、該雄ねじロッド４４１を回転駆動するためのパルス
モータ４４２等の駆動源を含んでいる。雄ネジロッド４
４１は、その一端が上記支持台４１に固定された図示し
ない軸受ブロックに回転自在に支持されており、その他
端が上記パルスモータ４４２の出力軸に図示しない減速
装置を介して伝動連結されている。なお、雄ネジロッド
４４１は、可動支持基台４３を構成する移動支持部４３
１の中央部下面に突出して設けられた図示しない雌ネジ
ブロックに形成された貫通雌ネジ穴に螺合されている。
従って、パルスモータ４４２によって雄ネジロッド４４
１を正転および逆転駆動することにより、可動支持基台
４３は案内レール４２、４２に沿って矢印Ｙで示す方向
に移動せしめられる。
【００１４】図示の実施形態におけるスピンドルユニッ
ト支持機構４は、上記チャックテーブル３３を構成する
吸着チャック３３２の被加工物保持面３３２ａに垂直な
切り込み方向に移動可能に配設された移動基台４５を具
備している。この移動基台４５は、上記スピンドル装着
部４３２と対向する側面にスピンドル装着部４３２に設
けられた２本の案内レール４３２ａ、４３２ａに摺動可
能に嵌合する２本の被案内レール４５ａ、４５ａが設け
られており、この被案内レール４５ａ、４５ａを上記案
内レール４３２ａ、４３２ａに嵌合することにより、上
記チャックテーブル３３を構成する吸着チャック３３２
の被加工物保持面３３２ａに垂直な切り込み方向、即ち
矢印Ｚで示す方向に移動可能に支持される。図示の実施
形態におけるスピンドルユニット支持機構４は、移動基
台４５を２本の案内レール４３２ａ、４３２ａに沿って
矢印Ｚで示す方向に移動させるための駆動手段４６を具
備している。駆動手段４６は、上記駆動手段３４および
４４と同様に案内レール４３２ａ、４３２ａの間に配設
された雄ネジロッド（図示せず）と、該雄ネジロッドを
回転駆動するためのパルスモータ４６２等の駆動源を含
んでおり、パルスモータ４６２によって図示しない雄ネ
ジロッドを正転および逆転駆動することにより、移動基
台４５を案内レール４３２ａ、４３２ａに沿って矢印Ｚ
で示す方向に移動せしめる。
【００１５】上記移動基台４５について、図３および図
４を参照して説明する。上記移動基台４５の被案内レー
ル４５ａ、４５ａを備えた面と反対側の側面には、所定
の曲率半径を有する案内レール４５１が設けられてい
る。この案内レール４５１の曲率半径の中心は、スピン
ドルユニット６を構成する後述する回転スピンドルの切
削ブレード装着部になるように設定されている。なお、
案内レール４５１は、図示の実施形態においては移動基
台４５の本体と別部品として形成し、複数個の固定ボル
ト４５２等の固定手段によって移動基台４５の本体に取
り付けられている。このように構成された案内レール４
５１には、スピンドルユニット６を支持する支持ブロッ
ク４７が移動可能に配設されている。この支持ブロック
４７には上記移動基台４５と対向する側面に移動基台４
５に設けられた案内レール４５１に摺動可能に嵌合する
被案内レール４７１が設けられており、この被案内レー
ル４７１を案内レール４５１に嵌合することにより、支
持ブロック４７は案内レール４５１に沿って移動可能に
支持される。
【００１６】上記支持ブロック４７には、スピンドルユ
ニット支持部材４８が複数個の取付けボルト５１によっ
て結合される。具体的にはスピンドルユニット支持部材
４８に形成された４個のボルト挿通穴４８１にそれぞれ
取付けボルト５１を挿通し、支持ブロック４７に設けら
れた４個の雌ネジ穴４７２に螺合することによって、ス
ピンドルユニット支持部材４８と支持ブロック４７とが
結合される。スピンドルユニット支持部材４８の支持ブ
ロック４７と対向する側面には、上記案内レール４５１
および支持ブロック４７との干渉を避けるための逃げ溝
４８２が設けられている。また、スピンドルユニット支
持部材４８には４個の長穴４８３が形成されており、移
動基台４５には上記４個の長穴４８３の移動領域にそれ
ぞれ多数の雌ネジ穴４５３が形成されている。そして、
４個の長穴４８３をそれぞれ締付ボルト５２を挿通し、
それぞれ多数の雌ネジ穴４５３のうち対応する雌ネジ穴
４５３に螺合することによって、スピンドルユニット支
持部材４８を移動基台４５に固定する。従って、スピン
ドルユニット支持部材４８を支持ブロック４７とともに
上記案内レール４５１に沿っての移動する際には締付ボ
ルト５２を取り外し、後述する角度調整機構によって角
度調整した後に締付ボルト５２によって締付固定する際
には長穴４８３によって微調整される。スピンドルユニ
ット支持部材４８の端面には、後述する角度調整機構と
係合する係合突起４８４が設けられている。なお、スピ
ンドルユニット支持部材４８は、上記支持ブロック４７
と一体的に形成してもよい。
【００１７】図示の実施形態におけるスピンドルユニッ
ト支持機構４は、上記支持ブロック４７およびスピンド
ルユニット支持部材４８を案内レール４５１に沿って移
動せしめる角度調整機構４９を具備している。この角度
調整機構４９は、上記移動基台４５の上端部および下端
部に取り付けられ軸受部材４９１および４９２によって
上端部および下端部が回動可能に支持された雄ネジロッ
ド４９３と、該雄ネジロッド４９３の上端に取り付けら
れたハンドル４９４と、雄ネジロッド４９３に螺合され
た移動雌ネジブロック４９５とを具備している。なお、
移動雌ネジブロック４９５の側面には、上記スピンドル
ユニット支持部材４８に設けられた係合突起４８４と係
合する係合穴４９５ａが設けられている。この係合穴４
９５ａに係合突起４８４を係合することによって、移動
雌ネジブロック４９５はハンドル４９４により雄ネジロ
ッド４９３が回転せしめられても共に回転することはな
く、雄ネジロッド４９３の回転に伴って上下方向に移動
する。
【００１８】なお、図示の実施形態における角度調整機
構４９は、複数個の角度設定ブロック５０ａ、５０ｂ・
・・を用意している。角度設定ブロック５０ａは底面５
０１ａおよび支持面である上面５０２ａが平行に形成さ
れており、後述する切削ブレードを上記チャックテーブ
ル３３を構成する吸着チャック３３２の被加工物保持面
３３２ａに垂直に位置付ける通常の切削時に用いられ
る。角度設定ブロック５０ｂは、支持面である上面５０
２ｂが底面５０１ｂに対して所定の勾配角度をもって傾
斜して形成されており、後述する切削ブレードが上記チ
ャックテーブル３３を構成する吸着チャック３３２の被
加工物保持面３３２ａに垂直な面に対して所定角度傾斜
して位置付けられる際に用いられる。なお、上面が底面
に対して勾配角度をもって傾斜して形成され角度設定ブ
ロックは、設定する角度に対応して複数個用意する。角
度設定ブロック５０ａ、５０ｂ・・・には、それぞれボ
ルト挿通穴５０３、５０３および位置決めピン嵌入穴５
０４、５０４が設けられている。なお、２個の位置決め
ピン嵌入穴５０４、５０４は、底面と平行に設けられて
いる。このように構成された角度設定ブロック５０ａ、
５０ｂ・・・は、所定のブロックが選定され、上記移動
基台４５の下端部に取り付けられた２本の位置決めピン
４５４、４５４に位置決めピン嵌入穴５０４、５０４を
嵌入し、ボルト挿通穴５０３、５０３に取付けボルト５
３、５３を挿通して移動基台４５に設けられた雌ネジ穴
４５５、４５５に螺合することによって、移動基台４５
に取り付けられる。そして、角度設定ブロックの上面に
よって後述するスピンドルユニット６を装着した上記ス
ピンドルユニット支持部材４８を支持する。この結果、
後述するスピンドルユニット６は、選定された角度設定
ブロックの勾配角度で位置決めされることになる。
【００１９】次に、スピンドルユニット６について説明
する。図示の実施形態におけるスピンドルユニット６
は、スピンドルハウジング６１と、該スピンドルハウジ
ング６１に回転可能に支持されスピンドルハウジングの
前端から突出して配設された回転スピンドル６２と、該
回転スピンドル６２の先端部に装着される切削ブレード
６３と、回転スピンドル６２の先端部に形成された雄ネ
ジ部に螺合し切削ブレード６３を回転スピンドル６２に
締付固定する固定ナット６４と、スピンドルハウジング
６１の後端部に装着されスピンドルユニットを上記スピ
ンドルユニット支持部材４８に取り付けるための取付け
ブラケット６５とからなっている。そして、取付けブラ
ケット６５に形成された４個のボルト挿通穴６５１にそ
れぞれ取付けボルト５４を挿通し、上記スピンドルユニ
ット支持部材４８に設けられた４個の雌ネジ穴４８５に
螺合することによって、スピンドルユニット６がスピン
ドルユニット支持部材４８に装着される。なお、スピン
ドルユニット６は、スピンドルハウジング６１内に回転
スピンドル６２の回転駆動源としてのサーボモータを内
蔵している。
【００２０】スピンドルユニット６およびこれを支持す
るスピンドルユニット支持機構４は以上のように構成さ
れており、スピンドルユニット６の支持角度、即ちチャ
ックテーブル３３を構成する吸着チャック３３２の被加
工物保持面３３２ａに対する切削ブレード６３の取付け
角度の調整について説明する。通常の切削を行う場合
は、図５に示すように底面および上面が平行に形成され
た角度設定ブロック５０ａが上述したように移動基台４
５に取り付けられる。そして、角度設定ブロック５０ａ
の支持面である上面５０２ａでスピンドルユニット支持
部材４８を支持している。従って、スピンドルユニット
支持部材４８に装着されたスピンドルユニット６の回転
スピンドル６２の軸心は、チャックテーブル３３を構成
する吸着チャック３３２の被加工物保持面３３２ａと平
行となり、回転スピンドル６２に装着された切削ブレー
ド６３が被加工物保持面３３２ａに垂直に位置付けられ
る。
【００２１】次に、図５に示す通常の切削状態から上記
切削ブレード６３を上記被加工物保持面３３２ａに対し
て所定の角度をもって位置付ける場合には、図６に示す
ように先ず、締付ボルト５２を取り外し、角度調整機構
４９のハンドル４９４を作動して雄ネジロッド４９３を
一方向に回動する。雄ネジロッド４９３が一方向に回動
すると、移動雌ネジブロック４９５が雄ネジロッド４９
３に沿って上方に移動する。この結果、移動雌ネジブロ
ック４９５の係合穴４９５ａに係合突起４８４が係合し
ているスピンドルユニット支持部材４８は、支持ブロッ
ク４７とともに案内レール４５１に沿って上方に移動す
る。従って、角度設定ブロック５０ａの上面とスピンド
ルユニット支持部材４８との間隔が生ずる。このとき、
スピンドルユニット支持部材４８は所定の曲率半径を有
する案内レール４５１に沿って移動するので、スピンド
ルユニット支持部材４８に装着されたスピンドルユニッ
ト６の回転スピンドル６２の軸心は、チャックテーブル
３３を構成する吸着チャック３３２の被加工物保持面３
３２ａと平行な軸線に対して傾斜する。
【００２２】上記のようにスピンドルユニット支持部材
４８が案内レール４５１に沿って上方に移動し角度設定
ブロック５０ａの上面５０２ａとスピンドルユニット支
持部材４８との間に間隔が生じたら、角度設定ブロック
５０ａを移動基台４５から取り外し、支持面である上面
５０２ｂが底面５０１ｂに対して所定の勾配角度をもっ
て傾斜して形成されている角度設定ブロック５０ｂを移
動基台４５に上述したように取り付ける。次に、角度調
整機構４９のハンドル４９４を作動して雄ネジロッド４
９３を他方向に回動する。雄ネジロッド４９３が他方向
に回動すると、移動雌ネジブロック４９５が雄ネジロッ
ド４９３に沿って下方に移動する。この結果、移動雌ネ
ジブロック４９５の係合穴４９５ａに係合突起４８３が
係合しているスピンドルユニット装着部材４８は、支持
ブロック４７とともに案内レール４５１に沿って下方に
移動し、図６に示すように角度設定ブロック５０ｂの支
持面である上面５０２ｂ上に載置され支持される。そし
て、締付ボルト５２を４個の長穴４８３をそれぞれ挿通
し、それぞれ対応する雌ネジ穴４５３に螺合することに
よって、スピンドルユニット支持部材４８を移動基台４
５に固定する。この結果、スピンドルユニット支持部材
４８に装着されたスピンドルユニット６の回転スピンド
ル６２の軸心は、チャックテーブル３３を構成する吸着
チャック３３２の被加工物保持面３３２ａと平行な軸線
に対して所定の角度θだけ傾斜する。このため、回転ス
ピンドル６２に装着された切削ブレード６３は、被加工
物保持面３３２ａに垂直に面に対して所定の角度θだけ
傾斜して位置付けられる。
【００２３】なお、スピンドルユニット６を装着したス
ピンドルユニット支持部材４８が案内レール４５１に沿
って移動する際に、図示の実施形態においては案内レー
ル４５１の曲率半径の中心が回転スピンドル６２の切削
ブレード６３装着部になるように設定されているので、
切削ブレード６３の位置は殆ど変位しない。従って、被
加工物と切削ブレード６３との位置合わせが容易とな
る。また、図示の実施形態においては、スピンドルユニ
ット６を装着したスピンドルユニット装着部材４８を角
度設定ブロックによって支持するので、選択した所定角
度を安定して維持することができる。なお、図示の実施
形態においては、スピンドルユニット６を装着したスピ
ンドルユニット装着部材４８を角度設定ブロックによっ
て支持する例を示したが、角度設定ブロックを用いずに
角度調整機構４９だけで所定角度に調整してもよい。
【００２４】図１に戻って説明を続けると、図示の切削
装置は被加工物である半導体ウエーハ１１をストックす
るカセット１２と、被加工物搬出手段１３と、被加工物
搬送手段１４と、洗浄手段１５と、洗浄搬送手段１６、
および顕微鏡やＣＣＤカメラ等で構成されるアライメン
ト手段１７を具備している。なお、半導体ウエーハ１１
は、フレーム１１１にテープ１１２によって装着されて
おり、フレーム１１１に装着された状態で上記カセット
１２に収容される。また、カセット１２は、図示しない
昇降手段によって上下に移動可能に配設されたカセット
テーブル１２１上に載置される。
【００２５】次に、上述した切削装置の加工処理動作に
ついて簡単に説明する。カセット１２の所定位置に収容
されたフレーム１１１に装着された状態の半導体ウエー
ハ１１（以下、フレーム１１１に装着された状態の半導
体ウエーハ１１を単に半導体ウエーハ１１という）は、
図示しない昇降手段によってカセットテーブル１２１が
上下動することにより搬出位置に位置付けられる。次
に、被加工物搬出手段１３が進退作動して搬出位置に位
置付けられた半導体ウエーハ１１を被加工物載置領域１
８に搬出する。被加工物載置領域１８に搬出された半導
体ウエーハ１１は、被加工物搬送手段１４の旋回動作に
よって上記チャックテーブル機構３を構成するチャック
テーブル３３の吸着チャック３３２上に搬送され、該吸
着チャック３３２に吸引保持される。このようにして半
導体ウエーハ１１を吸引保持したチャックテーブル３３
は、案内レール３２、３２に沿ってアライメント手段１
７の直下まで移動せしめられる。チャックテーブル３３
がアライメント手段１７の直下に位置付けられると、ア
ライメント手段１７によって半導体ウエーハ１１に形成
されている切断ラインが検出され、精密位置合わせ作業
が行われる。
【００２６】その後、半導体ウエーハ１１を吸引保持し
たチャックテーブル３３を切削送り方向である矢印Ｘで
示す方向に移動することにより、チャックテーブル３３
に保持された半導体ウエーハ１１は切削ブレード６３に
より所定の切断ラインに沿って切断される。即ち、切削
ブレード６３は割り出し方向である矢印Ｙで示す方向お
よび切り込み方向である矢印Ｚで示す方向に移動調整さ
れて位置決めされたスピンドルユニット６に装着され、
回転駆動されているので、チャックテーブル３３を切削
ブレード６３の下側に沿って切削送り方向に移動するこ
とにより、チャックテーブル３３に保持された半導体ウ
エーハ１１は切削ブレード６３により所定の切断ライン
に沿って切断され、半導体チップに分割される。分割さ
れた半導体チップは、テープ１１２の作用によってバラ
バラにはならず、フレーム１１１に装着された半導体ウ
エーハ１１の状態が維持されている。
【００２７】上述した切削ブレード６３による半導体ウ
エーハ１１の切削時において、スピンドルユニット６が
図５に示すように回転スピンドル６２の軸心がチャック
テーブル３３を構成する吸着チャック３３２の被加工物
保持面３３２ａと平行に位置付けられている場合には、
回転スピンドル６２に装着された切削ブレード６３は被
加工物保持面３３２ａに垂直に位置付けられるので、半
導体ウエーハ１１は表面に直角に切断される。一方、図
６に示すようにスピンドルユニット６の回転スピンドル
６２がチャックテーブル３３を構成する吸着チャック３
３２の被加工物保持面３３２ａと平行な軸線に対して所
定の角度θだけ傾斜して位置付けられている場合には、
回転スピンドル６２に装着された切削ブレード６３は被
加工物保持面３３２ａに垂直に面に対して所定の角度θ
だけ傾斜して位置付けられるので、半導体ウエーハ１１
は表面に対して所定の角度θだけ傾斜して切断される。
以上のように図示の実施形態においては、被加工物の表
面と直角な面に対して傾斜して切断する場合でもチャッ
クテーブル３３に保持される被加工物の保持状態を変更
することがないので、被加工物の切削すべき領域を検出
するアライメントを容易に行えるとともに、切削方向を
９０度変更する際に被加工物を載置し直すことなく切削
することができる。
【００２８】以上のようにして、半導体ウエーハ１１の
切断作業が終了した後、半導体ウエーハ１１を保持した
チャックテーブル３３は、最初に半導体ウエーハ１１を
吸引保持した位置に戻され、ここで半導体ウエーハ１１
の吸引保持を解除する。次に、半導体ウエーハ１１は、
洗浄搬送手段１６によって洗浄手段１５に搬送され、こ
こで洗浄される。このようにして洗浄された半導体ウエ
ーハ１１は、被加工物搬送手段１４によって被加工物載
置領域１８に搬出される。そして、半導体ウエーハ１１
は、被加工物搬出手段１３によってカセット１２の所定
位置に収納される。
【００２９】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、被加工物
の表面と直角な面に対して傾斜して切断する場合でもチ
ャックテーブルに保持される被加工物の保持状態を変更
することがないので、被加工物の切削すべき領域を検出
するアライメントを容易に行えるとともに、切削方向を
９０度変更する際に被加工物を載置し直すことなく切削
することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に従って構成された切削装置の斜視図。
【図２】図１に示す切削装置の要部斜視図。
【図３】図１に示す切削装置を構成するスピンドルユニ
ット支持機構の要部斜視図。
【図４】図３に示すスピンドルユニット支持機構の分解
斜視図。
【図５】図３に示すスピンドルユニット支持機構の第１
の支持状態を示す説明図。
【図６】図３に示すスピンドルユニット支持機構の第２
の支持状態を示す説明図。
【符号の説明】
２：静止基台 ３：チャックテーブル機構 ３１：チャックテーブル機構の支持台 ３２：チャックテーブル機構の案内レール ３３：チャックテーブル機構のチャックテーブル ３４：チャックテーブル機構の駆動手段 ４：スピンドルユニット支持機構 ４１：スピンドルユニット支持機構の支持台 ４２：スピンドルユニット支持機構の案内レール ４３：スピンドルユニット支持機構の可動支持基台 ４４：スピンドルユニット支持機構の駆動手段 ４５：移動基台 ４５１：案内レール ４６：移動基台の駆動手段 ４７：支持ブロック ４７１：被案内レール ４８：スピンドルユニット支持部材 ４９：角度調整機構 ４９３：角度調整機構の雄ネジロッド ４９４：角度調整機構のハンドル ４９５：角度調整機構の移動雌ネジブロック ５０ａ、５０ｂ：角度設定ブロック ６：ピンドルユニット ６１：スピンドルハウジング ６２：回転スピンドル ６３：切削ブレード６３ １１：半導体ウエーハ １２：カセット １３：被加工物搬出手段 １４：被加工物搬送手段 １５：洗浄手段 １６：洗浄搬送手段 １７：アライメント手段

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 被加工物を保持する被加工物保持面を備
    えたチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持さ
    れた被加工物に切削加工を施す切削ブレードを装着する
    回転スピンル備えたスピンドルユニットと、該スピンド
    ルユニットを該被加工物保持面に垂直な切り込み方向に
    移動可能に支持するスピンドルユニット支持機構と、を
    具備する切削装置において、 該スピンドルユニット支持機構は、該被加工物保持面に
    垂直な切り込み方向に移動可能に配設された移動基台
    と、該移動基台の側面に設けられ所定の曲率半径を有す
    る案内レールと、該案内レールに沿って移動可能に配設
    され該スピンドルユニットを装着するスピンドルユニッ
    ト支持部材と、該スピンドルユニット支持部材を該案内
    レールに沿って移動調節する角度調整機構と、を具備し
    ている、 ことを特徴とする切削装置。
  2. 【請求項２】 該案内レールは、曲率半径の中心が該回
    転スピンドルの該切削ブレード装着部に設定されてい
    る、請求項１記載の切削装置。
  3. 【請求項３】 該角度調整機構は、該移動基台に回動可
    能に支持された雄ネジロッドと、該雄ネジロッドに螺合
    され該スピンドルユニット支持部材と係合する移動雌ネ
    ジブロックとを具備しており、該雄ネジロッドを回動し
    該移動雌ネジブロックを該雄ネジロッドに沿って移動せ
    しめことにより、該移動雌ネジブロックと係合している
    該スピンドルユニット支持部材を該案内レールに沿って
    移動する、請求項１記載の切削装置。
  4. 【請求項４】 該角度調整機構は、該移動基台に選択的
    に着脱可能に装着し該スピンドルユニットを載置支持す
    る支持面を備えた角度設定ブロックを具備している、請
    求項１記載の切削装置。
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